液体材料的涂布方法、该装置及其程序.pdf

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1、10申请公布号CN102066008A43申请公布日20110518CN102066008ACN102066008A21申请号200980105241X22申请日20090218200803662820080218JPB05D1/26200601B05C5/00200601B05C11/10200601B05D3/0020060171申请人武藏工业株式会社地址日本东京都72发明人生岛和正74专利代理机构北京戈程知识产权代理有限公司11314代理人程伟王锦阳54发明名称液体材料的涂布方法、该装置及其程序57摘要本发明提供一种不需要复杂的参数计算且对排出部的移动速度不会造成影响的液体材料的涂布方法。

2、、其装置及其程序。该涂布方法为一边使喷嘴与工件进行相对移动，一边将液体材料从喷嘴排出，而对工件涂布规定涂布量的液体材料的涂布方法。其特征在于，包括初期参数设定步骤，将传送排出脉冲信号和暂停脉冲信号的次数规定为总脉冲数，且规定总脉冲数中为了达成涂布量所必要的排出脉冲信号数，而将其余规定为暂停脉冲信号；修正量计算步骤，以预设的修正周期，计测在修正周期时从喷嘴的排出量，并计算出排出量的修正量；以及排出量修正步骤，根据在修正量计算步骤所计算出的修正量，调整排出脉冲信号数和暂停脉冲信号数。30优先权数据85PCT申请进入国家阶段日2010081386PCT申请的申请数据PCT/JP2009/000649。

3、2009021887PCT申请的公布数据WO2009/104383JA2009082751INTCL19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书10页附图6页CN102066018A1/2页21一种涂布方法，为制作所希望的涂布图案，一边使喷嘴与工件进行相对移动，一边将液体材料从喷嘴排出，而对工件涂布规定涂布量的液体材料的涂布方法，其特征在于，包括初期参数设定步骤，将传送排出脉冲信号和暂停脉冲信号的次数规定为总脉冲数，且规定总脉冲数中为了达成涂布量所需要的排出脉冲信号数，而将其余规定为暂停脉冲信号；修正量计算步骤，以预设的修正周期，计测在修正周期时从喷嘴的排出量，并计算出。

4、排出量的修正量；以及排出量修正步骤，根据在修正量计算步骤所计算出的修正量，调整排出脉冲信号数和暂停脉冲信号数。2根据权利要求1所述的涂布方法，其特征在于所述排出量修正步骤为不改变所述排出脉冲信号和所述暂停脉冲信号的发送频率而进行排出量的修正。3根据权利要求2所述的涂布方法，其特征在于所述频率为数十赫兹数百赫兹。4根据权利要求1至3中任一项所述的涂布方法，其特征在于所述修正量计算步骤为根据计测一定时间内排出的液体材料的重量而得的值、与该一定时间中的理论值的差值，而计算出排出量的修正量。5根据权利要求1至3中任一项所述的涂布方法，其特征在于所述修正量计算步骤为根据计测一定时间所排出的液体材料的面积。

5、和/或高度而得的值、与该一定时间中的理论值的差值，而计算出排出量的修正量。6根据权利要求1至3中任一项所述的涂布方法，其特征在于所述修正量计算步骤为根据计测基于上述涂布图案的涂布形成在工件端部的液体材料的填角宽度而得的值、与该涂布图案中的理论值的差值，而计算出排出量的修正量。7根据权利要求4至6中任一项所述的涂布方法，其特征在于设定判断在所述修正量计算步骤以前的步骤中是否要进行修正的容许范围，所述修正量计算步骤当所述差值超过所述容许范围时，便计算出排出量的修正量。8根据权利要求1至7中任一项所述的涂布方法，其特征在于所述涂布为通过在液体材料离开喷嘴后接触工件的排出方式而进行。9根据权利要求8所。

