用于模摆速率传感器的跌落保护的装置.pdf

本发明涉及一种具有一个横摆速率传感器(20)和至少一个加速度传感器(10)的装置。本发明的核心在于，本装置(1)具有一控制装置(30)，可借助该控制装置根据一用所述加速度传感器(10)测得的加速度来控制所述横摆速率传感器(20)。

1.  具有一横摆速率传感器(20)和一加速度传感器(10)的装置，其特征在于：该装置(1)具有一控制装置(30)，借助该控制装置所述横摆速率传感器(20)可根据一借助所述加速度传感器(10)测得的加速度被控制。

2.  按权利要求1的装置，其特征在于：所述横摆速率传感器(20)具有一设有一驱动装置的振动结构，该驱动装置可借助所述控制装置(30)被控制。

3.  按权利要求2的装置，其特征在于：所述驱动装置可借助所述控制装置(30)被关断。

4.  按权利要求1至3之一的装置，其特征在于：借助所述控制装置(30)可操作所述横摆速率传感器(20)的可运动的部分、尤其是所述振动结构的锁止。

5.  按以上权利要求之一的装置，其特征在于：该装置(1)被以微系统技术构造。

6.  按权利要求5的装置，其特征在于：所述横摆速率传感器(20)以及所述加速度传感器(10)和/或所述控制装置(30)设置在一共同的半导体基底(40)上。

用于横摆速率传感器的跌落保护的装置
技术领域
本发明涉及一种具有一个横摆速率传感器(Drehratensensor)和至少一个加速度传感器的装置。
背景技术
基于科氏效应(Corrioliseffekt)工作的微机械的横摆速率传感器包含由原理决定的振动结构。在跌落试验(标准：从1.5m高落到混凝土上)中或者在其它未预见的加速度情况下，该微机械的结构也许会遭破坏，例如由于悬挂弹簧或振动弹簧的断裂而遭破坏。
发明内容
本发明涉及一种具有一个横摆速率传感器和至少一个加速度传感器的装置。本发明的核心在于，本装置具有一控制装置，可借助该控制装置根据一用所述加速度传感器测得的加速度来控制所述横摆速率传感器。由此，该横摆速率传感器可有利地在跌落或碰撞或在其它超出允许的工作参数的加速度的情况下得到保护，以免损坏。
有利地，所述横摆速率传感器具有一个设有一驱动装置的振动结构，该驱动装置可借助所述控制装置被控制。尤其有利的是，该驱动装置可借助所述控制装置被关断。
本发明一有利的构型提出：可借助所述控制装置来实现所述横摆速率传感器的可运动的部分、尤其是所述振动结构的锁止。
尤其有利的是，本装置微系统技术地构成。在此有利的是，所述横摆速率传感器以及所述加速度传感器或者还有所述控制装置设置在一个共同的半导体基底上。
有利地，本装置具有多个加速度传感器，例如用于不同的测量区域或者用于不同的空间方向上的不同的感测方向。
通过附加的传感器、例如三轴加速度传感器，可以有利地检测到跌落以及可以在所述横摆速率传感器中采取措施，以提高稳固性。这例如，可以关断所述振动结构的驱动装置，或者使振动器被静电学地拉入一个确定的位置中，或者进行该传感器的锁止。
附图说明
本发明的实施例示出在附图中并在下面的说明中对其详细描述。
图1为按本发明的具有横摆速率传感器、加速度传感器和控制装置的装置的示意图。
具体实施方式
图1示意性示出按本发明的具有横摆速率传感器、加速度传感器和控制装置的装置。示出了具有一个加速度传感器10和一个横摆速率传感器的装置1。加速度传感器设置在该横摆速率传感器20附近，使得该加速度传感器测量一些基本的、也被横摆速率传感器20所遭受的加速度。该加速度传感器的一传感器信号被提供给一个控制装置30。在控制装置30中由该传感器信号生成一个控制信号，该控制信号被提供给横摆速率传感器20。控制装置30可以实施为电子电路。在本示意图中，该控制装置作为一个独立单元被提出。但控制装置30也可以是加速度传感器10的组成部分，例如是该加速度传感器的驱动电路的组成部分。最后，加速度传感器10、横摆速率传感器20以及控制装置30也可以设在一个共同的半导体基底上，其中，用于加速度传感器10和横摆速率传感器20的微机械结构以及例如也包含控制装置30的共同的电子电路都设在半导体基底40上。
在制造按本发明的装置时，三轴加速度传感器可以在与横摆速率传感器20相同的MEMS制造工序中被制造出以及因此可以被制造在一个芯片40上或者制造成传感器组件。