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1、10申请公布号CN104091783A43申请公布日20141008CN104091783A21申请号201410298562922申请日20140626H01L21/77200601H01L27/12200601H01L29/78620060171申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人成都京东方光电科技有限公司72发明人蒋冬华傅永义李炳天74专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002代理人李相雨54发明名称TFT阵列基板的制作方法、TFT阵列基板和显示面板57摘要本发明提供了一种TFT阵列基板的制作方法、TFT阵列基板和显示面板，该方法中，在。
2、覆盖在所述栅电极图形之上的第二绝缘层之上采用低温工艺形成钝化层。本发明提供的TFT阵列基板的制作方法中，由于形成的钝化层相对比较疏松，不易在活化时因为热胀冷缩而断裂，从而很好的隔离栅极与源漏极，另一方面，由于低温下形成的钝化层相比与高温下形成的钝化层含氢量较高，能够在加氢过程中，更好的对多晶硅层进行加氢，从而获得更好的电学特性的稳定性。51INTCL权利要求书2页说明书5页附图2页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书2页说明书5页附图2页10申请公布号CN104091783ACN104091783A1/2页21一种TFT阵列基板的制作方法，其特征在于，包括提供玻璃基板，所。
3、述玻璃基板上形成有多晶硅层、在所述多晶硅层上形成有第一绝缘层、在所述第一绝缘层上形成有栅电极图形、在所述第一绝缘层和所述栅电极图形之上形成有第二绝缘层；对所述多晶硅层进行活化；在所述玻璃基板的第二绝缘层之上形成源漏电极图形；采用低温工艺形成覆盖在所述第二绝缘层和所述源漏电极图形上的钝化层；加氢；对所述钝化层上对应于源漏电极图形的位置进行刻蚀。2如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述采用低温工艺形成覆盖在所述第二绝缘层和所述源漏电极图形上的钝化层，具体包括在低于230的温度下形成厚度在与之间的钝化层。3如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，用于形成钝化层的材料为SINX。4如权利要求1所述的。
4、方法，其特征在于，所述对所述钝化层上对应于源漏电极图形的位置进行刻蚀，具体包括在所述钝化层上形成有机膜层，所述有机膜层中对应与所述源漏电极图形的区域形成有像素电极孔；以所述有机膜层作为掩膜对所述钝化层进行刻蚀。5如权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述钝化层上形成的有机膜层为亚克力层。6如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述以所述有机膜层作为掩膜对所述钝化层进行刻蚀，具体包括对形成亚克力层之后的玻璃基板进行灰化刻蚀至所述钝化层对应于像素电极孔的部分被完全刻蚀。7如权利要求6所述的方法，其特征在于，对形成所述亚克力层之后的玻璃基板进行灰化刻蚀时，在所述亚克力层上覆盖掩膜。8一种TFT阵列基板。
5、，其特征在于，包括玻璃基板；形成在所述玻璃基板上的多晶硅层；形成在所述多晶硅层上的第一绝缘层；形成在所述第一绝缘层上的栅电极图形；形成在所述第一绝缘层和所述栅电极图形之上的第二绝缘层；形成在所述第二绝缘层的源漏电极图形；采用低温工艺形成在所述第二绝缘层和所述源漏电极图形上的钝化层；其中，在所述第一绝缘层、所述第二绝缘层和所述钝化层中均形成有位置相对的源极接触孔和漏极接触孔，且所述源漏电极图形通过所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中的源极接触孔和漏极接触孔连接到多晶硅层。9如权利要求8所述的阵列基板，其特征在于，所述钝化层的形成温度低于230，厚权利要求书CN104091783A2/2页3度在与之间。
