液滴涂敷装置、 液滴涂敷方法、 液晶显示面板的制造装置及 液晶显示面板的制造方法 技术领域 本发明涉及液滴涂敷装置、 液滴涂敷方法、 液晶显示面板的制造装置以及液晶显 示面板的制造方法， 特别是涉及向涂敷对象物排出液滴并进行涂敷的液滴涂敷装置和液滴 涂敷方法、 制造液晶显示面板的液晶显示面板的制造装置和液晶显示面板的制造方法。
背景技术 在制造液晶显示面板等显示装置的情况等之下， 在向作为涂敷对象物的基板上形 成例如取向膜等的涂敷膜时使用液滴涂敷装置 ( 例如， 参照专利文献 1)。该液滴涂敷装置 具有从多个排出孔 ( 喷嘴 ) 分别向基板以液滴方式排出 ( 喷射 ) 涂敷液的涂敷头。液滴涂 敷装置在使平台上的基板与涂敷头相对移动的同时， 利用该涂敷头向基板的涂敷面上依次 喷涂多个液滴， 从而在基板的涂敷面上形成取向膜等的涂敷膜。
在液晶显示面板的制造工序中， 利用液滴涂敷装置在要粘合的两张基板的各自的 显示区域上形成取向膜。然后， 在这些基板之中任意一个基板上以包围显示区域的方式涂 敷密封剂， 在该已涂敷的密封剂的包围区域内滴落液晶。 最后， 在真空室等内的真空环境中 对滴落后的基板与另一个基板进行对位之后， 将滴落后的基板与另一个基板加压而粘合， 从而生成液晶显示面板。
专利文献 1 ： 特开平 9-105937 号公报
然而， 在上述的制造工序中， 由于对粘合的两张基板向相同的纵向依次涂敷各液 滴， 因此在由两张基板粘合的液晶显示面板中有条状 ( 条纹状 ) 的显示斑 ( 肉眼可见斑 ) 变得明显的趋势， 因而降低了液晶显示面板的质量。
发明内容 本发明是为解决上述课题而做出的， 其目的在于， 提供能够防止由条状的显示斑 引起的液晶显示面板的质量降低的液滴涂敷装置、 液滴涂敷方法、 液晶显示面板的制造装 置及液晶显示面板的制造方法。
本发明的实施方式的第一特征在于， 在液滴涂敷装置中， 具有 ： 涂敷头， 将涂敷液 作为多个液滴向涂敷对象物排出 ； 移动机构， 使涂敷对象物与涂敷头相对移动 ； 以及旋转 机构， 在与排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使涂敷对象物旋转。
本发明的实施方式的第二特征在于， 在液滴涂敷方法中， 具有 ： 旋转工序， 在与利 用涂敷头排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使涂敷对象物旋转， 该涂敷头将涂敷液作 为多个液滴向涂敷对象物排出 ； 以及涂敷工序， 在使涂敷对象物与涂敷头相对移动的同时， 利用涂敷头对涂敷对象物涂敷涂敷液。
本发明的实施方式的第三特征在于， 在液晶显示面板的制造装置中， 具有液滴涂 敷装置和粘合装置， 该液滴涂敷装置具有 ： 将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂 敷头 ； 使涂敷对象物与涂敷头相对移动的移动机构 ； 以及在与排出多个液滴的排出方向交
叉的平面内使涂敷对象物旋转的旋转机构， 上述粘合装置根据粘合涂敷有涂敷液的作为涂 敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定， 粘合第一涂敷对象物和第二 涂敷对象物。
本发明的实施方式的第四特征在于， 在液晶显示面板的制造方法中， 具有 ： 旋转工 序， 在与利用涂敷头排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使涂敷对象物旋转， 该涂敷头 将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出 ； 涂敷工序， 在使涂敷对象物与涂敷头相对移动 的同时， 利用涂敷头对涂敷对象物涂敷涂敷液 ； 以及粘合工序， 根据粘合涂敷有涂敷液的作 为涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定， 粘合第一涂敷对象物和 第二涂敷对象物。
