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1、10申请公布号CN104081250A43申请公布日20141001CN104081250A21申请号201380006683522申请日20130125201201432620120126JPG02B23/26200601A61B1/00200601A61B1/045200601G02B26/10200601G02B23/2420060171申请人奥林巴斯株式会社地址日本东京都72发明人藤原真人岛本笃义西村淳一74专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人李辉黄纶伟54发明名称光扫描型观察装置57摘要光扫描型观察装置具有光源单元30,其输出激光;扫描部23,其在观察对象物70上。
2、扫描从光源输出的激光的会聚位置;以及检测单元40,其对通过激光的扫描而得到的信号光进行取样,将其转换为电信号,根据扫描部24在观察对象物70上的扫描速度的变化,改变对每1次取样的信号光进行检测的取样时间。由此,提供减少了由于每次取样的扫描速度的变化而导致的图像分辨率的变化的光扫描型观察装置。30优先权数据85PCT国际申请进入国家阶段日2014072586PCT国际申请的申请数据PCT/JP2013/0003942013012587PCT国际申请的公布数据WO2013/111604JA2013080151INTCL权利要求书2页说明书19页附图13页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利。
3、申请权利要求书2页说明书19页附图13页10申请公布号CN104081250ACN104081250A1/2页21一种光扫描型观察装置,其特征在于,该光扫描型观察装置具有光源,其输出激光;扫描机构,其在观察对象物上扫描从所述光源输出的所述激光的会聚位置;以及检测部,其对通过所述激光的扫描而得到的信号光进行取样,将其转换为电信号,根据所述扫描机构在所述观察对象物上的扫描速度的变化,改变每1次取样的对所述信号光进行检测的取样时间。2根据权利要求1所述的光扫描型观察装置,其特征在于,在所述观察对象物上的扫描范围内,在设TVMIN和TVMAX分别为所述扫描速度为最小值和最大值时的所述取样时间时,满足条。
4、件式1TVMINTVMAX1。3根据权利要求2所述的光扫描型观察装置,其特征在于,在所述观察对象物上的扫描范围内,在设VMAX和VMIN分别为所述扫描速度的最大值和最小值时,所述TVMIN和TVMAX满足条件式24根据权利要求13中的任意一项所述的光扫描型观察装置,其特征在于,在所述观察对象物上的扫描范围内,在设V为所述扫描速度、T为所述取样时间、MAXVT和MINVT分别为所述扫描速度与所述取样时间之积的最大值和最小值时,满足条件式35根据权利要求1所述的光扫描型观察装置,其特征在于,在所述观察对象物上的扫描范围内,使所述取样时间变化,以使得所述取样时间与所述扫描速度之积成为大致恒定值。6根。
5、据权利要求15中的任意一项所述的光扫描型观察装置,其特征在于,通过每1次取样的所述检测部的检测时间和每1次取样的所述光源的所述激光的照射时间中的至少一方来规定所述取样时间。7根据权利要求16中的任意一项所述的光扫描型观察装置,其特征在于,根据所述扫描机构在所述观察对象物上的所述扫描速度的变化,改变从所述光源输出的激光的功率。8根据权利要求7所述的光扫描型观察装置,其特征在于,在所述观察对象物上的扫描范围内,在设PVMIN和PVMAX分别为所述扫描速度为最小值和最大值时的所述激光的功率时,满足条件式4PVMINTVMAX10020第3观点的发明的特征在于,在第2观点的光扫描型观察装置中,在所述观。
6、察对象物上的扫描范围内,在设VMAX和VMIN分别为所述扫描速度的最大值和最小值时,所述TVMIN和TVMAX满足条件式2。0021数学式100220023第4观点的发明的特征在于,在第13观点中的任意一个观点的光扫描型观察装置中,在所述观察对象物上的扫描范围内,在设V为所述扫描速度、T为所述取样时间、MAXVT和MINVT分别为所述扫描速度与所述取样时间之积的最大值和最小值时,满足条件式3。0024数学式200250026第5观点的发明的特征在于,在第1观点的光扫描型观察装置中,在所述观察对象物上的扫描范围内,使所述取样时间变化,以使得所述取样时间与所述扫描速度之积成为大致恒定值。0027第。
