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1、(10)申请公布号 CN 103149790 A (43)申请公布日 2013.06.12 CN 103149790 A *CN103149790A* (21)申请号 201310056668.3 (22)申请日 2013.02.22 G03F 1/00(2012.01) (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥路 10 号 (72)发明人 黎午升 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 代理人 王莹 (54) 发明名称 掩模板 (57) 摘要 本发明公开了一种掩模板， 所述掩模板包括 不透光区和狭缝状透光区， 所述狭缝状透光。
2、区设 置有狭缝， 所述狭缝的边缘为连续的凹状圆弧构 成的曲线， 所述狭缝存在拐角， 所述拐角两侧狭缝 的内径分别为 A1、 A2， 所述凹状圆弧的半径分别 为 R1、 R2， 所述拐角分为内角和外角， 所述狭缝在 拐角处通过内角凹状圆弧和外角凹状圆弧连接。 本发明的掩模板， 采用连续的凹状圆弧曲线狭缝， 并对狭缝拐角处进行平滑连接， 不仅实现了窄线 宽， 而且线宽平滑无毛刺， 保证了线宽的均一度， 能够有效的避免拐角处线宽细线和过刻等问题， 满足了两个方向窄线宽的需求， 提高了产品生产 制造的成品率和品质。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 3 页 (19)中华。
3、人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 (10)申请公布号 CN 103149790 A CN 103149790 A *CN103149790A* 1/1 页 2 1. 一种掩模板， 所述掩模板包括不透光区和狭缝状透光区， 所述狭缝状透光区设置有 狭缝， 其特征在于， 所述狭缝的边缘为连续的凹状圆弧构成的曲线。 2. 权利要求 1 所述的掩模板， 其特征在于， 所述狭缝两侧边缘的凹状圆弧的沿中心轴 对称。 3. 权利要求 2 所述的掩模板， 其特征在于， 所述凹状圆弧为半圆弧。 4. 权利要求 3 所述的掩模板， 其特征在于， 所述狭缝包括第一狭。
4、缝和第二狭缝， 所述第 一狭缝与第二狭缝之间存在拐角， 所述第一狭缝与第二狭缝之间通过拐角凹状圆弧连接。 5. 权利要求 4 所述的掩模板， 其特征在于， 所述拐角分为内角和外角， 所述第一狭缝与 第二狭缝在拐角处通过内角凹状圆弧和外角凹状圆弧连接。 6. 权利要求 5 所述的掩模板， 其特征在于， 所述内角凹状圆弧为以第一狭缝的凹状圆 弧半径与第二狭缝的凹状圆弧半径的平均值为半径， 内角凹状圆弧角度为拐角角度的凹状 圆弧。 7. 权利要求 5 所述的掩模板， 其特征在于， 当内角两侧凹状圆弧相互重叠时， 删除相互 重叠部分的凹状圆弧， 所述内角凹状圆弧为以内角顶点到删除后距内角顶点距离最近的。
5、凹 状圆弧端点之间的距离为半径， 内角凹状圆弧角度为拐角角度的凹状圆弧。 8.权利要求6或7任意一项所述的掩模板， 其特征在于， 所述外角两侧的凹状圆弧曲线 分别向外角顶点延伸， 所述凹状圆弧曲线在延伸到距离外角顶点小于各自凹状圆弧直径处 停止， 所述外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停止处的两端点之间的距离为直径的半圆 弧。 9.权利要求6或7任意一项所述的掩模板， 其特征在于， 所述外角两侧的凹状圆弧曲线 分别向外角顶点延伸， 所述凹状圆弧曲线在延伸到距离外角顶点小于各自直径处停止， 所 述外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停止处的两端点及外角顶点为顶点的外接圆弧。 10.权利要求5所述的掩模。
6、板， 其特征在于， 当拐角角度为180度时， 所述内角凹状圆弧 与所述外角凹状圆弧同化为连接圆弧， 所述连接圆弧为以第一狭缝和第二狭缝内径差的一 半为半径的 1/4 圆弧。 权 利 要 求 书 CN 103149790 A 2 1/3 页 3 掩模板 技术领域 0001 本发明涉及显示器及半导体制造领域， 特别涉及一种掩模板。 背景技术 0002 随着高分辨率显示技术的发展， 像素的尺寸在逐渐减小， 为了保持开口率， 像素金 属电极和彩膜黑矩阵线宽也要求更窄。 由于电磁波的衍射效应， 在传统的光刻工艺中， 很难 实现窄线宽工艺。 0003 为了克服这一效应的影响， 目前实现窄线宽的方法是通过锯。
