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1、(10)申请公布号 CN 103346059 A (43)申请公布日 2013.10.09 CN 103346059 A *CN103346059A* (21)申请号 201310262667.4 (22)申请日 2013.06.27 H01J 41/02(2006.01) G01L 21/30(2006.01) (71)申请人 成都国光电气股份有限公司 地址 610100 四川省成都市成都经济技术开 发区 （龙泉驿区） 星光西路 117 号 (72)发明人 陈旗 (74)专利代理机构 成都华典专利事务所 ( 普通 合伙 ) 51223 代理人 徐丰 杨保刚 (54) 发明名称 一种真空电离规。
2、管 (57) 摘要 本发明涉及一种真空电离规管， 所述真空电 离规管包括灯丝、 收集极和加速极， 所述灯丝为铱 灯丝， 所述收集极为片状收集极， 所述加速极为片 状” ” 形加速极， 所述灯丝位于所述收集极支持 片状” ” 形加速极的” ” 形两臂之间， 所述片 状收集极将加速极及灯丝围起， 所述片状收集极 和加速极上设有通孔。所述的真空电离规管， 其 在测试时翻越每个量程节点的时间减少一半以 上， 测量下限较原来也有所提高， 规管灵敏度提高 25-30%。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 2 页 附图 3 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权。
3、利要求书1页 说明书2页 附图3页 (10)申请公布号 CN 103346059 A CN 103346059 A *CN103346059A* 1/1 页 2 1. 一种真空电离规管， 所述真空电离规管包括灯丝、 收集极和加速极， 其特征在于 ： 所 述灯丝为铱灯丝， 所述收集极为片状收集极， 所述加速极为片状 “” 形加速极， 所述灯丝位 于所述片状” ” 形加速极的” ” 形两臂之间， 所述片状收集极将加速极及灯丝围起， 所述 片状收集极设有通孔， 减少收集极的面积。 2. 如权利要求 1 所述的真空电离规管， 其特征在于 ： 所述” ” 形加速极的两臂上各设 有一个位置不对称的通孔。 。
4、3. 如权利要求 2 所述的真空电离规管， 其特征在于 ： 所述真空电离规管还包括管座、 灯 丝支持杆、 加速极支持杆和收集极支持杆， 所述灯丝与灯丝支持杆焊接在一起， 所述收集极 焊接在收集极支持杆上， 所述收集极支持杆、 灯丝支持杆和加速极支持杆都分别固定在管 座中。 4. 如权利要求 3 所述的真空电离规管， 其特征在于 ： 所述片状收集极是片状矩形收集 极， 所述片状矩形收集极围成的三面中有两面设有多个圆形通孔， 一个侧面是方形通孔， 另 一面未围起。 5. 如权利要求 1-4 所述的真空电离规管， 其特征在于 ： 所述加速极上的孔是圆形通孔。 6. 如权利要求 5 所述的真空电离规管。
5、， 其特征在于 ： 所述管座是玻璃管座。 权 利 要 求 书 CN 103346059 A 2 1/2 页 3 一种真空电离规管 技术领域 0001 本发明涉及一种真空电离规管， 尤其涉及一种真空电离规管。 背景技术 0002 在真空测量中， 现有的真空电离规管具有抗氧化、 灯丝工作温度低、 线性好等优 点， 是一种适合高压强下工作的真空规管， 比较典型的是 ZJ-10 型电离真空规管。但是这种 电离规管目前存在的问题是 ： 在测试过程中真空下限相对有限， 测试过程中达到 10-5Pa 所 需时间较长。 发明内容 0003 本发明提供一种真空电离规管， 该电离规管能够测量相对较低的真空度， 并。
