离线浅绿色低辐射镀膜玻璃及其制备方法.pdf

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摘要
申请专利号:

CN200910027354.4

申请日:

2009.05.31

公开号:

CN101654334A

公开日:

2010.02.24

当前法律状态:

授权

有效性:

有权

法律详情:

专利权的转移IPC(主分类):C03C 17/36登记生效日:20170425变更事项:专利权人变更前权利人:江苏奥蓝工程玻璃有限公司变更后权利人:荆州市亿钧玻璃股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:226001 江苏省南通市港闸区秦灶街道八里庙村八组变更后权利人:434000 湖北省荆州市东方大道52号|||著录事项变更IPC(主分类):C03C 17/36变更事项:发明人变更前:杨德兵 王贤荣变更后:李军 李传兵 季东 葛怀敏 饶秋阳|||专利申请权的转移IPC(主分类):C03C 17/36变更事项:申请人变更前权利人:江苏蓝星玻璃有限公司变更后权利人:江苏奥蓝工程玻璃有限公司变更事项:地址变更前权利人:226006 江苏省南通市港闸区长泰路588号变更后权利人:226001 江苏省南通市港闸区秦灶街道八里庙村八组登记生效日:20111025|||授权|||实质审查的生效IPC(主分类):C03C 17/36申请日:20090531|||公开

IPC分类号:

C03C17/36; C23C14/35; C23C14/08; C23C14/18; C23C14/16; C23C14/06

主分类号:

C03C17/36

申请人:

江苏蓝星玻璃有限公司

发明人:

杨德兵; 王贤荣

地址:

226006江苏省南通市港闸区长泰路588号

优先权:

专利代理机构:

南京众联专利代理有限公司

代理人:

顾伯兴

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内容摘要

本发明公开了一种离线高透低辐射镀膜玻璃,包括玻璃基片,玻璃基片上设有依次设有氧化钛TiOx、氧化锡SnOx、金属银Ag、氧化镍铬NiCrOx、氧化锡SnOx、氮化硅SiNx。离线浅绿色低辐射镀膜玻璃的制备方法为:在双端离线高真空磁控溅射镀膜设备中,使其基础真空达到103Pa,线速度为2米/分钟时,对玻璃基片依次溅射氧化钛TiOx、氧化锡SnOx、金属银Ag、氧化镍铬NiCrOx、氧化锡SnOx、氮化硅SiNx。本发明具有在不使用绿玻为基片的情况下,可以使镀膜玻璃的a*值≤

权利要求书

1: 一种离线浅绿色低辐射镀膜玻璃,包括玻璃基片,其特征在于:所述玻 璃基片上依次设有氧化钛TiOx、氧化锡SnOx、金属银Ag层、氧化镍铬NiCrOx、 氧化锡SnOx、氮化硅SiNx。
2: 根据权利要求1所述离线浅绿色低辐射镀膜玻璃,其特征在于:所述玻 璃基片的厚度为3~15mm,所述氧化钛TiOx的厚度为15nm~25nm,所述氧化 锡SnOx的厚度为15nm~25nm,所述金属银Ag的厚度为18nm~22nm,所述氧 化镍铬NiCrOx的厚度为23nm~27nm,所述氧化锡SnOx的厚度为55nm~65nm, 所述氮化硅SiNx的厚度为35nm~45nm。
3: 根据权利要求1或2所述离线浅绿色低辐射镀膜玻璃,其特征在于:所 述玻璃基片的厚度为6mm,所述氧化钛TiOx的厚度为20nm,所述氧化锡SnOx 的厚度为15nm,所述金属银Ag的厚度为20nm,所述氧化镍铬NiCrOx的厚度 为25nm,所述氧化锡SnOx的厚度为60nm,所述氮化硅SiNx的厚度为40nm。
4: 一种离线浅绿色低辐射镀膜玻璃的制备方法,其特征在于:包括以下步 骤: A:选择3~15mm玻璃基片,按预定尺寸哟你好切割机进行切割,用清洗机 对玻璃基片进行清洗; B:将高真空磁控溅射镀膜设备的基础真空设置为10 3 Pa,线速度设置为2 米/分钟; C:将玻璃基片送入镀膜室,设置第一高真空磁控溅射镀膜设备的功率为 18KW~22KW,在玻璃基片上溅射第一层15nm~25nm的氧化钛TiOx; D:设置第二高真空磁控溅射镀膜设备的功率为16KW~20KW,在玻璃基片 上溅射第二层15nm~25nm的氧化锡SnOx; E:设置第三高真空磁控溅射镀膜设备的功率为7KW~8KW,在玻璃基片上 溅射第三层18nm~22nm的金属银Ag; F:设置第四高真空磁控溅射镀膜设备的功率为7.5KW~8.5KW,在玻璃基 片上溅射第四层23nm~27nm的氧化镍铬NiCrOx; G:设置第五高真空磁控溅射镀膜设备的功率为70KW~74KW,在玻璃基片 上溅射第五层55nm~65nm的氧化锡SnOx; H:设置第六高真空磁控溅射镀膜设备的功率为63KW~67KW,在玻璃基片 上溅射第六层35nm~45nm的氮化硅SiNx。
5: 根据权利要求4所述离线浅绿色低辐射镀膜玻璃的制备方法,其特征在 于:所述步骤A中,玻璃基片的厚度为6mm; 所述步骤C中,设置第一高真空磁控溅射镀膜设备的功率为20KW,在玻璃 基片上溅射第一层20nm的氧化钛TiOx; 所述步骤D中,设置第二高真空磁控溅射镀膜设备的功率为18KW,在玻璃 基片上溅射第二层15nm的氧化锡SnOx; 所述步骤E中,设置第三高真空磁控溅射镀膜设备的功率为7.5KW,在玻 璃基片上溅射第三层20nm的金属银Ag; 所述步骤F中,设置第四高真空磁控溅射镀膜设备的功率为8KW,在玻璃 基片上溅射第四层25nm的氧化镍铬NiCrOx; 所述步骤G中,设置第五高真空磁控溅射镀膜设备的功率为72KW,在玻璃 基片上溅射第五层60nm的氧化锡SnOx; 所述步骤H中,设置第六高真空磁控溅射镀膜设备的功率为65KW,在玻璃 基片上溅射第六层40nm的氮化硅SiNx。

