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提供新颖的组合物及使用这些组合物形成金属氧化物薄膜或涂层的方法。组合物包含分散或溶解在有机体系中的有机金属低聚物和有机聚合物。组合物具有长储存寿命,可通过方便和可靠的制备方法制得。固化所述组合物,使组合物转化为分散有机聚合物或低聚物的金属氧化物薄膜。固化后的薄膜具有高折射率,高光学透明度,在膜厚度大于约1微米时具有良好的机械稳定性。。