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1、(10)申请公布号 CN 103917339 A (43)申请公布日 2014.07.09 CN 103917339 A (21)申请号 201280054298.3 (22)申请日 2012.11.01 2012-029043 2012.02.14 JP 61/560,402 2011.11.16 US B25J 19/00(2006.01) B25J 9/06(2006.01) B25J 17/00(2006.01) B65G 49/07(2006.01) H01L 21/677(2006.01) (71)申请人 日本电产三协株式会社 地址 日本长野县 (72)发明人 矢泽隆之 柴真砂 中。
2、岛弘登 藤原真志 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 代理人 沈捷 (54) 发明名称 工业用机器人 (57) 摘要 本申请提供一种工业用机器人， 该机器人即 使在真空中搬运温度较高的搬运对象的情况下， 也能够抑制轴承的磨损、 损伤以及臂的变形。 该工 业用机器人例如具有在作为臂与主体部 (7) 的连 接部的关节部(20)中支承臂的轴承(59)。 在关节 部 (20) 中， 臂具有朝向主体部 (7) 突出的第一凸 部(48)， 主体部(7)具有第一容纳部(49)， 其形成 有容纳第一凸部(48)的第一凹部。 第一凸部(48) 以及第一容纳部 (49) 由热传导率比轴。
3、承 (59) 高 的材料形成， 在第一凹部中， 配置有热传导率比轴 承 (59) 高的半固体状的热传导性物质。并且， 主 体部(7)具有 ： 散热部(51)， 其由热传导率比轴承 (59) 高的材料形成且配置在大气中 ； 以及连接部 (50)， 其由热传导率比轴承 (59) 高的材料形成且 连接第一容纳部 (49) 与散热部 (51)。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2014.05.05 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2012/078301 2012.11.01 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2013/073378 JA 2013.05.23。
4、 (51)Int.Cl. 权利要求书 2 页 说明书 13 页 附图 9 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书2页 说明书13页 附图9页 (10)申请公布号 CN 103917339 A CN 103917339 A 1/2 页 2 1. 一种工业用机器人， 其在真空中搬运搬运对象， 其特征在于， 具有 ： 手部， 其装载所述搬运对象 ； 臂， 所述手部与所述臂的前端侧连接 ； 主体部， 所述臂的基端侧以能够旋转的方式连接到所述主体部 ； 以及 第一轴承， 其在作为所述臂与所述主体部的连接部的第一关节部将所述臂支承为能够 旋转， 所述臂和所述主体部中的一。
5、方在所述第一关节部具有朝向所述臂和所述主体部中的 另一方突出的第一凸部， 所述臂和所述主体部中的另一方在所述第一关节部具有第一容纳部， 所述第一容纳部 形成有容纳所述第一凸部的第一凹部， 所述第一凸部以及所述第一容纳部由热传导率比所述第一轴承高的材料形成， 在所述第一凹部中配置有热传导率比所述第一轴承高的液状、 半固体状或凝胶状的第 一热传导性物质， 所述主体部具有 ： 散热部， 其由热传导率比所述第一轴承高的材料形成， 且配置在大气中散发热量 ； 以及 连接部， 其由热传导率比所述第一轴承高的材料形成， 且连接所述主体部所具有的所 述第一容纳部或所述第一凸部与所述散热部。 2. 根据权利要求。
6、 1 所述的工业用机器人， 其特征在于， 所述臂具有 ： 第一臂部， 其基端侧以能够旋转的方式连接到所述主体部 ； 以及 第二臂部， 其基端侧以能够旋转的方式连接到所述第一臂部的前端侧， 在作为所述第一臂部与所述第二臂部的连接部的第二关节部， 配置有将所述第二臂部 支承为能够旋转的第二轴承， 所述第一臂部和所述第二臂部中的一方在所述第二关节部具有朝向所述第一臂部和 所述第二臂部中的另一方突出的第二凸部， 所述第一臂部和所述第二臂部中的另一方在所述第二关节部具有第二容纳部， 所述第 二容纳部形成有容纳所述第二凸部的第二凹部， 所述第二凸部以及所述第二容纳部由热传导率比所述第二轴承高的材料形成， 。
