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挥发性的咪唑类和咪唑基 II 族金属前体
    相关申请的交叉引用
     本申请要求 2010 年 2 月 5 日提交的美国临时专利申请 61/301,824 和 2010 年 7 月 30 日提交的美国临时专利申请 61/369,448 的优先权。
     背景技术
     在半导体制造工业中， 持续获得用于气相沉积方法 ( 包括化学气相沉积 (CVD) 和 原子层沉积 (ALD)) 的挥发性的含金属前体， 用于使用这些含金属前体在基底 ( 如硅、 金属 氮化物、 金属氧化物和其他含有金属的层 ) 上制造保形的含金属膜。
     尤其是寻找用于沉积含有薄钡和锶氧化物的薄膜的含有钡和锶的前体， 如用于先 进的存储装置制造的钛酸锶 (STO) 和钛酸锶钡氧化物 (BST)。锶前体也用于薄膜沉积用于 非挥发性记忆体的 SrBi2Ta2O9 类型的铁电材料， 用于制造 Bi2Sr2Can-1CunO5+(2n-1)d 类型的薄膜 高温 (TC) 超导体， 和用于生产用于电致发光显示器的 SrS:Ce 和 SrS:Cu 磷光体。虽然氟化 的钡前体具有优异的挥发性， 但实际上排除它们在 BST 制造中的应用， 因为氟离子可在氧 化膜中形成， 并作为电荷载体作用， 这降低了氧化膜的介电常数。 虽然存在用于锶氧化物和 钛酸锶的许多锶来源， 但它们均不具有本发明的前体的 ALD 性能。 因此， 尽管这种化合物是稀少的， 对于钡尤其是如此， 但强烈需要具有高 ALD 性能 +2 的挥发性、 非氟化的钡和锶前体化合物。 这是因为 Ba 离子和 Sr+2 离子的离子半径大， 需要 这样的离子配体， 所述离子配体可以提供足以提供锶或钡为单体或二聚体的化合物的配位 环境。 如果这一要求得不到满足， 锶化合物、 尤其是钡化合物趋向形成挥发性有限的高度缔 合的或聚合的结构。 然而， 即使可以实现单体或二聚体的结构， 它们可能仍然不具备在其汽 化所需的高的升华或蒸馏温度下存在和当被吸收作为 ALD 中的单层时维持其热稳定性所 需的热稳定性。基于所有这些原因， 单体或二聚体的、 热稳定的、 容易挥发且非常适于通过 ALD 或 CVD 的 BST 和 STO 制造的非氟化的钡和锶前体极为稀缺， 但备受欢迎。甚至更欢迎在 ALD 中具有高沉积速率的 II 族挥发性前体。
     现有技术试图提供用于如下所述的这些应用的前体。然而， 现有技术中没有任何 金属络合物具有本发明公开的络合物的特殊特性。 本文公开的化合物在汽化条件下的挥发 性和热稳定性是优异的。此外， 它们有极高的 ALD 沉积速率， 使它们每次 ALD 循环增长 1 个 金属氧化物单层。这使它们作为用于 STO 和 BST 膜生长和任何其他需要钡、 锶、 镁、 镭或钙 前体的挥发性源的应用的前体是非常有效的。
     在文献中描述了钡和其他碱土金属二酮亚胺 (diketiminates)。对于 β- 二酮酸 化合物 (beta-diketonates)， 已经报道了化合物 [Ba(THD)2]4( 其中， THD 是 3， 3， 5， 5- 四甲 基庚二酮酸 (tetramethylheptanedionate))。虽然它是稳定的和挥发性的化合物， 但它的 分子量＞ 2000 导致其在 ALD 和 CVD 方法中的实用性具有挑战性， 尤其是相比较小的、 更具 挥发性的化合物 ( 诸如 barocenes) 时， 以及尤其是相比本发明的新化合物时， 所述本发明 的新化合物相比 barocenes 具有更洁净的挥发性且具有更高的 ALD 沉积速率和更低的熔 点。
     已报道了热稳定和挥发性的三 ( 吡唑基 ) 硼酸碱土金属络合物， 包括钡的络合物。 然而， 这些化合物含有硼元素， 其在氧化条件下， 将硼氧化物沉积为 CVD 或 ALD 方法的金属 氧化物。
     报道了基于含有在核心二亚胺氮上取代的 NMe2 基团的二酮亚胺配体的挥发性钡 和锶络合物。但这一系列的钡分子升华， 产生只有 79％的升华回收率， 剩下 14 重量％的不 挥发性的残留物。这种升华在 0.05 托下进行。如果它在大气压下进行， 它的不挥发性残渣 将显著增加。这些结果表明这种分子作为 CVD 或 ALD 方法的前体的适用性有限。
     已报道了一系列 9 种不同的环戊二烯基钡 ( 也被称为′ barocenes′ ) 的合成和 热性能。从这些 barocenes 中选择的物质， 特别是双 ( 三叔丁基环戊二烯基 ) 钡， 是 ‘现有 技术’ 前体， 具有有吸引力的热稳定性和挥发性的组合。然而， 本发明的新分子被证明在这 两个关键性能方面优于它们。此外， 本发明的新前体， 由于其独特的分子特性， 还具有极高 的 ALD 沉积速率， 使它们在装置制造方面更具有吸引力。
     感兴趣的其他参考文献包括 ：
     WO 2009/086263.
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     发明内容
     本发明公开了立体位阻的咪唑配体以及它们的合成， 所述咪唑配体当与 II 族金 属络合时， 形成高挥发性和稳定的络合物， 该络合物尤其可用作 CVD、 ALD 等薄膜沉积方法 的前体分子。
     本发明涉及一种咪唑分子， 其可以去质子化产生下式的至少在 2， 5- 位被大体积 基团 (bulky group)R 取代的咪唑基配体 (imidazolate) ：其中， R1 和 R3 单独地为大体积基团， 具有足以赋予咪唑基配体以 eta1、 eta-2、 eta-3、 eta-4 或 eta-5 键键合金属的性质的三维形式 ； R2 可以是大体积基团或不是大体积 基团的基团。
     优 选 地， 咪 唑 基 配 体 的 R 1 和 R3 单 独 地 选 自 ： 叔 丁 基、 异 丙 基、 叔 戊 基、 新戊基 (neopentyl)、 金刚烷基 (adamantly)、 己基、 环己基、 丙基、 丁基、 异丁基、 戊基、 异戊基、 新戊 基 (neopenty)、 降冰片基 (norbornyl)、 双环 [2.2.1] 庚基、 二甲基丙基、 二甲基丁基、 二甲 基戊基、 二甲基己基、 乙基甲基丙基、 异己基、 异戊基。
     优选地， 咪唑基配体的 R2 为大体积基团。
     优选地， 咪唑基配体包括 2， 4， 5- 三叔丁基咪唑基配体。
     在另一个方面， 本发明教导一种包含与选自钡、 锶、 镁、 钙或镭或其混合物的金属 配位的一个或多个多取代的咪唑基配体阴离子的化合物。 还考虑这些新咪唑基金属络合物 与其他金属络合物的混合物， 其中， 额外的金属络合物可以是咪唑钛络合物或非咪唑钛络 合物， 包括其中络合物溶于溶剂中， 且产生的制剂以 DLI 模式使用。特别有用的组合包括那 些其中咪唑锶联合钛络合物作为简单混合物或共溶于合适的溶剂中作为用于 STO ALD 或 CVD 的 DLI 制剂的组合。同样， 咪唑钡络合物可以联合合适的用于 BST 薄膜生长的钛络合 物。
     可选择地， 一个咪唑基配体阴离子可以用第二非咪唑基配体阴离子取代。 此外， 咪 唑基配体阴离子还可能带有取代基， 其也去质子化以产生双阴离子物质， 且该双阴离子与 诸如钡、 锶、 镁、 钙或镭或其混合物的金属配位。
