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1、(10)申请公布号 CN 102864416 A (43)申请公布日 2013.01.09 CN 102864416 A *CN102864416A* (21)申请号 201210181728.X (22)申请日 2012.05.31 100123656 2011.07.05 TW C23C 14/24(2006.01) (71)申请人 隆达电子股份有限公司 地址 中国台湾新竹科学工业园区新竹市工 业东三路 3 号 (72)发明人 周子弘 张谦成 林耀辉 (74)专利代理机构 北京中原华和知识产权代理 有限责任公司 11019 代理人 寿宁 张华辉 (54) 发明名称 蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔。
2、离元件的蒸镀装 置 (57) 摘要 本发明有关一种蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔 离元件的蒸镀装置。其中的蒸镀装置包含一个炉 床、 一个蒸镀源、 一个冷却装置， 及一个蒸镀隔离 元件， 该冷却装置装设于该炉床， 该蒸镀隔离元件 包括一个耐热本体、 一个形成于该耐热本体顶部 的顶面， 及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉 床内侧面的防溢缘， 该耐热本体具有一个形成于 底部的凹室， 该顶面周缘高度不高于该顶面的中 心部， 通过该耐热本体的材质选择， 达到避免与蒸 镀材料共金焊接的功效， 且通过该耐热本体隔绝 蒸镀材料与该炉床， 达到避免蒸镀材料温度冷却、 避免蒸镀功率大幅增加的功效。 (30)优先权数据 。
3、(51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 3 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 3 页 1/1 页 2 1. 一个种蒸镀隔离元件， 用于一个炉床内承载蒸镀材料 ； 其特征在于 ： 该蒸镀隔离元 件包含一个耐热本体、 一个形成于该耐热本体顶部的顶面， 及一个形成于该耐热本体且抵 接于该炉床内侧面的防溢缘， 该耐热本体包括一个形成于底部的凹室， 该顶面周缘高度不 高于该顶面的中心部。 2. 根据权利要求 1 所述的蒸镀隔离元件， 其特征在于 ： 该耐热本体是选自石墨、 陶瓷、 Al2O3、 BeO、 B。
4、N、 MgO、 TiC/C 合金、 TiB2-BN、 SiC、 ThO2及 ZrO2所构成的群组制成。 3. 根据权利要求 1 所述的蒸镀隔离元件， 其特征在于 ： 该蒸镀隔离元件还包括一个立 柱部， 该立柱部自该耐热本体底部中心向下延伸， 该凹室绕该立柱部呈环状空间。 4. 根据权利要求 3 所述的蒸镀隔离元件， 其特征在于 ： 该防溢缘形成于该耐热本体的 底缘。 5. 根据权利要求 1 所述的蒸镀隔离元件， 其特征在于 ： 该蒸镀隔离元件还包括一个立 环部， 该立环部自该耐热本体底面周缘向下延伸， 该凹室呈圆盘状。 6. 根据权利要求 5 所述的蒸镀隔离元件， 其特征在于 ： 该防溢缘形成。
5、于该承载盘与该 立环部外周缘。 7. 根据权利要求 1 所述的蒸镀隔离元件， 其特征在于 ： 该耐热本体截面呈弧状拱起， 该 顶面周缘高度低于该顶面的中心部。 8. 根据权利要求 7 所述的蒸镀隔离元件， 其特征在于 ： 该防溢缘形成于该耐热本体底 缘。 9. 根据权利要求 1 所述的蒸镀隔离元件， 其特征在于 ： 该顶面周缘高度与该顶面的中 心部高度相同， 该防溢缘形成于该顶面周缘， 该凹室呈弧凸状。 10. 一个种具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置， 包含 ： 一个炉床、 一个蒸镀源、 一个装设于 该炉床的冷却装置， 及一个蒸镀隔离元件 ； 其特征在于 ： 该蒸镀隔离元件包括一个耐热本 体、 一个。
6、形成于该耐热本体顶部的顶面， 及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床内侧面 的防溢缘， 该耐热本体具有一个形成于底部的凹室， 该顶面周缘高度不高于该顶面的中心 部。 11. 根据权利要求 10 所述的之蒸镀隔离元件， 其特征在于 ： 该耐热本体是选自石墨、 陶 瓷、 Al2O3、 BeO、 BN、 MgO、 TiC/C 合金、 TiB2-BN、 SiC、 ThO2及 ZrO2所构成的群组制成。 12. 一个种蒸镀隔离元件， 用于一个炉床内承载蒸镀材料 ； 其特征在于 ： 该蒸镀隔离元 件包含一个耐热本体、 一个形成于该耐热本体顶部的顶面， 及一个形成于该耐热本体且抵 接于该炉床内侧面的防溢缘， 。