6、。10如权利要求8或9所述的阵列基板，其特征在于，用于形成所述钝化层的材料为SINX。11如权利要求8所述的阵列基板，其特征在于，还包括形成在所述钝化层上的有机膜层，所述有机膜层中在与所述源漏电极图形相对的位置上形成像素电极孔。12如权利要求8所述的阵列基板，其特征在于，所述第二绝缘层包括形成在所述第一绝缘层和所述栅电极图形之上的SIOX层和形成在所述二氧化硅层上的高温SINX层。13一种显示面板，包括权利要求812任一项所述的TFT阵列基板。权利要求书CN104091783A1/5页4TFT阵列基板的制作方法、TFT阵列基板和显示面板技术领域0001本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种TFT。
7、阵列基板的制作方法、TFT阵列基板和显示面板。背景技术0002由于非晶硅ASI本身的缺陷问题，如缺陷态多导致的开态电流低、迁移率低、稳定性差，使得非晶硅在很多领域的应用受到限制。为了弥补非晶硅本身的缺陷，扩大相关产品在相关领域的应用，低温多晶硅LTPS，简称PSI技术应运而生。0003图1为现有技术中LTPSTFT阵列基板的结构示意图。如图1所示，LTPSTFT阵列基板包括基板1、多晶硅层2、第一绝缘层3、栅电极4、第二绝缘层5、源漏电极6、第二绝缘层7、亚克力层8。0004其中第一绝缘层3作为栅绝缘层GI，一般采用SIOX等绝缘材料，而为了使TFT基板更好的附着保护层，第二绝缘层7一般采用附。
8、着性较好的SINX等材料，第一绝缘层3和第二绝缘层7共同构成层间介质层INTERLEVELDIELECTRIC，ILD。现有技术中第二绝缘层一般采用高温300左右工艺制作，由于SINX和SIO2的应力不一样，在活化时极易导致ILD的破裂，从而使得栅极GATE和源漏极SD短路，产生线不良和异显。另外，高温工艺导致SINX层氢含量少，无法实现充分加氢，导致电学特性不稳定。发明内容0005本发明的目的是提供一种TFT阵列基板的制作方法，以避免制作TFT基板的过程导致栅极与源漏极的短路现象，并提高TFT阵列基板的电学特性的稳定性。0006为了达到上述目的，本发明提供了一种TFT阵列基板的制作方法，包括。
9、0007提供玻璃基板，所述玻璃基板上形成有多晶硅层、在所述多晶硅层上形成有第一绝缘层、在所述第一绝缘层上形成有栅电极图形、在所述第一绝缘层和所述栅电极图形之上形成有第二绝缘层；0008对所述多晶硅层进行活化；0009在所述玻璃基板的第二绝缘层之上形成源漏电极图形；0010采用低温工艺形成覆盖在所述第二绝缘层和所述源漏电极图形上的钝化层；0011加氢；0012在所述钝化层上对应于源漏电极图形的位置进行刻蚀。0013进一步的，所述采用低温工艺形成覆盖在所述第二绝缘层和所述源漏电极图形上的钝化层，具体包括在低于230的温度下形成厚度在与之间的钝化层。0014进一步的，用于形成钝化层的材料为SINX。。
10、0015进一步的，对所述钝化层上对应于源漏电极图形的位置进行刻蚀具体包括0016在所述钝化层上形成有机膜层，所述有机膜层中对应与所述源漏电极图形的区域形成有像素电极孔；说明书CN104091783A2/5页50017以所述有机膜层作为掩膜对所述钝化层进行刻蚀。0018进一步的，在所述钝化层上形成的有机膜层为亚克力层。0019进一步的，所述以所述有机膜层作为掩膜对所述钝化层进行刻蚀，具体包括0020对形成亚克力层之后的玻璃基板进行灰化刻蚀至所述钝化层对应于像素电极孔的部分被完全刻蚀。0021进一步的，对形成所述亚克力层之后的玻璃基板进行灰化刻蚀时，在所述亚克力层上覆盖掩膜。0022本发明还提供了。