说明书


离线浅绿色低辐射镀膜玻璃及其制备方法

    技术领域:

    本发明涉及一种玻璃及其制备方法,特别是一种离线浅绿色低辐射镀膜玻璃及其制备方法。

    背景技术:

    现有的普通透明玻璃应用很广泛,其透射范围正好与太阳辐射光谱区域重合,因此,在透过可见光的同时,阳光中的红外线热能也能大量透过玻璃,而3~5um中红外波段的热能又被大量的吸收,对暖气发出的波长5um以上的热辐射,普通玻璃不能直接透过而是近乎完全吸收,并通过传导、辐射及与空气对流的方式将能热传递到室外,使室内的温度降低,另外,普通玻璃不能阻挡紫外线,易使室内的家俱和织物褪色,目前还有一种浅绿色的低辐射镀膜玻璃,基本上都是以绿玻为基片来生产,以白玻为基片所生产出来的镀膜玻璃a*值为-5左右(a*值可通过分光仪检测出)只有在绿玻上镀膜的产品a*值才能达到-7左右。由于色玻价格高(相对同规格的白玻)和其工艺的不稳定性(不同批次的色玻很容易有色差出现)造成镀膜玻璃最终产品的价格偏高和出现色差的现象。

    发明内容:

    本发明的目的是为了克服以上的不足,提供一种达到在白玻上镀膜后a*值≤-8,完全可以替代绿玻镀膜的效果,价格低廉,工艺稳定的离线浅绿色低辐射镀膜玻璃及其制备方法。

    本发明的目的通过以下技术方案来实现:一种离线浅绿色低辐射镀膜玻璃,包括玻璃基片,玻璃基片上设有依次设有氧化钛TiOx、氧化锡SnOx、金属银Ag、氧化镍铬NiCrOx、氧化锡SnOx、氮化硅SiNx。

    离线浅绿色低辐射镀膜玻璃的制备方法,包括以下步骤:

    A:选择3~15mm玻璃基片,按预定尺寸用切割机进行切割,用清洗机对玻璃基片进行清洗;

    B:将高真空磁控溅射镀膜设备的基础真空设置为103Pa,线速度设置为2米/分钟;

    C:将玻璃基片送入镀膜室,设置第一高真空磁控溅射镀膜设备的功率为18KW~22KW,在玻璃基片上溅射第一层15nm~25nm的氧化钛TiOx;

    D:设置第二高真空磁控溅射镀膜设备的功率为16KW~20KW,在玻璃基片上溅射第二层15nm~25nm的氧化锡SnOx;

    E:设置第三高真空磁控溅射镀膜设备的功率为7KW~8KW,在玻璃基片上溅射第三层18nm~22nm的金属银Ag;