本发明的实施方式的第五特征在于， 在液滴涂敷装置中， 具有 ： 将涂敷液作为多个 液滴向涂敷对象物排出的涂敷头 ； 以及使涂敷对象物与涂敷头向沿着涂敷对象物的表面的 方向相对移动的移动机构， 移动机构使涂敷对象物与涂敷头相对移动， 从而在根据粘合涂 敷有涂敷液的作为涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定， 粘合第 一涂敷对象物和第二涂敷对象物时， 使对第一涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向与 对第二涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向交叉。 本发明的实施方式的第六特征在于， 在液滴涂敷方法中， 具有涂敷工序， 该涂敷工 序在使将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂敷头与涂敷对象物相对移动的同时， 利用涂敷头对涂敷对象物涂敷涂敷液， 在涂敷工序中， 使涂敷对象物与涂敷头相对移动， 从 而在根据粘合涂敷有涂敷液的作为涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的 粘合规定， 粘合第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时， 使对第一涂敷对象物依次喷涂多个 液滴的涂敷方向与对第二涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向交叉。
本发明的实施方式的第七特征在于， 在液晶显示面板的制造装置中， 具有液滴涂 敷装置和粘合装置， 液滴涂敷装置具有 ： 将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂敷 头； 以及使涂敷对象物与涂敷头向沿着涂敷对象物的表面的方向相对移动的移动机构， 粘 合装置根据粘合涂敷有涂敷液的作为涂敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时 的粘合规定， 粘合第一涂敷对象物和第二涂敷对象物， 移动机构使涂敷对象物与涂敷头相 对移动， 从而在根据粘合规定粘合第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时， 使对第一涂敷对 象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向与对第二涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向交 叉。
本发明的实施方式的第八特征在于， 在液晶显示面板的制造方法中， 具有 ： 涂敷 工序， 在使将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物排出的涂敷头与涂敷对象物相对移动的同 时， 利用涂敷头对涂敷对象物涂敷涂敷液 ； 以及粘合工序， 根据粘合涂敷有涂敷液的作为涂 敷对象物的第一涂敷对象物和第二涂敷对象物时的粘合规定， 粘合第一涂敷对象物和第二 涂敷对象物， 在涂敷工序中， 使涂敷对象物与涂敷头相对移动， 从而在根据粘合规定粘合第 一涂敷对象物和第二涂敷对象物时， 使对第一涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向与 对第二涂敷对象物依次喷涂多个液滴的涂敷方向交叉。
附图说明
图 1 是表示本发明的一个实施方式的液晶显示面板的制造装置的概略结构的框图。 图 2 是表示图 1 所示的液晶显示面板的制造装置所具有的液滴涂敷装置的概略结 构的外观立体图。
图 3 是概略地表示图 2 所示的液滴涂敷装置在进行涂敷动作时的各涂敷头与基板 的位置关系的俯视图。
图 4 是表示图 1 所示的液晶显示面板的制造装置所具有的研磨装置的概略结构的 示意图。
图 5 是表示图 1 所示的液晶显示面板的制造装置所具有的密封剂涂敷装置的概略 结构的示意图。
图 6 是表示图 1 所示的液晶显示面板的制造装置所具有的液晶滴落装置的概略结 构的示意图。
图 7 是表示图 1 所示的液晶显示面板的制造装置所具有的粘合装置的概略结构的 示意图。
图 8 是表示图 1 所示的液晶显示面板的制造装置进行制造动作的流程的流程图。
图 9 是用于说明根据图 8 所示的液晶显示面板的制造装置进行的制造动作来进行 的液滴涂敷和粘合的说明图。
图 10 是概略地表示作为图 2 所示的液滴涂敷装置的变形例的液滴涂敷装置在进 行涂敷动作时的各涂敷头与基板的位置关系的俯视图。
具体实施方式
参照附图对本发明的一个实施方式进行说明。