7、6观点的发明的特征在于,在第15观点中的任意一个观点的光扫描型观察装置中,通过每1次取样的所述检测部的检测时间和每1次取样的所述光源的所述激光的照射时间中的至少一方来规定所述取样时间。0028第7观点的发明的特征在于,在第16观点中的任意一个观点的光扫描型观察说明书CN104081250A3/19页6装置中,根据所述扫描机构在所述观察对象物上的所述扫描速度的变化,改变从所述光源输出的激光的功率。0029第8观点的发明的特征在于,在第7观点的光扫描型观察装置中,在所述观察对象物上的扫描范围内,在设PVMIN和PVMAX分别为所述扫描速度为最小值和最大值时的所述激光的功率时,满足条件式4。0030。
8、PVMINTVMAX10102并且,优选在观察对象物70上的扫描范围内,在设VMAX和VMIN分别为扫描速度的最大值和最小值时,使TVMIN和TVMAX满足条件式2。0103数学式501040105如果是满足条件式2的范围,则至少与扫描速度最小时的扫描距离相比,能够使扫描速度最大时的扫描距离的差异收敛在2倍以内。当扫描距离的差异为2倍以上时,特别是在呈螺旋状扫描观察对象物70的情况下,在扫描范围的外周附近,取样的分辨率劣化。当考虑透镜等光学系统的像差时,在画面的外周附近,分辨率的劣化更加显著,是不理想的。并且,通过使扫描距离的差异为05以上,能够避免TVMAX过短而需要高性能的检测器、以及由于。
9、光量减少而需要更高灵敏度/更高像倍率的检测器的情况。0106进而,更加优选在观察对象物70上的扫描范围内,在设V为扫描速度、T为取样时间、MAXVT和MINVT分别为扫描速度与取样时间之积的最大值和最小值时,满足条件式3。0107数学式601080109通过满足条件式3,在螺旋状的全部扫描范围内,能够使扫描速度与取样时间之积VT、即1次取样中扫描的扫描距离的变化收敛在2倍以内。如果扫描距离的差异为该程度,则在所得到的图像中不会过于产生模糊。0110图8是本实施方式的螺旋状的取样扫描的一例,是示出与图7的虚线部对应的部分的图。由于在与扫描中心之间的距离RC较大的外周部缩短了取样时间,所以,在观察。
10、对象物70上的扫描范围内,1次取样的扫描距离大致接近恒定值。特别是当调整取样时间T以使得取样时间T与扫描速度V之积为大致恒定值时,成为大致恒定的扫描距离DS,没有分辨率的偏差,特别理想。另外,这里,大致恒定值例如意味着在30左右的范围内变化。0111图9是示出减小了扫描速度与取样时间之积VT的变化的、扫描速度和取样时间的时间变化的一例的图。在螺旋状的扫描开始时,在扫描中心附近,扫描速度V成为最小的值VMIN,在扫描结束时,在扫描范围的外周部,扫描速度V成为最大的值VMAX。与此相对,关于取样时间T,从扫描开始时、即与最慢的扫描速度VMIN对应的取样时间TVMIN起,随着扫描说明书CN10408。
11、1250A119/19页12的进行而缩短,在扫描结束时、即与最快的扫描速度VMAX对应的取样时间TVMAX成为最小值。0112激光的功率的调整0113当改变取样时间时,各取样点的明亮度一次取样中能够检测到的信号的强度变化。因此,优选根据扫描部23在观察对象物70上的扫描速度V的变化,改变从光源单元30输出的激光的功率。在观察对象物70上的扫描范围内,在设PVMIN和PVMAX分别为扫描速度V为最小值和最大值时的激光的功率时,满足条件式4。0114PVMIN30FPS256LINE75KHZ。通过检测单元40的检测时间来规定取样时间T,T与1/V成比例地变化。同样,取样周期TS也与1/V成比例地。
12、变化。并且,关于激光的功率,在扫描中心附近为32E10J/M,随着朝向外周部进行扫描而降低,降低到16E10J/M。并且,在取样扫描中不进行检测单元40的检测灵敏度的调整。0170表10171实施例1的参数值0172说明书CN104081250A1513/19页160173根据实施例1,满足条件式1,与使取样时间T恒定的情况相比,至少与扫描速度最小时的分辨率相比,能够抑制扫描速度最大时的扫描距离变长而产生的图像模糊所引起的分辨率的劣化。0174并且,取样时间T以与扫描速度V之积始终大致为1M的方式变化,所以,满足条件式2和3。由此,各取样的扫描距离成为大致恒定值,能够消除由于扫描距离变化而导致。
