无形变硬封镜片激光器及制造方法.pdf

本发明涉及一种激光器及其制造方法。
    现有的激光器如美国尤尼菲斯公司生产的为代表，激光器镀膜镜片与腔体的封接面为同一光学表面。其制造工艺是，先将镀完膜的He-Ne激光器的反射镜与激光器腔体的金属连接件封接在一起，在封接过程中，先把激光器腔体以及镀完膜的镜片涂上玻璃粉，然后置于500℃左右的高温下经长时间加热，在热应力及外力的作用下，镜片与镀膜的腔体容易变形，并受到污染，难以达到原设计要求，而且成品率低。

    本发明的目的在于克服现有激光器及其加工方法的上述缺点，提供了一种无形变硬封镜片激光器及其制造方法，其主要特点是激光器镜片的镀膜层与腔体封接面不是在同一光学表面上，镜片靠金属连接件封接在激光器腔体中，使镜片与腔体的镀膜层不发生形变，不受污染，镀膜层可以覆盖整个主要光学面，光学面有效率百分之百。

    附图说明：图1为无形变硬封镜片激光器结构示意图。1-焊接口，2-金属内连接件，3-金属外连接件，4-镜片基片，5-镜片镀膜层，6-腔体，7-平面封接口，8-外环口，9-内螺纹;图2为无形变硬封镜片激光器平面加柱面封接口图示：5A-镜片膜层，4A-镜片基片，2A-金属内连接件，7A-平面封接口，10A-柱面封接口。

    下面结合附图叙述无形变硬封镜片激光器的结构（见图1）。它由激光器镜片基片4，在其上有一镀膜层5，金属内连接件2与镜片基片4硬封在一起。主要封接方式可采用玻璃粉熔封或者用静电封接，金属内连接件2与金属外连接件3焊接在一起，也可以用玻璃粉熔封，其腔体6与金属外连接件3封接在一起，镜片基片4与金属内连接件2的封接口可以是平面接口7、7A，也可以是柱面接口10A（图2），金属内连接件2上面有起隔热作用的外环口8和内螺纹9，镜片膜层5、5A除了采用硬质介质膜外，也可采用软质介质膜或金属膜。

    无形变硬封镜片激光器的制造方法是：先将镜片基片4抛光一个端面，在此端面上硬封金属内连接件2;再抛光镜片的另一个端面，然后在镜片基片4上镀上膜层5，制成激光镜片组件，再把镜片组件通过金属内连接件2和金属外连接件3与腔体6连接在一起。内连接件2可以用金属制作，也可以用玻璃制作，其封接口可以是平面接口7.7A，也可以是柱面接口10A（见图2），其特征是先封接后抛光，镀膜，从而保证了镜片的光学面不形变，镀膜不受污染，达到原设计要求，提高产品质量和产品的成品率。

    本发明与已有技术比较其优点是：

    1、由于制造工艺采用先封接、抛光，后镀膜，从而保证了封口地气密性和镜片不发生形变，镀膜不受污染;

    2、本发明的镜片镀膜层除了采用硬介质膜外，也可采用软介质膜或金属膜;

    3、镜片上的膜层可以覆盖整个光学表面，有效面积可达百分之百。