电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法.pdf

本发明目的在于提供一种电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，不需要与电磁感应式位置检测器不同的高精度位置检测器，而能够通过电磁感应式位置检测器自身取得校正数据来进行检测位置的校正。为此，进行以下处理：检测位置取得处理，根据一定速度的速度指令值而使移动体移动，利用电磁感应式位置检测器检测移动体的位置而取得检测位置；一定速度判断处理，基于例如检测位置、线圈间距来判断移动体在预定移动区间内以一定速度进行了移动这一情况；及校正数据取得处理，将所述移动区间内的任一线圈间距的始端位置所对应的检测位置设为基准检测位置，向基准检测位置加上取得所述基准检测位置之后的经过时间与一定速度的相乘值，由此求出近似理想位置，基于该近似理想位置和检测位置来取得校正数据。

权利要求书
1.  一种电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，所述电磁感应式位置检测器具有一次侧部件和二次侧部件，所述一次侧部件具备一次侧线圈，所述二次侧部件具备二次侧线圈，所述一次侧部件或所述二次侧部件安装于移动体而与所述移动体一起移动，所述一次侧线圈与所述二次侧线圈以相互平行且相向的方式配置，
所述电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法的特征在于，进行以下处理：
检测位置取得处理，根据一定速度的速度指令值而使所述移动体移动，利用所述电磁感应式位置检测器检测所述移动体的位置而取得检测位置；
一定速度判断处理，基于所述检测位置及所述二次侧线圈的线圈间距，或者基于所述检测位置、所述一定速度及所述移动体的移动时间，或者基于所述二次侧线圈的线圈间距、所述一定速度及所述移动体的移动时间，判断所述移动体在预定移动区间以所述一定速度进行了移动这一情况；及
校正数据取得处理，将所述移动区间内的任一线圈间距的始端位置所对应的检测位置设为基准检测位置，向所述基准检测位置加上取得所述基准检测位置之后的经过时间与所述一定速度的相乘值，由此求出近似理想位置，基于所述近似理想位置和检测位置来取得校正数据。

2.  根据权利要求1所述的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，其特征在于，
在所述一定速度判断处理中，
将所述移动区间设为相当于所述线圈间距p的n倍的区间，n为自然数，
将所述移动体以所述一定速度S在所述移动区间内移动所需的移动时间设为T1，
将所述移动区间的始端位置所对应的检测位置设为X(t0)，将所述移动区间的末端位置所对应的检测位置设为X(t0+T1)，
将阈值设为±L，
则在满足n*p-L≥X(t0+T1)-X(t0)≥n*p+L的条件时，判断为所述移动体在所述移动区间内以所述一定速度S进行了移动。

3.  根据权利要求1所述的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，其特征在于，
在所述一定速度判断处理中，
将所述移动区间设为相当于所述线圈间距p的n倍的区间，n为自然数，
将所述移动体以所述一定速度S在所述移动区间内移动所需的移动时间设为T1，
将所述移动区间的始端位置所对应的检测位置设为X(t0)，将所述移动区间的末端位置所对应的检测位置设为X(t0+T1)，
将阈值设为±L，
则在满足S*T1-L≥X(t0+T1)-X(t0)≥S*T1+L的条件时，判断为所述移动体在所述移动区间内以所述一定速度S进行了移动。

4.  根据权利要求1所述的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，其特征在于，
在所述一定速度判断处理中，
将所述移动区间设为相当于所述线圈间距p的n倍的区间，n为自然数，
将判断为所述移动体在所述移动区间内移动所需要的移动时间设为T2，
将阈值设为±L，
则在满足n*p-L≥S*T2≥n*p+L的条件时，判断为所述移动体在所述移动区间内以所述一定速度S进行了移动。

5.  根据权利要求1所述的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，其特征在于，
在所述校正数据取得处理中，
将取得了所述移动区间内的任一线圈间距p的始端位置所对应的检测位置时的时间设为t0，
将取得了所述移动区间内的另任一线圈间距p的末端位置所对应的检测位置时的时间设为t0+T，
将所述移动区间内的任一线圈间距p的始端位置所对应的检测位置设为基准检测位置X(t0)，
将取得所述基准检测位置X(t0)之后的经过时间t(m)设为t(m)＝0～T，m为索引编号，
将Δt固定而建立索引编号m与t(m)的对应关系，或者将Δx固定而建立索引编号m与X(t0+t(m))的对应关系，
通过E(m)＝X(t0)+S*t(m)-X(t0+t(m))的式子算出与索引编号m对应的校正数据E(m)。

6.  根据权利要求1所述的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，其特征在于，
将所述移动区间设为多个，在这多个移动区间取得校正数据，将这多个校正数据的平均值设为最终的校正数据。

7.  根据权利要求1所述的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，其特征在于，
对所述校正数据进行傅里叶变换，将上数j个量的光谱大的分量F(i)存储于存储器，其中i＝0～j-1，
从所述存储器读出分量F(i)，进行傅里叶逆变换而求出校正数据。

说明书电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法
技术领域
本发明涉及线型刻度尺或旋转型刻度尺的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法。
背景技术
电磁感应式位置检测器即感应同步器方式的刻度尺适用于机床、汽车、机器人等各种机械中的位置检测。感应同步器方式的刻度尺存在线型刻度尺和旋转型刻度尺。线型刻度尺设于机床的工作台等移动体而检测该移动体的直线的移动位置，旋转型刻度尺设于机床的旋转工作台等移动体(旋转体)而检测该移动体(旋转体)的旋转位置(旋转角度)。
线型刻度尺和旋转型刻度尺都是通过相互平行地相向配置的线圈图案的电磁感应来检测位置。基于图6的原理图来说明该检测原理。
图6(a)是表示使线型刻度尺的滑尺与刻度尺相互平行地相向配置的状态的立体图，图6(b)是将上述滑尺与上述刻度尺排列表示的图，图6(c)是表示上述滑尺与上述刻度尺的电磁耦合度的图。
另外，旋转型刻度尺的检测原理也与线型刻度尺同样，旋转型刻度尺的定子和转子对应于线型刻度尺的滑尺和刻度尺。线型刻度尺和旋转型刻度尺都具有检测部和检测控制装置。
如图6(a)及图6(b)所示，线型刻度尺的检测部10具有作为一次侧部件的滑尺1和作为二次侧部件的刻度尺2。
滑尺1为可动部，具有作为第1一次侧线圈的第1滑尺线圈3和作为第2一次侧线圈的第2滑尺线圈4。刻度尺2为固定部，具有作为二次侧线圈的刻度尺线圈5。线圈3、4、5呈锯齿状地折回(成为梳形图案)，以整体成为直线状的方式形成。滑尺1安装于机床的工作台等移动体而与该移动体一起直线性地移动。刻度尺2固定于机床的床身等固定部。
如图6(a)所示，滑尺1(第1滑尺线圈3及第2滑尺线圈4)和刻度尺2(刻度尺线圈5)以在它们之间保持有预定间隙g的状态相互平行地相向的方式配置。而且，如图6(a)及图6(b)所示，第1滑尺线圈3与第2滑尺线圈4错开1/4间距。
在上述结构的线型刻度尺中，当励磁电流(交流电流)在第1滑尺线圈3和第2滑尺线圈4中流动时，对应于与滑尺1的移动相伴的第1滑尺线圈3及第2滑尺线圈4与刻度尺线圈5的相对位置关系的变化，如图6(c)所示，第1滑尺线圈3及第2滑尺线圈4与刻度尺线圈5的电磁耦合度周期性地变化。因此，在刻度尺线圈5产生周期性地变化的感应电压。
具体而言，在线型刻度尺的检测控制装置中，下述的(1)式那样的第1励磁电流Ia在第1滑尺线圈3中流动，下述的(2)式那样的第2励磁电流Ib在第2滑尺线圈4中流动。
Ia＝-Icos(kα)sin(ωt)  (1)
Ib＝Isin(kα)sin(ωt)  (2)
其中，I：励磁电流的大小
k：2π/p
p：线圈间距(长度：在旋转型刻度尺中为角度)
ω：励磁电流(交流电流)的角频率
t：时间
α：励振位置