6、且具 有较高的测试灵敏度。 0004 本发明的技术方案是 ： 一种真空规管， 所述真空规管包括灯丝、 收集极和加速极， 所述灯丝为铱灯丝， 所述收集极为片状收集极， 所述加速极为片状” ” 形加速极， 所述灯丝 位于所述片状” ” 形加速极的” ” 形两臂之间， 所述片状收集极将加速极及灯丝围起， 所 述片状收集极设有通孔， 以减小收集极的面积。 0005 所述片状” ” 形加速极的两臂上各设有一个位置不对称的孔， 用以调整电子流 Ie， 保证测试线性度。 0006 现有技术中的 ZJ-10 规管电极面积较大， 放气源较多， 会造成测试下限相对较低， 采用本发明中的技术方案， 规管工作时， 灯。
7、丝通电加热， 发射出的电子在加速极电场作用 下， 飞向加速极， 并在阴极-加速极-收集极空间往返振荡， 在飞行中与气体分子碰撞， 使气 体分子电离而产生正离子和电子。正离子被收集极接受， 形成离子流 Ii. 电子被加速极吸 收， 形成电子流或称为发射电流Ie。 实践证明， 压强10Pa时， 离子流与被测的气体分子 密度 （即压强 P） 成正比， 即 Ii=K IeP 这里 K 为规管常数， 又称规管灵敏度。也就是说， 当规 管灵敏度确定之后， 只要发射电流保持不变， 就可从测得的粒子流得到压强值。 由此可以说 明， 在电场强度不变的情况下， 要想得到较高的真空度， 也就是说压强 P 降低， 规。
8、管灵敏度 K 和发射电流 Ie不变， 降低离子流 Ii即可。降低离子流 Ii的办法就可以采用减少收集极面 积， 以此减少收集极收集的正离子数量。 0007 将现有的真空电离规管和本发明中的真空电离规管通过校准比对， 收集极打孔和 加速极打孔后装配的新管测试时翻越每个量程节点的时间减少一半以上， 测量下限较原来 也有所提高， 规管灵敏度较改动前提高 25-30%。 附图说明 0008 图 1 一种真空电离规管的主视图 图 2 一种真空电离规管的右视图 图 3 一种真空电离规管的左视图 说 明 书 CN 103346059 A 3 2/2 页 4 图 4 一种真空电离规管的收集极结构图 图 5 一。
9、种真空电离规管的加速极结构图 图中 1铱灯丝， 2收集极， 3加速极， 4灯丝支持杆， 5收集极支持杆， 6加速 极支持杆， 7管座， 8收集极上的圆形通孔， 9收集极上的方形通孔， 10加速极上的通 孔。 具体实施例 0009 本发明的具体实施例是 ： 一种真空电离规管， 所述真空电离规管包括灯丝、 收集极和加速极， 所述灯丝为铱灯 丝， 所述收集极为片状收集极， 所述加速极为片状”形加速极， 所述灯丝位于所述片 状” ” 形加速极的” ” 形两臂之间， 所述片状矩形收集极将加速极及灯丝三面围起， 所述 片状矩形收集极围成的三面中有两面设有多个圆形通孔， 一个侧面设有方形通孔， 另一面 未围。
10、起， 用以减小收集极面积， 所述片状” ” 形加速极的两臂上各设有一个位置不对称的 圆形通孔， 以提高测试线性度。 0010 真空电离规管还包括管座、 灯丝支持杆、 加速极支持杆和收集极支持杆， 所述灯丝 与灯丝支持杆焊接在一起， 所述收集极焊接在收集极支持杆上， 所述收集极支持杆、 灯丝支 持杆和加速极支持杆都分别固定在管座中。 0011 所述实施例的真空电离规管， 其在测试时翻越每个量程节点的时间减少一半以 上， 测量下限较原来也有所提高， 规管灵敏度提高 25-30%。 说 明 书 CN 103346059 A 4 1/3 页 5 图 1 图 2 图 3 说 明 书 附 图 CN 103346059 A 5 2/3 页 6 图 4 说 明 书 附 图 CN 103346059 A 6 3/3 页 7 图 5 说 明 书 附 图 CN 103346059 A 7 。