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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201610819422.0 (22)申请日 2016.09.12 (71)申请人 国家纳米科学中心 地址 100190 北京市海淀区中关村北一条 11号 (72)发明人 方英 杨龙 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 代理人 王莹 (51)Int.Cl. A61B 5/04(2006.01) (54)发明名称 一种褶皱神经电极阵列系统及其制备方法 (57)摘要 本发明涉及微加工技术领域， 尤其涉及一种 褶皱神经电极阵列系统及其制备方法， 包括封装 。
2、体、 外部转接口和经过褶皱处理的电极阵列， 封 装体包括弹性衬底和绝缘体， 电极阵列与弹性衬 底的上表面贴合， 电极阵列与外部转接口通过外 引线连接， 绝缘体贴覆于弹性衬底与外部转接口 上， 以将电极阵列与外引线封装于封装体内， 绝 缘体上设有缺口， 电极阵列包括一个或多个神经 电极， 缺口暴露神经电极的有效检测部位。 本发 明通过将电极阵列进行褶皱处理使神经电极的 平面投影面积减小， 在不损失神经电极的信噪比 的情况下， 提高电极空间分辨率， 兼具较高的空 间分辨率和灵敏度， 用于神经电信号的监测和记 录， 与生物组织力学性能相互匹配， 具有更优的 生物兼容性。 权利要求书2页 说明书6页 。
3、附图4页 CN 106510678 A 2017.03.22 CN 106510678 A 1.一种褶皱神经电极阵列系统， 其特征在于： 包括封装体、 外部转接口和经过褶皱处理 的电极阵列， 所述封装体包括弹性衬底和绝缘体， 所述电极阵列与所述弹性衬底的上表面 贴合， 所述电极阵列与所述外部转接口通过外引线连接， 所述绝缘体贴覆于所述弹性衬底 与所述外部转接口上， 以将所述电极阵列与所述外引线封装于所述封装体内， 所述绝缘体 上设有缺口， 所述电极阵列包括一个或多个神经电极， 所述缺口暴露所述神经电极的有效 检测部位。 2.根据权利要求1所述的褶皱神经电极阵列系统， 其特征在于： 所述电极阵列。
4、还包括内 引线， 所述内引线一端与所述神经电极连接， 另一端具有粘合位点， 所述粘合位点通过所述 外引线与所述外部转接口连接。 3.根据权利要求2所述的褶皱神经电极阵列系统， 其特征在于： 所述内引线与所述神经 电极一体成型。 4.根据权利要求1所述的褶皱神经电极阵列系统， 其特征在于： 所述神经电极为全碳石 墨烯器件。 5.根据权利要求1-4任意一项所述的褶皱神经电极阵列系统， 其特征在于： 还包括支撑 体， 所述支撑体与所述弹性底衬的下表面和所述外部转接口的下表面连接。 6.一种褶皱神经电极系统的制备方法， 其特征在于： 包括以下步骤： 步骤1， 制备弹性衬底； 步骤2， 在沉积SiO2的。
5、Si衬底上制备电极阵列； 步骤3， 对步骤2中制备完成的电极阵列进行剥离； 步骤4， 将步骤3中剥离后的电极阵列贴合至弹性衬底上进行褶皱处理； 步骤5， 将步骤4完成褶皱处理的弹性衬底固定在支撑体上， 将外部转接口固定在支撑 体上； 步骤6， 将外引线的一端固定在步骤5中完成褶皱处理的电极阵列的粘合位点上， 另一 端固定在步骤6中的外部转接口上； 步骤7， 将绝缘体贴覆于步骤6中的弹性底衬、 外引线和外部转接口上， 并使绝缘体上设 置的缺口暴露出电极阵列的神经电极的有效监测部位。 7.根据权利要求6所述的褶皱神经电极系统的制备方法， 其特征在于： 步骤4具体包括 以下步骤： 步骤41， 将步骤。