6、述的涂布方法，其特征在于所述涂布为在基板与其上所载置的工件的间隙中利用毛细管现象填充规定涂布量的液体材料。10根据权利要求9所述的涂布方法，所述排出量修正步骤在增加暂停脉冲信号时，便减少对于暂停脉冲信号数的排出脉冲信号数。11根据权利要求1至10中任一项所述的涂布方法，其特征在于所述修正周期为根据使用者作为修正周期所输入的时间信息、工件片数、或基板片数而被设定。12根据权利要求1至11中任一项所述的涂布方法，其特征在于所述排出量修正步骤为不改变上述涂布图案的涂布长度、以及喷嘴与工件的相对移动速度而进行排出量的修正。13一种涂布装置，具备供应液体材料的液体材料供应部、具有排出从液体材料供应部所供。

7、应的液体材料的排出口的排出部、计量从排出口所排出的液体材料量的计量部、使排出口与工件进行相对移动的驱动部、以及对这些动作进行控制的控制部，其特征在于权利要求书CN102066008ACN102066018A2/2页3控制部为具有实施权利要求1至12中任一项所述的涂布方法的程序。14一种程序，为使涂布装置的控制部实施权利要求1至12中任一项所述的涂布方法的程序，该涂布装置具备供应液体材料的液体材料供应部、具有排出液体材料的排出口的排出部、计量从排出口所排出的液体材料量的计量部、使排出口与工件进行相对移动的驱动部、以及对这些动作进行控制的控制部。权利要求书CN102066008ACN1020660。

8、18A1/10页4液体材料的涂布方法、该装置及其程序技术领域0001本发明是涉及一种对工件涂布规定涂布量的液体材料的方法和装置、以及程序，例如在半导体封装的填底UNDERFILL步骤中，不必进行复杂的参数计算而能够修正液体材料的排出量的方法和装置以及程序。背景技术0002现有技术在液体材料的定量排出中，若经长时间排出，液体材料便会发生随着时间的粘度变化，导致排出量发生变动的问题。0003因此，申请人提案了一种液体定量排出装置，其为对前端具有喷嘴的注射器内的液体材料仅在所需时间施加调压空气的气动式排出装置，其中，通过调整排出时间而控制排出量专利文献1。0004近年，随着芯片的小型化、高密度安装化。

9、、或者涂布作业的多样化，要求连续进行微量精密的涂布，必须将排出量的变动抑制得更低。尤其以填底步骤中，要求更微量更精密的涂布。0005在填底步骤中，为了增强连接部103，便在半导体芯片101与基板102之间利用毛细管现象填充为液体材料的树脂104参照图1。因此，当随着时间经过树脂材料粘度变高，则从材料排出口的排出量便会减少，毛细管现象不够充分，产生导致无法将适当量的材料填充于间隙中的问题。上述树脂材料中粘度变化较剧烈的材料，例如也会有经过6小时后减少10以上排出量的情况。0006在填底步骤中实施排出量的修正的方法，例如公开在日本专利特开2004344883号专利文献2中。即，专利文献2公开了一种。

10、使用喷射式分配器在基板上排出粘性材料的方法，其包括准备应排出粘性材料的总体积和排出总体积的粘性材料的长度；在重量计上以涂布多个粘性材料液滴的方式产生动作；生成表示在重量计上经涂布的多个粘性材料液滴的重量的反馈信号；以及以总体积粘性材料沿长度排出的方式，求得分配器与基板之间的最大相对速度。0007再者，专利文献2公开了一种方法，进一步包括求得多个粘性材料液滴的各自体积；求得大致等于总体积所需要的液滴总数；求得沿长度大致均匀分配粘性材料液滴所需要的各液滴之间的距离；以及为了将粘性材料液滴的总数在长度上大致均匀排出，而求得分配器与基板之间的最大相对速度。0008专利文献1日本特开平4200671号公。