13、的图像模糊所引起的分辨率的偏差。0175进而,满足条件式8,与使取样周期TS恒定的情况相比,至少与扫描速度最小时的取样间隔距离相比,能够减少由于扫描速度最大时的取样间隔距离变长而导致的分辨率的劣化。0176并且,取样周期TS以与扫描速度V之积始终大致为1M的方式变化,所以,还满足条件式12和13。由此,取样间隔距离大致恒定,能够减少扫描中心附近的不必要的取样,抑制外周附近的取样点的密度降低而引起的分辨率降低。0177进而,满足条件式4和5,所以,与使从光源射出的激光的功率恒定的情况相比,至少与扫描速度最小时的每一个像素的明亮度相比,能够将扫描速度最大时的每一个像素的明亮度的不均匀性抑制在规定范。
14、围内。0178另外,在本实施例中,为了使扫描速度V与取样时间T之积恒定,改变了检测单元40的受光器41R、41G、41B的检测时间,但是,假设在能够调节扫描速度V的情况下,也可以改变扫描速度。0179第2实施方式0180下面,对作为第2实施方式的光扫描型观察装置的另一例的光扫描型内窥镜装置进行说明。第2实施方式构成为,在第1实施方式的光扫描型内窥镜装置中,在观察对象物70上,不是呈螺旋状进行扫描,而是呈光栅状进行扫描。因此,与第1实施方式的不同之处在于光扫描型内窥镜主体20的前端部26的结构。并且,光源单元30的结构也不同。0181图13是第2实施方式的光扫描型内窥镜装置10的光扫描型内窥镜主。
15、体20的前端部26的剖视图,图14是说明图13的扫描部23扫描机构的结构的图。SMF21的前端部贯穿插入圆筒管81内,前端部从该圆筒管23突出。在圆筒管81的外周,以在周方向说明书CN104081250A1614/19页17上相离的方式均等地配置有例如电磁线圈等的4个电极82。并且,在SMF21的外周的与电极82对置的位置上分别配置有磁铁83。各2组的电极82和磁铁83构成振动机构,通过电磁力,使SMF21在相互正交的方向以下设为X方向和Y方向上振动。0182图15是示出第2实施方式的光扫描型内窥镜装置10的光源单元30的概略结构的图。在第2实施方式中,使用LD光源作为红色的激光光源86R和蓝。
16、色的激光光源86B,使用DPSS激光器作为绿色的激光光源86。在该光源单元30中,不像第1实施方式那样设置AOM33,但是,通过直接对构成各激光光源86R、86G、86B的半导体激光器进行调制,能够调整每1次取样的激光照射时间。另外,通过在分色镜32B与透镜34之间设置声光可调滤波器AOTF,也能够调节激光的照射时间。0183其他结构与第1实施方式相同,所以,对相同结构要素标注相同参照标号并省略说明。0184接着,对第2实施方式的光扫描型内窥镜装置10的动作进行说明。通过扫描部23使SMF21的前端部在X方向上以谐振频率FX进行振动。并且,扫描部23使SMF21在Y方向上以小于FX的频率FY进。
17、行振动。由此,照射到观察对象物70上的激光结合SMF21的振动呈光栅状依次进行扫描,所以,通过检测这样的信号光并进行处理,能够生成二维图像。0185图16是示出光栅状的扫描的取样的路径的图。并且,图17是示出观察对象物70上的光栅状扫描的X方向的扫描位置的时间变化的一例的曲线图。SMF21的出射端部在X方向上以谐振频率FX进行振动,但是,其扫描位置随着时间而呈正弦波状变位。该情况下,在观察对象物70上的扫描范围内,在X方向的扫描的两端部,扫描速度较慢,在中心附近,扫描速度较快。这里,当设扫描速度为V、取样时间为T时,1次取样中扫描的距离由下式表示。0186VT0187图18示出使在X方向上进行。
18、扫描时的取样时间T恒定的情况下的每1次取样的扫描距离DS的变化。该情况下,关于光栅,在扫描的X方向的中央附近,每1次取样的扫描距离变长,可能在图像中产生模糊而使分辨率降低。0188因此,在本实施方式中,调整光源单元30的激光照射时间,在扫描速度较快的中心区域中缩短每1次取样的取样时间T,减少由于扫描距离变长而导致的图像模糊所引起的分辨率的劣化。在本实施方式中,也能够控制取样时间T以满足条件式13,得到与第1实施方式所记载的效果相同的效果。这里,取样时间T是每1次取样的激光照射时间。特别是通过使扫描速度与取样时间之积成为大致恒定值,如图19所示,在观察对象物70上的扫描范围内,能够使扫描距离DS。