11、一种TFT阵列基板，包括0023玻璃基板；0024形成在所述玻璃基板上的多晶硅层；0025形成在所述多晶硅层上的第一绝缘层；0026形成在所述第一绝缘层上的栅电极图形；0027形成在所述第一绝缘层和所述栅电极图形之上的第二绝缘层；0028形成在所述第二绝缘层的源漏电极图形；0029采用低温工艺形成在所述第二绝缘层和所述源漏电极图形上的钝化层；0030其中，在所述第一绝缘层、所述第二绝缘层和所述钝化层中均形成有位置相对的源极接触孔和漏极接触孔，且所述源漏电极图形通过所述第一绝缘层和所述第二绝缘层中的源极接触孔和漏极接触孔连接到多晶硅层。0031进一步的，所述钝化层的形成温度低于230，厚度在与之。
12、间。0032进一步的，用于形成所述钝化层的材料为SINX。0033进一步的，所述阵列基板还包括形成在所述钝化层上的有机膜层，所述有机膜层中在与所述源漏电极图形相对的位置上形成像素电极孔。0034进一步的，所述第二绝缘层包括形成在所述第一绝缘层和所述栅电极图形之上的SIOX层和形成在所述二氧化硅层上的高温SINX层。0035本发明还提供了一种显示面板，包括上述任一项所述的TFT阵列基板。0036本发明提供的TFT阵列基板的制作方法中，在源漏极图形上覆盖一层采用低温工艺形成钝化层，这样一方面由于低温形成的钝化层相对比较疏松，不易在活化时因为热胀冷缩而断裂，从而很好的隔离栅极与源漏极，另一方面，由于。
13、低温下形成的钝化层相比与高温下形成的钝化层含氢量较高，能够在加氢过程中，更好的对多晶硅层进行加氢，从而获得更好的电学特性的稳定性。附图说明0037图1为现有技术中的TFT阵列基板的截面示意图；0038图2为本发明实施例提供的TFT阵列基板的制作方法的流程示意图；0039图3为本发明提供的TFT阵列基板的制作方法中所使用的玻璃基板的截面示意图；0040图4为本发明提供的TFT阵列基板的制作方法中制作SD图形后的截面示意图；0041图5为本发明提供的TFT阵列基板的制作方法中制作钝化层之后的截面示意图；0042图6为本发明实施例提供的TFT阵列基板的截面示意图。说明书CN104091783A3/5。
14、页6具体实施方式0043下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。0044本发明提供了一种薄膜场效应晶体管TFT阵列基板的制作方法，如图2所示，包括0045步骤S1，提供玻璃基板；图3为步骤S1中所提供的玻璃基板的示意图，包括玻璃基板1，形成在所述玻璃基板上的多晶硅层2、形成在所述多晶硅层上的第一绝缘层3、形成在所述第一绝缘层上的栅电极图形4、形成在所述第一绝缘层3和所述栅电极图形4之上的第二绝缘层5；0046实际应用中，可以采用传统的工艺形成具有上述结构的玻璃基板，其具体过程在此不再说明。004。
15、7步骤S2，对所述多晶硅层进行活化。0048实际应用中，多晶硅层经过多次B离子和P离子注入后，多晶硅中部分结构被破坏，需要在550度左右的高温下100秒左右的快速退火，修复被破坏的结构。具体实施时，为了保证快速退火，可以采用能够快速提高温度的设备，比如高温炉结构和线性高温腔体结构。为了保证退火的效果，温度稳定性应保持在10度以内。0049步骤S3，在玻璃基板的第二绝缘层5上形成源漏电极图形6；图4为经步骤S3后得到的阵列基板的截面示意图；0050实际应用中，步骤S6的过程可以具体为在所述玻璃基板的第一绝缘层3和第二绝缘层4上刻蚀源极接触孔和漏极接触孔至多晶硅层，之后在暴露的多晶硅层以及第二绝缘。
16、层上沉淀SD源漏极金属层，之后对SD层进行刻蚀，形成包含源极和漏极的源漏极图形；这个过程在现有技术中也有诸多实现，在此不再进一步说明。0051步骤S4，采用低温工艺形成覆盖在所述第二绝缘层5和所述源漏电极图形6上的钝化层7；图5为经步骤S3后得到的阵列基板的截面示意图；0052步骤S5，加氢；0053实际应用中，为了进行结晶化工艺，多晶硅层的氢含量在2以内。在具体实施例时，为了改善多晶硅的电学特性，步骤S5的步骤可以具体包括在350度左右的高温下烘烤30分钟，使富含氢的低温钝化层中的氢扩散到多晶硅层，使多晶硅层中的多晶硅结构更完整。进一步的，采用可以同时烘烤多张玻璃的炉子以提高加氢效率，加氢时。