7、该顶面周缘高度高于该顶面的中心部。 13. 根据权利要求 12 所述的蒸镀隔离元件， 其特征在于 ： 该耐热本体是选自石墨、 陶 瓷、 Al2O3、 BeO、 BN、 MgO、 TiC/C 合金、 TiB2-BN、 SiC、 ThO2及 ZrO2所构成的群组制成。 权 利 要 求 书 CN 102864416 A 2 1/3 页 3 蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置 技术领域 0001 本发明涉及一个种蒸镀设备， 特别是涉及一个种蒸镀隔离元件及具有蒸镀隔离元 件的蒸镀装置。 背景技术 0002 现有的一个种蒸镀隔离元件是将一个坩锅置于一个铜制炉床中， 并将蒸镀材料置 于该坩锅内， 将电。
8、子束打向蒸镀材料使蒸镀材料蒸发进行蒸镀作业， 在此同时， 由于蒸镀材 料呈现溶融状态， 因此容易与该坩锅产生共金焊接的现象， 进而造成蒸镀功率变高、 膜值纯 度降低、 蒸发速率不稳、 坩锅寿命降低等等问题， 虽然将蒸镀材料直接放置于该炉床中可以 避免共金焊接的问题， 但由于该炉床与冷却系统相连将会使得蒸镀材料温度冷却， 大幅增 加蒸镀时所需要的功率。 0003 因此， 一种可以避免共金焊接且可避免蒸镀功率大幅增加的蒸镀隔离元件， 为目 前相关业者的研发目标之一。 发明内容 0004 本发明的目的在于， 克服现有的蒸镀装置存在的缺陷， 而提供一种可以避免共金 焊接且可避免蒸镀功率大幅增加的蒸镀隔。
9、离元件， 及具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置。 0005 本发明的目的与所要解决的技术问题是通过以下的技术方案实现 ： 0006 本发明蒸镀隔离元件， 用于一个炉床内承载蒸镀材料 ； 该蒸镀隔离元件包含一个 耐热本体、 一个形成于该耐热本体顶部的顶面， 及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床 内侧面的防溢缘， 该耐热本体包括一个形成于底部的凹室， 该顶面周缘高度不高于该顶面 的中心部。 0007 本发明蒸镀隔离元件， 该耐热本体是选自石墨、 陶瓷、 Al2O3、 BeO、 BN、 MgO、 TiC/C 合 金、 TiB2-BN、 SiC、 ThO2及 ZrO2所构成的群组制成。 0008 本发明蒸镀隔。
10、离元件， 还包括一个立柱部， 该立柱部自该耐热本体底部中心向下 延伸， 该凹室绕该立柱部呈环状空间。 0009 本发明蒸镀隔离元件， 该防溢缘形成于该耐热本体的底缘。 0010 本发明蒸镀隔离元件， 还包括一个立环部， 该立环部自该耐热本体底面周缘向下 延伸， 该凹室呈圆盘状。 0011 本发明蒸镀隔离元件， 该防溢缘形成于该承载盘与该立环部外周缘。 0012 本发明蒸镀隔离元件， 该耐热本体截面呈弧状拱起， 该顶面周缘高度低于该顶面 的中心部。 0013 本发明蒸镀隔离元件， 该防溢缘形成于该耐热本体底缘。 0014 本发明蒸镀隔离元件， 该顶面周缘高度与该顶面的中心部高度相同， 该防溢缘形。
11、 成于该顶面周缘， 该凹室呈弧凸状。 0015 本发明具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置， 包含 ： 一个炉床、 一个蒸镀源、 一个装设于 说 明 书 CN 102864416 A 3 2/3 页 4 该炉床的冷却装置， 及一个蒸镀隔离元件， 该蒸镀隔离元件包括一个耐热本体、 一个形成于 该耐热本体顶部的顶面， 及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床内侧面的防溢缘， 该耐 热本体具有一个形成于底部的凹室， 该顶面周缘高度不高于该顶面的中心部。 0016 本发明具有蒸镀隔离元件的蒸镀装置， 该耐热本体是选自石墨、 陶瓷、 Al2O3、 BeO、 BN、 MgO、 TiC/C 合金、 TiB2-BN、 Si。
12、C、 ThO2及 ZrO2所构成的群组制成。 0017 本发明蒸镀隔离元件， 用于一个炉床内承载蒸镀材料 ； 该蒸镀隔离元件包含一个 耐热本体、 一个形成于该耐热本体顶部的顶面， 及一个形成于该耐热本体且抵接于该炉床 内侧面的防溢缘。 0018 本发明蒸镀隔离元件， 该耐热本体是选自石墨、 陶瓷、 Al2O3、 BeO、 BN、 MgO、 TiC/C 合 金、 TiB2-BN、 SiC、 ThO2及 ZrO2所构成的群组制成。 0019 本发明的有益效果在于 ： 通过该耐热本体的材质选择， 达到避免与蒸镀材料共金 焊接的功效， 且通过该耐热本体隔绝蒸镀材料与该炉床， 达到避免蒸镀材料温度冷却、。