7、齿形掩模狭缝设计来 实现窄线宽的方法， 如图 1 所示 ； 通过调节 A， B， ， 来调节线宽的大小。这种方法的优点是 只需要更改掩模狭缝的格局设计就能实现窄线宽的效果， 但缺点是毛刺较多， 不够平滑， 且 缺乏拐角设计， 实际上往往采取直线型设计与锯齿形设计相结合的方式， 即不需要窄线宽 的方向使用直线型设计而需要窄线宽的方向使用锯齿形设计并将其插入直线型， 如图 2 所 示。 两种设计的连接处因缺少平滑连接设计导致拐角处线宽过细易被刻蚀最终导致断线不 良。另外， 当两个方向都需要窄线宽设计时， 图 2 的设计无法不能满足两个方向均需窄线宽 的要求。 发明内容 0004 （一） 要解决的技。
8、术问题 0005 本发明要解决的技术问题是 ： 如何提供一种掩模板， 能够避免掩模板上折线型或 凸起状狭缝造成的毛刺较多、 且不够平滑， 缺少拐角处设计等问题， 从而实现窄线宽的平滑 无毛刺， 保证线宽的均一度， 能够有效的避免拐角处线宽细线和过刻等问题， 提高产品生产 制造的成品率和品质。 0006 （二） 技术方案 0007 为解决上述技术问题， 本发明提供了一种掩模板， 所述掩模板包括不透光区和狭 缝状透光区， 所述狭缝状透光区设置有狭缝， 所述狭缝的边缘为连续的凹状圆弧构成的曲 线。 0008 优选的， 所述狭缝两侧边缘的凹状圆弧的沿中心轴对称。 。 0009 优选的， 所述凹状圆弧为。
9、半圆弧。 0010 优选的， 所述狭缝包括第一狭缝和第二狭缝， 所述第一狭缝与第二狭缝之间通过 拐角连接。 0011 优选的， 所述拐角分为内角和外角， 所述狭缝在拐角处通过内角凹状圆弧和外角 凹状圆弧连接。 0012 优选的， 所述内角凹状圆弧为以第一狭缝的凹状圆弧半径与第二狭缝的凹状圆弧 半径的平均值为半径， 内角凹状圆弧角度为拐角角度的凹状圆弧。 0013 优选的， 当内角两侧凹状圆弧相互重叠时， 删除相互重叠部分的凹状圆弧， 所述内 角凹状圆弧为以内角顶点到删除后距内角顶点距离最近的凹状圆弧端点之间的距离为半 说 明 书 CN 103149790 A 3 2/3 页 4 径， 内角凹状。
10、圆弧角度为拐角角度的凹状圆弧。 0014 优选的， 所述外角两侧的凹状圆弧曲线分别向外角顶点延伸， 所述凹状圆弧曲线 在延伸到距离外角顶点小于各自直径处停止， 所述外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停 止处的两端点之间的距离为直径的半圆弧。 0015 优选的， 所述外角两侧的凹状圆弧曲线分别向外角顶点延伸， 所述凹状圆弧曲线 在延伸到距离外角顶点小于各自直径处停止， 所述外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停 止处的两端点及外角顶点为顶点的外接圆弧。 0016 优选的， 当拐角角度为 180 度时， 所述内角凹状圆弧与所述外角凹状圆弧同化为 连接圆弧， 所述连接圆弧为以第一狭缝和第二狭缝内径差的一半。
11、为半径的 1/4 圆弧。 0017 （三） 有益效果 0018 本发明的掩模板， 采用连续的凹状圆弧曲线狭缝， 并对狭缝拐角处进行平滑连接， 不仅实现了窄线宽， 而且线宽平滑无毛刺， 保证了线宽的均一度， 能够有效的避免拐角处线 宽细线和过刻等问题， 满足了两个方向窄线宽的需求， 提高了产品生产制造的成品率和品 质。 附图说明 0019 图 1 是现有技术掩模板狭缝的结构示意图 ； 0020 图 2 是现有技术直线形狭缝与锯齿形狭缝连接结构示意图 ； 0021 图 3 是本发明实施例掩模板的结构示意图 ； 0022 图 4 是本发明实施例掩模板狭缝拐角处的结构示意图 0023 图 5 是本发明。
12、实施例掩模板拐角为 180 度的结构示意图 ； 0024 图 6 是本发明实施例掩模板拐角过小时凹状圆弧相互重叠的结构示意图 ； 0025 图 7 是本发明实施例掩模板拐角过小时的结构示意图。 具体实施方式 0026 下面结合附图和实施例， 对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施 例用于说明本发明， 但不用来限制本发明的范围。 0027 实施例 1 0028 本发明实施例的掩模板， 所述掩模板包括不透光区 B 和狭缝状透光区 T， 掩模板上 设置有狭缝， 狭缝两侧的边缘为连续的凹状圆弧构成的曲线， 两侧的凹状圆弧构成的曲线 位置相互对应， 两侧的凹状圆弧沿狭缝方向的中心轴对称， 如图。