其结果是，由于第1滑尺线圈3及第2滑尺线圈4与刻度尺线圈5之间的电磁感应作用，在刻度尺线圈5产生下述的(3)式那样的感应电压V。
V＝KIsin(k(X-α))sin(ωt)  (3)
其中，K：依赖于间隙g和励磁电流的角频率ω的传递系数
X：检测位置(移动体的移动位置)
在上述检测控制装置中，输入刻度尺线圈5的感应电压V，计算该感应电压V为0的励振位置α(即成为X＝α的励振位置α)的值，并将该励振位置α作为移动体(滑尺1)的检测位置X而输出，且基于该励振位置α来调整第1励磁电流Ia及第2励磁电流Ib。即，以成为X＝α的方式使励振位置α追随移动体(滑尺1)的位置X，并以成为感应电压V＝0的方式进行控制，由此检测移动体(滑尺1)的位置X而输出。
专利文献1：日本特开2000-180107号公报
发明内容
然而，现实的电磁感应式位置检测器(线型刻度尺、旋转型刻度尺)存在制造误差、组装误差，因此上述的(3)式不成立，检测位置X伴随有误差。通常作为包含于检测位置X的误差，明显出现的是线圈间距周期的误差(对应于线圈间距的周期而周期性地变动的误差)，将其称为内插误差。
作为对检测位置X进行校正的方法，可考虑使用与电磁感应式位置检测器不同的高精度位置检测器，基于该高精度位置检测器的检测位置和电磁感应式位置检测器的检测位置X来取得校正数据的方法。然而，在该方法中，必须准备高精度位置检测器，因此成本升高，也花费时间和劳力。
因此，本发明鉴于上述的情况而作出，课题在于提供一种不需要与电磁感应式位置检测器不同的高精度位置检测器而通过电磁感应式位置检测器自身能够取得校正数据而进行检测位置的校正的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法。
解决上述课题的第1发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法中，上述电磁感应式位置检测器具有一次侧部件和二次侧部件，上述一次侧部件具备一次侧线圈，上述二次侧部件具备二次侧线圈，上述一次侧部件或上述二次侧部件安装于移动体而与上述移动体一起移动，上述一次侧线圈与上述二次侧线圈以相互平行且相向的方式配置，上述电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法的特征在于，进行以下处理：检测位置取得处理，根据一定速度的速度指令值而使上述移动体移动，利用上述电磁感应式位置检测器检测上述移动体的位置而取得检测位置；一定速度判断处理，基于上述检测位置及上述二次侧线圈的线圈间距，或者基于上述检测位置、上述一定速度及上述移动体的移动时间，或者基于上述二次侧线圈的线圈间距、上述一定速度及上述移动体的移动时间，判断上述移动体在预定移动区间内以上述一定速度进行了移动这一情况；及校正数据取得处理，将上述移动区间内的任一线圈间距的始端位置所对应的检测位置设为基准检测位置，向上述基准检测位置加上从取得上述基准检测位置起的经过时间与上述一定速度的相乘值，由此求出近似理想位置，基于该近似理想位置和检测位置来取得校正数据。
另外，第2发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法以第1发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，在上述一定速度判断处理中，将上述移动区间设为相当于上述线圈间距p的n倍的区间，n为自然数，将上述移动体以上述一定速度S在上述移动区间内移动所需的移动时间设为T1，将上述移动区间的始端位置所对应的检测位置设为X(t0)，将上述移动区间的末端位 置所对应的检测位置设为X(t0+T1)，将阈值设为±L，则在满足n*p-L≥X(t0+T1)-X(t0)≥n*p+L的条件时，判断为上述移动体在上述移动区间内以上述一定速度S进行了移动。
另外，第3发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法以第1发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，在上述一定速度判断处理中，将上述移动区间设为相当于上述线圈间距p的n倍的区间，n为自然数，将上述移动体以上述一定速度S在上述移动区间内移动所需的移动时间设为T1，将上述移动区间的始端位置所对应的检测位置设为X(t0)，将上述移动区间的末端位置所对应的检测位置设为X(t0+T1)，将阈值设为±L，则在满足S*T1-L≥X(t0+T1)-X(t0)≥S*T1+L的条件时，判断为上述移动体在上述移动区间内以上述一定速度S进行了移动。
另外，第4发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法以第1发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，在上述一定速度判断处理中，将上述移动区间设为相当于上述线圈间距p的n倍的区间，n为自然数，将判断为上述移动体在上述移动区间内移动所需要的移动时间设为T2，将阈值设为±L，则在满足n*p-L≥S*T2≥n*p+L的条件时，判断为上述移动体在上述移动区间内以上述一定速度S进行了移动。
另外，第5发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法以第1～第4发明中的任一电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，在上述校正数据取得处理中，将取得了上述移动区间内的任一线圈间距p的始端位置所对应的检测位置时的时间设为t0，将取得了上述移动区间内的另任一线圈间距p的末端位置所对应的检测位置时的时间设为t0+T，将上述移动区间内的任一线圈间距p的始端位置所对应的检测位置设为基准检测位置X(t0)，将取得上述基准检测位置X(t0)之后的经过时间t(m)设为t(m)＝0～T，m为索 引编号，将Δt固定而建立索引编号m与t(m)的对应关系，或者将Δx固定而建立索引编号m与X(t0+t(m))的对应关系，通过E(m)＝X(t0)+S*t(m)-X(t0+t(m))的式子算出与索引编号m对应的校正数据E(m)。
另外，第6发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法以第1～第5发明中的任一电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，将上述移动区间设为多个，在这多个移动区间取得校正数据，将这多个校正数据的平均值设为最终的校正数据。
另外，第7发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法以第1～第6发明中的任一电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，对上述校正数据进行傅里叶变换，将上数j个量的光谱大的分量F(i)存储于存储器，其中i＝0～j-1，从上述存储器读出分量F(i)，进行傅里叶逆变换而求出校正数据。
发明效果
根据第1发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，上述电磁感应式位置检测器具有一次侧部件和二次侧部件，上述一次侧部件具备一次侧线圈，上述二次侧部件具备二次侧线圈，上述一次侧部件或上述二次侧部件安装于移动体而与上述移动体一起移动，上述一次侧线圈与上述二次侧线圈以相互平行且相向的方式配置，上述电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法的特征在于，进行以下处理：检测位置取得处理，根据一定速度的速度指令值而使上述移动体移动，利用上述电磁感应式位置检测器检测上述移动体的位置而取得检测位置；一定速度判断处理，基于上述检测位置及上述二次侧线圈的线圈间距，或者基于上述检测位置、上述一定速度及上述移动体的移动时间，或者基于上述二次侧线圈的线圈间距、上述一定速度及上述移动体的移动时间，判断上述移动体在预定移动区间内以上述一定速度进行了移动这一情况；及校正数据取得处理，将上述移动区间内的任一 线圈间距的始端位置所对应的检测位置设为基准检测位置，向上述基准检测位置加上从取得上述基准检测位置起的经过时间与上述一定速度的相乘值，由此求出近似理想位置，基于该近似理想位置和检测位置来取得校正数据，因此，不需要与电磁感应式位置检测器不同的高精度位置检测器，能够通过电磁感应式位置检测器自身取得校正数据而进行检测位置的校正。