6、1中制备完成的弹性衬底拉伸； 步骤42， 将步骤3中剥离后的电极阵列贴合至步骤41中拉伸后的弹性衬底上； 步骤43， 释放弹性衬底使电极阵列与弹性衬底一起收缩， 得到褶皱处理过的电极阵列。 8.根据权利要求6所述的褶皱神经电极系统的制备方法， 其特征在于： 步骤3具体包括 以下步骤： 步骤31， 在步骤2中制备完成的电极阵列上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯并烘干， 旋涂的转速 为2000rpm4000rpm， 烘干温度为115， 烘干时长为3min； 步骤32， 在步骤31的聚甲基丙烯酸甲酯上旋涂聚乙烯醇并烘干， 旋涂的转速为1000rpm 4000rpm， 烘干温度为80， 烘干时长为3min； 步骤。
7、33， 将步骤32中完成旋涂和烘干的电极阵列放入二氧化硅刻蚀液中， 使电极阵列 由沉积SiO2的Si衬底上剥离并翻转； 权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 106510678 A 2 步骤34， 将步骤33中完成剥离的电极阵列转移至去离子水中并加热， 加热温度为80， 加热时长为30min。 9.根据权利要求8所述的褶皱神经电极系统的制备方法， 其特征在于： 步骤1中制备完 成的弹性衬底的厚度为0.2mm1mm； 步骤31中旋涂聚甲基丙烯酸甲酯的厚度为100nm 200nm， 步骤32中旋涂聚乙烯醇的厚度为20nm500nm。 10.根据权利要求7所述的褶皱神经电极系统的制备方法， 其特。
8、征在于： 步骤41中， 弹性 衬底双向拉伸100400。 权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 106510678 A 3 一种褶皱神经电极阵列系统及其制备方法 技术领域 0001 本发明涉及微加工技术领域， 尤其涉及一种褶皱神经电极阵列系统及其制备方 法。 背景技术 0002 大脑是自然界中结构最为复杂的系统， 主要由数百种不同类型、 总数达1011的神经 细胞(或称 “神经元” )组成。 每个神经元在形态上具有用于输出信号的轴突和接收输入信号 的树突， 一个神经元的轴突与另一个神经元的树突形成的联结点称 “突触” ； 突触是神经元 之间信息传递的桥梁； 每个神经元平均与数千个其它神经元。
9、形成突触联结， 从而形成神经 环路。 脑功能相关的神经电信号通过神经环路进行传递和处理， 阐明神经环路的工作机制 是脑科学的核心目标。 电生理检测技术是最早应用， 也是最直接的检测神经电信号的手段， 被作为神经电信号检测领域的 “黄金标准” (Gold Standard)。 电生理检测技术的工作模式 是直接将金属电极、 玻璃电极或者硅电极等贴近目标神经区域， 记录跨膜离子流引起的电 信号变化。 这种工作模式决定了神经电极的三个发展方向： 1、 缩小单个神经电极的尺寸， 进 而实现精准测量(单细胞测量、 亚细胞结构测量)； 2、 提高神经电极集成度(大量神经元同步 测量、 跨脑区协同测量)； 3。
10、、 优化神经材料， 提高神经电极的生物兼容性(减少组织伤害、 形 成稳定界面、 长期测量)。 然而， 对于传统神经电极来说， 噪声强度S与电极尺寸A成反比关系 (S1/A)， 缩小电极尺寸意味着降低信噪比， 当信噪比低于检测限度就会导致电极失效。 此 外， 传统电极材料(铂丝、 钨丝、 不锈钢、 硅等)为刚性材料， 容易对生物组织造成伤害， 难以 实现长时间稳定测量。 发明内容 0003 (一)要解决的技术问题 0004 本发明要解决的技术问题是解决现有技术中若减小神经电极尺寸， 则会降低信噪 比容易导致电极失效， 难以同时提高神经电极的空间分辨率并保证神经电极具有较高的信 噪比的问题。 00。
