成膜装置及真空腔室的开闭机构.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 103966568 A (43)申请公布日 2014.08.06 CN 103966568 A (21)申请号 201310581049.6 (22)申请日 2013.11.18 2013-014654 2013.01.29 JP C23C 14/56(2006.01) C23C 14/32(2006.01) (71)申请人 住友重机械工业株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 饭尾逸史 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 徐殿军 (54) 发明名称 成膜装置及真空腔室的开闭机构 (57) 摘要 本发明提供一种能够减少动作所需的能量。

2、的 成膜装置及真空腔室的开闭机构。在使阀体 （9） 从第 2 位置 （P2） 向第 3 位置 （P3） 移动时， 第 1 缸 体 （22） 动作， 在使阀体 （9） 从第 3 位置 （P3） 向第 1 位置 （P1） 移动并经阀体 （9） 按压密封部件 （11） 时， 第 2 缸体 （23）动作。第 1 缸体 （22）具有移 动阀体 （9） 的功能， 因此需要较长的行程， 但不具 有按压密封部件 （11） 的功能， 因此无需较大的缸 径。另一方面， 第 2 缸体 （23） 具有按压密封部件 （11） 的功能， 因此需要较大的缸径， 但不具有移动 阀体 （9） 的功能， 因此无需较长的行程。因此。

3、， 能 够设为无需通过与按压密封部件 （11） 时相等的 力来移动阀体 （9） 亦可的结构。 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 8 页 附图 9 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书8页 附图9页 (10)申请公布号 CN 103966568 A CN 103966568 A 1/1 页 2 1. 一种成膜装置， 其使成膜材料的粒子附着于成膜对象物， 该成膜装置具备 ： 真空腔室， 具有用于搬入搬出所述成膜对象物的孔部 ； 阀体， 能够在关闭所述孔部的第 1 位置、 和不与经所述孔部被搬入搬出的所述成膜对 。

4、象物发生干涉的第 2 位置之间移动 ； 密封部件， 在所述阀体配置于所述第 1 位置时， 通过被所述阀体按压来密封所述孔部 ； 第 1 缸体， 为了开闭所述孔部而移动所述阀体 ； 及 第 2 缸体， 经所述阀体按压所述密封部件。 2. 根据权利要求 1 所述的成膜装置， 其中， 所述第 2 缸体的缸径大于所述第 1 缸体的缸径， 且所述第 2 缸体的行程短于所述第 1 缸体的行程。 3. 根据权利要求 1 或 2 所述的成膜装置， 还具备 ： 连结于所述阀体的旋转轴 ； 及 连结于所述旋转轴且沿该旋转轴的径向延伸的操纵杆， 在所述操纵杆的前端侧与所述旋转轴之间连接有所述第 1 缸体， 在所述操。

5、纵杆的前端侧连接有第 2 缸体， 从而所述密封部件经所述阀体被按压。 4. 根据权利要求 3 所述的成膜装置， 其中， 所述操纵杆与所述第 2 缸体用连杆部件连接。 5. 一种真空腔室的开闭机构， 所述真空腔室具有用于搬入搬出成膜对象物的孔部， 该 真空腔室的开闭机构具备 ： 阀体， 能够在关闭所述孔部的第 1 位置、 和不与经所述孔部被搬入搬出的所述成膜对 象物发生干涉的第 2 位置之间移动 ； 密封部件， 在所述阀体配置于所述第 1 位置时， 通过被所述阀体按压来密封所述孔部 ； 第 1 缸体， 为了开闭所述孔部而移动所述阀体 ； 及 第 2 缸体， 对所述密封部件按压所述阀体。 权 利 。

6、要 求 书 CN 103966568 A 2 1/8 页 3 成膜装置及真空腔室的开闭机构 技术领域 0001 本申请主张基于 2013 年 1 月 29 日申请的日本专利申请第 2013-014654 号的优先 权。该申请的所有内容通过参考援用于本说明书中。 0002 本发明涉及一种成膜装置及真空腔室的开闭机构。 背景技术 0003 以往， 作为进行真空腔室的开闭的开闭机构， 已知有专利文献 1 中所记载的开闭 机构。专利文献 1 的开闭机构具备 ： 阀体， 用于堵住用于搬入搬出基板的真空腔室的孔部 ； 型环， 通过被阀体按压来密封孔部 ； 及 1 个缸体， 为了开闭孔部而移动阀体。 000。

7、4 专利文献 1 ： 日本特开平 06-338469 号公报 0005 如上述的开闭机构中， 缸体使阀体移动至堵住孔部的位置， 并且通过在该位置用 阀体按压型环来确保孔部的气密性。即， 缸体为 1 个， 因此该缸体同时具有移动阀体的功 能和按压型环的功能。在此， 按压型环需要较大的力， 因此需要加大缸径。另一方面， 移动阀体需要加长缸体的行程。基于以上理由， 需要应用行程长且缸径大的缸体。然而， 当 为这种结构时， 即使在进行移动阀体的动作时， 也以与按压型环时相等的力进行动作， 因 此造成能量的浪费。 发明内容 0006 本发明是为了解决这种课题而完成的， 其目的在于提供一种能够减少动作所需。