7、在所述第二凹部中配置有热传导率比所述第二轴承高的液状、 半固体状或凝胶状的第 二热传导性物质。 3. 根据权利要求 2 所述的工业用机器人， 其特征在于， 所述手部以能够旋转的方式连接到所述第二臂部的前端侧。 4. 根据权利要求 1 至 3 中的任一项所述的工业用机器人， 其特征在于， 所述第一凸部形成于所述臂， 且呈大致圆筒状， 所述第一凹部形成于所述主体部， 且呈大致圆环状。 5. 根据权利要求 2 或 3 所述的工业用机器人， 其特征在于， 所述第二凸部形成于所述第二臂部， 且呈大致圆柱状， 所述第二容纳部形成于所述第一臂部， 且呈大致有底圆筒状。 6. 根据权利要求 1 至 5 中的任。
8、一项所述的工业用机器人， 其特征在于， 权 利 要 求 书 CN 103917339 A 2 2/2 页 3 所述第一热传导性物质为油脂。 7. 根据权利要求 2、 3 或 5 所述的工业用机器人， 其特征在于， 所述第二热传导性物质为油脂。 8. 根据权利要求 1 至 7 中的任一项所述的工业用机器人， 其特征在于， 所述主体部具有散热机构， 所述散热机构配置于大气中散发所述散热部的热量。 9. 根据权利要求 8 所述的工业用机器人， 其特征在于， 所述散热机构具有 ： 多个散热用散热片， 所述多个散热用散热片形成于或固定于所述散热部 ； 以及 送风机， 其朝向所述散热片输送空气。 10. 。
9、根据权利要求 1 至 9 中的任一项所述的工业用机器人， 其特征在于， 在所述第一关节部具有磁流体密封部， 所述磁流体密封部具有防止空气流入真空区域 的磁流体密封件和所述第一轴承， 所述第一容纳部呈大致筒状， 并在所述第一容纳部的内周侧保持所述磁流体密封部。 11. 根据权利要求 1 至 10 中的任一项所述的工业用机器人， 其特征在于， 在所述第一关节部具有磁流体密封部， 所述磁流体密封部具有防止空气流入真空区域 的磁流体密封件和所述第一轴承， 还具有冷却机构， 所述冷却机构冷却所述磁流体密封部。 12. 根据权利要求 11 所述的工业用机器人， 其特征在于， 所述冷却机构具有 ： 冷却用空。
10、气的流路， 其形成于所述磁流体密封部 ； 以及 供给机构， 其向所述流路提供冷却用空气。 13. 根据权利要求 1 至 12 中的任一项所述的工业用机器人， 其特征在于， 具有使所述主体部升降的升降机构， 在所述散热部安装有所述升降机构的一部分。 14. 根据权利要求 1 至 13 中的任一项所述的工业用机器人， 其特征在于， 所述搬运对象为液晶显示器用的玻璃基板。 权 利 要 求 书 CN 103917339 A 3 1/13 页 4 工业用机器人 技术领域 0001 本发明涉及一种搬运指定搬运对象的工业用机器人。 背景技术 0002 以往已知一种搬运液晶显示器用玻璃基板的工业用机器人 ( 。
11、例如， 参照专利文献 1)。 专利文献1中所记载的工业用机器人包括 ： 手部， 其装载玻璃基板 ； 臂， 手部以能够旋转 的方式与其前端侧连接 ； 以及主体部， 臂的基端侧以能够旋转的方式与其连接。 臂由第一臂 部和第二臂部构成， 第一臂部的基端侧以能够旋转的方式连接到主体部， 第二臂部的基端 侧以能够旋转的方式连接到第一臂部的前端侧。 在作为主体部与第一臂部的连接部的关节 部配置有将第一臂部支承为能够旋转的球轴承或滚子轴承等滚动轴承， 在作为第一臂部与 第二臂部的连接部的关节部配置有将第二臂部支承为能够旋转的滚动轴承。 配置于关节部 的滚动轴承具有球或滚子等滚动体和与滚动体点接触或线接触的内。
12、圈以及外圈。 0003 现有技术文献 0004 专利文献 0005 专利文献 1 ： 日本特开 2010-23195 号公报 发明概要 0006 发明所要解决的技术问题 0007 近年来， 由于利用工业用机器人搬运的玻璃基板不断地大型化， 且在搬运时玻璃 基板的温度变高， 因此被搬运的玻璃基板所带有的热量增大。通过热辐射或经由手部的热 传导而从玻璃基板向臂传递高热， 当配置于关节部的轴承(滚动轴承)受到高热时， 会导致 被淬火处理的轴承的硬度降低， 或因轴承内的油脂的粘度降低而导致油膜中断的问题， 因 此容易导致轴承磨损、 损伤的问题。另外， 当臂受到从玻璃基板传递而来的高热时， 会导致 臂产。