根据第2发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，以第1发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，在上述一定速度判断处理中，将上述移动区间设为相当于上述线圈间距p的n倍的区间，n为自然数，将上述移动体以上述一定速度S在上述移动区间内移动所需的移动时间设为T1，将上述移动区间的始端位置所对应的检测位置设为X(t0)，将上述移动区间的末端位置所对应的检测位置设为X(t0+T1)，将阈值设为±L，则在满足n*p-L≥X(t0+T1)-X(t0)≥n*p+L的条件时，判断为上述移动体在上述移动区间内以上述一定速度S进行了移动，因此，通过电磁感应式位置检测器自身能够容易且可靠地进行移动体的一定速度的判断。
根据第3发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，以第1发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，在上述一定速度判断处理中，将上述移动区间设为相当于上述线圈间距p的n倍的区间，n为自然数，将上述移动体以上述一定速度S在上述移动区间内移动所需的移动时间设为T1，将上述移动区间的始端位置所对应的检测位置设为X(t0)，将上述移动区间的末端位置所对应的检测位置设为X(t0+T1)，将阈值设为±L，则在满足S*T1-L≥X(t0+T1)-X(t0)≥S*T1+L的条件时，判断为上述移动体在上述移动区间内以上述一定速度S进行了移动，因此，通过电磁感应式位置检测器自身能够容易且可靠地进行移动体的一定速度的判断。
根据第4发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，以 第1发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，在上述一定速度判断处理中，将上述移动区间设为相当于上述线圈间距p的n倍的区间，n为自然数，将判断为上述移动体在上述移动区间内移动所需要的移动时间设为T2，将阈值设为±L，则在满足n*p-L≥S*T2≥n*p+L的条件时，判断为上述移动体在上述移动区间内以上述一定速度S进行了移动，因此，通过电磁感应式位置检测器自身能够容易且可靠地进行移动体的一定速度的判断。
根据第5发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，以第1～第4发明中的任一电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，在上述校正数据取得处理中，将取得了上述移动区间内的任一线圈间距p的始端位置所对应的检测位置时的时间设为t0，将取得了上述移动区间内的另任一线圈间距p的末端位置所对应的检测位置时的时间设为t0+T，将上述移动区间内的任一线圈间距p的始端位置所对应的检测位置设为基准检测位置X(t0)，将取得上述基准检测位置X(t0)之后的经过时间t(m)设为t(m)＝0～T，m为索引编号，将Δt固定而建立索引编号m与t(m)的对应关系，或者将Δx固定而建立索引编号m与X(t0+t(m))的对应关系，通过E(m)＝X(t0)+S*t(m)-X(t0+t(m))的式子算出与索引编号m对应的校正数据E(m)，因此，通过电磁感应式位置检测器自身能够容易且可靠地取得校正数据E(m)。
根据第6发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，以第1～第5发明中的任一电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为基础，其特征在于，将上述移动区间为多个，在这多个移动区间取得校正数据，将这多个校正数据的平均值设为最终的校正数据，因此能够取得更高精度的校正数据。
根据第7发明的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，以第1～第6发明中的任一电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法为 基础，其特征在于，对上述校正数据进行傅里叶变换，将上数j个量(i＝0～j-1)的光谱大的分量F(i)存储于存储器，从上述存储器读出分量F(i)，进行傅里叶逆变换而求出校正数据，因此能够减少存储器的容量。
附图说明
图1是表示实施本发明的实施方式例1的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法的系统的结构的图。
图2是表示上述检测位置校正方法的处理次序的流程图。
图3(a)是表示包含误差的检测位置的经时变化和理想位置的经时变化的坐标图，图3(b)是表示包含于检测位置的误差的经时变化的坐标图。
图4(a)是表示将Δt固定而建立了索引编号m与t(m)的对应关系时的对应关系的表，图4(b)是表示将Δx固定而建立了索引编号m与X(t0+t(m))的对应关系时的对应关系的表。
图5是表示校正数据E(m)的变化的坐标图。
图6(a)是表示使线型刻度尺的滑尺与刻度尺相互平行地相向的状态的立体图，图6(b)是将上述滑尺和上述刻度尺排列表示的图，图6(c)是表示上述滑尺与上述刻度尺的电磁耦合度的图。
具体实施方式
以下，基于附图，详细说明本发明的实施方式例。
<实施方式例1>
基于图1～图4，说明本发明的实施方式例1的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法。
首先，基于图1，说明实施本实施方式例1的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法的系统的结构。
图1所示的系统成为具有电磁感应式位置检测器11、驱动控制装置20、移动体21的结构。移动体21例如是机床的工作台等那样的直线移动的移动体。驱动控制装置20具备使移动体21直线移动的进给机构部(例如具备电动机、滚珠丝杠等进给机构部)、控制该进给机构部对移动体21的驱动的驱动控制部等。
电磁感应式位置检测器11具有检测部17、检测控制装置18。
另外，在此，说明电磁感应式位置检测器11为线型刻度尺的情况，但是本发明也可以适用于电磁感应式位置检测器11为旋转型刻度尺的情况。
检测控制装置18具有检测控制部18A和固定存储器18B。检测控制部18A进行励磁电流向检测部17的供给、检测部17的检测信号(感应电压)的处理等。固定存储器18B是即使停止向固定存储器18B供电也能保持存储数据的类型的存储器(RAM、ROM)。
关于电磁感应式位置检测器11(线型刻度尺)的检测部17的结构、检测控制装置18(检测控制部18A)的基本动作，与以往相同。
详细而言，检测部17具有作为一次侧部件的滑尺12和作为二次侧部件的刻度尺15。
滑尺12为可动部，具有作为第1一次侧线圈的第1滑尺线圈13和作为第2一次侧线圈的第2滑尺线圈14。刻度尺15是固定部，具有作为二次侧线圈的刻度尺线圈16。线圈13、14、16呈锯齿状地折回(成为梳形图案)，以整体成为直线状的方式形成。滑尺12安装于移动体21而与移动体12一起直线移动。刻度尺12固定于例如机床的床身等固定部。
滑尺12(第1滑尺线圈13及第2滑尺线圈14)、刻度尺15(刻度尺线圈16)以在它们之间保持有预定间隙g的状态相互平行地相向配置(参照图6(a))。而且，第1滑尺线圈13与第2滑尺线圈14错开1/4间距。
在上述结构的电磁感应式位置检测器11中，当励磁电流(交流电流)在第1滑尺线圈13和第2滑尺线圈14中流动时，对应于与滑尺12的移动相伴的第1滑尺线圈13及第2滑尺线圈14与刻度尺线圈16的相对位置关系的变化，第1滑尺线圈13及第2滑尺线圈14与刻度尺线圈16的电磁耦合度周期性地变化(参照图6(c))。因此，刻度尺线圈16产生周期性地变化的感应电压。
具体而言，在检测控制部18A中，下述的(11)式那样的第1励磁电流Ia在第1滑尺线圈13中流动，下述的(12)式那样的第2励磁电流Ib在第2滑尺线圈14中流动。
Ia＝-Icos(kα)sin(ωt)  (11)
Ib＝Isin(kα)sin(ωt)   (12)
其中，I：励磁电流的大小
k：2π/p
p：线圈间距(长度：在旋转型刻度尺中为角度)
ω：励磁电流(交流电流)的角频率
t：时间
α：励振位置
其结果是，由于第1滑尺线圈13及第2滑尺线圈14与刻度尺线圈16之间的电磁感应作用，在刻度尺线圈16产生下述的(3)式那样的感应电压V。
