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1、10申请公布号CN104102031A43申请公布日20141015CN104102031A21申请号201410270303522申请日20140617G02F1/1320060171申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人北京京东方显示技术有限公司72发明人马兴74专利代理机构北京同达信恒知识产权代理有限公司11291代理人黄志华54发明名称一种探针器件和检测装置57摘要本发明提供了一种探针器件和检测装置，用于解决现有技术中因受探针主体的位置限制而导致的不能将测试信号加载到阵列基板中的问题。其中，所述探针器件包括所述探针器件包括探针头部和探针主体；所。
2、述探针器件还包括用于连接所述探针头部和所述探针主体、并根据需要改变所述探针头部和探针主体的相对位置的连接部。51INTCL权利要求书1页说明书6页附图2页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书6页附图2页10申请公布号CN104102031ACN104102031A1/1页21一种探针器件，所述探针器件包括探针头部和探针主体；其特征在于，所述探针器件还包括用于连接所述探针头部和所述探针主体、并根据需要改变所述探针头部和探针主体的相对位置的连接部。2如权利要求1所述的探针器件，其特征在于，所述连接部包括设置在所述探针主体上的第一子连接结构，和设置在所述探针头部、与所。
3、述第一子连接结构相匹配的第二子连接结构，所述探针头部和探针主体通过所述第一子连接结构和所述第二子连接结构连接。3如权利要求2所述的探针器件，其特征在于，所述第二子连接结构上设置有一凸形结构；所述第一子连接结构上设置有与所述凸形结构相匹配的、供所述凸形结构滑动的凹槽，使得所述凸形结构在所述凹槽中滑动；或者，所述第一子连接结构上设置有多个与所述凸形结构相匹配的凹形结构。4如权利要求3所述的探针器件，其特征在于，所述凹槽的长度不大于与所述第一子连接结构连接的探针主体的一端的宽度。5如权利要求3所述的探针器件，其特征在于，当所述第二子连接结构上设置有一凸形结构，所述第一子连接结构上设置有与所述凸形结构。
4、相匹配的、供所述凸形结构滑动的凹槽时，所述凹槽的深度和与之相匹配所述凸形结构的高度相匹配，所述凹槽的宽度大于所述凸形结构的宽度。6如权利要求2所述的探针器件，其特征在于，所述第二子连接结构上设置有一凹形结构，所述第一子连接结构上设置有多个与所述凹形结构相匹配的凸形结构。7如权利要求35任一权项所述的探针器件，其特征在于，设置在所述第二子连接结构上的凸形结构或凹形结构，在垂直于所述探针主体所处的平面、且沿垂直于所述探针头部的延伸方向上的横截面的形状为矩形或梯形。8如权利要求3所述的探针器件，其特征在于，所述凹形结构的中心位置处设置有孔径大小与螺栓的直径相匹配的第一螺孔，所述第一螺孔贯穿所述凹形结。
5、构；所述凸形结构的中心位置处设置有孔径大小与螺栓的直径相匹配的第二螺孔，所述第二螺孔贯穿所述凸形结构；所述第一子连接结构的远离所述第二子连接结构的一侧镶嵌有多个与所述螺栓相匹配的螺母，所述螺母的中心轴与所述第一螺孔的中心轴在同一直线上，所述第一子连接结构与第二子连接结构通过所述螺栓和螺母固定。9一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括权利要求18任一权项所述的探针器件。权利要求书CN104102031A1/6页3一种探针器件和检测装置技术领域0001本发明涉及显示器件的检测技术领域，尤其涉及一种探针器件和检测装置。背景技术0002阵列工艺是薄膜晶体管液晶显示THINFILMTRANSISTO。