13、生较大变形， 其结果是降低了玻璃基板的搬运精度。 0008 如果是在大气中搬运玻璃基板的工业用机器人的情况， 则从玻璃基板传递到臂的 热量能够在关节部利用热辐射传递到主体部， 并能够利用轴承的内圈以及外圈与滚动体之 间的热传导传递到主体部， 除此之外还能够利用空气的热传导传递到主体部。 因此， 即使内 圈以及外圈与滚动体点接触或线接触， 内圈以及外圈与滚动体之间的接触面积较小， 也能 够借助关节部从臂将热量释放到主体部。因此， 如果是在大气中搬运玻璃基板的工业用机 器人的情况， 则不易因从玻璃基板传递到臂的热量的影响， 而导致轴承过度磨损、 损伤或臂 产生较大变形的问题。 0009 然而， 如。
14、果是在真空中搬运玻璃基板的工业用机器人的情况， 则从玻璃基板传递 到工业用机器人的热量虽然能够在关节部利用热辐射而传递到主体部， 并能够利用接触面 积较小的内圈以及外圈与滚动体之间的热传导传递到主体部， 但无法利用空气的热传导传 递到主体部。 因此， 如果是在真空中搬运玻璃基板的工业用机器人的情况， 则不易通过关节 部使热量从臂释放到主体部， 其结果是， 容易因从玻璃基板传递到臂的热量的影响， 而导致 说 明 书 CN 103917339 A 4 2/13 页 5 轴承过度磨损、 损伤或臂产生较大变形的问题。 0010 因此， 本发明的技术问题在于提供一种工业用机器人 ： 即使是在真空中搬运温。
15、度 较高的搬运对象的情况， 也能够抑制因受到热量的影响而导致轴承的磨损、 损伤以及臂的 变形。 0011 解决技术问题所采用的技术方案 0012 为解决上述技术问题， 本发明的工业用机器人是在真空中搬运搬运对象的工业用 机器人， 其特征在于， 具有 ： 手部， 其装载搬运对象 ； 臂， 其前端侧与手部连接 ； 主体部， 臂的 基端侧以能够旋转的方式与其连接 ； 以及第一轴承， 其在作为臂与主体部的连接部的第一 关节部将臂支承为能够旋转， 臂和主体部中的一方在第一关节部具有朝向臂和主体部中的 另一方突出的第一凸部， 壁和主体部中的另一方在第一关节部具有第一容纳部， 所述第一 容纳部形成有容纳第一。
16、凸部的第一凹部， 第一凸部以及第一容纳部由热传导率比第一轴承 高的材料形成， 在第一凹部中配置有热传导率比第一轴承高的液状、 半固状或凝胶状的第 一热传导性物质， 主体部具有 ： 散热部 , 其由热传导率比第一轴承高的材料形成， 且配置于 大气中散发热量 ； 以及连接部， 其由热传导率比第一轴承部高的材料形成， 且连接主体部所 具有的第一容纳部或第一凸部与散热部。 0013 在本发明的工业用机器人中， 臂和主体部中的一方在作为臂与主体部的连接部的 第一关节部具有第一凸部， 臂和主体部中的另一方在第一关节部具有第一容纳部， 所述第 一容纳部形成有容纳第一凸部的第一凹部。另外， 第一凸部以及第一容。
17、纳部由热传导率比 第一轴承高的材料形成， 在第一凹部中配置有热传导率比第一轴承高的液状、 半固体状或 凝胶状的第一热传导性物质。 因此， 在本发明中， 即使是工业用机器人在真空中搬运温度较 高的搬运对象的情况， 也能够将从搬运对象传递到臂的热量在第一关节部中利用热辐射传 递到主体部， 并利用第一轴承的热传导传递到主体部， 除此之外还可利用第一凸部、 第一热 传导性物质以及第一容纳部的热传导高效地传递到主体部。 因此， 在本发明中， 能够将从搬 运对象传递到臂的热量高效地从臂释放到主体部。 0014 并且， 在本发明中， 由于主体部具有 ： 散热部， 其由热传导率比第一轴承高的材料 形成， 且配。
18、置在大气中散发热量 ； 连接部， 其由热传导率比第一轴承高的材料形成， 且连接 主体部所具有的第一容纳部或第一凸部与散热部， 因此能够将从臂传递到主体部的热量利 用连接部的热传导高效地释放到散热部， 并能够从散热部将热量高效地散发到大气中。如 此， 在本发明中， 即使是工业用机器人在真空中搬运温度较高的搬运对象的情况， 也能够将 从搬运对象传递到臂的热量高效地释放到散热部， 再从散热部散发。 因此， 在本发明的工业 用机器人中， 即使是在真空中搬运温度较高的搬运对象的情况， 也能够抑制因热量的影响 而导致的第一轴承的磨损、 损伤以及臂的变形。 0015 在本发明中， 优选臂具有 ： 第一臂部，。