V＝KIsin(k(X-α))sin(ωt)  (13)
其中，K：依赖于间隙g和励磁电流的角频率ω的传递系数
X：检测位置(移动体的移动位置)
在检测控制部18A中，输入刻度尺线圈16的感应电压V，计算该感应电压V为0的励振位置α(即成为X＝α的励振位置α)的值，将该励振位置α作为移动体21(滑尺12)的检测位置X而输出，且基于该励振位置α来调整第1励磁电流Ia及第2励磁电流Ib。即，以成为X＝α的方式使励振位置α追随移动体21(滑尺12)的位置X，并以成为感应电压V＝0的方式进行控制，由此检测移动体21(滑尺12)的位置X并输出。
然而，如先前叙述那样，现实的电磁感应式位置检测器11存在制造误差、组装误差，因此上述的(13)式不成立，检测位置X伴随有误差E。作为该误差E，显著表现的是线圈间距周期的误差(内插误差)。
因此，为了进行高精度的位置检测，需要取得校正数据来校正检测位置X。
以下，说明该检测位置X的校正方法。首先，基于图2的流程图，说明由检测控制装置18(检测控制部18A、固定存储器18B)实施的检测位置校正方法的各处理的概要，接着，基于图1～图4，详细说明上述检测位置校正方法的各处理。
如图2所示，首先，在步骤S1中进行检测位置取得处理。
在该检测位置取得处理中，根据一定速度S的速度指令值使移动体21(滑尺12)移动，通过电磁感应式位置检测器11检测移动体21(滑尺12)的位置来取得检测位置X。该检测位置X作为移动体21(滑尺12)移动的时间t的函数而能够表示为X(t)。
接着，在步骤S2中，进行一定速度判断处理。
在根据一定速度S的速度指令值使移动体21(滑尺12)移动的情况下，移动体21(滑尺12)在加速至成为一定速度S之后，以一定速度S移动至目标位置的附近，然后，进行减速而停止于目标位置。并且，校正数据的取得需要使用移动体21(滑尺12)实际以一定速度S移动时的检测位置X(t)。
因此，在一定速度判断处理中，基于检测位置X(t)和二次侧线圈16的线圈间距p(第1一定速度判断方法)，或者基于检测位置X(t)、一定速度S、移动体21(滑尺12)的移动时间(第2一定速度判断方法)，或者基于二次侧线圈16的线圈间距p、一定速度S、移动体21(滑尺12)的移动时间(第3一定速度判断方法)，判断移动体21在预定移动区间内以一定速度S进行了移动这一情况。
在步骤S2的一定速度判断处理的结果是由于某种不良情况而无法判断为移动体21(滑尺12)在上述移动区间内以一定速度S进行了移动的情况下(否)，在该不良情况消除之后，再次执行步骤S1的检测位置取得处理和步骤S2的一定速度判断处理。
另一方面，在步骤S2的一定速度判断处理的结果是判断为移动体21在上述移动区间内以一定速度S进行了移动的情况下(是)，在下一步骤S3中进行校正数据取得处理。
在该校正数据取得处理中，将上述移动区间中的与任一线圈间距p的始端位置对应的检测位置作为基准检测位置，向基准检测位置加上取得该基准检测位置起的经过时间与一定速度S的相乘值，由此求出近似理想位置(接近于理想位置的位置)，并基于该近似理想位置和检测位置来取得校正数据。
在步骤S4中，将取得的校正数据存储于固定存储器18B。
接着，说明检测位置校正方法的各处理、即检测位置取得处理、一定速度判断处理、校正数据取得处理。
(1)检测位置取得处理
为了取得检测位置X(t)，使移动体21(滑尺12)以一定速度S移动。
具体而言，向驱动控制装置20赋予作为速度指令值的一定速度S和目标位置。驱动控制装置20基于一定速度S的速度指令值和目标位置，来控制进给机构部对移动体21(滑尺12)的驱动，由此使移动体21(滑尺12)起动而加速至一定速度S之后，以一定速度S移动至目标位置的附近，然后，进行减速而停止于目标位置。
此时在检测控制装置18的检测控制部18A中，取得检测位置X(t)。
此时，检测位置X(t)伴有误差E。
在图3(a)中，横轴为时间t，纵轴为X(t)、Xi(t)，图3(a)表示包含误差E的检测位置X(t)的经时变化和理想位置(真正的位置)Xi(t)的经时变化。
在图3(b)中，横轴为时间t，纵轴为误差E，图3(b)将包含于检测位置X(t)的误差E的经时变化与刻度尺线圈16的线圈图案对应地示出。
如前文所述，作为误差E显著出现的是线圈间距周期的误差(内插误差)，因此误差E如图3(b)例示那样对应于刻度尺线圈16的线圈间距周期而周期性地变动。因此，包含误差E的检测位置X(t)也如图3(a)例示那样对应于刻度尺线圈16的线圈间距周期而周期性地 变动。另外，为了明确表示对应于线圈间距周期而周期性地变动这一情况，在图3中，以正弦波来表示误差E，但是实际的误差E成为稍变形的波形。
另外，在以下的说明中，线圈间距p的始端位置是指图3(b)所示的刻度尺线圈16的各线圈间距p的开始位置(起点)pS，线圈间距p的末端位置是指图3(b)所示的刻度尺线圈16的各线圈间距p的结束位置(终点)pE。另外，始端位置及末端位置都是相邻的线圈间距p的交界(节眼)。
(2)一定速度判断处理
使用由检测位置取得处理取得的检测位置X(t)，进行一定速度判断处理。
该一定速度判断处理通过以下所示的第1一定速度判断方法或第2一定速度判断方法或第3一定速度判断方法进行。
(a)第1一定速度判断方法
将时间t0的检测位置X(t)设为X(t0)。
将时间t0+T1的检测位置X(t)设为X(t0+T1)。
将移动体21(滑尺12)以一定速度S在线圈间距p的n倍(n为自然数)的预定移动区间内移动所需的移动时间设为T1。另外，在此，作为电磁感应式位置检测器11而示出线型刻度尺的例子(图1)，因此移动量是移动距离(在旋转型刻度尺的情况下成为旋转角度)。
移动时间T1是预先设定的一定时间，通过一定速度S、线圈间距p、线圈间距数n来决定，能够通过n*p/S的式子算出。另外，*表示乘法运算的记号×(在其他的记载部位也同样，在权利要求书及附图中也 同样)。
线圈间距p在线型刻度尺的情况下为例如2mm(在旋转型刻度尺的情况下为例如2度)。
线圈间距数n设为例如256间距。
上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)设定为例如从刻度尺线圈16的第101个线圈间距p到刻度尺线圈16的第356个(线圈间距数n为256时)线圈间距p为止的区间。
检测位置X(t0)是上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的始端位置所对应的检测位置。而且，上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的始端位置相当于该移动区间的最初(第1个)的线圈间距p的始端位置。
检测位置X(t0+T1)是上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的末端位置所对应的检测位置。而且，上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的末端位置相当于该移动区间的最后(第n个：例如第256个)的线圈间距p的末端位置。
另外，虽然优选如此设定，但没有限定于此，也可以是，上述预定移动区间(相当于该线圈间距p的n倍的区间)的始端位置是该移动区间的最初(第1个)的线圈间距p的中途位置(该线圈间距p的始端位置与末端位置之间的位置)，上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的末端位置是该移动区间的最后(第n个：例如第256个)的线圈间距p的中途位置(该线圈间距p的始端位置与末端位置之间的位置)。
即，判断移动体21(滑尺12)以一定速度S进行了移动这一情况 的预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)并不限于从最初(第1个)的线圈间距p的始端位置到最后(第n个：例如第256个)的线圈间距p的末端位置为止的区间，也可以是从最初(第1个)的线圈间距p的中途位置到最后(第n个：例如第256个)的线圈间距p的中途位置为止的区间。
取得的检测位置X(t0)和检测位置X(t0+T1)包含误差，因此从检测位置X(t0)到检测位置X(t0+T1)的移动量X(t0+T1)-X(t0)与理想移动量(真正的移动量)n*p的关系成为下述的(21)式。
X(t0+T1)-X(t0)≈n*p  (21)
因此，若移动量X(t0+T1)-X(t0)接近于理想移动量n*p，则在从检测位置X(t0)到检测位置X(t0+T1)为止的区间、即上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)，能够判断为移动体21(滑尺12)以一定速度S进行了移动。