6、RLIQUIDCRYSTALDISPLAY，TFTLCD装置制造过程中的一个阶段。在阵列工艺中，需要在玻璃基板上形成薄膜晶体管阵列电路。阵列电路的优劣直接决定了薄膜晶体管液晶显示屏的品质，对于阵列电路的检测也就成为制造流程中的重要工序。0003如图1所示为现有技术中阵列电路的检测装置。所述检测装置包括多个探针器件和用来固定探针器件的探针框架；其中，所述探针器件包括探针头部11和探针主体12。检测过程中，通过探针头部的探针与液晶面板上的信号加载结构相接触，使得测试信号加载到阵列电路中。在实际应用中，由于TFTLCD阵列基板的多样性，探针框架的设计也就多种多样，探针的分布可以为左右排列方式、上行排。
7、列方式，还可以为四周排列方式；特殊地，某些探针框架中央部位也存在横梁和竖梁，上面安装有一定数量的探针，以满足不同电路的需求。0004然而，由于各代生成线中基板尺寸固定，检测设备基台一旦完成设计，其尺寸就已固定。在薄膜晶体管液晶显示装置的开发设计中，基板高利用率的设计会使液晶面板上的信号加载结构靠近基板的边缘，此时，由于探针框架和探针主体都会占据一定的空间，且由于探针头部位于探针主体的正中间，因此处于边缘的探针器件就可能由于受探针框架和探针主体的位置限制，不能通过探针头部将测试信号加载到处于基板边缘的信号加载结构中，从而影响阵列电路的检测过程，降低阵列基板检测的成功率，影响生产效率。发明内容00。
8、05本发明实施例提供了一种探针器件和检测装置，用于解决现有技术中因受探针主体的位置限制而导致的不能将测试信号加载到阵列基板中的问题。0006本发明实施例提供了一种探针器件，包括0007所述探针器件包括探针头部和探针主体；所述探针器件还包括用于连接所述探针头部和所述探针主体、并根据需要改变所述探针头部和探针主体的相对位置的连接部。0008本发明实施例提供的探针器件中，包括探针头部、探针主体和用于连接所述探针头部和所述探针主体、并根据需要改变所述探针头部和探针主体的相对位置的连接部。通过所述连接部，可以将所述探针头部和探针主体固定连接，并且当探针头部需要与位于基板边缘的信号加载结构接触加载测试信号。
9、时，通过所述连接部调整所述探针头部与探针主体的相对位置，将所述探针头部固定到所述探针主体的靠近基板的边缘一侧、与所述位于基板边缘的信号加载结构相对应的位置，使得所述探针头部与所述信号加载结构相接触，将测试信号加载到所述处于基板边缘的信号加载结构中，从而有效的解决了现有技术中因探针头部位于探针主体的正中间，受所述探针主体位置的限制而造成的不能将测试信号加说明书CN104102031A2/6页4载处于基板边缘的信号加载结构中的问题，提高了阵列基板的检测成功率和生产效率。0009较佳的，所述连接部包括设置在所述探针主体上的第一子连接结构，和设置在所述探针头部、与所述第一子连接结构相匹配的第二子连接结。
10、构，所述探针头部和探针主体通过所述第一子连接结构和所述第二子连接结构连接。0010由于所述连接部包括设置在所述探针主体上的第一子连接结构，和设置在所述探针头部、与所述第一子连接结构相匹配的第二子连接结构，使得可以通过连接所述第一子连接结构和第二子连接结构进而实现所述探针头部与探针主体的连接。0011较佳的，所述第二子连接结构上设置有一凸形结构；0012所述第一子连接结构上设置有与所述凸形结构相匹配的、供所述凸形结构滑动的凹槽，使得所述凸形结构在所述凹槽中滑动；或者，所述第一子连接结构上设置有多个与所述凸形结构相匹配的凹形结构。0013当所述第二子连接结构上设置有一凸形结构，所述第一子连接结构上。
11、设置有与所述凸形结构相匹配的、供所述凸形结构滑动的凹槽时，通过在所述凹槽中滑动所述凸形结构改变所述探针头部与探针主体的相对位置，以解决现有技术中因受探针主体的位置限制，探针头部不能与液晶面板上的信号加载结构接触而导致的测试信号不能成功加载的问题。或者，当所述第二子连接结构上设置有一凸形结构，所述第一子连接结构上设置有多个与所述凸形结构相匹配的凹形结构时，通过将所述凸形结构放置在不同的凹形结构中，将所述第一子连接结构与所述第二子连接结构通过卡接方式连接，来改变所述探针头部与探针主体的相对位置，以解决现有技术中因受探针主体的位置限制，探针头部不能与液晶面板上的信号加载结构接触而导致的测试信号不能成。