11、05 (二)技术方案 0006 为了解决上述技术问题， 本发明提供了一种褶皱神经电极阵列系统， 包括封装体、 外部转接口和经过褶皱处理的电极阵列， 所述封装体包括弹性衬底和绝缘体， 所述电极阵 列与所述弹性衬底的上表面贴合， 所述电极阵列与所述外部转接口通过外引线连接， 所述 绝缘体贴覆于所述弹性衬底与所述外部转接口上， 以将所述电极阵列与所述外引线封装于 所述封装体内， 所述绝缘体上设有缺口， 所述电极阵列包括一个或多个神经电极， 所述缺口 暴露所述神经电极的有效检测部位。 0007 其中， 所述电极阵列还包括内引线， 所述内引线一端与所述神经电极连接， 另一端 具有粘合位点， 所述粘合位点。
12、通过所述外引线与所述外部转接口连接。 0008 其中， 所述内引线与所述神经电极一体成型。 说 明 书 1/6 页 4 CN 106510678 A 4 0009 其中， 所述神经电极为全碳石墨烯器件。 0010 其中， 还包括支撑体， 所述支撑体与所述弹性底衬的下表面和所述外部转接口的 下表面连接。 0011 本发明还提供了一种褶皱神经电极系统的制备方法， 包括以下步骤： 0012 步骤1， 制备弹性衬底； 0013 步骤2， 在沉积SiO2的Si衬底上制备电极阵列； 0014 步骤3， 对步骤2中制备完成的电极阵列进行剥离； 0015 步骤4， 将步骤3中剥离后的电极阵列贴合至弹性衬底上进。
13、行褶皱处理； 0016 步骤5， 将步骤4完成褶皱处理的弹性衬底固定在支撑体上， 将外部转接口固定在 支撑体上； 0017 步骤6， 将外引线的一端固定在步骤5中完成褶皱处理的电极阵列的粘合位点上， 另一端固定在步骤6中的外部转接口上； 0018 步骤7， 将绝缘体贴覆于步骤6中的弹性底衬、 外引线和外部转接口上， 并使绝缘体 上设置的缺口暴露出电极阵列的神经电极的有效监测部位。 0019 其中， 步骤4具体包括以下步骤： 0020 步骤41， 将步骤1中制备完成的弹性衬底拉伸； 0021 步骤42， 将步骤3中剥离后的电极阵列贴合至步骤41中拉伸后的弹性衬底上； 0022 步骤43， 释放弹。
14、性衬底使电极阵列与弹性衬底一起收缩， 得到褶皱处理过的电极 阵列。 0023 其中， 步骤3具体包括以下步骤： 0024 步骤31， 在步骤2中制备完成的电极阵列上旋涂聚甲基丙烯酸甲酯并烘干， 旋涂的 转速为2000rpm4000rpm， 烘干温度为115， 烘干时长为3min； 0025 步骤32， 在步骤31的聚甲基丙烯酸甲酯上旋涂聚乙烯醇并烘干， 旋涂的转速为 1000rpm4000rpm， 烘干温度为80， 烘干时长为3min； 0026 步骤33， 将步骤32中完成旋涂和烘干的电极阵列放入二氧化硅刻蚀液中， 使电极 阵列由沉积SiO2的Si衬底上剥离并翻转； 0027 步骤34， 将。
15、步骤33中完成剥离的电极阵列转移至去离子水中并加热， 加热温度为 80， 加热时长为30min。 0028 其中， 步骤1中制备完成的弹性衬底的厚度为0.2mm1mm； 步骤31中旋涂聚甲基丙 烯酸甲酯的厚度为100nm200nm， 步骤32中旋涂聚乙烯醇的厚度为20nm500nm。 0029 其中， 步骤41中， 弹性衬底双向拉伸100400。 0030 (三)有益效果 0031 本发明的上述技术方案具有如下优点： 本发明褶皱神经电极阵列系统及其制备方 法通过封装体覆盖电极阵列的内引线、 粘合位点、 外引线和外部转接口的焊盘， 并在封装体 的绝缘体上设置缺口使电极阵列的神经电极的有效检测部位。