t0、T1等时间可以通过在检测控制装置18的检测控制部18A设置的时钟的计数进行计测(也可以通过其他时间计测手段进行计测)。
因此，上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的始端位置所对应的检测位置X(t0)、取得了该检测位置X(t0)时的时间t0、从该时间t0起的经过时间(移动时间)T1、时间t0+T1的检测位置X(t0+T1)能够在检测控制部18A中获知。而且，线圈间距p和线圈间距数n为已知的值。
因此，在这种情况下，若将阈值设为±L，则在满足下述的(22)式的条件时，能够判断为移动体21(滑尺12)在上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内以一定速度S进行了移动。另外，关于X(t0+T1)-X(t0)与n*p±L的关系，在图3(a)中也有例示。
n*p-L≥X(t0+T1)-X(t0)≥n*p+L  (22)
(b)第2一定速度判断方法
另外，在上述的情况下，也可以通过如下的方法，判断移动体21(滑尺12)以一定速度S进行了移动这一情况。
移动体21(滑尺12)以一定速度S移动了T1时间时的移动量(S*T1)与线圈间距p的n倍(n*p)相等(n*p＝S*T1)。因此，从检测位置X(t0)到检测位置X(t0+T1)的移动量X(t0+T1)-X(t0)与理想移动量S*T1的关系成为下述的(23)式。
X(t0+T1)-X(t0)≈S*T1  (23)
因此，若移动量X(t0+T1)-X(t0)接近于理想移动量S*T1，则能够判断为移动体21(滑尺12)在从检测位置X(t0)到检测位置X(t0+T1)为止的区间、即上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内以一定速度S进行了移动。
如先前叙述那样，上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的始端位置所对应的检测位置X(t0)、取得了该检测位置X(t0)时的时间t0、从该时间t0起的经过时间(移动时间)T1、时间t0+T1的检测位置X(t0+T1)能够在检测控制部18A中获知。而且，一定速度S和移动时间T1是已知的值。
因此，在这种情况下，若将阈值设为±L，则在满足下述的(24)式的条件时，能够判断为移动体21(滑尺12)在上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内以一定速度S进行了移动。
S*T1-L≥X(t0+T1)-X(t0)≥S*T1+L  (24)
(c)第3一定速度判断方法
另外，也可以通过如下的方法，来判断移动体21(滑尺12)以一定速度S进行了移动这一情况。
将时间t0的检测位置X(t)设为X(t0)。
将时间t0+T1的检测位置X(t)设为X(t0+T2)。
将判断为移动体21(滑尺12)需要在线圈间距p的n倍(n为自然数)的预定移动区间内移动的移动时间设为T2。另外，在此，作为电磁感应式位置检测器11，示出了线型刻度尺的例子(图1)，因此移动量为移动距离(在旋转型刻度尺的情况下成为旋转角度)。
这种情况下的移动时间T2与前述的一定的移动时间T1不同，是判断为移动体21(滑尺12)需要在上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内移动的时间，对应于检测位置X(t0)、X(t0+T2)所包含的误差的大小而变化。
线圈间距p在线型刻度尺的情况下为例如2mm(在旋转型刻度尺的情况下为例如2度)。
线圈间距数n设为例如256间距。
上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)设定为例如从刻度尺线圈16的第101个线圈间距p到刻度尺线圈16的第356个(线圈间距数n为256的情况)线圈间距p的区间。
在检测位置X(t0)、X(t0+T2)包含误差，因此从检测位置X(t0)到检测位置X(t0+T2)的移动量X(t0+T2)-X(t0)与理想移动量n*p 的关系如下述的(25)式那样。
X(t0+T2)-X(t0)≈n*p  (25)
另外，若检测位置X(t0)、X(t0+T2)不包含误差，则移动时间T2与一定的移动时间T1相同，因此若移动体21(滑尺12)在从检测位置X(t0)到检测位置X(t0+T2)的区间内以一定速度S进行了移动，则S*T2与n*p相等。
然而，实际上检测位置X(t0)、X(t0+T2)包含误差，此时的移动时间T2不与一定的移动时间T1相同，因此移动量S*T2与理想移动量n*p的关系也成为下述的(26)式。
S*T2≈n*p  (26)
并且，在这种情况下，移动时间T2对应于检测位置X(t0)、X(t0+T2)所包含的误差的大小而变化，因此一定速度的判断可以不利用上述的(25)式的关系而利用上述的(26)式的关系。
即，若S*T2接近于n*p，则能够判断为移动体21(滑尺12)在从检测位置X(t0)到检测位置X(t0+T2)的区间、即上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内以一定速度S进行了移动。
t0、T2等时间可以通过在检测控制装置18的检测控制部18A设置的时钟的计数进行计测(也可以通过其他时间计测手段进行计测)。
因此，从取得上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的始端位置所对应的检测位置X(t0)起到取得上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的末端位置所对应的检测位置X(t0+T2)为止的经过时间(移动时间)、即判断为移动体21(滑尺12) 需要在上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内移动的移动时间T2能够在检测控制部18A中获知。而且，一定速度S、线圈间距p、线圈间距数n为已知的值。
因此，若阈值为±L，则在满足下述的(27)式的条件时，能够判断为移动体21(滑尺12)在上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内以一定速度S进行了移动。
n*p-L≥S*T2≥n*p+L  (27)
(3)校正数据取得处理
接着，通过一定速度判断处理(第1一定速度判断方法或第2一定速度判断方法或第3一定速度判断方法)，使用判断为移动体21(滑尺12)以一定速度S进行了移动的上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内取得的从X(t0)至X(t0+T)的检测位置数据，取得校正数据E(m)。
在此，说明检测位置X(t0)是上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的始端位置所对应的检测位置、且上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的始端位置是相当于该移动区间的最初(第1个)的线圈间距p的始端位置的情况，即整体性地使用在上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内取得的检测位置数据而取得校正数据E(m)的情况。
将取得了上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内的最初(第1个)的线圈间距p的始端位置所对应的检测位置时的时间设为t0。
将取得了上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内的最后(第n个：例如第256个)的线圈间距p的末端位置所对应 的检测位置时的时间设为t0+T。
即，时间T是在一定速度判断处理(第1一定速度判断方法或第2一定速度判断方法或第3一定速度判断方法)中叙述的移动时间T1或T2。
将上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的最初(第1个)的线圈间距p的始端位置所对应的检测位置X(t0)设为基准检测位置。
将取得该基准检测位置X(t0)起的经过时间t(m)设为t(m)＝0～T。
m为索引编号(0及正的整数)。例如，在索引编号m为0的情况下，t(0)＝0。若将索引编号m的最大值设为mm，则t(mm)＝T。