19、大致恒定。0189进而,与第1实施方式同样,除了根据扫描速度V改变取样时间T以外,通过调整激光的功率P、受光器41R、41G、41B的检测灵敏度S和取样周期TS,以适当满足条件式48、1013,针对各条件式得到与第1实施方式所记载的效果相同的效果。在上述图19中,除了取样时间以外,还进行取样周期的调整。0190实施例20191示出具体参数对第2实施方式的光内窥镜装置10的一个实施例进行说明。在实施例2中,设光栅状的扫描范围的X方向的振幅与振幅中心之间的距离RX为200M、谐振频率FX为10KHZ30FPS256LINE75KHZ。X方向平均扫描速度VX为80E6M/说明书CN104081250。
20、A1715/19页18S。考虑观察对象物70的活体损伤来设定激光的功率。0192表20193实施例2的参数值01940195根据实施例2,满足条件式1和2,至少与扫描速度最小时的分辨率相比,能够减少扫描速度最大时的扫描距离变长而产生的图像模糊所引起的分辨率的劣化。0196并且,满足条件式8和12,至少与扫描速度最小时的取样点的密度相比,能够减少由于扫描速度最大时的取样点的密度较低而导致的分辨率的劣化。0197进而,由于满足条件式4和5,所以,与使从光源射出的激光的功率恒定的情况相比,至少能够将扫描速度最小的取样点的每一个像素的明亮度和扫描速度最大的取样点的每一个像素的明亮度的不均匀性抑制在规定。
21、范围内。0198除了上述以外,在观察对象物70上的扫描范围内,当调整取样时间T、取样周期TS、激光功率P以使得扫描速度与取样时间之积VT、扫描速度与取样周期之积VTS以及激光的功率与扫描S速度之比P/V成为大致恒定值时,能够使每次取样的扫描距离、取样间隔距离和每一个像素的明亮度均匀。0199第3实施方式0200图20是示出作为第3实施方式的光扫描型观察装置的一例的激光扫描型显微镜装置110的概略结构的框图。激光扫描型显微镜装置110构成为包括激光扫描型显微镜主体120、光源单元130光源、检测单元140检测部、计算机150、显示装置160。光源单元130与激光扫描型显微镜主体120之间通过SM。
22、F121以光学方式连接,检测单元140和激光扫描型显微镜主体120将壳体彼此直接连结、或者设置在同一壳体内。并且,计算机150与激光扫描型显微镜主体120、光源单元130、检测单元140和显示装置160电连接。0201光源单元130具有红色、绿色和蓝色的LD半导体激光器131R、131G、131B、分色镜132A、132B、AOTF133、透镜134。LD131R、131G、131B的配置以及分色镜132A、132B的光学特性和配置与第1实施方式相同,所以省略说明。AOTF133是能够对使来自LD131R、131G、说明书CN104081250A1816/19页19131B的激光合波而成的激光。
23、进行波长选择和强度调制的光学元件,按照每个取样点,高速切换并照射红色、蓝色、绿色的各激光。通过计算机150的光源控制部未图示对AOTF133进行控制。透射过AOTF133的激光通过透镜134而入射到SMF121的入射端。0202激光扫描型显微镜主体120具有透镜122、分色镜123、电流计扫描器124扫描机构、反射镜125、瞳投影透镜126、成像透镜127和物镜128。这里,电流计扫描器124设置在与物镜128的瞳位置共轭的位置。0203透镜122是对从SMF121的出射端射出的激光进行准直的透镜。分色镜123具有使从光源单元130入射的激光透射、使通过照射激光而从观察对象物170发出的荧光反。
24、射的光学特性。并且,电流计扫描器124具有电镜GALVANOMIRROR124A和124B,使从SMF121射出并透射过分色镜123的激光在相互正交的2轴方向设为X方向和Y方向上偏向。0204在电镜124A、124B中偏向的激光利用反射镜125进行反射,穿过瞳投影透镜126、成像透镜127和例如倍率为25倍的物镜128,会聚在观察对象物170上形成光点,并且,通过驱动上述电流计扫描器124,在观察对象物170上扫描该光点。0205利用分别由光源单元130的红、蓝、绿这3种颜色的LD131R、131G和131B的激光激励并发出不同波长的荧光的3种颜色的染料,对观察对象物170进行染色。通过激光扫。