8、的 能量的成膜装置及真空腔室的开闭机构。 0007 本发明所涉及的成膜装置为使成膜材料的粒子附着于成膜对象物的成膜装置， 该 成膜装置具备 ： 真空腔室， 具有用于搬入搬出成膜对象物的孔部 ； 阀体， 能够在关闭孔部的 第 1 位置、 和不干涉经孔部被搬入搬出的成膜对象物的第 2 位置之间移动 ； 密封部件， 在阀 体配置于第 1 位置时， 通过被阀体按压来密封孔部 ； 第 1 缸体， 为了开闭孔部而移动阀体 ； 及第 2 缸体， 经阀体按压密封部件。 0008 本发明所涉及的成膜装置具备为了开闭真空腔室的孔部而移动阀体的第 1 缸体、 及经阀体按压密封部件的第 2 缸体。因此， 在使阀体从第。

9、 2 位置向比第 1 位置稍微更靠第 2 位置侧的位置移动时， 第 1 缸体动作， 在使阀体移动至第 1 位置并经阀体按压密封部件时， 第 2 缸体动作。第 1 缸体具有使阀体移动较长距离的功能， 因此需要较长的行程， 但可以不 具有按压密封部件的功能， 因此无需较大的缸径。另一方面， 第 2 缸体具有按压密封部件的 功能， 因此需要较大的缸径， 但仅使阀体移动很小的距离即可， 因此无需较长的行程。 因此， 无需行程长且缸径大的缸体， 从而能够设为无需通过与按压密封部件时相等的力来移动阀 体亦可的结构。综上， 能够减少动作所需的能量。 0009 并且， 本发明所涉及的成膜装置中， 与第 1 缸。

10、体相比， 第 2 缸体可缸径更大且行程 更短。即， 第 1 缸体可为缸径较小且行程较长的结构。通过这种结构， 能够减少动作所需的 能量。 说 明 书 CN 103966568 A 3 2/8 页 4 0010 并且， 本发明所涉及的成膜装置可还具备连结于阀体的旋转轴、 及连结于旋转轴 且沿该旋转轴的径向延伸的操纵杆， 且第 1 缸体连接于操纵杆的前端侧与旋转轴之间， 而 第 2 缸体连接于操纵杆的前端侧， 从而可经阀体按压密封部件。操纵杆连结于旋转轴， 旋转 轴连结于阀体。并且， 第 1 缸体连接于操纵杆的前端侧与旋转轴之间， 因此通过以第 1 缸体 移动操纵杆， 旋转轴旋转， 阀体也随之旋转。

11、。通过该旋转移动， 阀体能够在第 2 位置、 和比第 1 位置稍微更靠第 2 位置侧的位置之间移动。并且， 第 2 缸体连接于操纵杆的前端侧， 因此 能够经操纵杆及旋转轴来以阀体按压密封部件。综上， 能够更高效地进行阀体的开闭及密 封部件的按压。 0011 并且， 本发明所涉及的成膜装置中， 操纵杆与第 2 缸体可由连杆部件连接。该连杆 部件连接操纵杆和第2缸体， 因此即使操纵杆旋转而其前端侧靠近第2缸体， 也能够通过连 杆部件来使第 2 缸体退避。并且， 操纵杆按压第 2 缸体时， 能够通过连杆部件使第 2 缸体靠 近操纵杆侧。综上， 能够以简单的结构使第 2 缸体不干涉操纵杆而顺畅地对密封。

12、部件进行 密封。 0012 并且， 本发明所涉及的开闭机构为具有用于搬入搬出成膜对象物的孔部的真空腔 室的开闭机构， 该真空腔室的开闭机构具备 ： 阀体， 能够在关闭孔部的第 1 位置、 和不干涉 经孔部被搬入搬出的成膜对象物的第 2 位置之间移动 ； 密封部件， 在阀体配置于第 1 位置 时， 通过被阀体按压来密封孔部 ； 第 1 缸体， 为了开闭孔部而移动阀体 ； 及第 2 缸体， 对密封 部件按压阀体。 0013 根据本发明所涉及的开闭机构， 由于具备为了真空腔室的孔部的开闭而移动阀体 的第 1 缸体、 及经阀体按压密封部件的第 2 缸体， 因此起到与上述成膜装置相同的作用效 果。 00。