16、暴露， 其中， 电极阵列在外部 机械压缩力作用下形成褶皱， 即通过双向或单向压缩形成具有褶皱结构的神经电极， 压缩 后的神经电极的活性面积不变， 但平面投影面积减小， 因此能够保证在不损失神经电极的 信噪比的情况下， 通过压缩减小神经电极的平面投影面积， 提高电极空间分辨率， 使整个褶 皱神经电极阵列系统具有较高的空间分辨率和灵敏度， 可用于神经电信号的监测和记录。 说 明 书 2/6 页 5 CN 106510678 A 5 本发明褶皱神经电极阵列系统属于柔性电极， 与生物组织力学性能相互匹配， 具有更优的 生物兼容性。 0032 除了上面所描述的本发明解决的技术问题、 构成的技术方案的技术。
17、特征以及有这 些技术方案的技术特征所带来的优点之外， 本发明的其他技术特征及这些技术特征带来的 优点， 将结合附图作出进一步说明。 附图说明 0033 图1是本发明实施例一褶皱神经电极阵列系统的结构示意图； 0034 图2是本发明实施例一褶皱神经电极阵列系统的电极阵列的结构示意图； 0035 图3是本发明实施例一褶皱神经电极阵列系统的封装体的结构示意图； 0036 图4是本发明实施例二褶皱神经电极系统的制备方法的剥离前电极阵列的结构示 意图； 0037 图5是本发明实施例二褶皱神经电极系统的制备方法的剥离后电极阵列的结构示 意图； 0038 图6是本发明实施例一褶皱神经电极阵列系统的神经电极转。
18、移特性曲线随着压缩 量增加的变化示意图； 0039 图7是本发明实施例一褶皱神经电极阵列系统的神经电极在开电流和跨导随压缩 的变化趋势示意图； 0040 图8是本发明实施例一褶皱神经电极阵列系统测量大鼠癫痫脑电信号的实验结果 示意图。 0041 图中： 1： 封装体； 2： 外部转接口； 3： 电极阵列； 4： 外引线； 5： 支撑体； 11： 弹性衬底； 12： 绝缘体； 31： 神经电极； 32： 内引线； 33： 粘合位点； 120： 缺口； 301： 聚乙烯醇； 302： 聚甲基 丙稀酸甲酯； 303： 二氧化硅； 304； 硅。 具体实施方式 0042 为使本发明实施例的目的、 技术。
19、方案和优点更加清楚， 下面将结合本发明实施例 中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例是 本发明的一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于本发明中的实施例， 本领域普通技术人 员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例， 都属于本发明保护的范围。 0043 在本发明的描述中， 需要说明的是， 除非另有明确的规定和限定， 术语 “安装” 、“相 连” 、“连接” 应做广义理解， 例如， 可以是固定连接， 也可以是可拆卸连接， 或一体地连接； 可 以是机械连接， 也可以是电连接； 可以是直接相连， 也可以通过中间媒介间接相连， 可以是 两个。
20、元件内部的连通。 对于本领域的普通技术人员而言， 可以具体情况理解上述术语在本 发明中的具体含义。 0044 此外， 在本发明的描述中， 除非另有说明，“多个” 、“多根” 、“多组” 的含义是两个或 两个以上，“若干个” 、“若干根” 、“若干组” 的含义是一个或一个以上。 0045 实施例一 0046 如图1、 图2和图3所示， 本发明实施例一提供的褶皱神经电极阵列系统， 包括封装 体1、 外部转接口2和经过褶皱处理的电极阵列3， 封装体1包括弹性衬底11和绝缘体12， 电极 说 明 书 3/6 页 6 CN 106510678 A 6 阵列3与弹性衬底11的上表面贴合， 电极阵列3与外部。
