炉管产能监视系统及其运作方法 【技术领域】
本发明是有关于一种炉管(furnace)产能监视系统及其运作方法，且特别是有关于一种通过比较标准产能资料与实际产能资料而能做为改善制作工艺的依据的炉管产能监视系统及其运作方法。
背景技术
在半导体工业中，通常数批芯片(LOT)会在炉管中进行一连串的制作工艺。而公知的炉管产能监视系统的示意图，请参照图1所绘示。由图1可知，炉管102会经过连接端口104(例如是RS232的串行端口)而连接至制造执行系统(Manufacturing Execution System，简称MES)106。因为经过制造执行系统106，只能知道炉管102中的某批芯片是否位于某种机台上，所以经由制造执行系统106而知道的制作工艺信息是相当有限的。因此，如何能得知炉管102内部更深入的制作工艺信息，以作为制作工艺改善的依据，便成为极欲解决的问题。
【发明内容】
有鉴于此，本发明提出一种炉管产能监视系统及其运作方法。本发明是通过将由炉管中所撷取到的实际产能资料与标准产能资料做比较，因此由实际产能资料与标准产能资料的差异，即可做为将来制作工艺改善的依据，而使制作工艺更臻于完美。
为达成上述及其它目的，本发明提出一种炉管产能监视系统。此炉管产能监视系统包括撷取模块、数据库、计算模块、选择模块、比较模块、以及输出模块。其中，撷取模块系用以撷取炉管中的实际参数资料。数据库系用以储存数个固定标准参数资料、数个实时标准参数资料、以及实际参数资料。计算模块系根据这些固定标准参数资料及这些实时标准参数资料而计算出标准产能资料，并且根据实际参数资料而计算出实际产能资料。选择模块通过使用者而选择分析参数。比较模块根据分析参数，而将标准产能资料及实际产能资料做比较，并且产生比较报告。而输出模块用以输出标准产能资料、实际产能资料、以及比较报告至使用者。
在本发明的较佳实施例中，此炉管产能监视系统还包括更新模块，此更新模块会结合这些实时标准参数资料及实际参数资料，并且会更新该些实时标准参数资料。
在本发明的较佳实施例中，此炉管产能监视系统更包括图形产生模块，此图形产生模块系根据标准产能资料及实际产能资料而产生产能图。而输出模块会输出产能图至使用者。
在本发明的较佳实施例中，实际参数资料包括炉管温度资料及晶圆加载/卸载数据。而输出模块会输出炉管温度数据及晶圆加载/卸载数据至使用者。
在本发明的较佳实施例中，此炉管产能监视系统储存于储存组件之中，并且经由计算机装置来执行。
本发明还提出一种炉管产能监视系统的运作方法。在此运作方法中，首先会撷取炉管中的实际参数资料。接着，会根据数个固定标准参数资料及数个实时标准参数资料而计算出标准产能资料，并且会根据实际参数资料而计算出实际产能资料。接下来，会通过使用者而选择分析参数。之后，会根据分析参数，而将标准产能资料及实际产能资料做比较，并且产生比较报告。最后，会输出标准产能资料、实际产能资料、以及比较报告至使用者。
在本发明的较佳实施例中，此运作方法更包括结合这些实时标准参数资料及实际参数资料，并且会更新这些实时标准参数资料的步骤。
在本发明的较佳实施例中，此运作方法更包括根据标准产能资料及实际产能资料而产生产能图的步骤。而产能图会输出至使用者。
综上所述，本发明是通过将由炉管中所撷取到地实际产能资料与标准产能资料做比较，因此由实际产能资料与标准产能资料的差异，即可做为将来制作工艺改善的依据，而使制作工艺更臻于完美。
为让本发明的上述和其它目的、特征和优点，能更加明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图标，做详细说明。
【附图说明】
图1绘示的是公知的炉管产能监视系统的示意图；
图2绘示的是根据本发明一较佳实施例的炉管产能监视系统的示意图；以及
图3绘示的是根据本发明一较佳实施例的炉管产能监视系统的运作方法的流程图。
标号说明
102：炉管 104：连接端口
106：制造执行系统 20：炉管产能监视系统
202：撷取模块 204：数据库
206：计算模块 208：选择模块
210：比较模块 212：输出模块
214：更新模块 216：图形产生模块
218：计算机装置 220：储存组件
222：接口 224：中央处理单元
226：输入装置 228：输出装置
S302～S312：本发明一较佳实施例的施行步骤
【具体实施方式】
请参照图2，其绘示的是根据本发明一较佳实施例的炉管产能监视系统的示意图。由图2可知，炉管产能监视系统20包括撷取模块202、数据库204、计算模块206、选择模块208、比较模块210、输出模块212、更新模块214、以及图形产生模块216。
