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本发明公开了一种纳米级氟化钇的制备方法。包括以下步骤:将粉末状水合硝酸钇、粉末状氟化铵混合均匀,在研钵中研磨发生固相反应,反应完全后得到胶状物;将胶状物烘干,研磨得到粉末;将粉末在不活泼气氛保护下,300500下保温36小时,得到纳米级YF3。本发明方法生产出来的纳米级氟化钇颗粒,粒径分布均匀,结晶好;操作性强,重现性好,所得产品质量稳定;反应条件简单,无需使用特殊设备,耗时少,生产效率高,生产成。