装置检查方法和使用该方法的装置 本发明涉及一种装置的检查，特别是一种根据自检程序检查计算机控制类型的装置的方法，和使用该方法的装置。
在现有的根据检查程序检查诸如制造装置和测试装置之类的计算机控制类型装置的方法中，以预定频率用集合方式检查装置各部件的许多检查项目，例如一天两次。检查一般需要很长的时间，使得装置的操作时间缩短。因而需要一种较短检查时间的检查方法。
为了解决上述问题，迄今为止已经提出了各种检查装置的方法。日本专利申请公开公告(JP-A-Showa 63-204438)中表述了一种检查方法。在如图1B所示的这种现有方法中，用于检查一个计算机控制型制造或测试装置的检查程序是由象检查1至检查n这样地操作检查集60组成的。图1A是说明在测试装置中现有方法中每一操作检查的检查程序的流程图。当根据图1流程中所示检查程序执行每一检查程序时，可以在短时间内进行装置检查。
即，如图1A中所示，执行了一个简单检查(步骤50)。简单检查的检查程序是这样的方式确定的，使得检查项目的最典型检查被执行，或使用最典型数据的检查被执行。在简单检查中，即使不能明确地指出故障点，也能在短时间中检测出存在或不存在故障点。
在简单检查之后，确定是否要设定一个详细检查模式(步骤51)。只有在设定了详细模式时才执行详细检查(步骤52)。详细检查与简单检查的不同在于，对于每个不同操作使用不同的数据进行详细检查。尽管需要长的检查时间，但可以获得详细的检查结果。因此，详细检查的优势在于能够指出故障点。
根据上述现有方法，在通常的装置定期保养工作中和维修后的装置操作验证中仅进行简单检查，使得能够缩短检查时间。当可以用较长时间搜索任何故障点或在装置的改造之后验证装置的操作时，可以进行详细检查以补充简单检查。
以这种方式，在现有方法中，由于执行了最典型检查或执行了使用最典型数据的检查，因此可以在一短时间中进行简单检查。但是，在简单检查中存在着简单检查不能保证装置功能和操作特性的情况。
此外，在现有方法中，由于完全保证装置的功能和操作特性的详细检查需要较长的时间，因而存在装置操作时间减少的问题。这是由于完全保证可以由简单检查和详细检查共同完成。因此，基本上没有可能省略详细检查。
另外，存在着现有方法不能保证其中检测到任何故障的装置制造或测试的产品的质量的情况。这是由于没有考虑到检查时间间隔，所以在检测到故障时难于改正产品。因此，存在着把具有缺陷的产品提供到市场的可能性。
本发明是考虑到上述问题而作出的。因此，本发明的一个目的是要提供一种有效地进行自检以提供装置功能和操作特性的完全保证的测试装置的方法。
本发明的另一个目的是要提供一种能够提高由装置制造和测试的产品的可靠性的检查装置的方法。
本发明的再一个目的是要提供一种能够减少检查时间因而可以提高装置生产率的检查装置的方法。
为了完成本发明的一个方面，在检查一装置的一种方法中，一个装置的各部件的故障时间间隔被划分为多个故障时间间隔组，每个故障时间间隔组由一特定故障时间间隔指示。根据对应于多个检查程序中每个的部件的故障时间间隔，把多个检查程序分类成多个对应于多个故障时间间隔组的组。根据特定故障时间间隔确定多个组中的每一个的组执行时间间隔。然后，根据组执行时间间隔执行多个组中每一个的多个检查程序。
该方法可以还包括当组的多个检查程序中至少一个的执行结果指示是一个故障状态时，结束组的多个检查程序的执行的步骤。
上述步骤中，确定步骤可以包括根据特定故障时间间隔确定多个组中每一个组的组执行时间间隔，使得对应于较长特定故障时间间隔的组在较长的组执行时间间隔中执行。
确定步骤也可以包括根据特定故障时间间隔确定多个组中的每一个的组执行时间间隔，使得多个组中的每一个组的组执行时间间隔比多个组的组执行时间中最短的一个长一个正整数倍。
执行步骤也可以包括根据组执行时间间隔执行多个组中每个组的多个检查程序，使得以较短组执行时间间隔顺序执行多个检查程序。
此外，确定步骤可以包括根据特定故障时间间隔确定多个组中每个组的组执行时间间隔，使得多个组的最长的一个组执行时间间隔短于装置的最短的产品制造或测试时间。