索引编号m对应于取得了校正数据E(m)的计算所使用的检测位置数据的上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的从最初(第1个)的线圈间距p的始端位置到最后(第n个)的线圈间距p的末端位置为止的各线圈间距位置。即，m＝0对应于最初(第1个)的线圈间距p的始端位置，m＝mm对应于最后(第n个)的线圈间距p的末端位置，之间的m＝1、2、3、…、mm-1对应于从最初(第1个)的线圈间距p的始端位置到最后(第n个)的线圈间距p的末端位置之间的各线圈间距位置。
并且，建立索引编号m与时间t(m)或检测位置X(t0+t(m))的对应关系。
例如，在将索引编号m与时间t(m)建立对应关系的情况下，只要将Δt固定并使t(m)＝m*Δt即可，在将索引编号m与检测位置X (t0+t(m))建立对应关系的情况下，只要将Δx固定并使X(t0+t(m))＝X(t0)+m*Δx即可。
移动体21(滑尺12)以一定速度S移动时的检测位置X(t0+t(m))所对应的理想位置Xi(t0+t(m))可以如下述的(28)式那样表示。
Xi(t0+t(m))≈X(t0)+S*t(m)  (28)
即，判断为以一定速度S进行了移动的上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内的初期的检测位置X(t0)(最初(第1个)的线圈间距p的始端位置所对应的检测位置)为基准，向该基准检测位置X(t0)加上一定速度S与时间t(m)的相乘值S*t(m)所得到的值即X(t0)+S*t(m)是接近于理想位置Xi(t0+t(m))的值。将接近于该理想位置Xi(t0+t(m))的位置X(t0)+S*t(m)称为近似理想位置。
将索引编号m下的校正数据设为E(m)。
若如下述的(29)式那样从理想位置Xi(t0+t(m))减去检测位置X(t0+t(m))，则能够得到理想的校正数据E(m)。然而，无法获知与检测位置X(t0+t(m))对应的理想位置Xi(t0+t(m))。
E(m)＝Xi(t0+t(m))-X(t0+t(m))  (29)
另一方面，关于接近于理想位置Xi(t0+t(m))的近似理想位置X(t0)+S*t(m)，X(t0)是在检测位置取得处理中取得的检测位置数据，一定速度S及时间t(m)是已知的值，因此能够基于它们算出。
因此，若取代理想位置Xi(t0+t(m))而使用近似理想位置X(t0)+S*t(m)，基于下述的(30)式，从近似理想位置X(t0)+S*t(m) 减去检测位置X(t0+t(m))，则能够得到接近于理想的校正数据E(m)。
E(m)＝X(t0)+S*t(m)-X(t0+t(m))  (30)
因此，对应于索引编号m而求出X(t0)+S*t(m)和X(t0+t(m))，使用这些X(t0)+S*t(m)和X(t0+t(m))，通过上述的(30)式来算出校正数据E(m)。
此时，作为对应于索引编号m而求出X(t0)+S*t(m)和X(t0+t(m))的方法，存在前述那样将Δt固定而将索引编号m与时间t(m)建立对应关系的方法、将Δx固定而将索引编号m与检测位置X(t0+t(m))建立对应关系的方法。
在图4(a)的表中，示出通过将Δt固定并将索引编号m与时间t(m)建立对应关系的方法，对应于索引编号m而求出X(t0)+S*t(m)和X(t0+t(m))时的例子。
在图4(a)的表中，在m＝0的情况下，
t(m)＝m*Δt为t(0)＝0，
X(t0+t(m))为X(t0+t(0))＝X(t0)，
X(t0)+S*t(m)为X(t0)+S*t(0)＝X(t0)。
因此，E(m)根据(30)式，成为E(0)＝X(t0)-X(t0)＝0。
在图4(a)的表中，在m＝1的情况下，
t(m)＝m*Δt为t(1)＝Δt，
X(t0+t(m))为X(t0+t(1))＝X(t0+Δt)，
X(t0)+S*t(m)为X(t0)+S*t(1)＝X(t0)+S*Δt。
因此，E(m)根据(30)式，成为E(1)＝X(t0)+S*Δt-X(t0+Δt)。
在图4(a)的表中，在m＝2的情况下，
t(m)＝m*Δt为t(2)＝2*Δt，
X(t0+t(m))为X(t0+t(2))＝X(t0+2*Δt)，
X(t0)+S*t(m)为X(t0)+S*t(2)＝X(t0)+S*2*Δt。
因此，E(m)根据(30)式，成为E(m)＝X(t0)+S*2*Δt-X(t0+2*Δt)。
在图4(a)的表中，在m＝3的情况下，
t(m)＝m*Δt为t(3)＝3*Δt，
X(t0+t(m))为X(t0+t(3))＝X(t0+3*Δt)，
X(t0)+S*t(m)为X(t0)+S*t(3)＝X(t0)+S*3*Δt。
因此，E(m)根据(30)式，成为E(m)＝X(t0)+S*3*Δt-X(t0+3*Δt)。
以下，虽然在图4(a)的表中省略记载，但是m＝4、5、…、mm的情况也同样，
在图4(a)的表中，在m＝mm的情况下，
t(m)＝m*Δt为t(mm)＝mm*Δt＝T，
X(t0+t(m))为X(t0+t(mm))＝X(t0+T)，
X(t0)+S*t(m)为X(t0)+S*t(mm)＝X(t0)+S*T。
因此，E(m)根据(30)式，成为E(m)＝X(t0)+S*T-X(t0+T)。
另外，t(m)＝0、Δt、2*Δt、3*Δt、…、T通过m*Δt来得到。即，将取得了检测位置X(t0)时的时间t0设为基准时间(0)，得到作为从该基准时间(0)起每经过Δt时间的时间Δt、2*Δt、3*Δt、…、T。
X(t0+t(m))＝X(t0)、X(t0+Δt)、X(t0+2*Δt)、X(t0+3*Δt)、…、X(t0+T)作为在时间t0得到的检测位置X(t0)和之后每经过Δt时间的检测位置X(t0+Δt)、X(t0+2*Δt)、X(t0+3*Δt)、…、X(t0+T)而被得到。
在图4(b)的表中，示出通过将Δx固定并将索引编号m与检测位置X(t0+t(m))建立对应关系的方法，对应于索引编号m而求出X(t0)+S*t(m)和X(t0+t(m))的情况的例子。
在图4(b)的表中，在m＝0的情况下，
t(m)为t(0)＝0，
X(t0+t(m))＝X(t0)+m*Δx为X(t0+t(0))＝X(t0)，
X(t0)+S*t(m)为X(t0)+S*t(0)＝X(t0)。
因此，E(m)根据(30)式，成为E(0)＝X(t0)-X(t0)＝0。
在图4(b)的表中，在m＝1的情况下，
t(m)为t(1)，
X(t0+t(m))＝X(t0)+m*Δx为X(t0+t(1))＝X(t0)+Δx，
X(t0)+S*t(m)为X(t0)+S*t(1)。
因此，E(m)根据(30)式，成为E(1)＝X(t0)+S*t(1)-X(t0)+Δx。
在图4(b)的表中，在m＝2的情况下，
t(m)为t(2)，
X(t0+t(m))＝X(t0)+m*Δx为X(t0+t(2))＝X(t0)+2*Δx，
X(t0)+S*t(m)为X(t0)+S*t(2)。
因此，E(m)根据(30)式，成为E(2)＝X(t0)+S*t(2)-X (t0)+2*Δx。
在图4(b)的表中，在m＝3的情况下，
t(m)为t(3)，
X(t0+t(m))＝X(t0)+m*Δx为X(t0+t(3))＝X(t0)+3*Δx，
X(t0)+S*t(m)为X(t0)+S*t(3)。
因此，E(m)根据(30)式，成为E(3)＝X(t0)+S*t(3)-X(t0)+3*Δx。
以下，在图4(b)的表中虽然省略记载，但是m＝4、5、…、mm的情况也同样，
在图4(b)的表中，在m＝mm的情况下，
t(m)＝t(mm)＝T，
X(t0+t(m))＝X(t0)+m*Δx为X(t0+t(mm))＝X(t0+T)＝X(t0)+mm*Δx，
X(t0)+S*t(m)为X(t0)+S*t(mm)＝X(t0)+S*T。
因此，E(m)根据(30)式，成为E(m)＝X(t0)+S*T-X(t0)+mm*Δx。
另外，X(t0+t(m))＝X(t0)+m*Δx＝X(t0)、X(t0)+Δx、X(t0)+2*Δx、X(t0)+3*Δx、…、X(t0)+mm*Δx作为在时间t0得到的检测位置X(t0)、之后的每移动量Δx的检测位置X(t0)+Δx、X(t0)+2*Δx、X(t0)+3*Δx、…、X(t0)+mm*Δx而得到。
t(m)＝t(0)(＝0)、t(1)、t(2)、t(3)、…、
T作为将取得了检测位置X(t0)时的时间t0设为基准时间t(0)(＝0)之后得到了检测位置X(t0)+Δx、X(t0)+2*Δx、X(t0)+3*Δx、…、X(t0)+mm*Δx的检测位置时的时间t(1)、t(2)、t(3)、 …、T而得到。