如图 1 所示， 液晶显示面板的制造装置 1 具有 ： 对作为涂敷对象物的第一基板 K1 和第二基板 K2( 以下， 简称为基板 K1、 K2) 涂敷液滴的液滴涂敷装置 2 ； 对已涂敷液滴的基 板 K1、 K2 进行烘培处理的烘培装置 3 ； 对已进行烘培处理的基板 K1、 基板 K2 进行研磨处理 的研磨装置 4 ； 对已进行研磨处理的基板 K1 涂敷密封剂的密封剂涂敷装置 5 ； 对已涂敷密 封剂的基板 K1 滴落液晶的液晶滴落装置 6 ； 对已滴落液晶的基板 K1 与已进行研磨处理的 基板 K2 进行粘合的粘合装置 7 ； 对已粘合的基板 K1 和基板 K2 即液晶显示面板 P 进行密封 剂固化的密封剂固化装置 8 ； 以及控制各部分的控制装置 9。
如图 2 所示， 液滴涂敷装置 2 具有 ： 以水平状态 ( 在图 2 中沿 X 轴方向和与其正交 的 Y 轴方向的状态 ) 放置基板 K1、 K2 的平台 2a ； 使该平台 2a 向 θ 方向 ( 在图 2 中， 在沿 X 轴方向和 Y 轴方向的平面内的旋转方向 ) 旋转的旋转机构 2b ； 通过该旋转机构 2b 使平台 2a 在 Y 轴方向上移动的 Y 轴移动机构 2c ； 将涂敷液作为多个液滴向平台 2a 上的基板 K1、 K2 分别排出的多个涂敷头 2d ； 支撑这些涂敷头 2d 的支撑部件 2e ； 控制各部分的控制部 2f ； 以及支撑 Y 轴移动机构 2c 和支撑部件 2e 的架台 2g。
平台 2a 放置在旋转机构 2b 上， 并设置为能够以其中心为旋转中心向 θ 方向旋 转。该平台 2a 利用旋转机构 2b 向 θ 方向转动。此外， 虽然平台 2a 通过自重放置了基板 K1、 K2， 但并不局限于此， 例如， 为了保持该基板 K1、 K2， 也可以设置静电卡盘或吸附卡盘等 机构， 此外， 也可以设置支撑基板 K1、 K2 的可出没的多个支撑销等。
旋转机构 2b 放置在 Y 轴移动机构 2c 上， 并设置为能够在 Y 轴方向上移动。该旋转机构 2b 与平台 2a 一起利用 Y 轴移动机构 2c 在 Y 轴方向上移动。旋转机构 2b 与控制部 2f 电连接， 其驱动由控制部 2f 控制。 此外， 作为旋转机构 2b 使用例如以马达为驱动源的旋 转机构等。
Y 轴移动机构 2c 放置在架台 2g 上， 是在 Y 轴方向上引导旋转机构 2b 使其与平台 2a 一起移动的移动机构。该 Y 轴移动机构 2c 与控制部 2f 电连接， 其驱动由控制部 2f 控 制。此外， 作为 Y 轴移动机构 2c 使用例如以线性电动机为驱动源的线性电动机移动机构或 以马达为驱动源的进给丝杠移动机构等。
各涂敷头 2d 在支撑部件 2e 上配设为例如直线状或者锯齿状。 这些涂敷头 2d 分别 内置有与排出液滴的多个排出孔分别连通的多个液室以及改变这些液室的容积的多个压 电元件 ( 均未图示 )。各排出孔以规定的间距 ( 间隔 ) 排列成直线状并形成于涂敷头 2d 的 排出面上。例如， 排出孔的数量为数十个至数百个左右， 排出孔的直径为数 μm 至数十 μm 左右， 另外， 排出孔的间距为数十 μm 至数百 μm 左右。各涂敷头 2d 分别与控制部 2f 电连 接， 其驱动由控制部 2f 控制。
涂敷头 2d 按照对各压电元件施加的驱动电压， 利用各压电元件使各液室的容积 发生变化， 从而将各液室内的涂敷液从分别与这些液室连通的排出孔作为液滴排出。用于 形成取向膜的涂敷液从存积该涂敷液的液体箱经由管等由液体箱提供至各液室内。由此， 各液室由涂敷液充满。 在该状态下， 若驱动压电元件， 则与已驱动的压电元件对应的液室内 的涂敷液从与该液室连通的排出孔被推出， 并作为液滴而排出。 此外， 作为用于形成取向膜 的涂敷液使用例如聚酰亚胺 (PI) 溶液。 支撑部件 2e 是支撑各涂敷头 2d 的门型的支柱。该支撑部件 2e 定位成使其延伸 部沿着 X 轴方向， 其脚部固定在架台 2g 的上表面而设置在架台 2g 上。此外， 各涂敷头 2d 设置在延伸部的前表面上 ( 图 2 中的近前侧的面 )。
控制部 2f 具有 ： 集中地控制各部分的微机 ； 以及存储与涂敷相关的涂敷信息和各 种程序等的存储部 ( 均未图示 )。该控制部 2f 设置在架台 2g 内。涂敷信息包括与点图形 等规定的涂敷图形、 涂敷头 2d 的排出频率以及基板 K1、 K2 的移动速度相关的信息等。在进 行涂敷动作的情况下， 这种控制部 2f 根据涂敷信息控制旋转机构 2b、 Y 轴移动机构 2c 以及 各涂敷头 2d。