13、14 发明效果 ： 0015 根据本发明， 能够减少动作所需的能量。 附图说明 0016 图 1 是表示本发明的实施方式所涉及的成膜装置的侧视图。 0017 图 2 是图 1 所示的开闭机构的放大图。 0018 图 3 是从 Z 轴正向观察图 2 所示的开闭机构的图。 0019 图 4 是沿图 2 所示的 IV-IV 线的剖视图。 0020 图 5 是沿图 4 所示的 V-V 线的剖视图。 0021 图 6 是表示相对于图 2 所示的状态， 延长第 1 缸体的杆的状态的图。 0022 图 7 是表示相对于图 6 所示的状态， 延长第 2 缸体的杆的状态的图。 0023 图 8 是表示比较例所涉。

14、及的开闭机构的图。 0024 图 9 是表示采用比较例所涉及的开闭机构时的气源结构的示意图。 0025 图中 ： 1- 开闭机构， 3- 旋转轴， 9- 阀体， 11- 密封部件， 21- 操纵杆， 22- 第 1 缸体， 23- 第 2 缸体， 24- 连杆部件， 100- 成膜装置， 150- 真空腔室， 151- 孔部。 具体实施方式 0026 以下， 参考附图对基于本发明的成膜装置的一实施方式进行详细说明。 另外， 在附 说 明 书 CN 103966568 A 4 3/8 页 5 图说明中对相同要件附加相同符号， 并省略重复说明。 0027 图 1 是本实施方式所涉及的成膜装置 10。

15、0 的侧视图。图 1 所示的成膜装置 100 是 用于对成膜对象物即基板 101 （例如玻璃基板） 实施成膜等处理的装置。成膜装置 100 是例 如通过 RPD 法 （反应性等离子体蒸镀法） 进行成膜的装置。成膜装置 100 具备生成等离子体 的等离子枪 （蒸镀源 140） ， 并通过利用所生成的等离子体对成膜材料进行离子化并使成膜 材料的粒子附着于基板 101 的表面来进行成膜。为方便说明， 在图 1 中示出 XYZ 坐标系。Y 轴方向为搬送基板 101 的方向。Z 轴方向为基板 101 与蒸镀源 140 对置的方向。X 轴方向 为与 Y 方向及 Z 方向正交的方向。另外， 本实施方式中， 。

16、作为优选例， 例示出基板 101 以基 板 101 的板厚方向成为大致铅垂方向的方式配置于真空容器内而被搬送的所谓卧式成膜 装置。但是， 也可为在将基板 101 以基板 101 的板厚方向成为水平方向的方式立起或从立 起状态倾斜的状态下， 将基板 101 配置于真空腔室内而被搬送的所谓立式成膜装置。 0028 成 膜 装 置 100 具 备 过 渡 腔 室 （load lock chamber） 121、 缓 冲 腔 室 （buffer chamber） 122、 成膜腔室 （成膜室） 123、 缓冲腔室 124 及过渡腔室 125。这些腔室 121 125 以该顺序排列配置。 所有腔室121。

17、125作为真空腔室150而构成， 在腔室121125的出 入口设置有本实施方式所涉及的开闭机构 1。成膜装置 100 可为排列有多个缓冲腔室 122、 124、 成膜腔室 123 的结构。并且， 也可为由一系列的腔室构成的成膜装置。 0029 各真空腔室121125与用于将内部设为适当压力的真空泵 （未图示） 连接。 并且， 各真空腔室 121 125 中设置有用于监视腔室内的压力的真空计 （未图示） 。各腔室 121 125 与连接于真空泵的真空排气管连通， 该真空排气管中设置有真空计。 0030 接着， 参考图 2 图 5， 对本实施方式所涉及的真空腔室 150（各腔室 121 125） 。

18、的开闭机构 1 的结构进行详细说明。图 2 是图 1 所示的开闭机构 1 的放大图。图 3 是从 Z 轴正向观察图 2 所示的开闭机构 1 的图。图 4 是沿图 2 所示的 IV-IV 线的剖视图。图 5 是 沿图 4 所示的 V-V 线的剖视图。另外， 图 2、 图 3 及图 5 中， 示出打开阀体 9 的状态， 但为了 使结构明确， 仅在图 4 中示出用阀体 9 关闭孔部 151 的状态。真空腔室 150 具有用于搬入 搬出基板 101 的孔部 151。如图 4 及图 5 所示， 孔部 151 形成于基板 101 的搬送方向上的各 真空腔室 150 的端壁部 150a。孔部 151 由贯穿。

19、端壁部 150a 的狭缝状的贯穿孔构成， 且形 成为基板 101 及支承该基板 101 的搬送托盘能够通过的大小。一个真空腔室 150 的端壁部 150a和相邻的其他真空腔室150的端壁部150a以彼此接触的方式配置。 一个真空腔室150 的端壁部 150a 的孔部 151 形成在与相邻的其他真空腔室 150 的端壁部 150a 的孔部 151 对 应的位置且形成为对应的大小， 并且彼此连通。 0031 开闭机构 1 构成为能够切换该孔部 151 的开闭。开闭机构 1 具备开闭孔部 151 的 开闭部 2、 将开闭部 2 支承为能够旋转的旋转轴 3、 及对旋转轴 3 赋予旋转力的驱动部 4。本。