21、转接口2通过外引线4连接， 绝缘体12 贴覆于弹性衬底11与外部转接口2上， 以将电极阵列3与外引线4封装于封装体1内， 绝缘体 12上设有缺口120， 电极阵列3包括一个或多个神经电极31， 缺口120暴露神经电极31的有效 检测部位。 0047 本发明褶皱神经电极阵列系统通过封装体覆盖电极阵列的内引线、 粘合位点、 外 引线和外部转接口的焊盘， 并在封装体的绝缘体上设置缺口使电极阵列的神经电极的有效 检测部位暴露， 其中， 电极阵列在外部机械压缩力作用下形成褶皱， 即通过双向或单向压缩 形成具有褶皱结构的神经电极， 压缩后的神经电极的活性面积不变， 但平面投影面积减小， 因此能够保证在不损。
22、失神经电极的信噪比的情况下， 通过压缩减小神经电极的平面投影面 积， 提高电极空间分辨率， 使整个褶皱神经电极阵列系统具有较高的空间分辨率和灵敏度， 可用于神经电信号的监测和记录。 本发明褶皱神经电极阵列系统属于柔性电极， 与生物组 织力学性能相互匹配， 具有更优的生物兼容性。 0048 其中， 如图2所示， 电极阵列3还包括内引线32， 内引线32一端与神经电极31连接， 内引线32另一端具有粘合位点33， 粘合位点33通过外引线4与外部转接口2连接。 电极阵列 的内引线端部为粘合位点， 粘合位点的宽度大于内引线的宽度， 便于外引线的固定。 外引线 为铂丝或者其他具有生物兼容性的导电线， 外。
23、引线一端用导电银浆固定在内引线的粘合位 点上， 另一端焊接在外部转接口的焊盘上。 0049 其中， 内引线32与神经电极31一体成型。 内引线与神经电极采用无缝连接、 一体成 型， 这种一体化结构设计能够优化神经电极阵列系统的力学性能， 保证了电极阵列在褶皱 压缩过程中不损害神经电极的电气完整性。 0050 其中， 神经电极31为全碳石墨烯器件。 优选的， 本实施例的神经电极采用全碳石墨 烯器件。 由碳纳米材料材料构成的全碳石墨烯器件具有良好的电学性能和机械性能， 能够 保证神经电极在褶皱化处理过程中电学性能的稳定性。 全碳石墨烯器件的神经电极包括由 石墨烯与碳纳米管杂化膜构成的接触电极和由石。
24、墨烯构成沟道。 石墨烯零带隙的半导体材 料， 在室温电子弹道输运距离达到微米， 具有极高电子迁移率。 二维单原子层结构使得石墨 烯具有极高比表面积， 适合于制备高灵敏度传感器。 碳纳米管是由石墨烯卷曲而成， 具有金 属性和半导体性两种类型， 而悬浮生长的碳纳米管网状薄膜主要表现出金属性的导电特 征， 而且具有良好机械性能， 是一种良好的柔性电极材料。 结合两种碳纳米材料的优势， 制 备所得全碳石墨烯器件具有优越的力学性能， 适合制备柔性、 褶皱电子器件。 0051 其中， 本发明褶皱神经电极阵列系统还包括支撑体5， 支撑体5与弹性底衬11的下 表面和外部转接口2的下表面连接。 支撑体采用聚对苯。
25、二甲酸乙二醇酯， 其厚度在0.5mm 1mm。 支撑体为聚对苯二甲酸乙二醇酯或者其他具有生物兼容性的支撑材料。 所述支撑体为 具有生物兼容性的材料， 能够提供支撑平台， 方便神经电极阵列系统的安装、 移动等操作。 0052 测量本实施例褶皱神经电极系统的电极阵列在褶皱处理过程中其上的神经电极 的电学稳定性， 实验如下： 0053 采用电极阵列的初始尺寸为100um100um， 压缩量变化区间为080； 0054 测量指标： 转移特性曲线、 开电流和跨导； 0055 测试结果： 如图6所示， 给出了褶皱神经电极转移特性曲线随着压缩量增加的变 化， 标准石墨烯器件所具有 “V” 型转移特性曲线并没。