11、报0009专利文献2日本特开2004344883号公报发明内容0010发明所要解决的问题0011然而，专利文献1所记载的液体定量排出装置由于为一种在液体材料离开排出部前接触工件的排出方式，因而不同于液体材料离开排出部后接触到工件的排出方式，在排说明书CN102066008ACN102066018A2/10页5出结束后，通过将排出部朝上方移动、或使排出部的相对移动稍微大于涂布长度连续进行，而使液体材料离开排出部。因此，当在排出部与工件之间发生液体材料拉丝、断丝时，便会有排出部侧的液体材料被工件拉引导致排出量过剩、或相反情况，工件侧的液体材料被排出部侧拉引导致排出量不足等造成涂布量出现变动的问题。。

12、0012再者，在专利文献2所记载的方法中，为了在长度上均匀地排出，便需要有求得液滴数或各液滴的间隔的程序，在该程序内通过计算求得各种参数，因而在计算时大多会出现误差。0013再者，为力求更正确地均匀化，必须使每个液滴的大小一致，因此需要特别的手段。0014再者，喷嘴排出部与基板之间的最大相对速度变动，当粘度变大时，便朝速度变慢的方向变化。当速度变慢时，则涂布时间拉长，有对生产效率造成影响的问题。0015因此，本发明目的在于解决上述问题，提供一种不需要复杂的参数计算且不会对排出部的移动速度造成影响的液体材料的涂布方法、该装置及其程序。0016用于解决问题的手段0017为了解决上述问题，本发明人尝。

13、试通过将液体材料以脉冲状排出并改变脉冲信号的频率，而简便地进行排出量的修正。然而，使用使脉冲信号的频率为可变化方式进行实验后，却无法适当地进行排出量的修正。尤其在喷射式分配器中，若活塞柱塞上下动作的频率变慢、或变快时，便会有液体材料不离开喷嘴前端、或分为二个以上液滴而离开的情况。发明人发现对于每种液体材料都具有为使一液滴从喷嘴前端分离的最佳脉冲信号频率范围，而完成了本发明。0018第1发明的涂布方法，为制作所希望的涂布图案，一边使喷嘴与工件进行相对移动，一边将液体材料从喷嘴排出，而对工件涂布规定涂布量的液体材料的涂布方法，其特征在于，包括初期参数设定步骤，将传送排出脉冲信号和暂停脉冲信号的次数。

14、规定为总脉冲数，且规定总脉冲数中为了达成涂布量所需要的排出脉冲信号数，而将其余规定为暂停脉冲信号；修正量计算步骤，以预设的修正周期，计测在修正周期时从喷嘴的排出量，并计算出排出量的修正量；以及排出量修正步骤，根据在修正量计算步骤所计算出的修正量，调整排出脉冲信号数和暂停脉冲信号数。0019第2发明为在第1发明中，其特征在于所述排出量修正步骤为不改变所述排出脉冲信号和所述暂停脉冲信号的发送频率而进行排出量的修正。0020第3发明为在第2发明中，其特征在于所述频率为数十赫兹HZ数百赫兹。0021第4发明为在第1至3中任一项发明中，其特征在于所述修正量计算步骤为根据计测一定时间内排出的液体材料的重量。

15、而得的值、与该一定时间中的理论值的差值，而计算出排出量的修正量。0022第5发明为就第1至3中任一项发明中，其特征在于所述修正量计算步骤为根据计测在一定时间中所排出的液体材料的面积和/或高度而得的值、与该一定时间的理论值的差值，而计算出排出量的修正量。0023第6发明为就第1至3中任一项发明中，其特征在于所述修正量计算步骤为根据计测基于上述涂布图案的涂布形成在工件端部的液体材料的填角FILLET宽度而得的值、与该涂布图案中的理论值的差值，而计算出排出量的修正量。说明书CN102066008ACN102066018A3/10页60024第7发明为就第4至6中任一项发明中，其特征在于设定判断在所述。