20、 实施方式所涉及的开闭机构 1 为所谓的活瓣式腔室门。 0032 如图3及图4所示， 旋转轴3在真空腔室150内沿与孔部151的延伸方向相同的方 向延伸。旋转轴 3 在 Z 轴方向上配置于真空腔室 150 的上壁部 150b 和孔部 151 之间， 且以 从形成有孔部 151 的端壁部 150a 分离的状态设置。旋转轴 3 被固定于端壁部 150a 的轴承 支架 6 支承为能够旋转。并且， 旋转轴 3 的一侧的端部 3a 贯穿真空腔室 150 的侧壁部 150c 而延伸至真空腔室 150 的外侧。旋转轴 3 的向真空腔室 150 的外侧延伸的部分被轴承 7 支 承为能够旋转。旋转轴 3 的另一。

21、侧的端部 3b 被真空腔室 150 的侧壁部 150d 支承为能够旋 说 明 书 CN 103966568 A 5 4/8 页 6 转 （参考图 4） 。另外， 本实施方式中， 旋转轴 3 靠近上壁部 150b 而设置， 但也可靠近下壁部 150e 而设置。并且， 本实施方式中， 驱动部 4 设置于真空腔室 150 的侧壁部 150c 侧， 因此旋 转轴 3 的一侧的端部 3a 从侧壁部 150c 向外侧延伸， 但也可将驱动部 4 设置于侧壁部 150d 侧， 此时旋转轴 3 的另一侧的端部 3b 从侧壁部 150d 向外侧延伸。 0033 如图 4 及图 5 所示， 开闭部 2 具备安装于旋。

22、转轴 3 的臂 8、 开闭孔部 151 的阀体 9、 及设置于阀体 9 的密封面 9a 的密封部件 11。臂 8 沿旋转轴 3 的延伸方向以预定间隔设置 有多个。本实施方式中， 如图 4 所示设置有 4 个臂 8， 但其数量无特别限定。臂 8 从旋转轴 3 沿径向延伸， 且在前端 8a 侧支承阀体 9。由此， 旋转轴 3 经臂 8 连接于阀体 9。 0034 阀体 9 能够随着旋转轴 3 的旋转而移动。阀体 9 能够在关闭孔部 151 的第 1 位置 P1 和打开孔部 151 的第 2 位置 P2 之间移动。图 5 中， 以双点划线表示的阀体 9 的位置相 当于第 1 位置 P1， 以实线表示。

23、的阀体 9 的位置相当于第 2 位置 P2。图 4 中， 以实线表示配 置于第 1 位置 P1 的状态的阀体 9。另外， 第 2 位置 P2 只要为阀体 9 不干涉被搬入搬出的 基板 101（及用于该搬入搬出的搬送托盘等机构） 的位置， 则可设定于任何位置。如图 5 所 示， 本实施方式中， 将阀体 9 从第 1 位置 P1 开始以旋转轴 3 为中心大致旋转 90的位置设 定为第 2 位置 P2。但是， 只要阀体 9 在第 2 位置 P2 不干涉基板 101， 则亦可不为大致 90。 将基板搬送方向 （Y 轴方向） 上的孔部 151 的延长线上的空间设为搬送空间 CE 时， 第 2 位置 P2。

24、 上的阀体 9 配置于比搬送空间 CE 更靠外侧。 0035 阀体 9 具有沿孔部 151 的延伸方向延伸的长条形状。阀体 9 形成为如下形状及大 小， 即在配置于第 1 位置 P1 时从基板搬送方向 （Y 轴方向） 观察， 用与端壁部 150a 对置的面 即密封面 9a 完全覆盖整个孔部 151（参考图 4） 。并且， 阀体 9 具有大致梯形的截面形状， 下底侧表面构成密封面 9a， 在上底侧表面 9b 支承于臂 8（参考图 5） 。另外， 臂 8 以允许一 定的松动的状态支承阀体 9， 以便在阀体 9 从第 2 位置 P2 向第 1 位置 P1 移动而按压阀体 9 时， 通过阀体 9 与端。

25、壁部 150a 平行地碰撞来使后述的密封部件 11（型环） 均匀地变形， 从而能够可靠地关闭孔部 151。 0036 密封部件 11 由嵌入于在阀体 9 的密封面 9a 设置的槽部 12 的型环构成。密封 部件 11 在阀体 9 配置于第 1 位置时， 以与端壁部 150a 的孔部 151 周边的边缘部 152 接触 的状态被阀体 9 按压， 从而密封孔部 151。从 Y 轴方向观察时 （图 4 所示的状态） ， 密封部件 11 被设置成包围孔部 151 的全周。另外， 密封部件 11 只要能够密封孔部 151 就能够应用任 意密封件， 如可为覆盖整个孔部 151 的弹性体板材。 0037 如。