     优选地， 第二非咪唑基配体阴离子选自多取代的咪唑基配体阴离子、 多烷基化的 吡咯基阴离子、 β- 二酮根 (beta-diketonates)、 乙酸根、 酮亚胺配体 (ketoimitates)、 二 亚胺、 醇根 (alkoxides)、 氨基化物、 氢化物、 β- 酮酸酯、 脒基配体 (amidinates)、 胍基配体 (guanidinates)、 环戊二烯基、 氰化物、 异氰化物、 甲酸根、 草酸根、 丙二酸根、 酚根、 硫醇根、 硫化物、 硝酸根、 烷基、 甲硅烷基烷基、 氟烷基、 芳基、 咪唑基配体、 氢化物及其混合物。
     也考虑新化合物的合成， 及其在形成 BST 膜中的应用。
     最优选地， 咪唑基配体为 ：
     2， 4， 5- 三叔丁基咪唑基配体
     2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑基配体
     2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑基配体
     2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑基配体 ； 及其钡、 锶、 镁 和钙盐。
     本发明的一个实施方式的咪唑基化合物包括咪唑锶与挥发性钛源的混合物。 更优 选地， 该实施方式包括作为挥发性钛源的基于咪唑基配体的钛前体。
     可选择地， 在该咪唑中， R1、 R2 和 R3 连接在一起以形成环状结构。 可选择地， 咪唑的 R1、 R2 和 R3 中的至少两个连接， 使得两个或多个咪唑配体连接在一起。 优选的咪唑金属包括 ： 四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 二钡、 四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡、 四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二钡和四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡， 四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪 唑 ) 二锶、 四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶、 四 (2-(1， 1- 二甲基丁 基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二锶和四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶。
     优选地， 本发明的咪唑金属被包含在不锈钢容器中。 更优选地， 不锈钢容器的内部 电解抛光。最优选地， 不锈钢容器配备有用于高纯度、 低死空间的入口和出口阀。
     附图说明
     图 1 是 2， 5- 二叔丁基咪唑的 X 射线结构的图示。
     图 2 是 2， 4， 5- 三叔丁基咪唑的 X 射线结构的图示 ( 为了清楚起见， 除了 N(1) 上 的氢原子以外， 没有示出氢原子 )。 图 3 是双 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 )( 四氢呋喃 ) 钡的结构的图示 ( 为了清楚起见， 氢原子没有示出 )。
     图 4 是四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 二钡的图示 ( 为了清楚起见， 氢原子没有示出 )。
     图 5 是四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 二钡的热重分析 (TGA)/ 差示扫描量热测定 (DSC) 的结果， 其中， TGA 为实线， DSC 为虚线。
     图 6 是四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 二锶的图示 ( 为了清楚起见， 氢原子没有示出 )。
     图 7 是四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 二锶的 TGA/DSC， 其中， TGA 为实线， DSC 为虚线。
     图 8 是四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶的图示 ( 为了清楚 起见， 氢原子没有示出 )。
     图 9 是四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶的 TGA/DSC 结果， 其中， TGA 为实线， DSC 为虚线。
     图 10 是四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡的图示 ( 为了清 楚起见， 氢原子没有示出 )。
     图 11 是四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡的 DSC 结果。
     图 12 是四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡的 TGA 结果。
     图 13 是四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二锶的图示 ( 为了清楚 起见， 氢原子没有示出 )。
     图 14 是四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二锶的 TGA/DSC 结果， 其 中， TGA 为实线， DSC 为虚线。
     图 15 是四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二钡的图示 ( 为了清楚 起见， 氢原子没有示出 )。
     图 16 是四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二钡的 TGA/DSC 结果， 其 中， TGA 为实线， DSC 为虚线。
     图 17 是四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡的 TGA/ DSC 结果， 其中， TGA 为实线， DSC 为虚线。
     图 18 说明对于与臭氧反应的前体四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪 唑 ) 二锶， 作为 ALD 循环数的函数的 ALD 氧化锶膜的厚度。
     图 19 说明在 350℃基底温度下， 四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶 / 臭氧 ALD 方法的 ALD 饱和曲线。