17、的温度一般维持在在35010度的范围内。0054步骤S6，在所述钝化层7上对应于源漏电极图形6的位置进行刻蚀。0055本发明提供的TFT阵列基板的制作方法中，在源漏极图形上覆盖一层采用低温工艺形成的钝化层，这样一方面由于低温形成的钝化层相对比较疏松，不易在活化时因为热胀冷缩而断裂，从而很好的隔离栅极与源漏极，另一方面，由于低温下形成的钝化层相比与高温下形成的钝化层含氢量较高，能够在加氢过程中，更好的对多晶硅层进行加氢，从而获得更好的电学特性的稳定性。0056优选的，所述步骤S4具体为在低于230的温度下形成厚度在与之间的钝化层。说明书CN104091783A4/5页70057优选的，用于形成钝。
18、化层7的材料为SINX。0058优选的，步骤S6具体包括0059步骤S61，在所述钝化层7上形成有机膜层8，所述有机膜层8中形成有像素电极孔，所述像素电极孔的投影落在所述源漏电极图形6上；0060步骤S62，以所述有机膜层8作为掩膜对所述钝化层7进行刻蚀。经步骤S62刻蚀后，形成图6中所示的TFT阵列基板。0061由于有机膜层中形成有与源电极和漏电极对应的像素电极孔，这样就可以作为掩膜实现对钝化层的刻蚀，从而减少一次掩膜的使用。0062优选的，所述步骤S61包括在所述钝化层7上形成的有机膜层8为亚克力层。0063优选的，所述步骤S62具体为0064对步骤S61以后得到的结构进行灰化刻蚀至所述钝。
19、化层7对应于像素电极孔的部分被完全刻蚀。0065实际过程中，可以使用氧气与四氟化硫混合气体对有机膜层8和钝化层7进行灰化刻蚀。0066优选的，所述步骤S62包括0067在对步骤S61以后得到的结构进行灰化刻蚀时在所述亚克力层上覆盖掩膜。0068不难理解，这里在亚克力层上覆盖的掩膜不覆盖形成在亚克力层上的过孔。通过这种方式，可以避免对亚克力层的过刻，一般的，对亚克力层的刻蚀厚度应低于0069本发明实施例提供了一种TFT阵列基板，如图6所示，包括0070玻璃基板1；0071形成在所述玻璃基板1上的多晶硅层2；0072形成在所述多晶硅层2上的第一绝缘层3；0073形成在所述第一绝缘层3上的栅电极图形。
20、4；0074形成在所述第一绝缘层3和所述栅电极图形4之上的第二绝缘层5；0075形成在所述第二绝缘层5的源漏电极图形6；0076采用低温工艺形成在所述第二绝缘层5和所述源漏电极图形6上的钝化层7；0077其中，在所述第一绝缘层3、所述第二绝缘层5和所述钝化层7中均形成有位置相对的源极接触孔和漏极接触孔，且所述源漏电极图形通过所述第一绝缘层3和所述第二绝缘层5中的源极接触孔和漏极接触孔连接到多晶硅层2。0078本发明提供的TFT阵列基板中，在源漏极图形上覆盖一层采用低温工艺形成的钝化层，这样一方面由于低温形成的钝化层相对比较疏松，不易在活化时因为热胀冷缩而断裂，从而很好的隔离栅极与源漏极，另一方。
21、面，由于低温下形成的钝化层相比与高温下形成的钝化层含氢量较高，能够在加氢过程中，更好的对多晶硅层进行加氢，从而获得更好的电学特性的稳定性。0079优选的，所述钝化层7的形成温度低于230，厚度在与之间。0080优选的，用于形成钝化层7的材料为SINX。0081优选的，所述阵列基板还包括形成在所述钝化层7上的有机膜层8，所述有机膜层中也应该形成有像素电极孔，且像素电极孔的投影落在源漏电极图形6上，以保证源漏说明书CN104091783A5/5页8电极图形6能够通过这样的像素电极孔连接像素电极。0082优选的，所述第二绝缘层5包括形成在所述第一绝缘层3和所述栅电极图形4之上的SIOX层和形成在所述SIOX层上的高温SINX层。0083本发明还提供了一种显示面板，包括上述任一项所述的TFT阵列基板。0084这里的显示面板可以用于电子纸、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。0085以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。说明书CN104091783A1/2页9图1图2图3图4说明书附图CN104091783A2/2页10图5图6说明书附图CN104091783A10。