26、图 2 及图 3 所示， 驱动部 4 具备连结于旋转轴 3 的操纵杆 21、 为了开闭孔部 151 而移动阀体 9 的第 1 缸体 22、 经阀体 9 按压密封部件 11 的第 2 缸体 23、 及连接操纵杆 21 和第 2 缸体 23 的连杆部件 24。另外， 在驱动部 4 的构成要件的说明中， 根据阀体 9 配置于 第 2 位置 P2 时的状态 （即图 2 及图 3 所示的状态） 来说明位置关系和形状等。另外， 在真空 腔室 150 的下侧设置有框架体 160。框架体 160 具备沿 Y 轴方向延伸的框架 161、 沿 Z 轴方 向延伸的框架 162、 及沿 X 轴方向延伸的框架 163。。

27、操纵杆 21、 第 1 缸体 22、 第 2 缸体 23、 连 杆部件 24 及框架 161、 162 在 X 轴方向上被配置于大致相同的位置 （参考图 3） 。 0038 操纵杆 21 是从旋转轴 3 沿径向延伸的部件。操纵杆 21 的基端侧设置有安装于旋 转轴 3 的圆筒状的固定部件 26。旋转轴 3 插入于固定部件 26， 从而操纵杆 21 固定于旋转 轴 3， 并与该旋转轴 3 一起旋转。操纵杆 21 向与开闭部 2 的臂 8 所延伸的方向相反的方向 说 明 书 CN 103966568 A 6 5/8 页 7 延伸。并且， 从旋转轴 3 的延伸方向 （X 轴方向） 观察时， 操纵杆 。

28、21 作为整体由具有弯曲的 形状的板状部件构成， 且具有从旋转轴 3 朝向斜下方延伸的基端侧部分 21A、 及从该基端侧 部分 21A 开始弯曲并朝向下方延伸的前端侧部分 21B（参考图 2） 。前端侧部分 21B 的前端 形成有在按压密封部件 11 时与第 2 缸体 23 连接的连接部 21a。连接部 21a 以与设置在第 2 缸体 23 的前端侧的销 39 的外周面抵接的方式弯曲成圆弧状。另外， 操纵杆 21 的连接部 21a 与第 2 缸体 23 仅在阀体 9 配置于第 1 位置且以阀体 9 强力按压密封部件 11 时连接 （参 考图 7） ， 在其他状态下连接被解除， 彼此分离。 00。

29、39 第 1 缸体 22 经由操纵杆 21 使旋转轴 3 大致旋转 90， 从而使阀体 9 从比第 1 位 置 P1 稍微更靠第 2 位置 P2 侧的位置 （以下说明中称作 “第 3 位置 P3” 。但是由于与第 1 位 置 P1 的位置差很微小， 因此在图中省略配置于第 3 位置 P3 的开闭部 2 的图示， 作为与第 1 位置 P1 大致相同的位置来表示） 向第 2 位置 P2 移动、 或从第 2 位置 P2 向第 3 位置 P3 移 动。本实施方式中， 作为第 1 缸体 22， 应用了由杆 27 及筒体 28 构成的气缸。另外， 作为第 1 缸体 22， 可应用液压式或电动式缸体。第 1。

30、 缸体 22 连接于操纵杆 21 的前端侧与旋转轴 3 之间。具体而言， 第 1 缸体 22 的杆 27 的前端的接头部 27a 在操纵杆 21 的基端侧部分 21A 与前端侧部分 21B 的边界部附近且操纵杆 21 的内缘 21b 侧的位置， 通过沿 X 轴方向延伸的 销被连接成能够旋转。另一方面， 第 1 缸体 22 的筒体 28 的前端的接头部 28a 通过沿 X 轴 方向延伸的销， 能够旋转地连接于在框架体 160 的沿 Z 轴方向延伸的框架 162 的侧面设置 的支架 29。另外， 第 1 缸体 22 相对于 Z 轴大致平行地从支架 29 朝向操纵杆 21 延伸。第 1 缸体 22 。

31、的杆 27 从筒体 28 朝向 Z 轴正向延伸， 从而操纵杆 21 也向 Z 轴正向被顶出， 由此旋 转轴 3 旋转 （参考图 6 及图 7） 。 0040 第 2 缸体 23 在阀体 9 配置于第 1 位置 P1 时用阀体 9 按压密封部件 11。本实施方 式中， 作为第2缸体23， 应用了由杆31及筒体32构成的气缸。 另外， 作为第2缸体23， 也可 应用液压式或电动式缸体。第 2 缸体 23 中， 连杆部件 24 的一端部 24a 通过沿 X 轴方向延 伸的销， 能够旋转地连接于杆 31 的根底部分。另外， 接头部 31a 的前端以沿 X 轴方向对置 的方式被分成 2 个片部 38， 。