13、 避免 蒸镀功率大幅增加的功效。 附图说明 0020 图 1 是本发明一个种蒸镀隔离元件的第一较佳实施例的剖视图 ； 0021 图 2 是本发明一个种蒸镀隔离元件的第二较佳实施例的剖视图 ； 0022 图 3 是本发明一个种蒸镀隔离元件的第三较佳实施例的剖视图 ； 0023 图 4 是本发明一个种蒸镀隔离元件的第四较佳实施例的剖视图 ； 0024 图 5 是本发明一个种蒸镀隔离元件的第五较佳实施例的剖视图。 具体实施方式 0025 下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。 0026 参阅图1， 本发明蒸镀隔离元件1及具有蒸镀隔离元件1的蒸镀装置的第一较佳实 施例， 该蒸镀装置包含一个炉床 2。
14、、 一个蒸镀源、 一个冷却装置 4， 及一个蒸镀隔离元件 1， 该 冷却装置 4 装设于该炉床 2 底部， 该蒸镀隔离元件 1 用于一个炉床 2 内承载蒸镀材料 3， 该 蒸镀隔离元件 1 包含一个耐热本体 11、 一个顶面 12， 及一个防溢缘 13。 0027 该耐热本体 11 是由石墨、 陶瓷、 Al2O3、 BeO、 BN、 MgO、 TiC/C 合金、 TiB2-BN、 SiC、 ThO2 及 ZrO2等材料制成， 前述材料具有不易与蒸镀材料 3 共金焊接的特性， 且可以承受蒸镀过 程中的高温， 此外， 该耐热本体11的导热特性不佳， 因此可以避免该炉床2的冷却系统降低 蒸镀材料 3。
15、 的温度， 进而避免了蒸镀功率大幅增加的缺失。 0028 在本第一较佳实施例中， 该耐热本体 11 呈 T 字型， 该蒸镀隔离元件 1 还包括一个 立柱部 112， 该立柱部 112 自该耐热本体 11 底部中心向下延伸， 该凹室 114 绕该立柱部 112 呈环状空间。 0029 该顶面 12 形成于该耐热本体 11 顶部， 该顶面 12 周缘高度不高于该顶面 12 的中 心部， 在本第一较佳实施例中， 该顶面 12 周缘高度与该顶面 12 的中心部高度相同。 0030 该防溢缘 13 形成于该耐热本体 11 且抵接于该炉床 2 内侧面 21， 用于避免蒸镀材 料 3 溢出， 在本第一较佳实。
16、施例中， 该防溢缘 13 形成于该耐热本体 11 的底缘。 0031 参阅图 2， 本发明蒸镀隔离元件 1 的第二较佳实施例与该第一较佳实施例构件与 说 明 书 CN 102864416 A 4 3/3 页 5 组装方式大致相同， 不同处在于该第二较佳实施例中， 该蒸镀隔离元件 1 还包括一个立环 部 113， 该立环部 113 自该耐热本体 11 底面周缘向下延伸， 该凹室 114 呈圆盘状， 且该防溢 缘 13 形成于该耐热本体 11 与该立环部 113 外周缘。 0032 参阅图 3， 本发明蒸镀隔离元件 1 的第三较佳实施例与该第一较佳实施例构件与 组装方式大致相同， 不同处在于该第三。
17、较佳实施例中， 该耐热本体 11 截面呈弧状拱起， 该 顶面 12 周缘高度低于该顶面 12 的中心部， 且该防溢缘 13 形成于该耐热本体底缘， 该凹室 114 呈弧凸状。 0033 参阅图 4， 本发明蒸镀隔离元件 1 的第四较佳实施例与该第一较佳实施例构件与 组装方式大致相同， 不同处在于该第四较佳实施例中， 该凹室114呈弧凸状， 且该顶面12周 缘高度与该顶面 12 的中心部高度相同， 该防溢缘 13 形成于该顶面 12 周缘。 0034 参阅图 5， 本发明蒸镀隔离元件 1 的第五较佳实施例与该第一较佳实施例构件 与组装方式大致相同， 不同处在于该第五较佳实施例中， 该蒸镀隔离元件。
18、 1 不包含该凹室 114， 且该顶面 12 周缘高度高于该顶面 12 的中心部高度。 0035 综上所述， 通过该耐热本体 11 的材质选择， 达到避免与蒸镀材料 3 共金焊接的功 效， 且通过该耐热本体 11 隔绝蒸镀材料 3 与该炉床 2， 达到避免蒸镀材料 3 温度冷却、 避免 蒸镀功率大幅增加的功效， 所以确实能达成本发明的目的。 0036 以上所述， 仅是本发明的较佳实施例而已， 并非对本发明作任何形式上的限制， 虽 然本发明已以较佳实施例揭露如上， 然而并非用以限定本发明， 任何熟悉本专业的技术人 员， 在不脱离本发明技术方案范围内， 当可利用上述揭示的方法及技术内容作出些许的更 动或修饰为等同变化的等效实施例， 但凡是未脱离本发明技术方案的内容， 依据本发明的 技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、 等同变化与修饰， 均仍属于本发明技术方案 的范围内。 说 明 书 CN 102864416 A 5 1/3 页 6 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 102864416 A 6 2/3 页 7 图 3 图 4 说 明 书 附 图 CN 102864416 A 7 3/3 页 8 图 5 说 明 书 附 图 CN 102864416 A 8 。