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1、10申请公布号CN104064447A43申请公布日20140924CN104064447A21申请号201410170033022申请日20140425H01L21/02200601H01L21/32920060171申请人中国振华集团永光电子有限公司地址550018贵州省贵阳市乌当区新添大道北段270号72发明人袁锟王智姚俊赵志云74专利代理机构贵阳中新专利商标事务所52100代理人刘楠54发明名称一种防止二极管管芯台面被污染的方法57摘要本发明公开了一种防止二极管管芯台面被污染的方法，该方法是在硅片“打点”形成管芯台面后，将适量固态石蜡放在管芯台面上，而后将硅片水平放入烘箱加热，使石蜡由。
2、固态变为液态后沿管芯台面流动并布满整个管芯台面后然后切断烘箱电源，使硅片在烘箱内保持水平状态自然冷却至石蜡重新凝固成固态，通过管芯台面表面的固态石蜡保护层隔绝管芯台面与外界空气的接触，以达到防止管芯台面被污染的目的。采用石蜡保护层替代现有保护层，以简化生产工艺，缩短生产周期，降低生产成本。51INTCL权利要求书1页说明书2页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书2页10申请公布号CN104064447ACN104064447A1/1页21一种防止二极管管芯台面被污染的方法，其特征在于该方法是在硅片“打点”形成管芯台面后，将适量固态石蜡放在管芯台面上，而后将硅片水。
3、平放入烘箱加热，使石蜡由固态变为液态后沿管芯台面流动并布满整个管芯台面后然后切断烘箱电源，使硅片在烘箱内保持水平状态自然冷却至石蜡重新凝固成固态，通过管芯台面表面的固态石蜡保护层隔绝管芯台面与外界空气的接触，以达到防止管芯台面被污染的目的。2根据权利要求1所述施工方法，其特征在于所述将适量固态石蜡放在管芯台面上，其适量是指石蜡由固态变为液态后可以布满整个管芯台面并不会从管芯台面溢出为准。3根据权利要求1所述方法，其特征在于所述石蜡采用含杂质较少的白蜡。权利要求书CN104064447A1/2页3一种防止二极管管芯台面被污染的方法技术领域0001本发明涉及一种防止二极管管芯台面被污染的方法，属于。
4、二极管制造技术领域。背景技术0002二极管是电子行业使用最广泛的一种电子元件，为了确保二极管的质量，在制造过程需要对扩散后的硅片进行电压检测“打点”，“打点”后在硅片上形成管芯台面，管芯台面是二极管的核心，若被污染则会影响二极管的质量，因此需要在管芯台面生成保护层以防止被污染。现有的保护层生成方法工艺复杂，所用时间较长，成本高。并且现有技术需要抽取样片进行表面金属化芯片裂片焊接台面腐蚀台面钝化等后部工序，才能对击穿电压进行检测，因此，现有的防止二极管管芯台面被污染的方法不仅存在着工艺复杂、所用时间较长、成本高的问题，而且还存在着工序多、质量不易保证的问题。发明内容0003本发明的目的在于，提供。
5、一种防止二极管管芯台面被污染的方法，以简化生产工艺，缩短生产周期，降低生产成本，从而克服现有技术的不足。0004本发明的技术方案一种防止二极管管芯台面被污染的方法，该方法是在硅片“打点”形成管芯台面后，将适量固态石蜡放在管芯台面上，而后将硅片水平放入烘箱加热，使石蜡由固态变为液态后沿管芯台面流动并布满整个管芯台面后然后切断烘箱电源，使硅片在烘箱内保持水平状态自然冷却至石蜡重新凝固成固态，通过管芯台面表面的固态石蜡保护层隔绝管芯台面与外界空气的接触，以达到防止管芯台面被污染的目的。0005前述方法中，所述将适量固态石蜡放在管芯台面上，其适量是指石蜡由固态变为液态后可以布满整个管芯台面并不会从管芯。
6、台面溢出为准。0006前述方法中，所述石蜡采用含杂质较少的白蜡。0007由于采用了上述技术方案，本发明与现有技术相比，本发明采用石蜡保护层替代现有保护层，大大简化了加工工艺，有效地避免了原有工艺工序多、时间长、成本高的不足，并且本发明还有效地简化了生产工艺、缩短了生产周期、大大降低了生产成本。具体实施方式0008下面结合实施例对本发明作进一步的详细说明，但不作为对本发明的任何限制。实施例0009本发明的一种防止二极管管芯台面被污染的方法为，该方法是在现有的硅片“打点”工艺形成管芯台面后，将适量固态石蜡放在管芯台面上，石蜡采用现有技术中的含杂质较少的白蜡；而后将硅片水平放入烘箱加热，使石蜡由固态变为液态后沿管芯台面流动并布满整个管芯台面后然后切断烘箱电源，使硅片在烘箱内保持水平状态自然冷却至石蜡重说明书CN104064447A2/2页4新凝固成固态，通过管芯台面表面的固态石蜡保护层隔绝管芯台面与外界空气的接触，以达到防止管芯台面被污染的目的。所述将适量固态石蜡放在管芯台面上，其适量是指石蜡由固态变为液态后可以布满整个管芯台面并不会从管芯台面溢出为准。说明书CN104064447A。