32、两片部 38 之间设置有沿 X 轴方向延伸的销 39（参考图 3） 。通 过第 2 缸体 23 经阀体 9 按压密封部件 11 时， 该销 39 与操纵杆 21 的前端的连接部 21a 接 触， 并压入于该连接部 21a。另一方面， 第 2 缸体 23 的筒体 32 的下端的接头部 32a 通过沿 X轴方向延伸的销， 能够旋转地连接于在框架体160的沿Y轴方向延伸的框架161的上面设 置的支架 33。另外， 第 2 缸体 23 在经连杆部件 24 支承于操纵杆 21 的状态下， 从支架 33 朝 向操纵杆 21 侧的斜上方延伸。该状态下， 第 2 缸体 23 以在与操纵杆 21 的外缘 21c。

33、 之间形 成间隙的方式从操纵杆 21 分离。第 2 缸体 23 的缸径大于第 1 缸体 22 的缸径。因此， 第 2 缸体 23 能够产生比第 1 缸体 22 更大的力。并且， 第 2 缸体 23 的行程短于第 1 缸体 22 的 行程。第 2 缸体 23 将通过第 1 缸体 22 移动至密封部件 11 与端壁部 150a 接触的位置 （相 当于第 3 位置 P3） 的阀体 9 进一步压入来使其移动至第 1 位置 P1， 从而以阀体 9 强力按压 密封部件 11 来压扁密封部件 11， 因此行程可较短。 0041 连杆部件 24 用于在阀体 9 从第 2 位置 P2 向第 1 位置移动的过程中。

34、， 以操纵杆 21 不干涉第 2 缸体 23 的方式随着操纵杆 21 的旋转在第 2 缸体 23 与操纵杆 21 之间设置间 隔。连杆部件 24 为长条的板状部件， 且以从 X 轴方向上的两侧夹住操纵杆 21 及第 2 缸体 23 的接头部 31a 的方式设置有 1 对。连杆部件 24 的一端部 24a 如前所述， 通过在 X 轴方 说 明 书 CN 103966568 A 7 6/8 页 8 向延伸的销， 能够旋转地连接于第 2 缸体 23 的杆 31 的根底部分。连杆部件 24 的另一端部 24b 通过沿 X 轴方向延伸的销， 能够旋转地连接于操纵杆 21 的前端侧与旋转轴 3 之间。另 。

35、一端部 24b 的相对于操纵杆 21 的连接位置被设定于操纵杆 21 的基端侧部分 21A 与前端侧 部分 21B 之间的边界部附近且与第 1 缸体 22 的接头部 27a 的相对于操纵杆 21 的连接位置 沿 Z 轴正向相邻的位置。连杆部件 24 以从另一端部 24b 朝向一端部 24a 向斜上方倾斜的 状态延伸。由此， 第 2 缸体 23 配置于从操纵杆 21 的外缘 21c 分离的位置。另外， 形成于操 纵杆 21 的外缘 21c 与第 2 缸体 23 之间的间隙的大小确保为在使阀体 9 从第 2 位置 P2 向 第 1 位置 P1 移动的过程中， 操纵杆 21 的前端侧部分 21B 及。

36、连接部 21a 能够不干涉第 2 缸 体 23 而通过该间隙的程度的大小。 0042 接着， 参考图 2、 图 6 及图 7 对通过驱动部 4 的驱动用阀体 9 关闭孔部 151 时的动 作进行说明。另外， 利用各缸体 22、 23 的行程终点的位置所设置的感测器的检测结果来控 制第 1 缸体 22 及第 2 缸体 23 的作动开始时刻。 0043 首先， 从阀体 9 配置于第 2 位置 P2 的图 2 所示的状态开始， 如图 6 所示， 第 1 缸体 22 的杆 27 向方向 D1 延伸 （移动） 。由此， 操纵杆 21 向方向 D2 旋转， 随着该操纵杆 21 的旋 转， 旋转轴 3 也旋。

37、转。通过旋转轴 3 的旋转， 阀体 9 向方向 D3 移动， 并从第 2 位置 P2 向第 3 位置 P3 移动。 0044 此时， 随着操纵杆 21 的旋转， 连杆部件 24 的另一端部 24b 与操纵杆 21 的连接位 置也以圆弧状移动， 第 2 缸体 23 也沿方向 D4 移动。连杆部件 24 维持第 2 缸体 23 从操纵 杆 21 分离预定距离的状态。因此， 随着操纵杆 21 的前端侧的连接部 21a 靠近第 2 缸体 23， 第 2 缸体 23 以远离的方式移动。图 6 的虚线 DL 示出操纵杆 21 的前端的连接部 21a 的轨 迹。在图 6 中以双点划线示出操纵杆 21 的前端。