在涂敷动作中， 控制部 2f 控制旋转机构 2b， 如图 3 所示， 在与从各涂敷头 2d 排出 多个液滴的排出方向交叉的平面内， 例如在与排出方向正交的平面内 ( 在图 3 中， 沿 X 轴方 向和 Y 轴方向的平面内 )， 使平台 2a 上的基板 K1、 K2 相对于各涂敷头 2d 与基板 K1、 K2 的 相对移动方向 ( 图 3 中的箭头 ： 主扫描方向 ) 倾斜。即， 控制部 2f 利用旋转机构 2b 向 θ 方向使平台 2a 上的基板 K1、 K2 仅旋转规定角度。在该状态下， 控制部 2f 控制 Y 轴移动机 构 2c 和各涂敷头 2d， 在利用 Y 轴移动机构 2c 使各涂敷头 2d 与平台 2a 上的基板 K1、 K2 相 对移动的同时， 利用各涂敷头 2d 向平台 2a 上的基板 K1、 K2 涂敷各液滴， 从而在基板 K1、 K2 上形成多个取向膜 M。这些取向膜 M 分别形成于以多面操作为目的而设在基板 K1、 K2 上的 多个显示区域上。
返回图 1， 烘培装置 3 具有加热板或烘培炉等。该烘培装置 3 对涂敷有各取向膜 M 的基板 K1、 K2 进行烘培处理， 使该基板 K1、 K2 上的各取向膜 M 干燥。
如图 4 所示， 研磨装置 4 具有 ： 放置基板 K1、 K2 的平台 4a ； 以及利用研磨布 4b 对
该平台 4a 上的基板 K1、 K2 的各取向膜 M 进行研磨的研磨辊 4c。平台 4a 和研磨辊 4c 形成 为能够在基板 K1、 K2 的平面方向上相对移动。研磨布 4b 卷绕在研磨辊 4c 上进行设置。该 研磨装置 4 使平台 4a 与研磨辊 4c 相对移动， 并对相对移动的平台 4a 上的基板 K1、 K2 进行 研磨处理。由此， 在基板 K1、 K2 的各取向膜 M 的表面上， 形成多个向规定方向延伸的微少的 伤痕 ( 槽状的伤痕 )。其结果， 基板 K1、 K2 的各取向膜 M 能够在多个伤痕的延伸方向上使 液晶分子取向。
如图 5 所示， 密封剂涂敷装置 5 具有 ： 放置已进行研磨处理的基板 K1 的平台 5a ； 以及在该平台 5a 上的基板 K1 的各取向膜 M 的周围涂敷密封剂 B 的密封剂涂敷头 5b。平台 5a 和密封剂涂敷头 5b 形成为能够在基板 K1 的平面方向上相对移动。密封剂涂敷头 5b 具 有用于排出密封剂 B 的喷嘴 N1， 对相对移动的平台 5a 上的基板 K1 涂敷密封剂 B。该密封 剂涂敷装置 5 根据密封剂的涂敷图案使平台 5a 与密封剂涂敷头 5b 相对移动， 对相对移动 的平台 5a 上的基板 K1 利用密封剂涂敷头 5b 涂敷密封剂 B。此时， 密封剂涂敷头 5b 在基板 K1 的各取向膜 M 的周围， 即以包围各显示区域的方式涂敷密封剂 B。由此， 在基板 K1 的各 取向膜 M 的周围形成包围显示区域的矩形的密封剂 B 的图案。
如图 6 所示， 液晶滴落装置 6 具有 ： 放置已涂敷密封剂 B 的基板 K1 的平台 6a ； 以 及在该平台 6a 上的基板 K1 的各显示区域 ( 被密封剂 B 包围的各区域 ) 上滴落液晶的液晶 滴落头 6b。平台 6a 和液晶滴落头 6b 形成为能够在基板 K1 的平面方向上相对移动。液晶 滴落头 6b 具有用于滴落液晶的喷嘴 N2， 对平台 6a 上的基板 K1 滴落液晶。该液晶滴落装 置 6 使平台 6a 与液晶滴落头 6b 相对移动， 从而使液晶滴落头 6b 定位于规定的滴落位置， 并利用液晶滴落头 6b 对平台 6a 上的基板 K1 滴落液晶。此时， 液晶滴落头 6b 按照必要的 液晶量， 在基板 K1 的各显示区域上， 即被密封剂 B 包围的各区域上滴落液晶数次。由此， 在 基板 K1 的各显示区域上滴落必要量的液晶。
如图 7 所示， 粘合装置 7 具有 ： 作为真空容器的真空室 7a ； 设在该真空室 7a 内并 以水平状态 ( 在图 7 中， 沿 X 轴方向和与其正交的 Y 轴方向的状态 ) 保持基板 K1 的作为第 一基板保持部的第一平台 7b ； 设在真空室 7a 内并以水平状态保持基板 K2 的作为第二基板 保持部的第二平台 7c ； 使第一平台 7b 向 XYθ 方向移动的第一平台移动机构 7d ； 使第二平 台 7c 相对于第一平台 7b 向接近分离方向即 Z 轴方向移动的第二平台移动机构 7e ； 以及对 真空室 7a 内进行减压的减压部 7f。