16、修正量计算步骤以前的步骤中是否要进行修正的容许范围，所述修正量计算步骤当所述差值超过所述容许范围时，便计算出排出量的修正量。0025第8发明为就第1至7中任一项发明中，其特征在于所述涂布为通过在液体材料离开喷嘴后接触工件的排出方式而进行。0026第9发明为就第8发明中，其特征在于所述涂布为在基板与其上所载置的工件的间隙中利用毛细管现象填充规定涂布量的液体材料。0027第10发明为就第9发明中，其特征在于所述排出量修正步骤在增加暂停脉冲信号时便减少对于暂停脉冲信号数的排出脉冲信号数。0028第11发明为就第1至10中任一项发明中，其特征在于所述修正周期为根据使用者作为修正周期所输入的时间信息、工。

17、件片数、或基板片数而被设定。0029第12发明为就第1至11中任一项发明中，其特征在于所述排出量修正步骤为不改变上述涂布图案的涂布长度、以及喷嘴与工件的相对移动速度而进行排出量的修正。0030第13发明的涂布装置，具备供应液体材料的液体材料供应部、具有排出从液体材料供应部所供应的液体材料的排出口的排出部、计量从排出口所排出的液体材料量的计量部、使排出口与工件进行相对移动的驱动部、以及对这些动作进行控制的控制部，其特征在于控制部为具有实施第1至12项中任一项发明的涂布方法的程序。0031第14发明为一种使涂布装置的控制部实施第1至12中任一项发明的涂布方法的程序，该涂布装置具备供应液体材料的液体。

18、材料供应部、具有排出液体材料的排出口的排出部、计量从排出口所排出的液体材料量的计量部、使排出口与工件进行相对移动的驱动部、以及对这些动作进行控制的控制部。0032发明效果0033根据本发明，在对涂布图案全长实施均匀涂布不受约束可自由制作涂布图案。0034再者，与针对每个液滴实施修正的情况相比较，步骤较为简便，不易发生计算误差。0035再者，因为不改变排出装置的移动速度，因此不会对涂布时间造成影响。0036再者，因为可在不改变涂布长度和脉冲信号频率的情况下修正排出量，因此修正不会对工件上的涂布品质造成影响。附图说明0037图1为用于说明填底步骤的侧视图。0038图2为表示涂布图案例的说明图。00。

19、39图3为实施例涉及的装置的概略立体图。0040图4为实施例涉及的排出装置的主要部分剖视图。0041图5为说明向实施例涉及的排出装置所发送的脉冲信号的说明图。0042图6为表示实施例涉及的修正步骤的流程图。0043图7为说明实施例2涉及的计量部的说明图。0044图8为说明实施例3涉及的计量部的说明图。0045图9为说明实施例4涉及的计量部的说明图。说明书CN102066008ACN102066018A4/10页70046符号说明0047101芯片工件0048102基板0049103连接部0050104树脂液体材料0051141涂布区域0052142非涂布区域0053301设定表0054401涂。

20、布装置0055402XY驱动机构0056403重量计0057404搬送机构0058501排出装置0059502控制部0060503脉冲信号供应线0061504活塞0062505储存容器0063506喷嘴0064507压缩气体供应线0065601排出脉冲0066602暂停脉冲0067801摄影装置0068901激光位移计00691001填角0070S面积0071H高度0072W1、W2宽度具体实施方式0073本发明的最佳实施方式为经由1制成涂布图案、2设定该涂布图案中的初期参数排出脉冲数和暂停脉冲数、3设定随着时间经过等而变化的排出量的修正周期，而开始进行涂布作业。4在涂布作业的途中，通过由3所。

21、设定的修正周期计算出修正量，5判断是否需要修正排出量，根据需要修正排出量。下面，详述以上的各项步骤。00741涂布图案的制成0075考虑根据工件形状而定的涂布量或涂布长度等来制作涂布图案。此处，所谓“涂布量”是指涂布图案所需要的液体材料量，所谓“涂布长度”是指喷嘴与工件的相对移动量的总长。0076涂布图案由一次以上的排出脉冲601和0次以上的暂停脉冲602所构成。由排出脉冲601和暂停脉冲602构成的脉冲信号以既定频率进行发送。频率和射出数/秒原则上说明书CN102066008ACN102066018A5/10页8保持一致。频率优选是设为数十赫兹以上、更优选是设为数百赫兹。0077下面，参照图。

