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一种高通量中性原子束流的制备技术,适用于能够产生分子气体的原子,首先将分子气体放电形成等离子体,再由强磁场约束成高密度等离子体束,要求密度大于1012离子/cm3,其特征在于:以一带负偏压的高原子序数金属板作为中性化靶,金属板的原子序较要形成原子束的原子序数大30以上,所施加的负偏压应使等离子体束的入射动能在560ev范围内,由中性靶上反射出来的即所需中性原子束。本发明获得高通量、高纯度的中性原子。