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1、(10)申请公布号 CN 103334152 A (43)申请公布日 2013.10.02 CN 103334152 A *CN103334152A* (21)申请号 201310200286.3 (22)申请日 2013.05.27 C30B 15/00(2006.01) C30B 35/00(2006.01) (71)申请人 开化县同欣硅业有限公司 地址 324300 浙江省衢州市开化县工业园区 茶场片区茶园路 3 号同欣硅业 (72)发明人 方中期 汪国锋 (74)专利代理机构 杭州九洲专利事务所有限公 司 33101 代理人 陈继亮 (54) 发明名称 一种单晶炉的加料方法 (57) 。
2、摘要 本发明涉及一种单晶炉的加料方法， 该方法 包括下列步骤 ： A、 在单晶炉中按单晶炉总加硅料 量第一次加足硅料， 再将硅料熔化后开始拉第一 根晶棒 ； B、 当单晶炉第一次拉晶至单晶炉中硅料 剩余 10 20% 时， 停止第一根拉晶 ； C、 在单晶炉 中缓缓加入单晶炉总加料量的 30 40%， 待其完 全熔化 ； D、 再次缓缓加入单晶炉总加料量的 30 40%， 再待其完全熔化 ； E、 又再次缓缓加入单晶炉 总加料量的余量， 待该余量完全熔化 ； F、 重新开 始第二根晶棒的拉晶， 直到单晶炉中硅料完全拉 完为止。采用本发明， 由于每炉可拉二根晶棒， 不 仅节省能耗， 而且提高了坩。
3、埚等材料的利用率。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 1 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书1页 (10)申请公布号 CN 103334152 A CN 103334152 A *CN103334152A* 1/1 页 2 1. 一种单晶炉的加料方法， 其特征在于它包括下列步骤 ： A、 在单晶炉中按单晶炉总加 硅料量第一次加足硅料， 再将硅料熔化后开始拉第一根晶棒 ； B、 当单晶炉第一次拉晶至单 晶炉中硅料剩余 10 20% 时， 停止第一根拉晶 ； C、 在单晶炉中缓缓加入单晶炉总加料量的 30 40%， 待其完全熔化。
4、 ； D、 再次缓缓加入单晶炉总加料量的 30 40%， 再待其完全熔化 ； E、 又再次缓缓加入单晶炉总加料量的余量， 待该余量完全熔化 ； F、 重新开始第二根晶棒的 拉晶， 直到单晶炉中硅料完全拉完为止。 权 利 要 求 书 CN 103334152 A 2 1/1 页 3 一种单晶炉的加料方法 技术领域 0001 本发明涉及一种单晶炉的加料方法。 背景技术 0002 目前， 采用单晶炉直拉晶棒时， 一般先在单晶炉中一次性加入硅料， 再给单晶炉加 热， 等硅熔化后拉出一根晶棒， 就要停炉后更换坩埚等材料， 然后重新加料， 再重新加热后 再拉。这样的方法， 不仅能耗大， 而且浪费材料。 发。
5、明内容 0003 本发明的目的是提供无需停炉， 就可直接再次加料的一种单晶炉的加料方法。 0004 本发明采取的技术方案是 ： 一种单晶炉的加料方法， 其特征在于它包括下列步骤 ： A、 在单晶炉中按单晶炉总加硅料量第一次加足硅料， 再将硅料熔化后开始拉第一根晶棒 ； B、 当单晶炉第一次拉晶至单晶炉中硅料剩余 10 20% 时， 停止第一根拉晶 ； C、 在单晶炉 中缓缓加入单晶炉总加料量的 30 40%， 待其完全熔化 ； D、 再次缓缓加入单晶炉总加料量 的 30 40%， 再待其完全熔化 ； E、 又再次缓缓加入单晶炉总加料量的余量， 待该余量完全熔 化 ； F、 重新开始第二根晶棒的。
6、拉晶， 直到单晶炉中硅料完全拉完为止。 0005 采用本发明， 由于每炉可拉二根晶棒， 不仅节省能耗， 而且提高了坩埚等材料的利 用率。 具体实施方式 0006 下面对本发明作进一步说明。它包括下列步骤 ； 一、 在单晶炉中按单晶炉总加硅料量第一次加足硅料， 再将硅料熔化后开始拉第一根 晶棒 ； 二、 当单晶炉第一次拉晶至单晶炉中硅料剩余 10 20% 时， 停止第一根拉晶 ； 三、 在单 晶炉中缓缓加入单晶炉总加料量的 30 40%， 待其完全熔化 ； 四、 再次缓缓加入单晶炉总加料量的 30 40%， 再待其完全熔化 ； 五、 又再次缓缓加入单晶炉总加料量的余量， 待该余量完全熔化 ； 六、 重新开始第二根晶棒的拉晶， 直到单晶炉中硅料完全拉完为止。 说 明 书 CN 103334152 A 3 。