12、功加载的问题。0014较佳的，所述凹槽的长度不大于与所述第一子连接结构连接的探针主体的一端的宽度。当所述凹槽的长度等于或小于与其靠近的探针主体的一端的宽度时，通过在所述凹槽中滑动改变所述第一连接结构与第二连接结构的相对位置，从而改变所述探针头部与所述探针主体的相对位置。0015较佳的，当所述第二子连接结构上设置有一凸形结构，所述第一子连接结构上设置有与所述凸形结构相匹配的、供所述凸形结构滑动的凹槽时，所述凹槽的深度和与之相匹配所述凸形结构的高度相匹配，所述凹槽的宽度大于所述凸形结构的宽度。当所述凹槽的深度和与之相匹配所述凸形结构的高度相匹配，所述凹槽的宽度大于所述凸形结构的宽度、所述凹槽与所述。
13、凸形结构之间存在一定的间隙时，所述凸形结构才能更好的在所述凹槽中滑动。0016较佳的，所述第二子连接结构上设置有一凹形结构，所述第一子连接结构上设置有多个与所述凹形结构相匹配的凸形结构。0017当所述第二子连接结构上设置有一凹形结构，所述第一子连接结构上设置有多个与所述凹形结构相匹配的凸形结构第一子连接结构上设置有一凸形结构时，通过将所述凸形结构放置在不同的凹形结构中，将所述第一子连接结构与所述第二子连接结构通过卡接方式连接，来改变所述探针头部与探针主体的相对位置，以解决现有技术中因受探针主体的位置限制，探针头部不能与液晶面板上的信号加载结构接触而导致的测试信号不能成功加载的问题。0018较佳。
14、的，设置在所述第二子连接结构上的凸形结构或凹形结构，在垂直于所述探说明书CN104102031A3/6页5针主体所处的平面、且沿垂直于所述探针头部的延伸方向上的横截面的形状为矩形或梯形。0019当所述第二子连接结构上的凸形结构或凹形结构的横截面图形为矩形或梯形时，所述第二子连接结构与所述第一子连接结构能够通过卡接方式连接。0020较佳的，所述凹形结构的中心位置处设置有孔径大小与螺栓的直径相匹配的第一螺孔，所述第一螺孔贯穿所述凹形结构；所述凸形结构的中心位置处设置有孔径大小与螺栓的直径相匹配的第二螺孔，所述第二螺孔贯穿所述凸形结构；0021所述第一子连接结构的远离所述第二子连接结构的一侧镶嵌有多。
15、个与所述螺栓相匹配的螺母，所述螺母的中心轴与所述第一螺孔的中心轴在同一直线上，所述第一子连接结构与第二子连接结构通过所述螺栓和螺母固定。0022本发明实施例提供了一种检测装置，所述检测装置包括上述的探针器件。附图说明0023图1为现有技术中利用探针器件进行阵列检测的原理示意图；0024图2为本发明实施例提供的一种探针器件的平面结构示意图；0025图3为本发明实施例一提供的探针器件在沿图2中AA1方向上的剖面结构示意图；0026图4为本发明实施例一提供的探针器件中第一子连接结构的平面结构示意图；0027图5为本发明实施例二提供的探针器件在沿图2中AA1方向上的剖面结构示意图；0028图6为本发明。
16、实施例三提供的探针器件中第一子连接结构的结构示意图；0029图7为实施例三提供的探针器件中第一子连接结构的平面结构示意图。具体实施方式0030本发明实施例提供了一种探针器件和检测装置，用于解决现有技术中因受探针主体的位置限制而导致的不能将测试信号加载到阵列基板中的问题。0031下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。0032本发明实施例提供了一种探针器件，所述探针器件包括探针头。
17、部和探针主体；所述探针器件还包括用于连接所述探针头部和所述探针主体、并根据需要改变所述探针头部和探针主体的相对位置的连接部。0033参见图2和图3，图2为本发明实施例一提供的探针器件的平面结构示意图，图3为沿图2中虚线AA1方向的探针器件的剖面结构示意图；从图2和图3中可以看出，所述探针器件包括探针头部11、探针主体12，以及用于连接所述探针头部11和探针主体12的连接部13；0034具体的，所述连接部13，包括第一子连接结构14和第二子连接结构15；所述第一子连接结构13设置在所述探针主体12上与所述探针头部11相对的一侧，所述第二子连接说明书CN104102031A4/6页6结构15设置在。