另外，关于上述的与索引编号m的对应关系，在图3(a)中也进行了例示。
基于上述的(30)式而算出的校正数据E(m)＝E(0)(＝0)、E(1)、E(2)、E(3)、…、E(mm)按照索引编号m：0、1、2、3、…、mm的顺序、即E(0)(＝0)、E(1)、E(2)、E(3)、…、E(mm)的顺序向固定存储器18B的各地址从开头地址依次存储。若如此将校正数据E(m)从固定存储器18B的开头地址依次存储，则不需要存储索引编号m。
在这种情况下，取代索引编号m，固定存储器18B的地址对应于取得了校正数据E(m)的计算所使用的检测位置数据的上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的从最初(第1个)的线圈间距p的始端位置到最后(第n个)的线圈间距p的末端位置的各线圈间距位置。
即，开头地址对应于最初(第1个)的线圈间距p的始端位置，第mm+1个地址对应于最后(第n个)的线圈间距p的末端位置，从第2个至第mm个地址依次对应于从最初(第1个)的线圈间距p的始端位置到最后(第n个)的线圈间距p的末端位置之间的各线圈间距位置。
另外，未必限定于此，也可以将校正数据E(m)随机存储于固定存储器18B的地址。在这种情况下，索引编号m也存储于固定存储器18B，只要将该索引编号m与校正数据E(m)建立对应关系即可。例如，可以是在第5个地址中存储索引编号2和校正数据E(2)，在第2个地址中存储索引编号3和校正数据E(3)的方法。
例如每1个线圈间距p的校正数据E(m)的个数为512个，且线圈间距数n为256时，存储于固定存储器18B的校正数据E(m)的个数全部为131072个。
另外，将上述取得检测位置数据的上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)设为1个，但没有限定于此，取得检测位置数据的上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)可以为多个。
在这种情况下，通过上述的同样的方法，在多个移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)取得检测位置数据，基于上述的检测位置数据来取得各移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的校正数据E(m)，将上述的各移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的校正数据E(m)的平均值设为最终的校正数据E(m)。
并且，将该最终的(平均值的)校正数据E(m)存储于固定存储器18B。在这种情况下，关于将校正数据E(m)存储于固定存储器18B的方法，如前文所述。
(4)检测位置的校正
然后，在检测控制装置18(检测控制部18A)中，在使移动体21(滑尺12)移动而进行实际的作业(例如机床的加工)时等，在进行检测位置X(t)的校正的情况下，从固定存储器18B读出校正数据E(m)。
并且，基于下述的(31)式，向检测位置X(t0+t(m))加上从固定存储器18B读出的校正数据得E(m)，由此求出X’(t0+t(m))，作为对该X’(t0+t(m))进行了校正的检测位置而输出。
X’(t0+t(m))＝X(t0+t(m))+E(m)  (31)
详细而言，移动体21(滑尺12)的移动位置与刻度尺15的刻度尺线圈16的位置(线圈间距位置)对应，因此刻度尺线圈16的线圈间距位置与检测位置X(t)对应。
因此，在检测控制装置18(检测控制部18A)中，在检测移动体21(滑尺12)的位置而得到了某检测位置X(t)的情况下，可知该检测位置X(t)是与哪个线圈间距位置对应的检测位置。
因此，在检测控制装置18(检测控制部18B)中，在检测移动体21(滑尺12)的位置而得到了某检测位置X(t)的情况下，判断与该检测位置X(t)对应的线圈间距位置，将与该线圈间距位置对应的校正数据E(m)从固定存储器18B读出，将该检测位置X(t)与该校正数据E(m)相加，由此得到校正后的检测位置。
另外，在某检测位置X(t)所对应的线圈间距位置是第1校正数据E(m)所对应的线圈间距位置与接着的第2校正数据E(m)所对应的线圈间距位置之间的位置的情况下(例如校正数据E(10)所对应的线圈间距位置与校正数据E(11)所对应的线圈间距位置之间的位置的情况下)，对第1校正数据E(m)(例如校正数据E(10))和第2校正数据E(m)(例如校正数据E(11))进行内插插补而求出校正数据，将该内插插补所得的校正数据与该检测位置X(t)相加，由此得到校正后的检测位置。
另外，通过校正数据取得处理而取得的n个线圈间距p量的校正数据E(m)对应刻度尺线圈16的n个线圈间距p中的每个线圈间距p而反复使用，从而对检测位置X(t)进行校正。
另外，原理上线圈间距n可以为1个。即，校正数据E(m)只要取得至少1个线圈间距p量即可。在这种情况下，1个线圈间距p量的 校正数据E(m)对应刻度尺线圈16的各线圈间距p反复使用，从而对检测位置X(t)进行校正。
另外，在上述中，在一定速度判断处理(第1一定速度判断方法或第2一定速度判断方法或第3一定速度判断方法)中，整体性地使用判断为移动体21以一定速度S进行了移动的上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的检测位置数据来求出校正数据E(m)，但没有限定于此，也可以使用该检测位置X(t)的数据中的一部分来求出校正数据E(m)。
即，使用从上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的任意的第N1个(例如第50个)线圈间距p的始端位置所对应的检测位置X(tN1)的数据到上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的任意的第N2个(例如第150个)线圈间距p的末端位置所对应的检测位置X(tN2)的数据，求出校正数据E(m)。
在这种情况下，若从得到第N1个(例如第50个)线圈间距p的始端位置所对应的检测位置X(tN1)时起到得到第N2个(例如第150个)线圈间距p的末端位置所对应的检测位置X(tN2)时为止的移动时间为T3，则前述的时间t(m)＝0～T中的T只要设为T3即可。而且，检测位置X(tN1)成为基准的检测位置X(t0)，检测位置X(tN2)成为X(t0+t(mm))。
并且，在这种情况下，也能够通过与上述同样的方法取得校正数据E(m)。
另外，在一定速度判断处理(第1一定速度判断方法或第2一定速度判断方法或第3一定速度判断方法)中，即使在判断为移动体21以一定速度S进行了移动的上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)从最初(第1个)的线圈间距p的中途位置到最后(例如 第256个)的线圈间距p的中途位置的情况下，也能够通过与上述同样的方法来得到校正数据E(m)。
即，只要使用上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)内的除了最初(第1个)的线圈间距p之外的任意的第N3个(例如第2个)线圈间距p的始端位置所对应的检测位置X(tN3)的数据到上述预定移动区间(相当于线圈间距p的n倍的区间)的除了最后(例如第256个)的线圈间距p之外的任意的第N4个(例如第255个)线圈间距p的末端位置所对应的检测位置X(tN4)的数据来求出校正数据E(m)即可。
在这种情况下，若从得到第N3个(例如第2个)线圈间距p的始端位置所对应的检测位置X(tN3)时到得到第N4个(例如第255个)线圈间距p的末端位置所对应的检测位置X(tN4)时的移动时间为T4，则只要将前述的时间t(m)＝0～T中的T设为T4即可。而且，检测位置X(tN3)成为基准的检测位置X(t0)，检测位置X(tN4)成为X(t0+t(mm))。
并且，在这种情况下，也能够通过与上述同样的方法来取得校正数据E(m)。
或者，在这种情况下，也可以在将最初(第1个)的线圈间距p的从中途位置到末端位置的检测位置数据加入到最后(例如第256个)的线圈间距p的中途位置的检测位置数据之后，来取得校正数据E(m)。在这种情况下，能够取得从第2个线圈间距p的始端位置到最后(例如第256个)的线圈间距p的末端位置所对应的校正数据E(m)。