     图 20 说明在 375 ℃下， 在封有 3.3nm 的二氧化钛的情况下， 由四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶生长的 ALD SrO 膜的透射电子显微镜检查 (TEM)。
     图 21 说明使用四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶 / 臭氧， 在 350℃下生长的 SrO 膜的 X 射线光电子分光光谱 (XPS) 分析。
     图 22 说明四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶的热稳定性。 具体实施方式
     目前， ALD 在半导体工业中的主要用途是生长金属氧化物诸如氧化锶、 氧化钡和 钙钛矿型氧化物 (perovskite oxides) ： 钛酸锶 (STO) 和钛酸钡 (BST)。通常， 需要这些方 法来生长完美保形的膜成进入深钻孔的圆柱体积 ( 引洞 (vias)) 或越过柱状结构 ( 小柱 (pillars))， 其中需要没有降低保形性的热分解或 CVD 成分。 前体热分解的一个重要机制是与金属配位的阴离子配体开始分解。因此， 非常需 要制备与热稳定的阴离子配位的金属前体。 本文公开的新咪唑配体阴离子被证明具有高的 热稳定性。 此外， 重要的是， 在蒸发阶段， 该阴离子配体并不会与多金属中心配位， 以形成高 核性的化合物， 诸如四聚体或聚合物， 它们要么具有低挥发性要么不挥发。 因此， 总之， 阴离 子配体需要配位相对较少数量的金属中心， 诸如 1、 2 或 3 个金属中心， 且对于降解非常热稳 定。
     然而， 尽管有这种高的热稳定性的需要， 前体也需要在 ALD 条件下具有高度的化 学反应性。 实现这样的高度稳定的阴离子配体也意味着其形式负电荷需要通过配体结构稳 定。 本文公开的新的咪唑基配体阴离子通过成为含有两个氮原子的五元环芳香阴离子稳定 其负电荷。后提及的两个原子的负电性还增加形式负电荷的稳定性。存在其他五元芳香环 阴离子， 诸如环戊二烯基和吡咯基， 但这些都不如本文公开的咪唑基配体阴离子稳定。 环戊 二烯基环只包含 5 个碳原子， 吡咯基环含有 4 个碳原子和 1 个氮原子。 另外， 配体环戊二烯、 吡咯和咪唑的相对酸度分别是 16.0、 16.45 和 14.5， 显示咪唑是三个中酸性最高的， 表明其 共轭碱 ( 即咪唑基配体阴离子 ) 是三个中最稳定的。此外， 取代大体积基团诸如叔丁基至 环戊二烯基、 吡咯基和咪唑基配体阴离子上的实际的立体限制预计为 3 个。这意味着这种 取代的环戊二烯环有两个剩余的环碳只被氢取代， 吡咯基有一个环碳只被氢取代。 然而， 类 似的三取代的咪唑基配体环没有这样的只带有氢的环碳， 因为它所有三个环碳被三个叔丁 基型取代基取代。
     虽然不希望受限于理论， 据认为 ： 咪唑基配体阴离子环上的氢取代基的缺乏使它 们比同等取代的环戊二烯基或吡咯基阴离子更热稳定。 阴离子配体的形状和体积也是重要 的， 因为如果它的结构带有大体积基团诸如叔丁基， 这些可以确保所产生的金属络合物的 核性低， 因为与配体的键合通道被限制为 3 个或更少的金属中心。本文公开的新的咪唑配
     体被证明是很容易被这些大体积基团官能化， 并被证明能够结合 3 个或更少的金属中心， 以生成挥发性的和作为前体高度有用的金属络合物。 除了这些特征， 也希望可以高效、 高产 量地实现有机配体的合成， 并且可以产生纯产品而无副反应。
     理想的是， 配体的合成允许对于向其结构引入不同的有机基团的精确控制， 且使 用本文公开的咪唑配体很容易实现。 因此， 如果以特别三取代的咪唑配体为目标， 可以很容 易地制备纯形式， 同时避免副产物的形成， 其中， 不同的取代基更随机地分布。对于环戊二 烯和吡咯配体， 后一种情况是更常见的， 产生异构体的混合物， 这需要广泛分离为其组分。
     结果表明， 当被不同的大体积基团 ( 诸如叔丁基 ) 不对称取代时， 本文公开的新咪 唑配体可以只作为一种异构体高产量和高纯度地合成。 这在制备低熔点的或液体的纯金属 络合物方面是特别重要的， 这是非常理想的， 因为液体前体比固体前体更容易蒸发， 并且通 常更易溶于溶剂， 以制备用于直接液体注射 (DLI) 递送的溶液。
     合成这样的前体通常需要建立用立体保护基不对称官能化的配体， 因为这产生 不对称的金属络合物， 这又导致降低的熔点， 因为不对称性降低金属前体的晶格堆积能 (crystal lattice packing energies)。因此， 如果需要， 优选可以以控制和有效的方式， 有效地不对称地官能化配体。 这在本文公开的新咪唑配体的合成中可以很容易地实现 ： 通过首先合成用大体积 烷基取代的 α- 二酮， 这将最终占据咪唑环的 4 和 5 环位置 ； 然后在醋酸铵与大体积烷基取 代的醛的存在下环化， 这将最终占据咪唑环的 2 位。以这种方法， 很容易控制咪唑的最终取 代模式 ( 包括不对称烷基化 )。
     在图 6 和图 8 的比较中， 发现不对称烷基化的一个例子， 该图显示三取代咪唑 ( 分 别为 2， 4， 5- 三叔丁基咪唑和 2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 的锶络合物。 前一个咪唑是用三个三叔丁基基团对称取代的， 而后一个咪唑则是在 2- 位用一个叔丁基 基团取代和在 4 和 5 位用两个叔戊基基团取代， 因此是不对称的。
     图 7 和图 9 分别显示图 6 和 8 的结构的热重分析 (TGA) 结果， 其中， 图 6 的络合物 显示在 148℃下熔化， 而图 8 的结构的熔点仅为 103℃。
     图 4 和图 10 所示的这两种咪唑的钡络合物显示出更显著的熔点降低， 分别从 151℃ ( 如图 5 所示 ) 降至 65℃ ( 如图 11 所示 )。
     因此， 咪唑的不对称三取代产生熔点降低的金属络合物。 进一步预期 ： 当三个取代 基中的每个都是独特的时， 可以实现更低的熔点。 此外， 较大的不对称烷基基团也可以用于 降低最终前体的熔点。
     本发明的新化合物包括阴离子官能化的咪唑基配体， 这些配体可以与钡或锶或 镁、 镭或钙离子配位， 除了产生那些化合物的中性配体加成物， 还产生单体或二聚体化合 物， 它们具有特殊的热稳定性和清洁的蒸发特征。
     这些新络合物也被证明具有卓越的 ALD 性能， 具有每个循环＞ 2 埃的金属氧化物 的生长速率， 从而允许每个循环生长一个金属氧化物单层。此外， 从这些新前体生长的 ALD 金属氧化物在沉积时为晶体。通常 ALD 金属氧化膜在沉积时不是晶体， 因此没有表现出它 们的完全的介电常数值。因此， 它们需要在比沉积温度更高的温度下热退火， 以发生结晶。 这需要额外的处理时间并且使其上生长薄膜的设备经受过度加热， 所述过度加热可能潜在 地损害它的性能。因此， 沉积时能够提供结晶氧化膜代表重要的制造优势。经过实验， 我们