26、有随着压缩量增加发生明显变化； 如图 说 明 书 4/6 页 7 CN 106510678 A 7 7所示， 给出了开电流、 跨导随压缩的变化趋势， 当压缩量达到80时， 开电流变化小于 10， 跨导变化小于20。 稳定的电学特性说明， 神经电极在表观面积压缩的过程中， 电学 性能相对稳定， 表明本发明在不损失神经电极信噪比的情况下， 提高神经电极的空间分辨 率。 0056 利用本发明褶皱神经电极阵列系统测量大鼠癫痫脑电信号的实验如下： 0057 为了进一步验证本发明褶皱神经电极阵列系统的神经电极的工作情况， 我们采用 神经电极对大鼠癫痫状脑电信号做在体测量。 0058 测试用神经电极的原始尺。
27、寸100um100um， 压缩量52； 0059 测试项目： 青霉素诱导癫痫状信号； 0060 测试结果： 如图8所示， 给出了30min连续记录信号， 箭头指示处为青霉素注射时间 点。 注射前后， 记录到的信号清楚分为三个区域， 正常区间、 静息区间和癫痫活动区间。 这些 特征与标准癫痫状信号出现的特征完全相符， 再次验证本发明褶皱神经电极阵列系统的功 能。 0061 实施例二 0062 本发明实施例二提供的褶皱神经电极系统的制备方法， 包括以下步骤： 0063 步骤1， 制备弹性衬底； 0064 弹性衬底可选用SMOOTH-ON Ecoflex系列硅胶、 聚二甲基硅氧烷或者3M VHB系列。
28、 胶带。 本实施例采用SMOOTH-ON Ecoflex系列硅胶Ecoflex 0030制作弹性衬底， 取等量 Ecoflex 0030A胶和Ecoflex 0030B胶混合均匀， 真空脱泡后倒入预先准备的容器内静置固 化。 需要保证容器底面干净、 平整。 通过调整取胶量和容器容积， 可以方便调控固化弹性衬 底的厚度。 0065 步骤2， 在沉积SiO2的Si衬底上制备电极阵列； 0066 在等待弹性衬底固化过程中， 可以在沉积SiO2绝缘层的Si衬底上制备电极阵列， 在制备电极阵列时神经电极和内引线采用一体成型、 无缝连接， 保证电极阵列在承受较大 压缩褶皱形变的过程中能够保持良好的电气完整。
29、性。 制备完成的电极阵列位于Si衬底上。 0067 步骤3， 对步骤2中制备完成的电极阵列进行剥离； 0068 步骤4， 将步骤3中剥离后的电极阵列贴合至弹性衬底上进行褶皱处理； 0069 步骤5， 将步骤4完成褶皱处理的弹性衬底切割成图3所示的形状并固定在支撑体 上， 再将外部转接口固定在支撑体上； 0070 步骤6， 将外引线的一端采用导电银浆固定在步骤5中完成褶皱处理的电极阵列的 粘合位点上， 另一端焊接固定在步骤6中的外部转接口上； 0071 步骤7， 将绝缘体贴覆于步骤6中的弹性底衬、 外引线和外部转接口上， 并使绝缘体 上设置的缺口暴露出电极阵列的神经电极的有效监测部位。 0072。
30、 封装体为聚二甲基硅氧烷或者SMOOTH-ON Ecoflex系列硅胶封装体。 用硅胶封装 体覆盖电极阵列的内引线、 粘合位点、 外引线和外部转接口的焊盘， 暴露出神经电极。 优选 地， 本实施例的硅胶封装体采用SMOOTH-ON Ecoflex 0030。 0073 其中， 步骤4具体包括以下步骤： 0074 步骤41， 将步骤1中制备完成的弹性衬底拉伸； 0075 步骤42， 将步骤3中剥离后的电极阵列贴合至步骤41中拉伸后的弹性衬底上； 说 明 书 5/6 页 8 CN 106510678 A 8 0076 步骤43， 释放弹性衬底使电极阵列与弹性衬底一起收缩， 得到褶皱处理过的电极 阵。
