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本发明公开了一种用于有害气体净化处理的装置及其工艺,所述的装置包括吸收塔、吸收液循环槽以及放电反应器。将该装置用于有害气体的净化处理工艺,采用气液吸收和气液两相放电氧化相结合的方式,使有害气体被吸收液吸收后,在放电反应器内,通过设置在放电反应器上腔体和下腔体的电极放电,同时在气相和水相产生强氧化性自由基,对吸收液中的有害物进行降解转化为化学稳定的物质;同时,放电反应器处理过程中产生的氧化性自由基通。