为了完成本发明的另一方面，一种具有多个部件的装置，多个部件包括一个存储器，一个用于根据对应于多个检查程序中每一个的装置的一个部件的一个故障时间间隔把多个检查程序分类成对应于多个故障时间间隔组的多个组，以便把多个检查程序以组单元存储在存储器中的分类部件，装置各部件的故障时间间隔被划分为多个故障时间间隔组，每个组由一特定故障时间间隔指示。一个确定部件根据特定故障时间间隔确定多个组中每个一个的组执行时间间隔。一个计时器计算时间。一个执行部件从存储器读出对应于计时器计算时间的组的多个检查程序，并根据组执行时间间隔执行多个组的每一个的多个检查程序。
为了完成本发明的再一个方面，一种检查装置的方法包括步骤：
把一个装置的部件的故障时间间隔划分成多个故障时间间隔组，每个故障时间间隔组由一个特定故障时间间隔指示；
根据对应于多个检查程序中每一个的该部件的故障时间间隔把多个检查程序划分为对应于多个故障时间间隔组的多个组；
根据特定故障时间间隔确定多个组中每一个组的组执行时间间隔；
根据组执行时间间隔执行多个组中每一个的多个检查程序；和
当组的多个检查程序中至少一个的执行结果指出是一个故障状态时，结束该组的多个检查程序的执行。
图1A是说明在现有方法中每一次检查操作的的流程图，和图1B是说明一个检查集的流程图；
图2是一个对其使用本发明检查方法的装置的方框图；
图3A是说明在根据本发明第一实施例的检查方法中用于每一个检查组的操作的流程图，和图3B是说明检查组的检查程序的流程图；
图4是描述在使用本发明的检查方法时装置的非操作时间的曲线图；
图5A是显示装置的MTBF与检查执行时间关系的表，和图5B是显示装置的MTBF与产品校正时间关系的表；和
图6是解释在本发明中根据故障时间间隔的多个检查程序的分组图。
以下参考附图对本发明的检查方法进行详细的说明。
在本发明中，将检查方法应用于一个诸如制造装置或测试装置之类的装置。图2示出了一种用于集成电路的计算机控制型测试装置。该测试装置具有用于自动进行集成电路电测试的部件。
首先参考图2对该计算机控制型测试装置进行说明。参考图2，假设该集成电路测试装置事先正在一操作系统的支持下进行操作。一个主存储器单元31存储多个用于装置自检的检查程序和一个集成电路测试程序。一个中央处理器(CPU)34从主存储器单元31读出用于测试集成电路的集成电路测试程序，以执行之。CPU34具有一个用于计算时间的计时器(未示出)。每次计算的时间到达一预定时间时，CPU34向一图形产生单元32，一偏压单元33，一定时信号产生单元35，和一驱动器和接收器单元36输出一测试执行指令。此时，偏压单元33以及驱动器和接收单元36给予安装在样品连接单元37上的作为测试样品的集成电路一个电测试条件。驱动器和接收单元36也通过样品连接单元37接收从被测样品发送的一个电信号。
以这种方式，执行了集成电路的测试。CPU34控制集成电路测试装置，以便顺序进行被测样品电测试的反复操作。
顺便说一下，如在这样一种集成电路的测试装置的实施例中所见，已经知道可以在计算机控制型的制造或测试装置中进行自检。也已经知道，由于装置的部件，设计条件，制造条件和使用条件不同，故障时间间隔是不固定的。
以下说明检查程序的开始条件和检查程序的执行条件。
首先，参考图5A说明检查程序的执行条件。参考图5A，根据故障时间间隔或对应于多个检查程序的部件的MTBF，把多个检查程序分为多个检查组。即，根据四个MTBF范围把多个检查程序分类为检查组1至4。第一MTBF范围是MTBF等于或大于300小时，但小于1000小时的范围。第二MTBF范围是MTBF等于或大于1000小时，但小于3000小时的范围。第三MTBF范围是MTBF等于或大于3000小时，但小于10000小时的范围。第四MTBF范围是MTBF等于或大于10000小时的范围。
在图5A中，检查执行时间间隔方框42指示一种现有方法的例子，在这种方法中，没有根据MTBF分类检查执行时间间隔，并且在该方法中每12小时进行一次检查。这种方法被称为“集合方法(1)”。检查执行时间间隔方框43指示另一种现有方法的例子，在这种方法中，没有根据MTBF分类检查执行时间间隔，并且在该方法中每48小时进行一次检查。这种方法被成为“集合方法(2)”。