19、 其基端侧以能够旋转的方式与主体部连接 ； 以及第二臂部， 其基端侧以能够旋转的方式与第一臂部的前端侧连接， 在作为第一臂部与 第二臂部之间的连接部的第二关节部配置有将第二臂部支承为能够旋转的第二轴承， 第一 臂部和第二臂部中的一方在第二关节部具有朝向第一臂部和第二臂部中的另一方突出的 第二凸部， 第一臂部和第二臂部中的另一方在第二关节部具有第二容纳部， 该第二容纳部 形成有容纳第二凸部的第二凹部， 第二凸部以及第二容纳部由热传导率比第二轴承高的材 料形成， 在第二凹部中配置有热传导率比第二轴承高的液状、 半固体状或凝胶状的第二热 说 明 书 CN 103917339 A 5 3/13 页 6。
20、 传导性物质。 0016 如果像这样构成， 则即使是工业用机器人在真空中搬运温度较高的搬运对象的情 况， 也能够将从搬运对象传递到第二臂部的热量在第二关节部利用热辐射而传递到第一臂 部， 并利用第二轴承的热传导传递到第一臂部， 除此之外还可利用第二凸部、 第二热传导性 物质以及第二容纳部的热传导高效地传递到第一臂部。因此， 能够将从搬运对象传递到第 二臂部的热量通过第一臂部高效地释放到主体部。其结果是， 即使是工业用机器人在真空 中搬运温度较高的搬运对象的情况， 也能够抑制因热量的影响而导致第二轴承的磨损、 损 伤以及第二臂部的变形。 0017 在本发明中， 手部例如以能够旋转的方式与第二臂部。
21、的前端侧连接。 并且， 在本实 施方式中， 例如， 第一凸部形成于臂， 且呈大致圆筒状， 第一凹部形成于主体部， 且呈大致圆 环状。 并且， 在本发明中， 第二凸部形成于第二臂部， 且呈大致圆柱状， 第二容纳部形成于第 一臂部， 且呈大致有底圆筒状。 0018 在本发明中， 优选第一热传导性物质为油脂。 如果像这样构成， 则在臂相对于主体 部旋转时， 即使第一凸部的侧面等与第一凹部的侧面等接触， 也能够防止对臂相对于主体 部的旋转造成阻碍。 另外， 在臂相对于主体部旋转时， 即使第一凸部的侧面等与第一凹部的 侧面等接触， 也能够抑制第一凸部以及第一凹部的磨损、 损伤。 0019 在本发明中， 。
22、优选第二热传导性物质为油脂。 如果像这样构成， 则在第二臂部相对 于第一臂部旋转时， 即使第二凸部的侧面等与第二凹部的侧面等接触， 也能够防止对第二 臂部相对于第一臂部的旋转造成阻碍。 另外， 在第二臂部相对于第一臂部旋转时， 即使第二 凸部的侧面等与第二凹部的侧面等接触， 也能够抑制第二凸部以及第二凹部的磨损、 损伤。 0020 在本发明中， 优选主体部具有散热机构， 该散热机构配置在大气中并散发散热部 的热量。在这种情况下， 散热机构例如具有 ： 多个散热用散热片， 所述多个散热用散热片形 成或固定于散热部 ； 以及送风机， 其向散热片输送空气。如果像这样构成， 则能够通过散热 机构高效地。
23、散发散热部的热量。 0021 在本发明中， 优选工业用机器人在第一关节部具有磁流体密封部， 该磁流体密封 部具有防止空气流入真空区域的磁流体密封件和第一轴承， 第一容纳部呈大致筒状， 并在 第一容纳部的内周侧保持磁流体密封部。如果像这样构成， 则能够将从搬运对象或臂传递 到磁流体密封部的热量利用第一容纳部以及连接部的热传导等高效地释放到散热部。因 此， 能够防止因热量的影响而导致磁流体密封部的损伤。 0022 在本发明中， 优选工业用机器人在第一关节部具有磁流体密封部， 其具有防止空 气流入真空区域的磁流体密封件和第一轴承， 且工业用机器人具有冷却机构， 其冷却磁流 体密封部。 在这种情况下，。
24、 冷却机构例如具有 ： 冷却用空气的流路， 其形成于磁流体密封部 ； 以及供给机构， 其向流路提供冷却用空气。 如果像这样构成， 则能够防止因热量的影响而导 致磁流体密封部的损伤。 0023 在本发明中， 工业用机器人例如具有使主体部升降的升降机构， 且在散热部安装 有升降机构的一部分。在这种情况下， 能够利用散热部作为用于安装升降机构的一部分的 部件。 因此， 与在工业用机器人中另外设置用于安装升降机构的一部分的部件的情况相比， 能够简化工业用机器人的结构。 0024 在本发明中， 搬运对象例如为液晶显示器用的玻璃基板。 如上文所述， 近年来利用 说 明 书 CN 103917339 A 6。