31、列。 0077 将弹性衬底双向拉伸0400， 并保持拉伸状态， 然后将步骤3所得电极阵列贴 在预拉伸衬底上， 完美贴合后释放预拉伸， 即可得到褶皱的电极阵列。 0078 其中， 步骤3具体包括以下步骤： 0079 步骤31， 在步骤2中制备完成的电极阵列上采用匀胶法旋涂聚甲基丙烯酸甲酯并 热台加热烘干， 旋涂的转速为2000rpm4000rpm， 烘干温度为115， 烘干时长为3min； 0080 步骤32， 在步骤31的聚甲基丙烯酸甲酯上采用匀胶法旋涂聚乙烯醇并热台加热烘 干， 旋涂的转速为1000rpm4000rpm， 烘干温度为80， 烘干时长为3min； 0081 旋涂后电极阵列的整体。
32、结构如图4所示， 自上而下依次为聚乙烯醇301、 聚甲基丙 稀酸甲酯302、 电极阵列3、 二氧化硅303和硅304。 0082 步骤33， 将步骤32中完成旋涂和烘干的电极阵列放入二氧化硅刻蚀液中， 使电极 阵列由沉积SiO2的Si衬底上剥离并翻转； 0083 将旋涂后的电极阵列整体放入二氧化硅刻蚀液中， 从电极阵列的一侧轻微地鼓入 空气， 随着二氧化硅的刻蚀， 聚乙烯醇/聚甲基丙稀酸甲酯/电极阵列薄膜会从硅衬底上剥 离下来， 由于聚乙烯醇的亲水性， 导致整个电极阵列发生翻转， 翻转后自上而下顺序， 如图5 所示为电极阵列3、 聚甲基丙烯酸甲酯302和聚乙烯醇301。 0084 步骤34， 。
33、将步骤33中完成剥离的电极阵列转移至去离子水中并加热， 去除聚乙烯 醇层， 加热温度为80， 加热时长为30min。 0085 其中， 步骤1中制备完成的弹性衬底的厚度为0.2mm1mm； 步骤31中旋涂聚甲基丙 烯酸甲酯的厚度为100nm200nm， 步骤32中旋涂聚乙烯醇的厚度为20nm500nm。 优选地， 本实施例中聚甲基丙稀酸甲酯的厚度在100nm200nm之间。 聚乙烯醇的厚度为50nm。 0086 其中， 步骤41中， 弹性衬底双向拉伸100400。 本实施例中， 弹性衬底厚度在 0.2mm1mm。 0087 综上所述， 本发明褶皱神经电极阵列系统及其制备方法通过封装体覆盖电极阵。
34、列 的内引线、 粘合位点、 外引线和外部转接口的焊盘， 并在封装体的绝缘体上设置缺口使电极 阵列的神经电极的有效检测部位暴露， 其中， 电极阵列在外部机械压缩力作用下形成褶皱， 即通过双向或单向压缩形成具有褶皱结构的神经电极， 压缩后的神经电极的活性面积不 变， 但平面投影面积减小， 因此能够保证在不损失神经电极的信噪比的情况下， 通过压缩减 小神经电极的平面投影面积， 提高电极空间分辨率， 使整个褶皱神经电极阵列系统具有较 高的空间分辨率和灵敏度， 可用于神经电信号的监测和记录。 本发明褶皱神经电极阵列系 统属于柔性电极， 与生物组织力学性能相互匹配， 具有更优的生物兼容性。 0088 最后。
35、应说明的是： 以上实施例仅用以说明本发明的技术方案， 而非对其限制； 尽管 参照前述实施例对本发明进行了详细的说明， 本领域的普通技术人员应当理解： 其依然可 以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改， 或者对其中部分技术特征进行等同替换； 而这些修改或者替换， 并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和 范围。 说 明 书 6/6 页 9 CN 106510678 A 9 图1 图2 图3 说 明 书 附 图 1/4 页 10 CN 106510678 A 10 图4 图5 说 明 书 附 图 2/4 页 11 CN 106510678 A 11 图6 图7 说 明 书 附 图 3/4 页 12 CN 106510678 A 12 图8 说 明 书 附 图 4/4 页 13 CN 106510678 A 13 。