     发现， 在大约 10-16 秒的前体脉冲后， 足够的锶被传递以在氧化后实现 SrO 单层。因此， 如 图 19 所示， 可以快速实现对于最初吸附层的有效饱和的良好控制。因此， 与相当的环戊二 烯基或吡咯基金属前体相比， 本文公开的咪唑金属络合物在其以非常高的 ALD 沉积速率生 长金属氧化物的能力方面是独特的。如图 20 所示， 使用四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲 基丙基 ) 咪唑 ) 二锶和臭氧试剂， 在 375℃下生长的 ALD SrO 膜的 TEM 分析， 清楚地表明金 属氧化物原子的规则阵列， 其以每 6.6nm ＝ 66/24 ＝ 2.75 埃 24 个晶粒间隔， 这精确地对应 于纯 (001) 氧化锶的晶胞大小。此外， 如果这个阵列下面的非晶层退火成为晶相， 它应该产 生大约 23 层， 以得到共 24+23 ＝ 47 层的氧化锶。经实验， 使用 50 个 ALD 循环， 所以这证实 了～ 1 个 SrO 单层 / 循环的有效沉积。
     咪唑环也可以被不对称取代， 以产生高溶解度的较低熔点的化合物， 该化合物很 适合直接液体注射 (DLI)。 根据本文实施例 1 产生的咪唑配体——配体 2， 5- 二叔丁基咪唑 的结构如图 1 所示。
     在一个实施方式中， 本发明涉及下式的至少在 2， 5- 位被大体积基团 R 取代的咪 唑：
     其中， R1 和 R3 单独地为大体积基团， 具有足以赋予咪唑以下性质的三维形式 ： 使得 在它去质子化产生咪唑配体阴离子后， 可以以 eta-5 键、 eta-4、 eta-3、 eta-2 或 eta-1 键键 1 2 3 合金属 ； R2 可以是大体积基团或不是大体积基团的基团。R 、 R 和 R 也可以是含有不饱和 性如碳 - 碳双键或碳 - 碳叁键的大体积基团。
     优选地， 咪唑为 ：
     2， 4， 5- 三 - 叔丁基咪唑
     2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑
     2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑
     2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑
     2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2， 4， 5- 三 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4， 5- 三 -(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4， 5- 三 -(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4， 5- 三 -(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 - 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 4， 5- 三 (1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4- 叔丁基咪唑 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4- 叔丁基咪唑 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4- 叔丁基咪唑 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5--(1， 1- 二甲基丙基 )- 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5--(1， 1- 二甲基丙基 )- 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5--(1， 1- 二甲基丙基 )- 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5--(1， 1- 二甲基丁基 )- 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5--(1， 1- 二甲基戊基 )- 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5--(1， 1- 二甲基己基 )- 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )- 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 )- 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )- 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5- 叔丁基 -5- 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 ))-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2， 4-(1- 甲基乙基 )-5- 叔丁基咪唑 2， 5-(1- 甲基乙基 )-4- 叔丁基咪唑 2， 4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 5-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 5-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑2- 叔丁基 -4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 )-5- 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 )-5- 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5(-1， 2- 二甲基丙基 )-5 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基乙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基乙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2， 5- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基咪唑 2， 4- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 优选地， 咪唑为 2， 4， 5- 三 - 叔丁基咪唑 2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2， 4， 5- 三 