25、 4/13 页 7 工业用机器人搬运的玻璃基板带有的热量不断增大， 但是在本发明中， 即使在真空中搬运 的玻璃基板带有的热量较大， 也能够抑制因热量的影响而导致第一轴承磨损、 损伤以及臂 变形的问题。 0025 发明效果 0026 如上文所述， 在本发明的工业机器人中， 即使是在真空中搬运温度较高的搬运对 象的情况， 也能够抑制因热量的影响而导致轴承磨损、 损伤以及臂变形的问题。 附图说明 0027 图 1 为本发明的实施方式所涉及的工业用机器人的俯视图。 0028 图 2 为表示从图 1(B) 的 E-E 方向观察工业用机器人的侧视图。 0029 图 3 为用于说明图 1 所示的工业用机器人。
26、的简要结构的剖视图。 0030 图 4 为图 3 的 F 部的放大图。 0031 图 5 为图 3 的 G 部的放大图。 0032 图 6 为图 3 的 H 部的放大图。 0033 图 7 为图 6 的 J 部的放大图。 0034 图 8 为图 6 的 K 部的放大图。 0035 图 9 为表示从图 6 的 L-L 方向观察主体部的下端侧以及升降机构的下端侧的简要 结构的俯视图。 具体实施方式 0036 以下， 参照附图对本发明的实施方式进行说明。 0037 工业用机器人的简要结构 0038 图 1 为本发明的实施方式所涉及的工业用机器人 1 的俯视图。图 2 为表示从图 1(B) 的 E-E。
27、 方向观察工业用机器人 1 的侧视图。图 3 为用于说明图 1 所示的工业用机器人 1 的简要结构的剖视图。 0039 本实施方式的工业用机器人 1( 以下称为 “机器人 1” ) 为用于搬运作为搬运对象 的液晶显示器用的玻璃基板 2( 以下称为 “基板 2” ) 的机器人。本实施方式的机器人 1 为 特别适于搬运大型基板2的大型机器人， 例如搬运一边的边长为2.5m左右的矩形的基板2。 并且， 机器人 1 为适于搬运温度较高的基板 2 的机器人， 例如搬运 500左右的基板 2。并 且， 机器人 1 在真空中搬运基板 2。 0040 如图 1 至图 3 所示， 机器人 1 具有 ： 两个手部。
28、 3、 4， 所述两个手部 3、 4 装载基板 2 ； 臂 5， 手部 3 以能够旋转的方式与所述臂 5 的前端侧连接 ； 臂 6， 手部 4 以能够旋转的方式与 所述臂6的前端侧连接 ； 主体部7， 臂5、 6的基端侧以能够旋转的方式与所述主体部7连接 ； 以及升降机构， 其使主体部 7 升降。手部 3、 4 具有装载基板 2 的多个叉子 11。主体部 7 以 及升降机构 8 被容纳在大致有底圆筒状的壳体中， 所述大致有底圆筒状的壳体由呈大致圆 板状的底板 12 和呈大致圆筒状的壳体 13 构成。在壳体 13 的上端固定有呈圆板状的凸缘 14。在凸缘 14 中形成有贯通孔， 所述贯通孔配置有。
29、主体部 7 的上端侧部分。 0041 手部 3、 4 以及臂 5、 6 配置在主体部 7 的上侧。并且， 手部 3、 4 以及臂 5、 6 配置于 凸缘 14 的上侧。机器人 1 如上文所述， 为用于在真空中搬运基板 2 的机器人， 如图 2 所示， 说 明 书 CN 103917339 A 7 5/13 页 8 机器人 1 的比凸缘 14 的下端面靠上侧的部分配置在真空区域 VR 中 ( 真空中 )。另一方面， 机器人 1 的比凸缘 14 的下端面靠下侧的部分配置在大气区域 AR 中 ( 大气中 )。 0042 臂 5 由第一臂部 16 和第二臂部 17 构成。并且， 臂 6 由与臂 5 共。
30、用的第一臂部 16 和第二臂部 18 构成。第一臂部 16 呈双叉状。具体地说， 第一臂部 16 呈大致 V 形状。第一 臂部 16 以及第二臂部 17、 18 呈空心状。并且， 第一臂部 16 以及第二臂部 17、 18 由铝合金 形成。 0043 第一臂部 16 的基端侧以能够旋转的方式与主体部 7 连接。第二臂部 17 以能够旋 转的方式与呈双叉状的第一臂部 16 的一个前端侧连接， 第二臂部 18 以能够旋转的方式与 第一臂部16的另一个前端侧连接。 手部3以能够旋转的方式与第二臂部17的前端侧连接， 手部 4 以能够旋转的方式与第二臂部 18 的前端侧连接。臂 5、 6 与主体部 7。
31、 之间的连接部 ( 即第一臂部 16 与主体部 7 的连接部 ) 作为第一关节部 20。第一臂部 16 与第二臂部 17 之间的连接部作为第二关节部 21， 第一臂部 16 与第二臂部 18 之间的连接部作为第二关节 部 22。 0044 在本实施方式中， 如图 2 所示， 从水平方向观察时， 第二臂部 17、 18 配置在比第一 臂部 16 靠上侧的位置。并且， 第二臂部 18 配置在比第二臂部 17 靠上侧的位置。并且， 从 水平方向观察时， 手部 3、 4 配置于第二臂部 17 与第二臂部 18 之间。具体地说， 手部 3 与第 二臂部 17 的上表面侧连接， 手部 4 与第二臂部 18。