25、描而从观察对象物170发出的荧光在传播激光的光路中逆向前进,通过分色镜123分光后入射到检测单元140。0206检测单元140具有PMT光电增倍管141R、141G、141B、分色镜142A、142B,该PMT141R、141G、141B用于检测通过3种颜色的LD131R、131G、131B的激光而产生的各荧光。与第1实施方式同样,2个分色镜142A和142B对3个波长不同的荧光进行分光,使其分别入射到对应的PMT141R、141G、141B。通过计算机150的未图示的检测控制部对各个PMT141R、141G、141B的增倍率进行控制。并且,PMT141R、141G、141B的输出信号被发送到。
26、计算机150的未图示的信号处理部,生成观察对象物170的图像并显示在显示装置160中。0207另外,与第1实施方式的计算机50同样,计算机150具有光源控制部、检测控制部、扫描控制部、信号处理部、存储部、输入部,除了进行与光栅状的扫描对应的控制以外,进行的其他处理与第1实施方式相同,省略详细说明。0208根据以上这种结构,本实施方式的激光扫描型显微镜装置110能够如下那样动作。0209激光扫描型显微镜装置110通过从光源单元130输出的激光,通过电流计扫描器124在观察对象物170上依次进行扫描。这里,电流计扫描器124使激光以电镜124A的谐振频率FX在与物镜128的光轴垂直的面内的X方向上。
27、振动,通过电镜124B以频率FY在Y方向上振动。此时,X方向的谐振频率下的振动成为大致正弦波状的振动。0210当设扫描速度为V、取样时间为T时,1次取样中扫描的距离由下式表示。0211VT0212通过PMT141R、141G、141B的检测时间和AOTF133的控制下的激光的照射时间中的一方或双方来规定取样时间。0213基于电流计扫描器124的扫描在X方向上为正弦波状,所以,越靠近观察对象物170的扫描范围内的X方向的中心,扫描速度越快。因此,与第2实施方式的光扫描型内窥镜同样,在扫描速度较快的中心区域缩短每1次取样的取样时间T,减少由于扫描距离变长说明书CN104081250A1917/19。
28、页20而导致的图像模糊所引起的分辨率的劣化。并且,在扫描范围的周边部,由于光学系统的像差而使分辨率劣化,所以,在Y方向的两端附近,可以进一步缩短取样时间T,减轻分辨率的劣化。在本实施方式中,也控制取样时间T以满足条件式13,得到与第1实施方式相同的作用、效果。这里,取样时间T是通过AOTF133使各颜色的激光透射的时间。0214进而,通过改变基于AOTF133的各颜色激光的透光状态、遮光状态的重复周期,根据扫描速度的变化改变取样周期TS,由此,能够使取样点的密度更加接近均匀的状态。0215并且,与第1和第2实施方式同样,通过调整来自光源单元130的激光的功率P或检测单元140的检测灵敏度S,能。
29、够使检测信号的强度均匀。特别地,在本实施方式中,由于在检测单元140中使用了PMT,所以,能够在宽范围内改变像倍率。由此,能够抑制每个像素的明亮度的不均匀性。0216因此,与第1实施方式同样,除了根据扫描速度V改变取样时间T以外,通过适当满足条件式48、1013,针对各条件式得到与第1实施方式所记载的效果相同的效果。0217如上所述,根据本实施方式,根据电流计扫描器124在观察对象物170上的扫描速度的变化,改变每1次取样的对信号光进行检测的取样时间,所以,能够抑制由于每次取样的扫描速度的变化而导致的扫描距离的变化。因此,能够减少由于扫描距离变长而导致的图像模糊所引起的分辨率的变化。0218并。
30、且,在伴随扫描速度的变化而在扫描速度较快的扫描范围的X方向的中心部缩短取样时间的情况下,也能够以提高检测单元140的检测灵敏度的方式使其变化,以抑制检测单元140检测到的信号光的信号减小,所以,能够抑制在X方向的中心部检测到的信号减弱图像变暗。特别是由于在检测单元140中使用了PMT,所以,能够在宽范围内调整检测灵敏度。0219进而,能够伴随扫描速度的变化而在扫描速度更快的区域中以提高取样周期的方式使其变化,所以,能够抑制在扫描速度较慢的X方向的两端部进行无用的取样,抑制在扫描速度较快的X方向的中心部使取样点过少。0220另外,在本实施方式中,使电流计扫描器124的X方向的振幅相对于时间呈正弦。
31、波状变化,但是,在更加复杂地变化的情况下,也可以利用PSDPOSITIONSENSITIVEDETECTOR位置检测器等预先测定在各取样点的速度,设置实时检测电流计扫描器的各个电镜124A和124B的配置角度的倾角传感器,实时从这些传感器向计算机150发送角度信号,使用该角度信号进行各部的控制和图像的生成。0221实施例30222示出具体参数对本实施方式的光内窥镜装置110的一个实施例进行说明。在物镜128中使用25倍物镜,设标本面上的X方向的振幅与振幅中心之间的距离RX为280M、谐振频率FX为10KHZ。X方向的平均扫描速度VX为112E6M/S。考虑观察对象物170的活体损伤来设定激光的。