真空室 7a 具有以可开闭的方式形成的开闭门 D。从该开闭门 D 将基板 K1 和基板 K2 搬入真空室 7a 内， 并分别提供给第一平台 7b 和第二平台 7c。在该开闭门 D 被关闭的 状态下， 真空室 7a 的内部利用减压部 7f 进行减压而成为真空状态 ( 压力低于大气压的状 态 )。
在该真空室 7a 的下方设置有用于基板对位的多个摄像部 C1、 C2。 作为这些摄像部 C1、 C2 使用例如 CCD 摄像机等。此外， 在真空室 7a 上设置有具有透光性的多个透光部 T1、 T2， 在第一平台 7b 上设置有与这些透光部 T1、 T2 分别对置的多个贯通孔 A1、 A2。各透光部 T1、 T2 以及各贯通孔 A1、 A2 定位并设置如下， 使各摄像部 C1、 C2 能够拍摄分别附加在基板 K1 的端部以及基板 K2 的端部的多个对准标记 ( 对位用标记 )。
第一平台 7b 是利用吸引吸附或静电吸附等的保持机构保持基板 K1 的下平台。基 板 K1 放置在第一平台 7b 的保持面上， 并由保持机构保持。此外， 在基板 K1 的粘合面 ( 与第二平台 7c 对置的面 ) 上涂敷有各取向膜 M 和框状的密封剂 B， 而且， 还滴有液晶。
第二平台 7c 是利用吸引吸附或静电吸附等的保持机构保持与基板 K1 对置的基板 K2 的上平台。基板 K2 放置在第二平台 7c 的保持面上， 并由保持机构保持。此外， 在基板 K2 的粘合面 ( 与第一平台 7b 对置的面 ) 上涂敷有各取向膜 M。
第一平台移动机构 7d 是使第一平台 7b 向 X 轴方向、 Y 轴方向以及 θ 方向 ( 在图 7 中， 在沿 X 轴方向和 Y 轴方向的平面内的旋转方向 ) 移动的机构。 该第一平台移动机构 7d 使第一平台 7b 向 XYθ 方向移动， 从而使分离状态的基板 K1 和基板 K2 进行对位。此外， 通 过各摄像部 C1、 C2 拍摄位于基板 K1 的端部的对准标记和位于基板 K2 的端部的对准标记， 并根据这些图像来进行对位。
第二平台移动机构 7e 是使第二平台 7c 在 Z 轴方向上移动的机构。在真空室 7a 处于真空状态时， 该第二平台移动机构 7e 使第二平台 7c 在 Z 轴方向上移动， 从而使第一平 台 7b 与第二平台 7c 接近， 并通过密封剂 B 粘合基板 K1 和基板 K2。
减压部 7f 是通过用于排出真空室 7a 内的环境气体 ( 气体 ) 的作为排气配管的排 气管 H 与真空室 7a 连接。作为该减压部 7f 使用了例如真空泵等。减压部 7f 经由排气管 H 吸取真空室 7a 内的环境气体并进行排气， 从而使真空室 7a 内进行减压而变为真空状态。 返回图 1， 密封剂固化装置 8 是对已进行粘合的基板 K1 和基板 K2 即液晶显示面板 P 进行紫外线照射的紫外线照射装置。该紫外线照射装置用于将紫外线固化型的密封剂作 为密封剂 B 来使用的情况， 而在使用其它的密封剂的情况下使用其它的密封剂固化装置。 利用该密封剂固化装置 8 对液晶显示面板 P 照射紫外线， 从而使液晶显示面板 P 中的密封 剂 B 固化。
控制装置 9 具有 ： 集中地控制各部分的微机 ； 以及存储与液晶显示面板制造相关 的制造信息和各种程序等的存储部 ( 均未图示 )。 该控制装置 9 根据制造信息和各种程序， 控制液滴涂敷装置 2、 烘焙装置 3、 研磨装置 4、 密封剂涂敷装置 5、 液晶滴落装置 6、 粘合装 置 7 以及密封剂固化装置 8 等。此外， 利用机器人或传送带等的搬运装置 ( 未图示 ) 进行 这些装置之间的基板 K1、 K2 的搬运。该搬运装置也是由控制装置 9 控制。
接下来， 对上述的液晶显示面板 P 的制造装置 1 所进行的制造动作进行说明。此 外， 制造装置 1 的控制装置 9 根据各种程序执行制造处理。
如图 8 所示， 控制装置 9 利用液滴涂敷装置 2 对基板 K1、 K2 进行液滴涂敷 ( 步骤 S1)。例如， 控制装置 9 对液滴涂敷装置 2 发送执行液滴涂敷动作的命令信号。液滴涂敷装 置 2 的控制部 2f 根据由控制装置 9 进行的控制 ( 接收命令信号 ) 执行液滴涂敷处理。