在此较佳实施例中，炉管产能监视系统20以软件程序所写成，并且经过计算机装置218来执行。由图2可知，计算机装置218包括储存组件、接口222、中央处理单元224、输入装置226、以及输出装置228。其中，储存组件可以例如是动态随机存储器(DRAM)、电子式可抹除程序化只读存储器(EEPROM)、硬盘、或光盘。接口222用来与炉管102建立讯号的传输。举例而言，接口222可以例如是SEMIE5，并且会通过SEMI设备传输标准II(SEMI Equipment Communication Standard，简称SECSII)而与炉管102进行传输。SECSII具体定义了有关于半导体制造设备控制的一群讯息，以及那些讯息的各自的语法及语意。中央处理单元224用来执行各种不同的数据处理及运作，并且会控制计算机装置218中的各个组件的动作程序。输入装置226可以例如是鼠标或键盘，使用者可通过输入装置226输入讯息，以控制炉管产能监视系统20中的各个模块。输出装置228可以例如是阴极射线管(CRT)显示器、或液晶显示器(LCD)。
在此较佳实施例中，炉管产能监视系统20中的各个模块均为软件模块，并且储存于储存组件中。在加载炉管产能监视系统20中的各个模块之后，中央处理单元224会经过计算机装置218中的组件而达成各个模块的功能。然而，对于熟悉此项技术者而言，应该注意的是，在不脱离本发明的精神及范围之下，软件模块可以硬件来实施，例如是特定应用集成电路(ASIC)。
接下来将说明炉管产能监视系统20中的各个模块的功能。撷取模块202会经由接口222，而撷取炉管102中的实际参数资料。数据库204会储存数个固定标准参数资料、数个实时标准参数资料、以及实际参数资料。其中，这些固定标准参数资料包括了炉管102中的时间设定资料及温度设定资料。这些实时标准参数资料是根据从炉管102中所撷取到的众多参数资料所估测而得，而这些实时标准参数资料可以更新或改变。而实际参数资料包括炉管温度资料及晶圆加载/卸载数据，并且会通过输出模块212，而将炉管温度数据及晶圆加载/卸载数据输出至使用者。计算模块206会根据这些固定标准参数资料及这些实时标准参数资料而计算出标准产能资料，并且会根据实际参数资料而计算出实际产能资料。选择模块208会通过使用者使用输入装置226来选择分析参数。比较模块210会根据分析参数，而将标准产能资料及实际产能资料做比较，并且产生比较报告。输出模块212会输出标准产能资料、实际产能资料、以及比较报告至使用者。更新模块214会结合这些实时标准参数资料及实际参数资料，并且会更新该些实时标准参数资料。而图形产生模块216会根据标准产能资料及实际产能资料而产生产能图，并且会通过输出模块212，而将产能图输出至使用者。
为了更清楚起见，接下来将说明炉管产能监视系统20的运作方法。请参照图3，其绘示的是根据本发明一较佳实施例的炉管产能监视系统的运作方法的流程图。接下来将配合图2做说明。在此运作方法中，首先撷取模块202会撷取炉管102中的实际参数资料，例如是炉管温度资料及晶圆加载/卸载数据(如步骤S302)。接着，更新模块214会将来自于数据库204的实时标准参数资料及实际参数资料做结合，并且会更新实时标准参数资料(如步骤S304)。接着，计算模块206会根据固定标准参数资料及实时标准参数资料而计算出标准产能资料，并且会根据实际参数资料而计算出实际产能资料(如步骤S306)。接下来，选择模块208会通过使用者使用输入装置226来选择分析参数(如步骤S308)。之后，比较模块210会根据分析参数，而将标准产能资料及实际产能资料做比较，并且产生比较报告；而图形产生模块216会根据标准产能资料及实际产能资料而产生产能图(如步骤S310)。最后，输出模块212会输出标准产能资料、实际产能资料、比较报告、产能图、炉管温度资料、以及晶圆加载/卸载数据至使用者(如步骤S312)。
由上述可知，本发明与公知的差异在于增加了炉管产能监视系统20，所以可以得知炉管102中更多的制作工艺信息，并且通过炉管102中所撷取实际产能资料与数据库204中的标准产能资料的差异，即可轻易得知如何改善制作工艺的各项生产因素，以达到所需求的产能。
综上所述，本发明是通过将由炉管中所撷取到的实际产能资料与标准产能资料做比较，因此由实际产能资料与标准产能资料的差异，即可做为将来制作工艺改善的依据，而使制作工艺更臻于完美。
虽然本发明已以较佳实施例公开于上，然其并非用以限定本发明，任何熟悉此技术者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种之更动与润饰，因此本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。