22、2，对沿作为方形工件的芯片101一边的线上进行涂布的图案制作进行说明。图2中，涂布区域141对应于排出脉冲601。涂布区域141的排出量通过设定排出脉冲601而控制，由此使涂布区域141的长度便会有伸缩。此外，通过设定暂停脉冲602，使非涂布区域142伸缩。0078另外，并不局限于沿芯片101一边，亦可沿二边、三边或整个周围。此外，工件并不局限于方形，亦可为圆形、多角形。0079涂布图案全长、涂布区域141和非涂布区域142的数量由期望的涂布图案所必要的液体材料5的重量或体积等决定。涂布区域141不限于线状，也有点阵状的情况，例如在填底步骤中，当芯片101较小的情况、或要提高成品率的情况下要减。

23、少因气泡卷入所造成不良的情况，而会有在边的中心附近以一点排出、或将喷嘴停止于一处而排出一定时间。00802初期参数的设定0081设定排出脉冲601的数目和暂停脉冲602的数目作为初期参数。在控制部中预先存储规定排出脉冲601的数目和暂停脉冲602的数目的组合的设定表301。0082表1所示为控制部所存储的设定表301的一例。表1中，设定例A表示在总脉冲数为100时的排出量的设定例，设定例B表示在总脉冲数为111时的排出量的设定例，设定例C表示在总脉冲数为125时的排出量的设定例。设定例A、B、C中，排出脉冲数相当于排出量，通过增减总脉冲数中的暂停脉冲数，从而可调整排出量。0083设定例A为规定。

24、在排出脉冲数为100时，针对1次排出脉冲以未设定暂停脉冲0次暂停脉冲的组合为基准使排出量变化的设定例。0084设定例B为规定在排出脉冲数为100时，针对9次排出脉冲以设定1次暂停脉冲11次暂停脉冲的组合为基准使排出量变化的设定例。0085设定例C为规定在排出脉冲数为100时，针对4次排出脉冲以设定1次暂停脉冲25次暂停脉冲的组合为基准使排出量变化的设定例。0086另外，表1中，表示将在一个步骤中所设定的暂停脉冲数设为一次的组合例，当然通过将一个步骤中所设定的暂停脉冲数增加为二次、三次，可以更细微的解析能力控制排出量。0087在增加暂停脉冲数时、或在后述排出量的修正中增减暂停脉冲数的情况下，优选。

25、以使暂停脉冲的时机成等间隔方式设定初期参数。0088另外，在填底步骤中，当将暂停脉冲数增加为二次、三次时，从防止气泡卷入的观点而言，减少对于暂停脉冲数的排出脉冲数而缩小间隙非涂布区域比使暂停脉冲数连续而增加间隙非涂布区域还好。0089表10090说明书CN102066008ACN102066018A6/10页90091在设定初期参数时，优选不是从未含暂停脉冲的组合即暂停脉冲数0的组合开始进行调整，而是从含有暂停脉冲的组合开始进行调整。换言之，在设定有一以上的暂停脉冲的参数中，可对应于必须增加排出量的情况和必须减少的情况的二者。另外，在后述的修正中，将初期参数设定时的排出量设为100来修正排出量。

26、。00923修正周期的设定0093设定作为修正排出量的周期的修正周期。作为修正周期，设定例如使用者输入的时间信息、芯片101或基板102的片数等。在设定规定时间的情况下，设定预计液体材料104的排出量变化从作业开始起超过容许范围的时间。在设定片数的情况下，便由处理一片芯片的时间或处理一片基板的时间搬入涂布搬出的时间和上述规定时间，求得并设定处理片数。0094在设定修正周期时，优选针对涂布所使用的液体材料，由预先的试验计算出涂布图案与适当重量和/或适当排出时间的关系，并将这些值反应在修正周期。虽也有因温度变化产生液体材料的粘度变化或因排出部阻塞以及水位差所造成的影响，但通过设定这些参数，便可全面。