32、 的下表面侧连接， 从水平方向观察时， 手 部 4 配置在手部 3 的上侧。另外， 当臂 5、 6 收缩时， 从上侧观察机器人 1 的话， 如图 1(B) 所 示， 手部 3 与手部 4 重叠。 0045 第二关节部的结构 0046 图 4 为图 3 的 F 部的放大图。图 5 为图 3 的 G 部的放大图。 0047 在第二关节部 21 配置有将第二臂部 17 支承为能够旋转的作为第二轴承的轴承 23。并且， 在第二关节部 21 中， 带轮 24 配置在第一臂部 16 的内部， 带轮 25 配置在第二臂 部 17 的内部。第二臂部 17 在第二关节部 21 具有朝向第一臂部 16( 即朝向下。
33、侧 ) 突出的 作为第二凸部的轴部件 26。第一臂部 16 在第二关节部 21 具有容纳轴部件 26 的作为第二 容纳部的筒部件 27。 0048 轴承 23 为滚动轴承， 且具有外圈和内圈。轴承 23 的外圈的外周面固定于呈大致 圆筒状的筒部件 76 的内周面。轴承 23 的内圈的内周面固定于呈大致圆筒状的筒部件 77 的外周面。 在本实施方式中， 四个轴承23配置在第二关节部21， 四个轴承23中的两个轴承 23 配置在筒部件 76、 77 的上端侧， 余下的两个轴承 23 配置在筒部件 76、 77 的下端侧。轴 承 23 以及筒部件 76、 77 由铁系的金属形成。具体地说， 轴承 2。
34、3 以及筒部件 76、 77 由不锈 钢形成。筒部件 76 的上端固定在第二臂部 17 的基端侧。筒部件 77 的下端固定在第一臂 部 16 的前端侧。 0049 带轮 24 固定在筒部件 76 的下端侧。在第一关节部 20 中， 传送带 28 被架设于配 置在第一臂部 16 的内部的后文所述的带轮 46 与带轮 24。 0050 带轮 25 固定在筒部件 77 的上端。在手部 3 与第二臂部 17 间的连接部中， 传送带 30 被架设于配置在第二臂部 17 的内部的带轮 29( 参照图 3) 与带轮 25。带轮 29 固定在手 部 3 的基端侧。并且， 在第二臂部 17 的前端侧的内部固定有。
35、固定轴 31( 参照图 3)， 带轮 29 借助轴承被固定轴 31 支承为能够旋转。 说 明 书 CN 103917339 A 8 6/13 页 9 0051 轴部件 26 呈带有台阶的大致圆柱状。并且， 轴部件 26 由热传导率比轴承 23 高的 材料形成。具体地说， 轴部件 26 由铝合金形成。轴部件 26 的上端侧固定在第二臂部 17 的 主体的基端侧。轴部件 26 以其轴中心与轴承 23 的轴中心大致一致的方式配置， 在轴部件 26 的上端侧部分的外周侧配置有带轮 25。轴部件 26 的下端侧进入到第一臂部 16 的前端 侧的内部。 0052 筒部件 27 呈具有底部 27a 和筒部 。
36、27b 的大致有底圆筒状。并且， 筒部件 27 由热 传导率比轴承 23 高的材料形成。具体地说， 筒部件 27 由铝合金形成。底部 27a 固定在第 一臂部 16 的主体的前端侧。筒部件 27 以其轴中心与轴承 23 的轴中心大致一致的方式配 置在筒部件 77 的内周侧。 0053 在筒部件 27 的内周侧 ( 即筒部 27b 的内周侧 ) 容纳有轴部件 26 的下端侧。在筒 部 27b 的内周面的上端侧安装有轴承 32。轴承 32 将轴部件 26 的下端侧支承为能够旋转。 筒部 27b 的内径比所容纳的轴部件 26 的下端侧的外径稍大， 在筒部 27b 的内周面与轴部件 26的下端侧的外周。
37、面之间形成有微小的间隙。 例如， 在筒部27b的内周面与轴部件26的下 端侧的外周面之间遍及整周而形成有 0.1mm 左右的间隙。在本实施方式中， 筒部件 27 的内 周侧成为第二凹部， 所述第二凹部容纳作为第二凸部的轴部件 26。 0054 在筒部件 27 的内周侧配置有作为第二热传导性物质的半固体状的油脂。也就是 说， 在筒部 27b 的内周面与轴部件 26 的下端侧的外周面之间填充有油脂。该油脂为导热性 良好的热传导性油脂， 该油脂的热传导率比轴承 23 的热传导率高。另外， 该油脂在真空中 的蒸汽压较低。例如， 该油脂为 “Nye Lubricants” 公司的品名为 “NyeTorr。