    F:设置第四高真空磁控溅射镀膜设备的功率为7.5KW~8.5KW,在玻璃基片上溅射第四层23nm~27nm的氧化镍铬NiCrOx;

    G:设置第五高真空磁控溅射镀膜设备的功率为70KW~74KW,在玻璃基片上溅射第五层55nm~65nm的氧化锡SnOx;

    H:设置第六高真空磁控溅射镀膜设备的功率为63KW~67KW,在玻璃基片上溅射第六层35nm~45nm的氮化硅SiNx。

    本发明与现有技术相比具有以下优点:在不使用绿玻为基片的情况下,可以使镀膜玻璃的a*值≤-8,且价格低廉,工艺稳定。

    具体实施方式:

    为了加深对本发明的理解,下面将结合实施例和附图对本发明作进一步详述,该实施例仅用于解释本发明,并不构成对本发明保护范围的限定。

    本发明离线浅绿色低辐射镀膜玻璃的一种实施方式为:离线浅绿色低辐射镀膜玻璃包括玻璃,3mm~15mm玻璃基片上依次设有15nm~25nm的氧化钛TiOx、15nm~25nm的氧化锡SnOx、18nm~22nm的金属银Ag层、23nm~27nm的氧化镍铬NiCrOx、55nm~65nm的氧化锡SnOx、35nm~45nm的氮化硅SiNx。

    离线浅绿色低辐射镀膜玻璃的制备方法,包括以下步骤:

    A:选择3~15mm玻璃基片,按预定尺寸用切割机进行切割,用清洗机对玻璃基片进行清洗;

    B:将高真空磁控溅射镀膜设备的基础真空设置为103Pa,线速度设置为2米/分钟;

    C:将玻璃基片送入镀膜室,设置第一高真空磁控溅射镀膜设备的功率为18KW~22KW,在玻璃基片上溅射第一层15nm~25nm的氧化钛TiOx;

    D:设置第二高真空磁控溅射镀膜设备的功率为16KW~20KW,在玻璃基片上溅射第二层15nm~25nm的氧化锡SnOx;

    E:设置第三高真空磁控溅射镀膜设备的功率为7KW~8KW,在玻璃基片上溅射第三层18nm~22nm的金属银Ag,可以使玻璃起到低辐射的作用,在溅射金属银Ag之前还可以溅射金属NiCr,可以保护金属银Ag不被氧化;

    F:设置第四高真空磁控溅射镀膜设备的功率为7.5KW~8.5KW,在玻璃基片上溅射第四层23nm~27nm的氧化镍铬NiCrOx,保护金属银Ag不被氧化;

    G:设置第五高真空磁控溅射镀膜设备的功率为70KW~74KW,在玻璃基片上溅射第五层55nm~65nm地氧化锡SnOx;

    H:设置第六高真空磁控溅射镀膜设备的功率为63KW~67KW,在玻璃基片上溅射第六层35nm~45nm的氮化硅SiNx,保护各层物质不被外界环境污染和腐蚀。

    本发明具有在不使用绿玻为基片的情况下,可以使镀膜玻璃的a*值≤-8,且价格低廉,工艺稳定的优点。

    实施例1:

    在双端离线高真空磁控溅射镀膜设备中,使其基础真空达到103Pa,线速度为2米/分钟时,在6mm玻璃基片上溅射:功率为20KW时溅射的氧化钛TiOx厚度为20nm,功率为18KW时溅射的氧化锡SnOx厚度为15nm,功率为7.5KW时金属银Ag的厚度为20nm,功率为8KW时溅射的氧化镍铬NiCrOx厚度为25nm,功率为72KW时溅射的氧化锡SnOx厚度为60nm,功率为65KW时溅射的氮化硅SiNx厚度为40nm。此时玻璃的厚度最佳,颜色也为最佳,同样能达到低辐射的效果。

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本发明公开了一种离线高透低辐射镀膜玻璃,包括玻璃基片,玻璃基片上设有依次设有氧化钛TiOx、氧化锡SnOx、金属银Ag、氧化镍铬NiCrOx、氧化锡SnOx、氮化硅SiNx。离线浅绿色低辐射镀膜玻璃的制备方法为:在双端离线高真空磁控溅射镀膜设备中,使其基础真空达到103Pa,线速度为2米/分钟时,对玻璃基片依次溅射氧化钛TiOx、氧化锡SnOx、金属银Ag、氧化镍铬NiCrOx、氧化锡SnOx、氮。

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