13、 3 所示。 0029 优选的， 凹状圆弧为半圆弧， 半圆弧的半径为 R， 所述凹状圆弧的半径 R 小于 0.5m， 优选为 0.3m， 各半圆弧底端形成的两条切线为内径切线， 两内径切线之间的距离 为内径。 0030 优选的， 所述狭缝包括第一狭缝和第二狭缝， 所述第一狭缝与第二狭缝之间通过 拐角连接如图 4 所示， 所述拐角的角度为 ， 所述拐角分为内角和外角， 所述狭缝在拐角处 通过内角凹状圆弧和外角凹状圆弧连接， 拐角两侧狭缝的内径切线分别交于内角顶点和外 角顶点， 拐角两侧狭缝 （即所述狭缝包括第一狭缝和第二狭缝） 的内径分别为 A1、 A2， 凹状圆 弧的半径分别为 R1、 R2，。
14、 拐角两侧狭缝的内径 A1、 A2 和凹状圆弧半径 R1、 R2 可以相同也可 说 明 书 CN 103149790 A 4 3/3 页 5 以不同。 0031 具体的， 所述内角凹状圆弧为以内角顶点为圆心， 凹状圆弧半径R1和R2的平均值 为半径 （即以第一狭缝的凹状圆弧的半径 R1 和第二狭缝凹状圆弧的半径 R2 的平均值为半 径） ， 角度为 的凹状圆弧。内角两侧的连续凹状圆弧曲线分别以内角凹状圆弧两端点为 起点， 沿内角两侧的内径切线向两侧延伸。 内角凹状圆弧不局限于本实施例所述， 本领域技 术人员可根据需要在狭缝拐角连接圆滑的情况下可进行各种变换。 0032 所述外角两侧的凹状圆弧曲。
15、线分别沿外角两侧的内径切线向外角顶点延伸， 所述 外角两侧凹状圆弧曲线在延伸到距离外角顶点距离小于各自凹状圆弧直径处停止， 外角凹 状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停止处的两端点之间的距离为直径的凹状半圆弧。 外角凹状 圆弧不局限于本实施例所述， 本领域技术人员可根据需要在狭缝拐角连接圆滑的情况下可 进行各种变换。 0033 实施例 2 0034 本发明实施例提供一种掩模板， 其结构与实施例 1 基本相同， 不同之处在于 ： 所述 外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停止处的两端点及外角顶点为顶点的外接圆弧。 0035 实施例 3 0036 本发明实施例提供一种掩模板， 其结构与实施例1和实施例2基本相。
16、同， 不同之处 在于 ： 所述拐角角度 =180 度， 所述内角凹状圆弧与所述外角凹状圆弧同化为连接圆弧， 拐角两侧狭缝的中心轴为同一中心轴如图 5 所示。 0037 当拐角两侧狭缝的内径 A1 和 A2 相同时， 拐角两侧狭缝一各自半径的凹状圆弧曲 线直接连接无需连接圆弧。 0038 当拐角两侧狭缝的内径 A1 和 A2 不相同时， 内径较小的狭缝的内径切线与分界线 交于 C、 D 两点， 所述连接圆弧为分别以 C、 D 为圆心， 以两狭缝内径 A1 和 A2 差的一半为半径 的 1/4 圆弧。连接圆弧不局限于本实施例所述， 本领域技术人员可根据需要在狭缝拐角连 接圆滑的情况下可进行各种变换。
17、。 0039 实施例 4 0040 本发明实施例提供一种掩模板， 其结构与实施例 1 基本相同， 不同之处在于 ： 当拐 角角度较小， 内角两侧凹状圆弧相互重叠时如图 6， 删除相互重叠部分的凹状圆弧， 所述内 角凹状圆弧增加内角圆弧半径来连接删除后的内角两侧凹状圆弧曲线端点如图 7 所示。 0041 优选的， 所述内角凹状圆弧为以内角顶点到删除后距内角顶点距离最近的凹状圆 弧端点之间的距离为半径， 内角凹状圆弧角度为 的凹状圆弧。 0042 以上实施方式仅用于说明本发明， 而并非对本发明的限制， 有关技术领域的普通 技术人员， 在不脱离本发明的精神和范围的情况下， 还可以做出各种变化和变型， 因此所有 等同的技术方案也属于本发明的范畴， 本发明的专利保护范围应由权利要求限定。 说 明 书 CN 103149790 A 5 1/3 页 6 图 1 图 2 图 3 说 明 书 附 图 CN 103149790 A 6 2/3 页 7 图 4 图 5 说 明 书 附 图 CN 103149790 A 7 3/3 页 8 图 6 图 7 说 明 书 附 图 CN 103149790 A 8 。