38、的连接部 21a 最靠近第 2 缸体 23 的状态下 的第 2 缸体 23 的位置。如此， 在连接部 21a 最靠近第 2 缸体 23 的状态下， 第 2 缸体 23 通 过被连杆部件 24 推压而退避至以双点划线所示的位置。由此， 连接部 21a 不会干涉第 2 缸 体 23， 且操纵杆 21 能够向方向 D1 移动。另一方面， 若操纵杆 21 经过了最靠近第 2 缸体 23 的位置， 则第 2 缸体 23 被向操纵杆 21 侧拉进。操纵杆 21 旋转至阀体 9 成为配置于第 3 位 置 P3（比图中所示的第 1 位置 P1 稍微更靠第 2 位置 P2 侧的位置） 的状态时， 如图 6 所示。

39、， 操纵杆 21 的前端的连接部 21a 与第 2 缸体 23 的杆 31 的接头部 31a 的前端成为对置的状 态。 0045 接着， 如图 7 所示， 第 2 缸体 23 的杆 31 向方向 D5 延伸。由此， 第 2 缸体 23 的杆 31 的接头部 31a 与操纵杆 21 的连接部 21a 连接， 并且操纵杆 21 向方向 D5 侧被压入。由 此， 阀体 9 向方向 D6 侧被压入而配置于第 1 位置 P1， 并且密封部件 11 被强力按压而变形。 从而， 通过阀体 9 及密封部件 11， 孔部 151 以确保了气密性的状态被密封。另外， 开放孔部 151 时， 各缸体 22、 23 。

40、的杆 27、 31 以与上述动作顺序相反的顺序收缩。 0046 接着， 对本实施方式所涉及的成膜装置 100 及开闭机构 1 的作用效果进行说明。 0047 首先， 利用图 8 及图 9 对比较例所涉及的成膜装置的开闭机构 200 进行说明。如 图 8 所示， 比较例所涉及的开闭机构 200 由 1 根缸体 222、 及连接于旋转轴 3 的操纵杆 221 构成。该开闭机构 200 的缸体 222 具备使阀体 9 在第 3 位置 P3 与第 2 位置 P2 之间移动的 功能、 及使阀体 9 从第 3 位置 P3 向第 1 位置 P1 移动来通过阀体 9 按压密封部件 11 的功能 这 2 种功能。

41、。图 8 中， 以实线表示阀体 9 配置于第 2 位置 P2 时的操纵杆 221 及缸体 222 的 说 明 书 CN 103966568 A 8 7/8 页 9 状态， 以双点划线表示阀体 9 配置于第 1 位置 P1 时的操纵杆 221 及缸体 222 的状态。如图 8 所示， 缸体 222 的杆 227 从筒体 228 延伸， 从而操纵杆 221 向方向 D7 旋转， 随此阀体 9 从 第 2 位置 P2 向第 3 位置 P3 移动。并且， 在密封部件 11 接触侧壁部的壁面后， 缸体 222 的 杆 227 仍进一步延伸， 从而使阀体 9 向第 1 位置 P1 移动来按压密封部件 11。

42、。 0048 在此， 缸体 222 所具有的 2 个功能中， 使阀体 9 从第 2 位置 P2 向第 3 位置 P3 移动 的功能无需较大的力度 （例如， 用于按压密封部件11所需的力度的1/51/6左右就足够） ， 但却需要较长的行程。另一方面， 按压密封部件 11 的功能无需较长的行程， 但却需要较大 的力。即， 需要较大的缸径。然而， 1 个缸体 222 具有 2 种功能， 因此行程被设定为用于发 挥使阀体 9 从第 2 位置 P2 向第 1 位置 P1 移动的功能的长度， 缸径被设定为用于发挥按压 密封部件 11 的功能的大小。因此， 作为缸体 222， 需要应用行程长且缸径大的缸体。。

43、从而， 缸体 222 在进行使阀体 9 从第 2 位置 P2 向第 3 位置 P3 移动的动作时， 也以与按压密封部 件 11 时相等的力进行动作， 因此导致能量的浪费。将气缸用作缸体 222 时， 空气供给量多 于所需量。 0049 而且， 随着近年来基板尺寸的大型化， 阀体 9 的长度变长， 随此而产生了缸体 222 的尺寸 （行程及缸径） 变大， 一次动作中所需的空气 （为压缩空气， 0.4 0.5MPa 左右） 的供 给量增加， 且运转成本增加等问题。并且， 在成膜装置的运转中， 出现多个真空腔室 150 中 的开闭机构 200 同时作动的时刻 （例如， 4 处的开闭机构 200 同时。