18、所述探针头部11与所述探针主体相对的一侧；0035由于所述连接部包括设置在所述探针主体上的第一子连接结构，和设置在所述探针头部、与所述第一子连接结构相匹配的第二子连接结构，使得可以通过连接所述第一子连接结构和第二子连接结构进而实现所述探针头部与探针主体的连接。0036所述第一子连接结构14与所述第二子连接结构15相对的一侧上设置有多个凹形结构，所述多个凹形结构呈等间距直线分布状。在实际工艺中，每两个相邻的凹形结构的中心位置之间的距离为0812CM。0037当所述多个凹形结构呈等间距直线分布时，可使得所述探针头部与探针主体之间的距离保持不变，并且可以根据所述凹形结构之间的间距进一步估计第二子连接。
19、结构15需要放置的位置。此外，所述多个凹形结构还可以呈非等间距直线分布或其他状态分布。0038所述第二子连接结构15与所述第一子连接结构14相对的一侧上设置有一与所述凹形结构相匹配的凸形结构，通过所述凹形结构和凸形结构卡接在一起，使得所述第一子连接结构14和第二子连接结构15连接，进而使得探针头部11和探针主体12连接在一起。并且，通过将所述凸形结构放置在不同的凹形结构中，将所述第一子连接结构与所述第二子连接结构通过卡接方式连接，来改变所述探针头部与探针主体的相对位置，以解决现有技术中因受探针主体的位置限制，探针头部不能与液晶面板上的信号加载结构接触而导致的测试信号不能成功加载的问题。0039。
20、进一步的，设置在所述第二子连接结构上的凸形结构或凹形结构，在垂直于所述探针主体所处的平面、且沿垂直于所述探针头部的延伸方向上的横截面的形状为矩形或梯形。当所述第二子连接结构上的凸形结构的横截面的形状为矩形或梯形时，便于所述第二子连接结构与所述第一子连接结构能够通过卡接方式连接。此外，所述横截面图形还可以为三角形，半圆形或其它不规则图形。0040参见图4，为使所述第一子连接结构与所述第二子连接结构之间的连接更加稳固，在所述凹形结构的中心位置处设置有孔径大小与螺栓的直径相匹配的第一螺孔142，所述第一螺孔142贯穿所述凹形结构；相应的，在所述凸形结构的中心位置处设置有孔径大小与螺栓的直径相匹配的第。
21、二螺孔151，所述第二螺孔151贯穿所述凸形结构；并且，在所述第一子连接结构14远离所述第二子连接结构15的一侧、与每一所述凹形结构相对应的位置都镶嵌有一螺母141，所述螺母141的中线周与所述第一螺孔142的中心轴位于同一直线上，通过所述螺母、第一螺孔、第二螺孔以及与所述螺母相匹配的螺栓将所述第一子连接结构和第二子连接结构固定，从而使所述探针主体与探针头部之间的连接更加稳定。0041本发明实施例二提供了一种探针器件，参见图5；图5为本发明实施例二提供的探针器件的剖面结构示意图；从图5中可以看出，本发明实施例二提供的探针器件的结构与本发明实施例一提供的探针器件的结构基本相似，二者不同之处在于0。
22、042在本发明实施例一提供的探针器件中，所述第一子连接结构14设置有多个凹形结构，所述第二子连接结构15上设置有与所述凹形结构相匹配的凸形结构；而本发明实施例二提供的探针器件中，所述第一子连接结构14设置有多个凹形结构，所述第二子连接结构15上设置有一与所述凹形结构相匹配的凸形结构。0043本发明实施例三提供一种探针器件，参见图2和图6；其中，图6为所述探针器件中第一子连接结构的结构示意图；从图2和图6中可以看出，本发明实施例三提供的探针器说明书CN104102031A5/6页7件的结构与本发明实施例一提供的探针器件的结构基本相似，二者不同之处在于0044在本发明实施例一提供的探针器件中，所述。