若在平台 2a 上放置基板 K1、 K2， 则液滴涂敷装置 2 的控制部根据涂敷信息来控制 旋转机构 2b， 使平台 2a 上的基板 K1、 K2 向 θ 方向旋转规定角度并停止 ( 参照图 3)。接下 来， 控制部 2f 根据涂敷信息来控制 Y 轴移动机构 2c， 使平台 2a 上的基板 K1、 K2 移动至规 定的涂敷开始位置。然后， 控制部 2f 根据涂敷信息来控制 Y 轴移动机构 2c 以及各涂敷头 2d， 从而在使平台 2a 在 Y 轴方向上移动的同时， 使各涂敷头 2d 将涂敷液作为多个液滴而排 出， 并对平台 2a 上的基板 K1、 K2 的涂敷面 ( 涂敷面上的各显示区域 ) 涂敷各液滴。此时， 各涂敷头 2d 向在 Y 轴方向上移动的平台 2a 上的基板 K1、 K2 的涂敷面排出液滴， 并将在 X 轴方向上排列的点列在 Y 轴方向上依次涂敷。由此， 在基板 K1、 K2 的涂敷面上形成多个取 向膜 M。此外， 由于各涂敷头 2d 是在正交于基板 K1、 K2 的移动方向的 X 轴方向上以包含基
板 K1、 K2 的整个宽度的方式并列设置， 因此能够在基板 K1、 K2 的涂敷面的各显示区域上一 次形成各取向膜 M。
这样， 如图 9 所示， 在基板 K1、 K2 上形成各取向膜 M。由于基板 K1、 K2 相对于平台 2a 上的基板 K1、 K2 的移动方向向 θ 方向倾斜 ( 参照图 3)， 因此各取向膜 M 的涂敷方向变 得倾斜 ( 参照图 9 中的斜线 )。
在此， 基板 K1 是在每个显示区域具有电路的阵列基板， 该电路包括例如多个 TFT( 薄膜晶体管 ) 和多个像素电极等。 此外， 基板 K2 是在每个显示区域具有例如对置电极 和滤色器等的对置基板。由于基板 K1 上的各 TFT 和各像素电极与基板 K2 上的滤色器的各 着色层以及黑矩阵的位置关系已由设计来决定， 因此基板 K1 与基板 K2 的组合也是预先决 定的。由此， 根据规定该组合的粘合规定进行基板 K1 与基板 K2 的粘合。即， 粘合规定是粘 合涂敷后的基板 K1 和基板 K2 的情况的组合规定， 规定了两张基板 K1、 K2 以何种朝向， 并使 哪个面对置并粘合的内容。
例如， 在图 9 中， 涂敷后的基板 K2 被翻过来， 并使该基板 K2 上的各取向膜 M 与基 板 K1 上的各取向膜 M 对置后与基板 K1 粘合。即， 基板 K1 和基板 K2 如下进行粘合， 使基板 K1 的左上的取向膜 M 与基板 K2 的右上的取向膜 M 对置， 基板 K1 的中央之上的取向膜 M 与 基板 K2 的中央之上的取向膜 M 对置， 基板 K1 的右上的取向膜 M 与基板 K2 的左上的取向膜 M 对置， 基板 K1 的左下的取向膜 M 与基板 K2 的右下的取向膜 M 对置， 基板 K1 的中央之下的 取向膜 M 与基板 K2 的中央之下的取向膜 M 对置， 基板 K1 的右下的取向膜 M 与基板 K2 的左 下的取向膜 M 对置。这种粘合根据粘合规定进行。 由此， 旋转机构 2b 进行使基板 K1、 K2 相对于各涂敷头 2d 与基板 K1、 K2 的相对移 动方向 ( 主扫描方向 ) 倾斜的旋转动作， 从而在根据规定基板 K1 与基板 K2 的组合的粘合 规定， 粘合涂敷后的基板 K1 和基板 K2 的情况下， 使对基板 K1 依次喷涂各液滴的涂敷方向 ( 取向膜 M 的涂敷方向 ) 与对基板 K2 依次喷涂各液滴的涂敷方向 ( 取向膜 M 的涂敷方向 ) 交叉。此外， 旋转机构 2b 并不一定使平台 2a 上的基板 K1、 K2 旋转一周以上， 而是构成为以 至少能够使基板 K1 与基板 K2 的涂敷方向交叉的程度调整平台 2a 上的基板 K1、 K2 即可。
接下来， 控制装置 9 利用烘培装置 3 对形成取向膜后的基板 K1、 K2 进行烘培处理 ( 步骤 S2)。烘培装置 3 根据由控制装置 9 进行的控制， 对形成有各取向膜 M 的基板 K1、 K2 进行烘培处理。由此， 使基板 K1、 K2 上的各取向膜 M 干燥。
而且， 控制装置 9 利用研磨装置 4 对烘培处理后的基板 K1、 K2 进行研磨处理 ( 步 骤 S3)。若在平台 4a 上放置基板 K1、 K2， 则研磨装置 4 根据由控制装置 9 进行的控制， 使平 台 4a 与研磨辊 4c 相对移动， 并对相对移动的平台 4a 上的基板 K1、 K2 进行研磨处理 ( 参照 图 4)。由此， 在基板 K1、 K2 的各取向膜 M 的表面上， 形成多个向规定方向延伸的微小的伤 痕 ( 槽状的伤痕 )。
然后， 控制装置 9 利用密封剂涂敷装置 5 对研磨处理后的基板 K1 进行密封剂涂敷 ( 步骤 S4)。若在平台 5a 上放置基板 K1， 则该密封剂涂敷装置 5 根据由控制装置 9 进行的 控制， 根据密封剂 B 的涂敷图案使平台 5a 与密封剂涂敷头 5b 相对移动， 并对相对移动的平 台 5a 上的基板 K1 利用密封剂涂敷头 5b 涂敷密封剂 B( 参照图 5)。此时， 密封剂涂敷装置 5 在基板 K1 的各取向膜 M 的周围， 即以包围规定的各显示区域的方式涂敷密封剂 B。由此， 在基板 K1 的各取向膜 M 的周围， 以包围显示区域的方式涂敷密封剂 B。
