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本发明涉及一种长寿命、不用水、能够渗透至微米缝隙实现洁净化清洗的可循环再生利用的水基清洗剂及其循环再生工艺。水基清洗剂由以下配方按质量百分比构成:烷烃与异构烷烃的含量为2392质量,生物降解的活性剂复配物表面活性剂含量为515质量;抗静电剂含量为0.0010.5质量;缓蚀剂含量为0.112质量;助溶剂含量为130质量。本发明用在制造过程残余深层微米夹缝清洗中耐氧化铟锡腐蚀、被洗表面及其夹缝洁净不留。