44、开闭） ， 该时刻的空气供给 量不足时， 产生因阀体 9 的按压力下降而使阀体 9 暂时打开， 从而在真空腔室 150 产生泄漏 等问题。 0050 为了解决这种问题， 如图 9 所示， 需要追加用于补充暂时的空气供给量不足的辅 助罐 201， 或为了增加空气供给量本身而谋求调节器 203 的尺寸加大。并且， 在排气面， 为 了通过增加空气供给量来降低排气配管侧的背压， 需要扩大空气的返回配管 204 的管径， 从而需要增加配置空间及最初成本。或者， 需要设置大气开放过滤器 202， 以能够向大气中 （绝对无尘室中） 排气。 0051 另一方面， 本实施方式所涉及的成膜装置100及开闭机构1具。

45、备为了真空腔室150 的孔部 151 的开闭而使阀体 9 从第 2 位置 P2 向第 3 位置 P3 移动的第 1 缸体 22、 及经阀体 9 按压密封部件 11 的第 2 缸体 23。因此， 使阀体 9 从第 2 位置 P2 向第 3 位置 P3 移动时， 第 1 缸体 22 动作， 使阀体 9 从第 3 位置 P3 向第 1 位置 P1 移动并经阀体 9 按压密封部件 11 时， 第 2 缸体 23 动作。第 1 缸体 22 具有使阀体 9 从第 2 位置 P2 向第 3 位置 P3 移动的功 能， 因此需要较长的行程， 但由于也可以不具有按压密封部件 11 的功能， 因此无需较大的 缸径。

46、。另一方面， 第 2 缸体 23 具有按压密封部件 11 的功能， 因此需要较大的缸径， 但只要 使阀体 9 从第 3 位置 P3 移动至第 1 位置 P1 为止的很短的距离 （压扁与端壁部 150a 接触的 密封部件 11 的行程） 即可， 因此无需较长的行程。从而， 不需要行程长且缸径大的缸体， 因 此能够设为如图 8 所示的开闭机构 200， 无需通过与按压密封部件 11 时相等的力移动阀体 9 亦可的结构。综上， 能够减少动作所需的能量。 0052 通过采用本实施方式所涉及的开闭机构 1， 与图 8 所示的比较例所涉及的开闭机 构 200 相比较， 能够将空气的需要量减少 1/5 1/。

47、6 左右， 且能够有助于运转成本的减少及 节能化。尤其在成膜装置 100 中， 多个缸体 22、 23 在短时间内连续运转， 因此减少空气供给 量的效果更加显著。 说 明 书 CN 103966568 A 9 8/8 页 10 0053 由于能够如上述减少能量， 因此能够解决空气供给的不足。即， 如图 9 所示， 无需 进行辅助罐 201 的追加、 调节器 203 的尺寸放大、 排气用配管 204 的管径扩大、 及大气开放 过滤器 202 的追加等， 因此能够降低成本， 并且实现空气配管系统的省空间化。另外， 本实 施方式所涉及的开闭机构1中， 由于需要第2缸体23、 连杆部件24及气缸控制用。

48、电磁阀等， 因此最初成本增加， 但由于不需要用于应对如图 9 的空气供给不足的对策， 因此成本可充 分地相互抵消。 0054 并且， 本实施方式所涉及的成膜装置100中， 与第1缸体22相比， 第2缸体23的缸 径更大且行程更短。即， 第 1 缸体 22 成为缸径小但行程长的结构。通过这种结构， 能够减 少动作所需的能量。并且， 长行程的第 1 缸体 22 的缸径较小， 因此能够通过缸径较小的第 1 缸体 22 来进行因基于长行程的寿命磨损而产生的缸体更换。由此， 能够减少运转成本。 0055 并且， 本实施方式所涉及的成膜装置 100 还具备连结于阀体 9 的旋转轴 3、 及连接 于旋转轴 。

49、3 且沿该旋转轴 3 的径向延伸的操纵杆 21。并且， 第 1 缸体 22 被连接于操纵杆 21 的前端侧与旋转轴 3 之间， 第 2 缸体 23 连接于操纵杆 21 的前端侧， 由此经阀体 9 按压密 封部件 11。操纵杆 21 被连接于旋转轴 3， 旋转轴 3 连接于阀体 9。并且， 第 1 缸体 22 被连 接于操纵杆 21 的前端侧与旋转轴 3 之间， 因此通过以第 1 缸体 22 移动操纵杆 21， 旋转轴 3 旋转， 阀体 9 也随之旋转。通过该旋转移动， 阀体 9 能够在第 3 位置 P3 与第 2 位置 P2 之间 移动。并且， 第 2 缸体 23 连接于操纵杆 21 的前端侧的连接部 21a， 因此能够经操纵杆 21 及 旋转轴 3 通过阀体强力按压密封部件 11。综上， 能够有效地进行阀体 9 的开闭及密封部件 11 的按压。 0056 并且， 本实施方式所涉及的成膜装置 100 中， 操纵杆 21 与第 2 缸体 23 通过连杆部 件 24 连接。该连杆部件 24 连接操纵杆 21 与第。