如以上所述，本实施方式例1的电磁感应式位置检测器11的检测位置校正方法中，电磁感应式位置检测器11具有滑尺12和刻度尺15，滑尺12具备第1滑尺线圈13及第2滑尺线圈14，刻度尺15具备刻度 尺线圈16，滑尺12安装于移动体21而与移动体21一起移动，第1滑尺线圈13及第2滑尺线圈14与刻度尺线圈16以相互平行且相向的方式配置，电磁感应式位置检测器11的检测位置校正方法的特征在于，进行以下处理：检测位置取得处理，根据一定速度S的速度指令值使移动体21移动，利用电磁感应式位置检测器11检测移动体21的位置而取得检测位置X(t)；一定速度判断处理，基于检测位置X(t)、刻度尺线圈16的线圈间距p(第1一定速度判断方法)，或者基于检测位置X(t)、一定速度S、移动体21的移动时间T1(第2一定速度判断方法)，或者基于刻度尺线圈16的线圈间距p、一定速度S、移动体21的移动时间T2(第3一定速度判断方法)，来判断移动体21在预定移动区间内以一定速度S进行了移动这一情况；及校正数据取得处理，将上述移动区间内的任一线圈间距p的始端位置所对应的检测位置X(t0)设为基准检测位置，向基准检测位置X(t0)加上从取得上述基准检测位置X(t0)起的经过时间T与一定速度S的相乘值，由此求出近似理想位置，基于该近似理想位置和检测位置来取得校正数据。
因此，不需要与电磁感应式位置检测器11不同的高精度位置检测器，利用电磁感应式位置检测器11自身能够取得校正数据而进行检测位置的校正。
另外，本实施方式例1的电磁感应式位置检测器11的检测位置校正方法的特征在于，在上述一定速度判断处理(第1一定速度判断方法)中，若将上述移动区间设为相当于线圈间距p的n倍(n为自然数)的区间，将移动体21以一定速度S在上述移动区间内移动所需的移动时间设为T1，将上述移动区间的始端位置所对应的检测位置设为X(t0)，将上述移动区间的末端位置所对应的检测位置设为X(t0+T1)，将阈值设为±L，则在满足n*p-L≥X(t0+T1)-X(t0)≥n*p+L的条件时，判断为移动体在上述移动区间内以一定速度S进行了移动。
因此，通过电磁感应式位置检测器11自身能够容易且可靠地进行移动体21的一定速度S的判断。
另外，本实施方式例1的电磁感应式位置检测器11的检测位置校正方法的特征在于，在上述一定速度判断处理(第2一定速度判断方法)中，若将上述移动区间设为相当于线圈间距p的n倍(n为自然数)的区间，将移动体21以一定速度S在上述移动区间内移动所需的移动时间设为T1，将上述移动区间的始端位置所对应的检测位置设为X(t0)，将上述移动区间的末端位置所对应的检测位置设为X(t0+T1)，将阈值设为±L，则在满足S*T1-L≥X(t0+T1)-X(t0)≥S*T1+L的条件时，判断为移动体21在上述移动区间内以一定速度S进行了移动。
因此，通过电磁感应式位置检测器11自身能够容易且可靠地进行移动体21的一定速度S的判断。
另外，根据本实施方式例1的电磁感应式位置检测器11的检测位置校正方法，其特征在于，在上述一定速度判断处理(第3一定速度判断方法)中，若将上述移动区间设为相当于线圈间距p的n倍(n为自然数)的区间，将判断为移动体21需要在上述移动区间内移动的移动时间设为T2，将阈值设为±L，则在满足n*p-L≥S*T2≥n*p+L的条件时，判断为移动体21在上述移动区间内以一定速度S进行了移动。
因此，通过电磁感应式位置检测器11自身能够容易且可靠地进行移动体21的一定速度S的判断。
另外，根据本实施方式例1的电磁感应式位置检测器11的检测位置校正方法，其特征在于，在上述校正数据取得处理中，若将取得了上述移动区间内的任一线圈间距p的始端位置所对应的检测位置时的时间设为t0，将取得了上述移动区间内的另一线圈间距p的末端位置所对应的检测位置时的时间设为t0+T，将上述移动区间内的任一线圈间 距p的始端位置所对应的检测位置设为基准检测位置X(t0)，将从取得上述基准检测位置X(t0)起的经过时间t(m)(m为索引编号)设为t(m)＝0～T，将Δt固定而建立索引编号m与t(m)的对应关系，或者将Δx固定而建立索引编号m与X(t0+t(m))的对应关系，通过E(m)＝X(t0)+S*t(m)-X(t0+t(m))的式子来算出索引编号m所对应的校正数据E(m)。
因此，通过电磁感应式位置检测器11自身能够容易且可靠地取得校正数据E(m)。
另外，根据本实施方式例1的电磁感应式位置检测器11的检测位置校正方法，其特征在于，将上述移动区间设为多个，在这多个移动区间取得校正数据，将这多个校正数据的平均值设为最终的校正数据。
因此，能够取得更高精度的校正数据。
<实施方式例2>
基于图5，说明本发明的实施方式例2的电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法。
本实施方式例2关于其系统结构、取得校正数据E(m)为止的处理(检测位置取得处理、一定速度判断处理、校正数据取得处理)，与上述实施方式例1相同(图1～图4)，但是校正数据E(m)向固定存储器18B的存储与上述实施方式例1不同。
图5表示通过与上述实施方式例1相同的方法取得的校正数据E(m)的例子。在图5中，横轴是索引编号m，纵轴是校正数据E(m)。
也如先前叙述那样，包含于检测位置X(t)的误差E对应于刻度尺线圈16的线圈间距周期而周期性地变动(图3(b))。
因此，如图5所示，校正数据E(m)也对应于刻度尺线圈16的线圈间距周期而周期性地变动。另外，为了明示对应于线圈间距周期而周期性地变动这一情况，与图3(b)的情况同样，在图5中，以正弦波表示校正数据E(m)，但是与实际的误差E的情况同样，实际的校正数据E(m)也成为稍变形的波形。
并且，在本实施方式例2的情况下，在检测控制装置18(检测控制部18A)中，在取得了校正数据E(m)之后，如上述实施方式例1那样将校正数据E(m)全部存储于固定存储器18B，在对该校正数据E(m)进行检测位置校正时，不从固定存储器18B读出，进行如下的处理。
首先，对图5例示那样的校正数据E(m)＝E(1)、E(2)、E(3)、…，E(mm)进行傅里叶变换。
并且，根据该傅里叶变换的结果，选择上数j个量(i＝0～j-1)的光谱大的分量F(i)(F(0)、F(1)、F(2)、…、F(j-1))，并将它们存储于固定存储器18B(j为自然数)。另外，作为分量F(i)而存储的数据是振幅、频率、相位。
然后，在使移动体21(滑尺12)移动而进行实际的作业(例如机床的加工作业等)时等，在进行检测位置X(t)的校正的情况下，从固定存储器18B读出分量F(i)＝F(0)、F(1)、F(2)、…、F(j-1)，进行该分量F(i)的傅里叶逆变换，由此求出校正数据E’(m)＝E’(0)、E’(1)、E’(2)、E’(3)、…、E’(mm)。
并且，与上述实施方式例1的情况同样，基于下述的(32)式，通过向检测位置X(t0+t(m))加上校正数据得E’(m)来求出X’(t0+t(m))，并将该X’(t0+t(m))作为校正后的检测位置而输出。另 外，关于校正的详情，与上述实施方式例1的情况同样。
X’(t0+t(m))＝X(t0+t(m))+E’(m)  (32)
如以上那样，本实施方式例2的电磁感应式位置检测器11的检测位置校正方法的特征在于，对校正数据E(m)进行傅里叶变换，将上数j个量(i＝0～j-1)的光谱大的分量F(i)存储于固定存储器18B，从固定存储器18B读出分量F(i)，进行傅里叶逆变换而求出校正数据E’(m)。
因此，能够减少固定存储器18B的容量。
另外，在上述中，虽然说明了电磁感应式位置检测器为线型刻度尺的情况，但没有限定于此，如先前叙述那样，关于电磁感应式位置检测器为旋转型刻度尺的情况也能够适用本发明的方法。
旋转型刻度尺具有定子(一次侧部件)和转子(二次侧部件)，该定子(一次侧部件)具备定子线圈(一次侧线圈)，该转子(二次侧部件)具备转子线圈(二次侧线圈)，转子安装于移动体(旋转体)而与移动体(旋转体)一起移动(旋转)，定子线圈与转子线圈以相互平行且相向的方式配置。
对于这样的旋转型刻度尺，也可以适用本发明的方法而取得校正数据，通过该校正数据来校正旋转型刻度尺的检测位置(旋转角度)。
工业实用性
本发明涉及电磁感应式位置检测器的检测位置校正方法，在不使用与电磁感应式位置检测器不同的高精度位置检测器、通过电磁感应式位置检测器自身取得校正数据来进行检测位置的校正的情况下也能够适用。
附图标记说明
11 电磁感应式位置检测器
12 滑尺
13 第1滑尺线圈
14 第2滑尺线圈
15 刻度尺
16 刻度尺线圈
17 检测部
18 检测控制装置
18A 检测控制部
18B 固定存储器
20 驱动控制装置
21 移动体