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本发明属于柔性互连线的微加工技术领域,具体为一种用于三维电学互连集成连线的制作方法。本发明以聚酰亚胺柔性材料为主体,用微加工工艺把铜互连线镶嵌到聚酰亚胺中,并在微电极阵列对应的地方开孔用于三维互连,从而降低三维互连的复杂性,提高互连线的集成度,降低三维互连的成本;由于聚酰亚胺的柔韧性,降低了互连线对机体组织的损伤,使与其结合的三维神经电极阵列更适合活体应用。。