23、第一子连接结构14设置有多个凹形结构，所述第二子连接结构15上设置有与所述凹形结构相匹配的凸形结构；而本发明实施例三中，所述第一子连接结构14设置有一凹槽，所述凹槽的长度不大于与所述第一子连接结构连接的探针主体的一端的宽度,使得当所述凹槽的长度等于或小于与其靠近的探针主体的一端的宽度时，通过在所述凹槽中滑动改变所述第一连接结构与第二连接结构的相对位置，从而改变所述探针头部与所述探针主体的相对位置。相应的，所述第二子连接结构15上设置有一与所述凹槽相匹配的凸形结构。0045进一步的，所述凹槽的深度和与之相匹配所述凸形结构的高度相匹配，所述凹槽的宽度大于所述凸形结构的宽度。当所述凹槽的宽度大于所述。
24、凸形结构的宽度、所述凹槽与所述凸形结构之间存在一定的间隙时，所述凸形结构才能在所述凹槽中滑动；所述凹槽的深度和与之相匹配所述凸形结构的高度相匹配时，能够更好的保证所述凸形结构在凹槽中滑动。0046当所述第一子连接结构14上设置有与所述凸形结构相匹配的、供所述第二子连接结构15上的凸形结构滑动的凹槽时，通过在所述凹槽中滑动所述凸形结构改变所述探针头部与探针主体的相对位置，以解决现有技术中因受探针主体的位置限制，探针头部不能与液晶面板上的信号加载结构接触而导致的测试信号不能成功加载的问题。0047参见图7，为使所述第一子连接结构与所述第二子连接结构之间的连接更加稳固，在所述第一子连接结构14远离所。
25、述第二子连接结构15的一侧、与凹槽相对应的位置设置镶嵌有多个螺母141，以及贯穿所述第一子连接结构的与所述螺母相匹配的螺孔未显示；所述螺母沿所述凹槽的延伸方向呈等间距直线分布，且在实际工艺中每两个相邻的螺母的中心位置之间的距离为0812CM。所述第二子连接结构上也相应的设置有与所述贯穿所述凸形结构的与所述螺母匹配的螺孔未显示，通过所述螺母、第一子连接结构中的螺孔和第二子连接结构中的螺孔将所述第一子连接结构与所述第二子连接结构固定连接，从而使所述探针头部与所述探针主体稳定连接。0048本发明实施例提供的探针器件中，包括探针头部、探针主体和用于连接所述探针头部和所述探针主体、并根据需要改变所述探针。
26、头部和探针主体的相对位置的连接部。通过所述连接部，可以将所述探针头部和探针主体固定连接，并且当探针头部需要与位于基板边缘的信号加载结构接触加载测试信号时，通过所述连接部调整所述探针头部与探针主体的相对位置，将所述探针头部固定到所述探针主体的靠近基板的边缘一侧、与所述位于基板边缘的信号加载结构相对应的位置，使得所述探针头部与所述信号加载结构相接触，将测试信号加载到所述处于基板边缘的信号加载结构中，从而有效的解决了现有技术中因探针头部位于探针主体的正中间，受所述探针主体位置的限制而造成的不能将测试信号加载处于基板边缘的信号加载结构中的问题，提高了阵列基板的检测成功率和生产效率。0049本发明实施例。
27、四提供了一种检测装置，所述检测装置包括上述的探针器件。0050综上，本发明实施例提供了一种探针器件和检测装置；其中，所述探针器件包括探针头部、探针主体和用于连接所述探针头部和所述探针主体、并根据需要改变所述探针头部和探针主体的相对位置的连接部。通过所述连接部，可以将所述探针头部和探针主体固定连接，并且当探针头部需要与位于基板边缘的信号加载结构接触加载测试信号时，通说明书CN104102031A6/6页8过所述连接部调整所述探针头部与探针主体的相对位置，将所述探针头部固定到所述探针主体的靠近基板的边缘一侧、与所述位于基板边缘的信号加载结构相对应的位置，使得所述探针头部与所述信号加载结构相接触，将测试信号加载到所述处于基板边缘的信号加载结构中，从而有效的解决了现有技术中因探针头部位于探针主体的正中间，受所述探针主体位置的限制而造成的不能将测试信号加载处于基板边缘的信号加载结构中的问题，提高了阵列基板的检测成功率和生产效率。0051显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。说明书CN104102031A1/2页9图1图2图3说明书附图CN104102031A2/2页10图4图5图6图7说明书附图CN104102031A10。