27、地适用于排出量的变化。0095再者，作为液体材料的使用时间的极限值，也可预先存储根据制造厂商所规定的适用期POTLIFE而计算出的数值，置于修正周期中。0096在设定修正周期时，必须考虑因时间经过或温度变化所发生液体材料的粘度变化，但在下面以仅因时间经过所产生的粘度变化为前提来进行说明。0097另外，利用排出部的温度调整而控制液体材料粘度的公知技术，当然也可并用于本发明中。00984修正量的计算0099由所设定的修正周期，计算出为了对应液体材料粘度变化所引起排出量变化的修正量。0100作为修正量的计算方法有A测定排出一定时间时的重量，根据与适当重量的差计算修正量的方法；B测定直到达到适当重量为。

28、止所需要的排出时间，根据与之前排出时间的差，计算出修正量的方法。在本发明中也可以采用其中任一方法，下面根据A的方法，说明具体修正量的计算步骤。说明书CN102066008ACN102066018A7/10页100101首先，使喷嘴朝重量计上方移动，并在固定位置处排出液体材料104。对重量计的排出为在所计算出的适当排出时间期间连续实施。适当排出时间为使用含有排出脉冲601与暂停脉冲602的初期设定参数，根据由对适当涂布长度以适当涂布速度进行排出而获得的适当排出量计算出。0102接着，读取对重量计排出的液体材料104的重量G1。通过从该计测重量G1与适当重量G0计算出变化率RG1G0/G0100，。

29、从而可知该修正周期中的目前排出量VT。当变化率R为负时，因为适当排出时间中的排出量VT会少于适当重量，因此便从控制部所存储的设定表301中，选择经加权对应这些变化率R的排出量增加部分的设定，设定经修正后的排出脉冲601与暂停脉冲602的数目。相反，当变化率R为正时，因为适当排出时间中的排出量VT会多于适当重量，因此便从控制部所存储的设定表301中，选择经加权对应这些变化率R的排出量减少部分的设定，设定经修正后的排出脉冲601与暂停脉冲602的数目。01035排出量的修正0104在上述4中判断有必要修正排出量时，通过从控制部所存储的设定表301中，选择经加权对应变化率R的排出量增加或减少部分的设。

30、定，改变排出脉冲601与暂停脉冲602的数目设定，从而进行修正。0105此处，排出量的判断优选不是在重量差或变化率非为零的情况时经常实施修正，而是仅当所测得排出量计测值的差或变化率超过容许范围例如5时才施行修正。设定容许范围的修正优选方式，例如涉及本案申请人所提出申请的日本专利第3877038号有详细记载。即，设定判断是否执行修正的容许范围，仅当差值或变化率超过上述所容许范围的情况才修正涂布图案。0106如上所述，上述4及上述5的步骤为在由上述3所设定修正周期中、或通过基板种类大小或形状变化等情况时才实施，因此，尽管液体材料的经时粘度变化，也可始终实现最佳的涂布量。0107下面，利用实施例说明。

31、本发明详细内容，但本发明并不受该实施例任何限制。0108第一实施例0109涂布装置4010110本实施例的涂布装置401为例如填底步骤所使用的涂布装置，如图3所示，其具备有排出装置501、XY驱动机构402、作为计量部的重量计403、搬送机构404、及控制这些动作的控制部502图3中未图示。0111排出装置501为喷射式，具有用于将液体材料104排出的喷嘴506。排出装置501安装于XY驱动机构402上，可朝基板102上及重量计403上移动。0112XY驱动机构402可在基板102上方一边朝XY方向移动，一边可进行将液体材料104涂布成所希望图案的动作。0113在开始涂布时，首先，将作为涂布对。