而且， 控制装置 9 利用液晶滴落装置 6 对密封剂涂敷后的基板 K1 进行液晶滴落 ( 步骤 S5)。若在平台 6a 上放置基板 K1， 则该液晶滴落装置 6 根据由控制装置 9 进行的控 制， 使平台 6a 与液晶滴落头 6b 相对移动而将液晶滴落头 6b 定位于规定的滴落位置， 并利 用液晶滴落头 6b 对平台 6a 上的基板 K1 滴落液晶。此时， 液晶滴落装置 6 按照必要的液晶 量， 在基板 K1 的各显示区域上、 即由密封剂 B 包围的各区域上滴落液晶数次。由此， 在由密 封剂 B 包围的各区域内滴落必要量的液晶。
然后， 控制装置 9 利用粘合装置 7 进行液晶滴落后的基板 K1 与研磨处理后的基板 K2 的粘合 ( 步骤 S6)。若基板 K1 和基板 K2 分别保持在第一平台 7b 和第二平台 7c 上， 则 粘合装置 7 根据由控制装置 9 进行的控制， 利用减压部 7f 经由排气管 H 吸引真空室 7a 内 的环境气体并且排气， 从而使真空室 7a 内进行减压而变为真空状态 ( 参照图 7)。在该状 态下， 粘合装置 7 使第二平台 7c 在 Z 轴方向上移动， 从而使第一平台 7b 与第二平台 7c 接 近， 并通过密封剂 B 粘合基板 K1 和基板 K2， 从而形成液晶显示面板 P。此外， 粘合前的基板 K1 和基板 K2 从真空室 7a 的开闭门 D 被分别提供给第一平台 7b 和第二平台 7c， 粘合后的 液晶显示面板 P 从真空室 7a 的开闭门 D 取出。
在该粘合工序中， 如上所述， 如图 9 所示的基板 K2 被翻过来， 并且使基板 K2 上的 各取向膜 M 与基板 K1 上的各取向膜 M 对置并与基板 K1 粘合。这种粘合根据粘合规定来进 行。 由此， 如图 9 所示， 对基板 K1 的涂敷方向与对基板 K2 的涂敷方向交叉成菱形的格子状。 最后， 控制装置 9 利用密封剂固化装置 8 进行在液晶显示面板 P 中的密封剂固化 ( 步骤 S7)。密封剂固化装置 8 根据由控制装置 9 进行的控制， 对粘合后的基板 K1 和基板 K2 即液晶显示面板 P 进行紫外线照射。 由此， 紫外线照射在液晶显示面板 P 上， 从而液晶显 示面板 P 中的密封剂 B 固化。
在这种制造动作中， 在涂敷工序中， 使基板 K1、 K2 相对于基板 K1、 K2 与各涂敷头 2d 的相对移动方向 ( 主扫描方向 ) 倾斜， 从而在根据基板 K1 和基板 K2 的粘合规定粘合涂 敷后的基板 K1 和基板 K2 的情况下， 使基板 K1 的涂敷方向与基板 K2 的涂敷方向交叉。即， 平台 2a 利用旋转机构 2b 向 θ 方向仅倾斜规定的角度， 平台 2a 上的基板 K1、 K2 向 θ 方向 旋转后停止。在该状态下， 平台 2a 利用 Y 轴移动机构 2c 在 Y 轴方向上移动， 同时利用各涂 敷头 2d 对平台 2a 上的基板 K1、 K2 依次涂敷各液滴。
然后， 在粘合工序中， 如图 9 所示， 涂敷后的基板 K2 被翻过来， 并且使基板 K2 上的 各取向膜 M 与基板 K1 上的各取向膜 M 对置并与基板 K1 粘合。 该粘合根据粘合规定来进行。 由此， 对基板 K1 的涂敷方向与对基板 K2 的涂敷方向交叉成菱形的格子状。从而， 即使在各 基板 K1、 K2 的取向膜 M 上产生沿涂敷方向的条状的涂敷斑， 也防止了这些条状的涂敷斑因 两张基板 K1、 K2 的粘合而重叠增强并作为显示斑显现的情况， 与以往的条状 ( 纵条纹状 ) 的显示斑相比变得不明显， 从而能够防止液晶显示面板 P 的质量降低。
如以上说明， 根据本发明的实施方式， 通过设置在与排出各液滴的排出方向交叉 的平面内旋转基板 K1、 K2 的旋转机构 2b， 在粘合涂敷后的基板 K1 和基板 K2 的情况下， 能 够以使对基板 K1 的涂敷方向与对基板 K2 的涂敷方向交叉的方式对基板 K1、 K2 依次涂敷各 液滴。由此， 在粘合形成有各取向膜 M 的基板 K1 和基板 K2 时， 对基板 K1 的涂敷方向与对 基板 K2 的涂敷方向交叉， 所以即使在各基板 K1、 K2 的取向膜 M 上产生沿涂敷方向的条状的 涂敷斑， 也防止了这些条状的涂敷斑因两张基板 K1、 K2 的粘合而重叠增强并作为显示斑显