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4， 5- 三 -(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4， 5- 三 -(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4， 5- 三 -(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基 - 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 - 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 优选地， 咪唑为 2， 4， 5- 三 - 叔丁基咪唑 2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2， 4， 5- 三 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1- 甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1- 甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-4- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 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2-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2， 5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1- 甲基 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(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑2， 4- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丙基 ) 咪唑 2， 4， 5- 三 (1- 甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1- 甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1- 甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-4- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-5- 二 (1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2， 5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丙基 ) 咪唑 2-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 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)-4-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基丙基 )-5- 叔丁基咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基丙基 )-4- 叔丁基咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑2， 4- 二 (1- 甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 ) 咪唑 2， 4- 二 (1- 甲基丙基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2， 5- 二 (1- 甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4， 5- 二 (1- 甲基丁基 ) 咪唑 2， 4， 5- 三 (1- 甲基丁基 ) 咪唑 2， 4- 二叔丁基 -5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2， 5- 二叔丁基 -4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1- 甲基丁基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1- 甲基丁基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 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)-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2， 5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 2- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 2-(1- 甲基乙基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基丁基 ) 咪唑 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-1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基乙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基乙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1， 2- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 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1- 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4- 叔丁基 -5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5- 叔丁基 -4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2， 4-(1， 1- 二甲基己基 )-5-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2， 5-(1， 1- 二甲基己基 )-4-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑

    [1074] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑

    [1075] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4- 叔丁基 -5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑

    [1076] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5- 叔丁基 -4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑

    [1077] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-( 二甲基丁基 ) 咪唑

    [1078] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-( 二甲基丁基 ) 咪唑

    [1079] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-( 二甲基戊基 ) 咪唑

    [1080] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-( 二甲基戊基 ) 咪唑

    [1081] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-( 二甲基己基 ) 咪唑

    [1082] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 )-5-( 二甲基己基 ) 咪唑

    [1083] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-( 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑

    [1084] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-( 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑

    [1085] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-( 二甲基戊基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑

    [1086] 2-(1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-( 二甲基戊基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑

    [1087] 2， 4- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5- 叔丁基咪唑

    [1088] 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4- 叔丁基咪唑

    [1089] 2， 4- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑

    [1090] 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑

    [1091] 2， 4- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑

    [1092] 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑

    [1093] 2， 4- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑

    [1094] 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基戊基 ) 咪唑

    [1095] 2， 4- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-5-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑

    [1096] 2， 5- 二 (1- 甲基 -1- 乙基丙基 )-4-(1， 1- 二甲基己基 ) 咪唑

    [1097] 这些咪唑然后可以去质子化以产生其相应的咪唑基配体阴离子， 其然后可以与 钡、 锶、 钙或镭离子进行配位， 从而产生相应的络合物。

    [1098] 优选地， 咪唑基配体的 R1 和 R3 各自单独地选自 ： 叔丁基、 异丙基、 叔戊基、 新戊基、 金刚烷基、 己基、 环己基、 丙基、 丁基、 异丁基、 戊基、 环戊基、 异戊基、 新戊基、 降冰片基、 双环 [2.2.1] 庚基、 丙基、 丁基、 异丁基、 戊基、 异戊基、 二甲基丁基、 二甲基戊基、 二甲基己基、 仲 丁基、 乙基甲基丙基、 异己基、 异戊基。

    [1099] 优选地， 咪唑基配体的 R2 为选自以下的大体积基团 ： 叔丁基、 异丙基、 叔戊基、 新戊 基、 金刚烷基、 己基、 己基、 环己基、 丙基、 丁基、 异丁基、 戊基、 环戊基、 异戊基、 新戊基、 降冰 片基、 双环 [2.2.1] 庚基、 丙基、 丁基、 异丁基、 戊基、 异戊基、 二甲基丁基、 二甲基戊基、 二甲 基己基、 仲丁基、 乙基甲基丙基、 异己基、 异戊基。

    [1100] 最优选地， 咪唑基配体为

    [1101] 2， 4， 5- 三 - 叔丁基咪唑基配体

    [1102] 2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑基配体

    [1103] 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑基配体

    [1104] 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑基配体 ； 及它们的钡、 锶、镁和钙盐。

    [1105] 在另一方面， 本发明教导包含一个或多个与选自钡、 锶、 镁、 钙或镭或其混合物的 金属配位的多取代的咪唑基配体阴离子的化合物。

    [1106] 可选地， 一个咪唑基配体阴离子可用第二个非咪唑基配体阴离子取代。 此外， 咪唑 基配体阴离子还可带有取代基， 该取代基也被去质子化以产生双阴离子物质， 且该双阴离 子与金属 ( 例如钡、 锶、 镁、 钙或镭或其混合物 ) 配位。

    [1107] 还涉及新化合物的合成及其用于形成 BST 膜的用途。

    [1108] 为了理解这些配体的独特的性质， 考虑如式 A 中所示的未取代的咪唑的结构和取 代基 (substitutional) 编号系统是有意义的。需要注意的是， 环编号系统表明 ： 当咪唑环 的所有三个碳原子被烷基取代时， 得到的分子被称为 2， 4， 5- 三烷基咪唑。

