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本发明提供适用于因与外部环境接触而容易污染、分解或者变质的流体供给且没有外部环境的影响的流体供给装置,其包括:至少1个储藏流体或者产生流体的原料源的原料源容器、至少1个储藏用于洗涤供给装置内的液体或者用于稀释原料源的液体的洗涤和/或稀释液容器、至少1个储藏洗涤处理后的洗涤液的回收容器、至少1个用于导入惰性气体的惰性气体导入管(A)、至少1个惰性气体导入管(B)、至少1个用于连接真空管线的真空管线管。