现的情况， 与以往的条状 ( 纵条纹状 ) 的显示斑相比变得不明显。其结果， 能够防止由条状 的显示斑而引起的液晶显示面板 P 的质量降低。特别是， 旋转机构 2b 使基板 K1、 K2 旋转， 从而在根据粘合涂敷后的基板 K1 和基板 K2 时的粘合规定粘合涂敷后的基板 K1 和基板 K2 时， 使对基板 K1 的涂敷方向与对基板 K2 的涂敷方向交叉。
此外， 通过旋转机构 2b 在与排出各液滴的排出方向交叉的平面内使基板 K1、 K2 相 对于基板 K1、 K2 与各涂敷头 2d 的相对移动方向倾斜， 从而各取向膜 M 的涂敷方向变得倾 斜， 在粘合形成有各取向膜 M 的基板 K1 和基板 K2 时， 对基板 K1 的涂敷方向与对基板 K2 的 涂敷方向交叉成菱形或正方形等的格子状， 所以即使在取向膜 M 上产生沿涂敷方向的条状 的涂敷斑， 也能够防止这些涂敷斑因两张基板 K1、 K2 的粘合而增强并作为显示斑显现的情 况， 从而使液晶显示面板 P 的显示斑不明显。
其它实施方式
此外， 本发明并不局限于上述实施方式， 能够在不脱离其要点的范围内进行各种 变更。
例如， 在本发明的实施方式中， 虽然是对基板 K1 和基板 K2 以倾斜的方式依次涂敷 液滴， 并将这些基板 K1 和基板 K2 粘合， 但并不局限于此。例如， 也可以对基板 K1 按纵列状 依次涂敷液滴， 对基板 K2 按横列状依次涂敷液滴， 并将这些基板 K1 和基板 K2 粘合。在这 种情况下， 也能够得到与上述实施方式相同的作用效果。另外， 也可以对基板 K1 按格子状 依次涂敷液滴， 对基板 K2 按 Z 字形 ( 例如， 三角波状等 ) 依次涂敷液滴， 并将这些基板 K1 和基板 K2 粘合， 进而， 也可以对基板 K1 按菱形的格子状依次涂敷液滴， 对基板 K2 按 Z 字形 依次涂敷液滴， 并将这些基板 K1 和基板 K2 粘合。在这些情况下， 由控制部 2f 根据格子状 或 Z 字形的涂敷图案控制旋转机构 2b。
此外， 在上述实施方式中， 虽然是相对涂敷头 2d 移动基板 K1、 K2， 但并不局限于 此， 也可以相对于基板 K1、 K2 移动涂敷头 2d， 使基板 K1、 K2 与涂敷头 2d 相对移动即可。
另外， 在上述实施方式中， 虽然是在与基板 K1、 K2 的移动方向正交的 X 轴方向上以 包含基板 K1、 K2 的整个宽度的方式并排使用多个涂敷头 2d， 但并不局限于此， 也可以使用 一个涂敷头 2d， 或者在 X 轴方向上以比基板 K1、 K2 的整个宽度短的方式并排使用多个涂敷 头 2d。在这些情况下， 进行对基板 K1、 K2 的整个涂敷面分多次涂敷涂敷液的控制。
此外， 虽然在上述实施方式中举出了各种数值， 但这些数值仅是示例， 并不受其限 制。
最后， 在上述实施方式中， 虽然是通过作为涂敷对象物的基板 K1、 K2 的旋转来进 行涂敷方向的变更， 但并不局限于此， 例如， 也可以通过变更基板 K1、 K2 与涂敷头 2d 的相对 移动方向来进行涂敷方向的变更。此时， 例如， 如图 10 所示， 在支撑部件 2e 上设置使各涂 敷头 2d 在 X 轴方向上移动的 X 轴移动机构 11， 在由 Y 轴移动机构 2c 进行的基板 K1、 K2 的 Y 轴方向移动中驱动该 X 轴移动机构 11， 从而使各涂敷头 2d 在 X 轴方向上以规定的移动速 度移动。这样， 通过使涂敷头 2d 和基板 K1、 K2 的其中一方在 X 轴方向上， 另一方在 Y 轴方 向上同时移动， 并且进行涂敷， 由此， 涂敷方向变得倾斜。例如， 若将 X 轴方向与 Y 轴方向的 移动速度设为相同的速度， 并使涂敷头 2d 与基板 K1、 K2 相对移动， 则对基板 K1、 K2 的涂敷 方向变为 45°。此外， 若 X 轴方向与 Y 轴方向的移动速度设为 1 ∶ 4 之比， 则涂敷方向变为 约 14°。产业上的可利用性如下。
以上虽然说明了本发明的实施方式， 但不过是举出了具体例子而已， 并不特别限 定本发明， 各部分的具体结构等能够适当地变更。 此外， 在实施方式中记载的作用以及效果 不过是列举了由本发明产生的最好的作用以及效果， 本发明的作用以及效果并不限定于本 发明的实施方式所记载的内容。 本发明用于例如对涂敷对象物排出液滴并涂敷的涂敷装置 和涂敷方法、 以及制造液晶显示面板的制造装置和制造方法等。