    [1109] 当咪唑的 N-H 基团在位置 1 被去质子化时， 这样产生的阴离子的形式负电荷在五 元环中离域 (delocalized)。但是， 如果该阴离子与金属阳离子配位的话， 其将通常通过环 上的两个氮原子而不是三个碳原子进行。在这种方式中， 咪唑阴离子最典型地作为金属中 心之间的线性 “桥连阴离子” 起作用。

    [1111] 咪唑基配体的这一极强的线性桥连金属阳离子的倾向通常被作为构建构架络合 物的技术使用， 其中咪唑作为分子骨架以将金属阳离子连接在一起， 如式 B 所示。由于其非 常紧密， 该结构为不挥发的。

    [1110] 本发明的新咪唑配体为独特的， 因为它们使用足够庞大的基团 ( 例如叔丁基 ) 至 少在咪唑环的位置 2 和位置 5、 更优选地在位置 2、 4 和 5 上取代， 当咪唑被去质子化以产生 咪唑基配体阴离子时， 其不与金属配位形成如式 B 所示的高度紧密的结构， 而是可能与金 属有其他配位模式。一个可能的配位模式为 “eta-5” 模式， 其中五元环的平面位于金属离 子的侧面。于是这允许金属与咪唑基配体环的所有 5 个原子结合， 如式 C 所示， 其中 R 代表 大体积烷基类型基团。

    [1113] 用于本发明的大体积基团为这样的基团 ： 它具有的三维空间形式足以产生所需位 阻， 从而金属与本发明的咪唑基配体的键合能够优选地分别以式 C 和式 D 的 “eta-5” 键合 或 “一端 (end on)” “eta-1” 键合的形式键合。此外， 这两个极端模式之间的键合模式也是 可能的， 例如 eta-2、 eta-3 和 eta-4。

    [1115] 更优选地， 用于本发明的大体积基团为这样的基团 ： 它具有的三维空间形式足以 产生充足的位阻， 从而金属与本发明的咪唑基配体的键合能够以式 D 的 “eta-5” 键合形式 键合。

    [1116] 式 D 中描述的结构代表预料不到的结果， 因为绝大多数的咪唑阴离子 ( 即咪唑基 配体 ) 不以 “eta-5” 或侧面方式结合， 而是仅通过氮原子线性结合， 如式 B 所示。

    [1119] 在 Cambridge 晶 体 学 数 据 库 中， 仅 存 在 金 属 与 咪 唑 基 配 体 离 子 的 eta-5 配 位 的 一 个 例 子 (M.Tadokoro， T.Shiomi， K.Isob， K.Nakasuji， Inorganic Chem.40 5476-5478(2001))， 且其出现在不挥发的混合的金属多聚配位化合物中， 而不是在本发明 的 dicreet 和挥发性金属络合物中， 这进一步强调了本发明的新咪唑配体的独特的性质。

    [1120] 此外， 本发明的咪唑基配体阴离子还可以如式 C 所示的新型 “一端” 方式键合， 其 中大体积取代基允许金属仅与咪唑基配体的一个氮连接。其显示在图 8 中， 其中可看到四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶的两个末端咪唑基配体阴离子仅通过 一个氮与锶连接。尽管不希望局限于理论， 还可以想到， 在 eta-5 和 eta-1 的两个极端模式 之间存在其他新型键合模式， 其中仅两个、 三个或四个咪唑基配体环原子参与与金属的键 合。

    [1121] 大体积基团可包括 C3-12 基团， 优选支链烷基、 环状或芳香基， 且可选地进一步使用 其他官能团 ( 例如胺、 烷氧基、 羟基、 羧基、 取代的胺和类似的衍生物 ) 衍生化。烷烃、 烯烃、

    [1118] 炔烃、 它们的环状形式、 芳香化合物及其衍生物均被认为是大体积基团， 只要它们满足具有 足够庞大的三维空间形式的要求， 以导致咪唑与金属的 eta-4、 eta-3、 eta 2 或 eta-1 和更 优选 “eta-5” 键合。其他合适的大体积烷基包括但不限于异丙基、 叔戊基、 金刚烷基、 己基、 环己基、 丙基、 丁基、 异丁基、 叔丁基、 戊基、 异戊基、 新戊基、 降冰片基、 双环 [2.2.1] 庚基、 C9-C20 烷基苯基、 C1-C10 烷氧基 ； C1-C10 烷基胺 ； 用选自咪唑、 吡咯、 吡啶、 呋喃、 嘧啶、 吡唑的 杂原子取代的环结构官能化的 C1-C10 烷基 ； 用酰胺基团官能化的 C1-C10 烷基 ； 用酯基团官能 化的 C1-C10 烷基以及它们的混合物。