38、5386” 的产品。 0055 在筒部件 27 的底部 27a 形成有用于向筒部件 27 的内周侧提供油脂的供给孔。在 该供给孔中安装有油脂嘴， 通过油脂嘴以及与油脂嘴连接的软管等配管部件， 向筒部件 27 的内周侧提供油脂。并且， 在筒部件 27 的筒部 27b 的内周面的上端侧形成有油脂积存部 27c。油脂积存部 27c 形成在轴承 32 的下侧。油脂积存部 27c 的内径形成得比筒部 27b 的 其他部分的内径大。 0056 在第二关节部 22 配置有将第二臂部 18 支承为能够旋转的作为第二轴承的轴承 33。并且， 在第二关节部 22 中， 带轮 34 配置于第一臂部 16 的内部， 。
39、带轮 35 配置于第二臂 部 18 的内部。第二臂部 18 在第二关节部 22 具有朝向第一臂部 16( 即朝向下侧 ) 突出的 作为第二凸部的轴部件 36。第一臂部 16 在第二关节部 22 具有容纳轴部件 36 的作为容纳 部件的筒部件 37。 0057 轴承 33 与轴承 23 相同， 为滚动轴承， 且具有外圈和内圈。轴承 33 的外圈的外周 面固定在呈大致圆筒状的筒部件 86 的内周面。轴承 33 的内圈的内周面固定于呈大致圆筒 状的筒部件 87 的外周面。在本实施方式中， 四个轴承 33 配置于第二关节部 22， 四个轴承 33 中的两个轴承 33 配置在筒部件 86、 87 的上端。
40、侧， 余下的两个轴承 33 配置在筒部件 86、 87 的下端侧。轴承 33 以及筒部件 86、 87 与轴承 23 以及筒部件 76、 77 相同， 为铁系的金属， 由不锈钢形成。筒部件 86 的上端固定在第二臂部 18 的基端侧， 筒部件 87 的下端固定在第 一臂部 16 的前端侧。 0058 带轮 34 固定在筒部件 86 的下端侧。在第一关节部 20 中， 传送带 38 被架设于配 置在第一臂部 16 的内部的后文所述的带轮 47 与带轮 34。 0059 带轮 35 固定在筒部件 87 的上端。在手部 4 与第二臂部 18 间的连接部中， 传送带 说 明 书 CN 10391733。
41、9 A 9 7/13 页 10 40 被架设于配置在第二臂部 18 的内部的带轮 39( 参照图 3) 与带轮 35。带轮 39 固定在手 部 3 的基端侧。并且， 在第二臂部 18 的前端侧的内部固定有固定轴 41( 参照图 3)， 带轮 39 借助轴承被固定轴 41 支承能够旋转。 0060 轴部件 36 与轴部件 26 相同， 呈带有台阶的大致圆柱状。并且， 轴部件 36 与轴部 件 26 相同， 由热传导率比轴承 23 高的材料形成， 具体地说， 由铝合金形成。轴部件 36 的上 端侧固定在第二臂部 18 的主体的基端侧。轴部件 36 以其轴中心与轴承 33 的轴中心大致 一致的方式配。
42、置， 在轴部件 36 的上端侧部分的外周侧配置有带轮 35。轴部件 36 的下端侧 进入到第一臂部 16 的前端侧的内部。 0061 筒部件 37 与筒部件 27 相同， 呈具有底部 37a 和筒部 37b 的大致有底圆筒状。并 且， 筒部件 37 与筒部件 27 相同， 由热传导率比轴承 23 高的材料形成， 即由铝合金形成。底 部 37a 固定在第一臂部 16 的主体的前端侧。筒部件 37 以其轴中心与轴承 33 的轴中心大 致一致的方式配置在筒部件 87 的内周侧。 0062 在筒部件 37 的内周侧 ( 即筒部 37b 的内周侧 ) 容纳有轴部件 36 的下端侧。在筒 部 37b 的内。
43、周面的上端侧安装有轴承 42。轴承 42 将轴部件 36 的下端侧支承为能够旋转。 筒部 37b 的内径形成得比所容纳的轴部件 36 的下端侧的外径稍大， 在筒部 37b 的内周面与 轴部件 36 的下端侧的外周面之间形成有微小的间隙。例如， 在筒部 37b 的内周面与轴部件 36 的下端侧的外周面之间遍及整周而形成有 0.1mm 左右的间隙。在本实施方式中， 筒部件 37 的内周侧成为第二凹部， 该第二凹部容纳作为第二凸部的轴部件 36。 0063 在筒部件 37 的内周侧配置有作为第二热传导性物质的半固体状的油脂。也就是 说， 在筒部 37b 的内周面与轴部件 36 的下端侧的外周面之间填。