检查执行时间间隔方框41是本发明的一种方法，并且以下称之为“本发明”。在这种方法中，当假设产品的检查时间间隔等于或长于3天时，要考虑产品的校正。在本发明的检查方法中，多个检查程序被分类成对应于MTBF范围的四个检查组1至4。
即，当MTBF大于300小时并小于1000小时时，检查组1在12小时的时间间隔中执行。在这种情况中，检查执行时间大约是167小时(=0.2*10000/12)。在这里，假设四个检查组的总检查时间是1小时。分配给1至4检查组的单位检查时间分别是0.2,0.2,0.3和0.3小时。
类似地，当MTBF等于或大于1000小时并且小于3000小时时，检查组2在24小时的时间间隔中执行。在这种情况中，检查执行时间大约是83小时(=0.2*10000/24)。当MTBF等于或大于3000小时并且小于10000小时时，检查组3在36小时的时间间隔中执行。在这种情况中，检查执行时间大约是83小时(=0.3*10000/36)。此外，当MTBF等于或大于10000小时时，检查组4在48小时的时间间隔中执行。在这种情况中，检查执行时间大约是63小时(=0.3*10000/48)。因此，总的检查时间大约是396小时。应当注意，是每10000小时需要396小时的检查时间。
图6示出了各检查执行时间间隔方框进行的状态。在图6中，方框Grp1,Grp2,Grp3和Grp4分别对应于每12小时，24小时，36小时和48小时所执行的检查方法。
利用开始条件，图6示出了各方框开始的日期和时间。○标记表示执行了检查，×标记表示未执行检查。如从图6中所见，每12小时，24小时，36小时和48小时执行方框(Grp1,Grp2,Grp3和Grp4)。
在本发明中，以方框Grrp1,Grp2,Grp3和Grp4同样的方式执行检查组1至4。
以下参考图3A和3B说明根据本发明的第一实施例的装置检查方法的操作。图3A是在进行计算机控制型制造或测试装置的自检时，根据本发明的第一实施例的装置检查方法的检查程序。
假设CPU 34开始对被测试样品的电测试的反复操作。在此时，首先响应来自操作人员的条件设置请求，确定是否设定了检查条件设置或改变模式(步骤11)。在设定了检查设置或改变模式的情况下，设定或改变检查程序的条件和检查程序的开始条件(步骤12)。当没有设定检查条件设置或改变模式时，或当检查条件的设置或改变结束时，响应一条件符合请求，确定已经设定的检查条件是否与要求的检查条件符合(步骤13)。如果检查条件相互不符合，那么响应该条件设置请求控制返回(步骤11)。如果检查条件相互符合，那么存储集成电路测试程序的执行结果(步骤14)。
由于执行内容的存储不是本发明的要点，所以仅给予简单的说明。当一个单元的集成电路测试程序工作执行结束时，停止电测试的反复操作。于此同时，把检查结果和执行的集成电路测试程序存储在主存储单元31中。
接下来，CPU34根据检查组和检查组的开始条件，即，检查组1至4中对应于计算的时间的一个，执行自检(步骤15)。当结束自检时，响应检查通过(PASS)请求确定检查结果是否指出PASS(步骤16)。当检查结果指示PASS时，进行执行内容的恢复。。因此，以前在步骤14中停止并且存储的执行内容得以恢复。电测试的反复操作也再次开始(步骤17)。
另一方面，当在步骤16中响应检查PASS请求执行的确定中确定不是PASS，则产生报警，并且停止制造和测试装置(步骤18)。
图3B示出了每个检查组的程序。如在图3B中所示，检查组j(1≤j≤4,j是整数)的检查1被执行。接着，确定检查1的检查结果是否是PASS(步骤22)。当检查结果是PASS时，执行下一个检查(步骤23)。重复执行这些过程。当检查组j的检查中任何一个指示检查结果不是PASS时，检查组j结束。
下面说明根据本发明的第二实施例的检查方法。
在第二实施例的方法中，当故障之间的平均时间较长时，多个检查组中每一个的执行时间间隔较长。即，执行时间间隔是这样设定的，(组j的执行时间间隔)＜(组(j+1)的执行时间间隔)。
下面说明根据本发明的第三实施例的检查方法。
在第三实施例的方法中，多个检查组中每一个的执行时间间隔比具有最短执行时间间隔的检查组的执行时间间隔长一个正整数倍。也就是说，当组j的执行时间间隔是T时，组(j+1)的执行时间间隔是nT(n是一个正整数)。
