加装震动装置的流体传输系统 【技术领域】
本发明涉及一种流体传输系统，特别是涉及一种加装震动装置的高粘度流体传输系统。
背景技术
在现代化工业制作工艺中，常需要输送一些流动性较差的高粘度流体进料或是制作工艺副产物，如包括有泥浆或二氧化硅等物质的流体，而此类高粘度流体在传输时常会因其本身的高粘度造成流动速度过慢而附着于传输管线的内壁造成传输管线阻塞，使整个传输系统无法正常运作而必须定期加以清理或更换管线，不但增加不必要的生产成本，更重要的是在清理或更换管线时必须将整个生产制作工艺暂停，此举将严重影响整个生产线的运作。
请参考图1，图1为现有一流体传输系统10的示意图。如图1所示，流体传输系统10包括有一传输管线12，用来传输一高粘度流体，多个管线支撑底座14设置于传输管线12底部，用以支撑并固定传输管线12，至少一进料口16设置于传输管线12上，用以注入一高粘度进料至传输管线12中，至少一进水口18设置于传输管线12上，用以注入水以提供高粘度进料适当的流动性，以及至少一加压喷嘴20，设置于传输管线12内，利用加压水柱以降低传输管线12内部高粘度流体的附着。
现有流体传输系统10的运作过程如下，高粘度进料经由进料口16输入传输管线12中，并将清水经由进水口18注入传输管线12中，提供高粘度进料适当的流动性以传输高粘度流体，同时在传输过程中并利用一设置于传输管线12内的加压喷嘴20对管内壁喷以加压水柱，以减少高粘度进料附着于传输管线12内壁的机会。
然而由于一般传输系统的设置受限于工厂的硬件设施及其他生产设备的配置，传输管线设置的倾斜角度往往不足而造成管内的流体流速过慢，使传输管线内的流体液面过高，即使利用加压喷嘴对管线内壁喷以加压水柱，也因加压水柱无法均匀冲刷管线内壁而无法解决管线内壁高粘度进料附着的问题，进而影响整体传输效率。因此现有的流体传输系统必须定期停止运作进行管壁清洗或更换管线，使生产成本提高且严重影响生产线正常运作。因此如何解决流体传输系统中，传输管线内壁地高粘度进料附着现象，实为一急待解决的问题。
【发明内容】
本发明的主要目的在于提供一种高粘度流体传输系统，以解决上述现有传输系统高粘度进料附着于传输管线内壁的问题。
在本发明的最佳实施例中，该高粘度流体传输系统包括有一传输管线，用以传输一高粘度进料，至少一进料口，用以将一高粘度进料注入于传输管线中，至少一进水口，用以提供该高粘度进料适当的流动性，至少一震动装置，用以提供传输管线适当程度的震动效果，以防止传输管线内壁高粘度进料的附着，以及多个缓冲器，用以支撑传输管线、使震动能量不致衰减并避免传输管线的震动影响其他设备的运作。
由于本发明所揭露的加装震动装置的流体传输系统，可避免传输管线内壁高粘度进料的附着，有效改善现有技术的缺点，因此可以提高流体传输的效率，节省管壁清洗或更换管线等相关成本。
【附图说明】
图1为现有一流体传输系统的示意图；
图2为本发明一流体传输系统的示意图。
【具体实施方式】
本发明提供一种加装震动装置的流体传输系统。请参考图2，图2为本发明一流体传输系统30的示意图。在本实施例中，流体传输系统30应用于半导体产业的化学机械研磨制作工艺(chemical mechanical polishing，CMP)中，用来传输研磨液等具有高粘度的流体，然而本发明流体传输系统30并不限定于此，也可应用于其他工业制作工艺的具有高粘度流体的传输。如图2所示，流体传输系统30包括有一传输管线32，用以传输一含二氧化硅的高粘度研磨液进料，至少一进料口34，设置于传输管线32上，用以将研磨液进料注入于传输管线32中，至少一进水口36设置于传输管线32上，用以提供该研磨液进料适当的流动性，至少一震动装置38，装置于传输管线32的外壁，用以提供传输管线32适当程度的震动效果，以防止研磨液进料附着于传输管线32的内壁，以及多个缓冲器40，设置于传输管线32底部适当位置用以支撑传输管线32，使传输管线32以一适当的倾斜角设置于地面上，同时使震动能量不致衰减，并可避免传输管线32的震动影响其他设备的运作。
在本发明的较佳实施例中，震动装置38为一贴附于传输管线32外壁上的气动式震动器，且在传输管线32上可另装设一观测窗口(未显示)，用以观测研磨进料在传输管线32内部的附着情景，以使工作人员易于掌控流体传输状况。
流体传输系统30运作过程如下：化学机械研磨制作工艺所产生的含二氧化硅的高粘度研磨液经由进料口34输入至传输管线32中，此时清水也经由进水口36注入至传输管线32中，以提供研磨液进料适当的流动性。此外，为了避免研磨液进料所含的二氧化硅附着于传输管线32的内壁，因此在传输过程中震动装置38会提供适当程度的震动效果，使研磨液进料因传输管线32的震动效果而无法附着于内壁上，而缓冲器40的功能除了支撑传输管线32外，并具有维持震动能量与避免传输管线32的震动效果影响其他设备的作用。
与现有流体传输系统相比，本发明揭露一种加装震动装置的流体传输系统，在流体传输系统进行高粘度流体的传输时，提供传输管线适当的震动效果，能避免高粘度流体所含具有粘性的固体附着于传输管线的内壁，进而降低因停机清理管壁与更换传输管线所需负担的生产成本，有效解决现有流体传输系统的缺点。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明权利要求所作的均等变化与修饰，皆应属本发明专利的涵盖范围。