32、功率。0223表30224实施例3的参数值0225说明书CN104081250A2018/19页210226根据实施例3,满足条件式1和2,至少与扫描速度最小时的分辨率相比,能够将扫描速度最大时的扫描距离变长而产生的图像的模糊所引起的分辨率的劣化抑制在规定范围内。0227并且,满足条件式8和12,与使取样周期恒定的情况相比,至少能够减少由于扫描速度最小时的取样点与扫描速度最大时的取样点的密度的差异而导致的分辨率的不均匀性。0228进而,由于满足条件式6和7,所以,与使检测单元40的各PMT141R、141G、141B的检测灵敏度恒定的情况相比,至少能够将扫描速度最小时的每一个像素的明亮度检测信。
33、号的强度和扫描速度最大时的每一个像素的明亮度的不均匀性减小到规定范围内。0229另外,本发明不限于上述实施方式,能够进行许多变形或变更。例如,取样扫描不限于螺旋状的扫描和光栅状的扫描,例如即使进行利萨茹曲线LISSAJOUS形状的扫描,也能够得到与第1第3实施方式相同的效果。0230并且,在上述各实施方式中,光源单元的激光射出红色、绿色、蓝色的各颜色的激光,但是,光源单元所包含的激光不限于这3种颜色的组合,能够使用各种波长和各种个数的激光。并且,能够根据要使用的激光光源,适当决定对激光进行合波的分色镜的光学特性和配置。0231进而,在第1和第2实施方式中,计算机、光源单元、检测单元和光扫描型内。
34、窥镜主体不需要分别独立构成,能够进行各种组合。例如,也可以将计算机、光源单元和检测单元存放在一个壳体内。第3实施方式也同样。0232在第3实施方式中,照射激光的光学系统的一部分和检测荧光的光学系统的一部分共用,但是,也可以构成为不共用它们。并且,本发明的光扫描型观察装置也可以构成为,将来自光源的激光照射到观察对象物,并检测其透射光。0233标号说明023410光扫描型内窥镜装置;20光扫描型内窥镜;21SMF单模光纤;22MMF多模光纤;23扫描部;23A压电元件;24操作部;25插入部;26前端部;27A、27B透说明书CN104081250A2119/19页22镜;30光源单元;31R、3。
35、1BLD半导体激光器;31GDPSS激光器半导体激励固体激光器;32A、32B分色镜;33AOM声光调制器;34透镜;40检测单元;41R、41G、41B受光器;42A、42B分色镜;43透镜;50计算机;51光源控制部;52检测控制部;53扫描控制部;54信号处理部;55控制部;56存储部;60显示装置;70观察对象物;81圆筒管;82电极;83磁铁;86R、86BLD半导体激光器;86GDPSS激光器半导体激励固体激光器;110激光扫描型显微镜装置;120激光扫描型显微镜主体;121SMF单模光纤;122透镜;123DM分色镜;124电流计扫描器;124A、124B电镜;125反射镜;12。
36、6瞳投影透镜;127成像透镜;128物镜;130光源单元;131R、131G、131BLD半导体激光器;132A、132B分色镜;133AOTF声光可调滤波器;134透镜;140检测单元;141R、141G、141BPMT光电增倍管;142A、142BDM分色镜;150计算机;160显示装置。说明书CN104081250A221/13页23图1说明书附图CN104081250A232/13页24图2说明书附图CN104081250A243/13页25图3说明书附图CN104081250A254/13页26图4图5说明书附图CN104081250A265/13页27图6说明书附图CN104081250A276/13页28图7说明书附图CN104081250A287/13页29图8图9说明书附图CN104081250A298/13页30图10说明书附图CN104081250A309/13页31图11说明书附图CN104081250A3110/13页32图12说明书附图CN104081250A3211/13页33图13图14图15说明书附图CN104081250A3312/13页34图16图17图18说明书附图CN104081250A3413/13页35图19图20说明书附图CN104081250A35。