32、象物的倒装片安装基板102利用搬送机构404搬送至排出装置501下方。0114在将基板102搬运至喷嘴506下方而将基板102定位后才开始利用排出装置501的涂布。喷嘴506的涂布动作轨迹即基本的涂布图案，为预先存储于控制部502内的存储器等之中。0115当涂布结束后，基板102便由搬送机构404搬出于涂布装置401外。接着，搬入下说明书CN102066008ACN102066018A8/10页11个基板102，并重复施行涂布作业。如此，搬入、涂布及搬出便成为一个步骤，直至对所希望片数基板的涂布结束为止前，均重复施行涂布作业。0116在上述循环的途中，在预设的修正周期的时机，修正排出量。即，利。

33、用液体材料104的粘度变化，修正发生变化的排出量。修正量的计算通过XY驱动机构402使喷嘴506移动至重量计403上方，由重量计403计测液体材料104的重量来进行。关于修正步骤的详细内容将于后述。0117排出装置5010118如图4所示，排出装置501具备有上下可移动自如地内设的活塞504、通过压缩气体供应线507而经调压的压缩气体加压的储存容器505、以及与储存容器505相连通的喷嘴506。0119储存容器505中所填充的液体材料104对应于从控制部502经由脉冲信号供应线503所发送的脉冲信号601、602，通过使活塞504上下动作，而从喷嘴506中以液滴状排出。从喷嘴506所排出的液体。

34、材料104朝定位在喷嘴506下方的基板102与重量计403等点状涂布。此处，储存容器505经从控制部502通过压缩气体供应线507供应的调压的压缩气体所加压。0120排出装置501对一次的脉冲信号601使活塞504进行一往复，从喷嘴506中排出一滴的液体材料104。即，一循环相当于一射出。0121脉冲信号601、602如图5所示提供，当脉冲信号成开通状态601时便使活塞上升而使喷嘴口开放，接着，当脉冲信号成关闭时便使活塞下降而使喷嘴口封闭。然后，活塞上升喷嘴口开放与活塞下降喷嘴口封闭为一循环，在一循环的动作下排出一滴液体材料。另一方面，当脉冲信号为关闭状态602时，活塞便不会产生动作，而使喷嘴。

35、口封闭一循环。0122另外，也可以调整一循环内的开通状态时间上升时间与关闭状态时间下降时间。0123当沿工件边缘施行涂布时，控制部502在开始涂布的同时，一边使喷嘴506移动，一边对排出装置501以预设频率发送脉冲信号601、602，而连续地排出液体材料104。沿工件边缘排出的液体材料104在工件101与基板102的间隙中通过毛细管现象填充。0124对排出装置501所发送的脉冲信号的频率设定，根据排出装置501的机械响应特性与液体材料104的特性来进行。最佳频率依排出量而异，大多使用例如约100200赫兹。0125若变更频率，则排出量等也会有改变，但排出量对频率变动的变化特性并非线性，根据条件。

36、也会有无法喷射的情况。所以，当在对同一涂布图案的涂布作业中修正排出量时，优选不要改变一旦设定的频率。即，本实施例的特征在于通过调整排出脉冲601和暂停脉冲602的比例而修正排出量，并非通过改变脉冲信号的频率而修正排出量。0126修正步骤0127图6所示为说明本实施例的修正步骤的流程图。0128首先，对包括排出脉冲601与暂停脉冲602的多个脉冲，施行从适当涂布长度与适当涂布速度所求得的经适当排出时间部分发送的排出步骤11。接着，计测所排出的液体材料104的重量G1步骤12。接着，将适当重量G0与计测重量G1相比较步骤13，由重说明书CN102066008ACN102066018A9/10页12。

37、量差是否有超过容许范围而判断是否需修正步骤14。0129若在步骤14中判断需要修正时，便从适当重量G0和计测重量G1计算出变化率RG1G0/G0100步骤15，判断变化率R的正负步骤16。0130若变化率R为负时，因为排出量较少于适当重量，因而从控制部中所存储的表中选择经加权对应该变化率的排出量增加部分的设定，再次设定排出脉冲601和暂停脉冲602的数值步骤17。0131若变化率R为正时，因为排出量多于适当重量，因而从控制部中所存储的表中选择经加权对应该变化率的排出量减少部分的设定，再次设定排出脉冲601和暂停脉冲602的数值步骤18。0132作为上述修正步骤的变化例，容许范围也可以并非以重量。