44、充有油脂。该油脂与被填充 到筒部27b的内周面与轴部件26的下端侧的外周面之间的油脂相同， 该油脂的热传导率比 轴承 33 的热传导率高。并且， 该油脂在真空中的蒸汽压较低。 0064 在筒部件 37 的底部 37a 形成有用于向筒部件 37 的内周侧提供油脂的供给孔。在 该供给孔中安装有油脂嘴， 通过油脂嘴以及与油脂嘴连接的软管等配管部件向筒部件 37 的内周侧提供油脂。并且， 在筒部件 37 的筒部 37b 的内周面的上端侧形成有油脂积存部 37c。油脂积存部 37c 形成于轴承 42 的下侧。油脂积存部 37c 的内径形成得比筒部 37b 的 其他部分的内径大。 0065 第一关节部、 。
45、主体部以及升降机构的结构 0066 图 6 为图 3 的 H 部的放大图。图 7 为图 6 的 J 部的放大图。图 8 为图 6 的 K 部的 放大图。图 9 为表示从图 6 的 L-L 方向观察主体部 7 的下端侧以及升降机构 8 的下端侧的 简要结构的俯视图。 0067 在第一关节部 20 配置有磁流体密封部 45， 其具有防止空气流入到真空区域 VR 的 磁流体密封件 81 至 83。在第一关节部 20 中， 带轮 46、 47 以在上下方向上重叠的方式配置 于第一臂部 16 的内部。具体地说， 带轮 46 配置在下侧， 带轮 47 配置在上侧。第一臂部 16 在第一关节部 20 具有朝。
46、向主体部 7( 即朝向下侧 ) 突出的作为第一凸部的筒部件 48。主体 部 7 在第一关节部 20 具有容纳筒部件 48 的作为第一容纳部的筒部件 49。并且， 主体部 7 具有 ： 侧面部件 50， 其构成主体部 7 的外周面且呈大致圆筒状 ； 底面部件 51， 其构成主体部 7 的下端侧部分 ； 以及散热机构 52， 其散发底面部件 51 的热量。 0068 磁流体密封部 45 以其轴中心与主体部 7 的轴中心大致一致的方式配置。并且， 磁 说 明 书 CN 103917339 A 10 8/13 页 11 流体密封部 45 如图 7 所示， 具有 ： 实心旋转轴 53， 其配置于磁流体密。
47、封部 45 的径向中心 ； 空心旋转轴 54， 其以覆盖实心旋转轴 53 的外周面的方式与实心旋转轴 53 呈同心状配置 ； 空心旋转轴 55， 其以覆盖空心旋转轴 54 的外周面的方式与实心旋转轴 53 以及空心旋转轴 54 呈同心状配置 ； 以及侧面部 56， 其构成磁流体密封部 45 的外周面。 0069 在主体部 7 的径向上， 轴承 57 配置在实心旋转轴 53 与空心旋转轴 54 之间， 轴承 58配置在空心旋转轴54与空心旋转轴55之间， 作为第一轴承的轴承59配置在空心旋转轴 55 与侧面部 56 之间。并且， 在主体部 7 的径向上， 磁流体密封件 81 配置在实心旋转轴 5。
48、3 与空心旋转轴 54 之间的上端侧， 磁流体密封件 82 配置在空心旋转轴 54 与空心旋转轴 55 之间的上端侧， 磁流体密封件 83 配置在空心旋转轴 55 与侧面部 56 之间的上端侧。 0070 轴承 57 至 59 为滚动轴承。轴承 57 的内圈固定在实心旋转轴 53 的外周面。轴承 57 的外圈固定在空心旋转轴 54 的内周面， 轴承 58 的内圈固定在空心旋转轴 54 的外周面。 轴承 58 的外圈固定在空心旋转轴 55 的内周面， 轴承 59 的内圈固定在空心旋转轴 55 的外 周面。轴承 59 的外圈固定在侧面部 56。实心旋转轴 53、 空心旋转轴 54、 55、 侧面部。
49、 56 以及 轴承 57 至 59 由铁系的金属形成。具体地说， 实心旋转轴 53、 空心旋转轴 54、 55、 侧面部 56 以及轴承 57 至 59 由不锈钢形成。 0071 在实心旋转轴 53 的上端侧固定有带轮 47。如上文所述， 传送带 38 被架设于带轮 34 与带轮 47。马达 60 与实心旋转轴 53 的下端连接。在空心旋转轴 54 的上端侧固定有带 轮 46。如上文所述， 传送带 28 被架设于带轮 24 与带轮 46。马达 61 通过齿轮等动力传递 机构与空心旋转轴 54 的下端侧连接。在空心旋转轴 55 的上端侧固定有第一臂部 16 的基 端侧。马达 62 利用齿轮等动力传递机构与空心旋转轴 55 的下端侧连接。 0072 如图7所示， 在磁流体密封部45的内部形成有流路63， 该流路63供用于冷却磁流 体密封部 45 的冷却用空气流通。向流路 63 提供冷却用空气的压缩机等供给机构 ( 省略图 示)经由软管等指定的配管部件连接到流路63。 由供给机构提供的冷却用空气从磁流体。