以下说明根据本发明的第四实施例的检查方法。
在第四实施例的检查方法中，多个检查组的执行顺序是以这样的方式设定的，使得首先执行具有最短执行时间间隔的检查组，然后执行具有第二短的执行时间间隔的检查组。即，当检查组j的故障之间的平均时间是MTBRj，检查组(j+1)的故障之间的平均时间是MTBF(j+1)时，并且当检查组j与检查组(j+1)是同时开始时，首先执行检查组j，然后执行检查组(j+1)。
以下说明根据本发明的第五实施例的检查方法。
在第五实施例的方法中，多个组中具有最长执行时间间隔的一个组的执行时间间隔短于装置制造或测试的产品的最短制造或检查时间间隔。即，(产品的最短制造或检查时间间隔)＞(检查组的最长执行时间间隔)。
下面说明上述实施例的总体效果。
参考图5A，可以看到，总检查执行时间具有“集合方法(2)”＜“本发明”＜“集合方法(1)”的关系。应当注意，检查时间是基于(10000小时×单位检查时间)/MTBF计算的。也就是说，由于检查组的执行频率是根据故障时间间隔设定的，所以，例如，在“集成方法(1)”中的总检查时间是834小时，其中每12小时执行图5A的检查执行时间间隔方框42。而在本发明的检查方法中，总检查时间减少到396小时，其中每12小时，24小时，36小时和48小时分别执行图5A的检查执行时间间隔方框41的检查组1至4中的每一个。
下面考虑图5B中的产品故障分析时间和校正时间。故障检测次数是48次(在这种情况中是10000/MTBF)，不考虑检查执行时间间隔。当每次故障分析时间是1小时时，总的分析时间是大约48小时。
在参看图5B中的产品校正时间时，产品校正时间方框45一种方法，在这种方法中每12小时集合地执行检查，而不根据MTBF分类检查组。这种方法对应于“集合方法(1)”。产品校正时间方框44也对应于本发明的检查方法。如果当假设产品制造或检查时间等于或大于3天时考虑产品校正，产品校正时间方框46是这样一种方法，在这种方法中每48小时集合地执行检查，而不根据MTBF分类检查组。这种方法对应于“集合方法(2)”。
在这种情况中，总校正时间具有“集合方法(2)”＞“本发明”＞“集合方法(1)”的关系。应当注意，在产品校正程序中，提取总数3％的产品再次进行检查。如果在进行(1,0)确定时检测到任何故障，那么要重新测试全部产品。
因此，如果检查执行时间间隔长，那么检查执行时间就变短。但是，校正时间变长。此外，根据装置的故障点，有时故障会极大地影响产品的检查结果。因此，全部产品的再检查比率有时会增大。图5B示出了总产品校正时间的最坏情况。在这种情况中，假设有40％总数的产品被再检查。全部产品的再检查比率一般低于百分之几。
在这种方式中，在故障检测时的装置的非操作时间是由总检查时间，分析时间和总产品校正时间的总和构成的。图4示出了装置的非操作时间比率的比较实例。在图4中，用“集合方法(1)”作为参考，“集合方法(2)”和“本发明”的非操作时间显示在非操作时间比率的竖轴上，被校正的产品的比率显示在横轴上。图4显示了当再测试产品与产品总数的比从1％至40％变化时，集合方法(1)与本发明之间的比较。如从图4中所见，本发明的非操作时间最小。
如上所述，根据本发明，由于依据故障时间间隔设定检查组的执行频率，可以在相对短的检查执行时间中有效地检测出故障。
此外，根据本发明，多个检查组中的每个检查组的执行时间间隔比具有检查程序的最短执行时间间隔的检查组的执行时间间隔长一个正整数倍。因此，当在相同时间开始检查时，可以消除存储执行内容和恢复执行内容所需的损失时间。因而可以减少伴随检查执行的损失时间。
另外，根据本发明，可以在短时间间隔中检查具有高故障频率的点，可以减少故障检测所需的时间。
此外，根据本发明，(产品的最短制造或检查时间间隔)＞(检查组的最长执行时间间隔)。因此，因为可以进行产品校正，所以即使在装置的故障是以检查的结果被检测到的，也可以防止有缺陷产品的外流。
如上所述，根据本发明，有效地进行了装置的自检，以提供装置的功能和操作特性的完全保证。还能够提高装置制造和测试的产品的可靠性。此外，可以减少检查时间，使得能够提高装置的生产率。