38、差而是以变化率设定来判断修正的有无。在此情况下，不施行步骤14，而是在步骤15和步骤16之间进行判断。0133根据上述本实施例的装置，通过预先存储由预先运算所规定的调整比率设定表，而可不用考虑液体材料的性质等下进行调整。又，通过在修正时不改变涂布长度，从而可将填角FILLET形状宽度等保持成安定状态。0134第二实施例0135在实施例1的涂布装置中，计量部由重量计403构成，并计测液体材料104的重量，但本实施例的涂布装置，为了计测液体材料104的量而使用不同方式的计量部。0136本实施例中，如图7所示，从排出装置501朝基板102等适当的面以一定时间排出液体材料104，而形成液体材料的面。将。

39、其利用CCD摄影机等摄影装置801从上方进行拍摄，并从影像计测液体材料的面积。根据该测得的面积、初期参数设定当初的排出量、以及上述一定时间中的排出量的理论值适当排出量，计算出变化率R，而计算出排出量的修正值。0137另外，上述摄影装置801可在排出装置501旁边一体设置，也可以独立于排出装置501而设置于XY驱动机构402。0138第三实施例0139本实施例的涂布装置在并非由面积计测一定时间中的排出量而是由体积进行计测的方面，不同于实施例2的涂布装置。即，如图8所示，本实施例的涂布装置，对在基板102等适当的面上经点状涂布的液体材料104的小滴高度，使用激光位移计901加以计测，并与使用前述摄。

40、影装置801所求得的面积组合，而计测液体材料的体积。就根据该测得体积、初期参数设定当初的排出量、以及上述一定时间中排出量的理论值适当排出量，计算出变化率R，并计算出排出量的修正值的方面，为与实施例2相同。此时，也可以将液体材料104的密度列入考虑而计算出重量，并将其视为计测值而施行修正。0140另外，上述激光位移计901可在排出装置501旁边一体设置，也可以独立于排出装置501而设置于XY驱动机构402。0141第四实施例0142本实施例的涂布装置在具备有摄影装置801的方面与实施例2及3的涂布装置一致，但就根据填角1001的宽度W1及/或W2计算修正量的方面则不同。即，本实施例的涂布装置，采。

41、用以在填底步骤的实际生产中，液体材料104从工件101所渗出量的填角1001宽度收敛于一定范围内为前提的修正手法。说明书CN102066008ACN102066018A10/10页130143如图9所示，填角1001的宽度W1及/或W2的计测，由用摄影装置801拍摄经涂布后的工件101，并从该影像中，将液体材料104从工件101中渗出的量作为填角1001方式而施行。从所测得的填角1001的影像计测宽度W1和/或W2，并计算该时点的排出量，再根据该测得的排出量和初期参数设定当初的排出量理论值，计算出变化率R，而计算出排出量的修正值。0144产业上的可利用性0145本发明可在将液体材料排出的各种装。

42、置中实施。本发明可在例如使阀体碰撞阀座，而使液体材料从喷嘴前端飞散排出的喷射式、使柱塞式柱塞进行移动，接着突然停止，而同样地从喷嘴前端飞散排出的柱塞喷射式、连续喷射方式或按需方式的喷墨式等装置中实施。0146再者，本发明在涂布规定涂布量的液体材料的各种涂布装置中均可实施。本发明可在例如液晶面板制造步骤中的密封涂布装置和液晶滴下装置、或对印刷电路基板的焊锡膏涂布装置等中实施。说明书CN102066008ACN102066018A1/6页14图1图2说明书附图CN102066008ACN102066018A2/6页15图3说明书附图CN102066008ACN102066018A3/6页16图4图5说明书附图CN102066008ACN102066018A4/6页17图6说明书附图CN102066008ACN102066018A5/6页18图7图8说明书附图CN102066008ACN102066018A6/6页19图9说明书附图CN102066008A。