    [1122] 从图 4、 6、 10、 13 和 15 可以看出， 大体积基团可导致 “eta-5” 键合， 如这些结构中 存在的末端咪唑基配体阴离子所示。但是， 中心咪唑基配体作为连接两个金属中心的 “桥 连” 阴离子， 其中金属 - 氮键的轴不在咪唑基配体环的平面上， 但是两者均指向平面的一侧。 不希望局限于任何理论， 据认为大体积基团导致倾向于 eta-4、 eta-3、 eta-2 或 eta-1 和更 优选 eta-5 键合， 且当满足该键合时， 大体积基团还允许另外的线性非平面键合， 这可能是 由于当两个大体积基团取代的咪唑结合到金属后的位阻效应。 因此， 在本发明中， 当大体积 基团的特征为它们赋予咪唑基配体以 eta-4、 eta-3、 eta-2 或 eta-1 和更优选 “eta-5 键” 与金属结合的性质时， 这不排除 “eta-5” 等以外的其它线性模式的键合， 但仅仅描述了有利 的或优选的键合形式。当不存在大体积基团时， 这些咪唑基配体将不会显示有利于 eta-4、 eta-3、 eta-2、 eta-1 和更优选 eta-5( 即非平面桥连键合 ) 的性质。

    [1123] 未取代的苯基不显示包括在大体积基团的定义中的充足的体积， 这主要是由于其 主要为平面的三维形状， 而环己烷具有充足的键角来构成大体积基团。

    [1124] 此外， 这些烷基取代基还可用配位基团 ( 例如醚、 冠醚、 胺、 酰胺、 氰基、 异氰基 (isonitrile)、 亚胺、 amidinine、 酯、 吡啶、 咪唑、 吡咯、 吡唑、 噁唑、 异噁唑、 呋喃、 嘧啶、 糠 基、 环氧乙烷、 氮丙啶、 氧杂环戊烷 (oxolane)、 1， 3- 二氧戊环、 1， 4- 二噁烷 (doxane)、 1， 3， 5- 三噁烷、 吡咯烷、 哌啶、 奎宁环 ) 官能化。 它们还能够用能够被去质子化的基团官能化， 从 而随着咪唑也被去质子化， 它们形成双阴离子， 随后其可与金属中心配位。 这样的基团包括 但不限于 ： 环戊二烯、 吡咯、 β- 二酮、 β- 酮亚胺、 β- 二亚胺、 醇、 胺、 酰胺、 吡咯、 苯酚、 羧酸 基团、 脒基、 胍基。

    [1125] 叔丁基及类似的三维大体积基团对比平面基团 ( 例如苯基 ) 在产生挥发性碱土金 属化合物中的有效性通过实施例 20 中描述的 2， 4， 5- 三苯基咪唑 ( 即其中 R1 ＝ R2 ＝ R3 ＝ 苯基 ) 的钡络合物的制备来表明， 其中不能从反应混合物中分离挥发性钡物质。这与实施 例 8 和 16 中分别描述的 2， 4， 5- 三 - 叔丁基咪唑和 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 - 叔丁 基咪唑的钡络合物形成鲜明的对比， 图 5 和 16 分别表明它们具有优越的挥发性。

    [1126] 用于 ALD 和 CVD 应用的一类最有名的钡化合物是 “barocene” 化合物， 其中， 钡离子 与两个多烷基官能化的环戊二烯基阴离子 ( 如三叔丁基环戊二烯基 (t-Bu3Cp)) 配位。TGA 被用于筛选这些化合物的挥发性 / 热稳定性。在这种技术中， 将钡化合物样品置于微量天 平盘中， 其在稳定的干燥惰性气体 ( 如氮气 ) 流中以稳步增加的速率加热。随着样品温度 升高， 钡化合物以不断增加的速度蒸发， 且这种重量减轻可以由微量天平检测到。最后， 蒸 发停止， 且对于钡通常有不挥发的物质残留。

    [1127] 如果它用作 ALD 或 CVD 方法的来源前体化合物， 则低含量的残留物是非常理想的， 因为这意味着有可能获得控制的钡蒸发。此外， 对于 CVD 或 ALD 方法， 许多金属前体 ( 如钡前体 ) 溶解于溶剂中， 且这种溶液在直接液体注射 (DLI) 系统中蒸发。基本上， 这包括输送 精确控制的溶液流进入蒸发器， 在其中， 在减压下迅速加热并蒸发溶液和其溶解的溶质。 然 后将产生的蒸气转运到 CVD 或 ALD 反应器。通常， 当溶液雾化或简单地在汽化温度引入时， 在蒸发器内部使用微型化的喷嘴和小口径管 (narrow bore tube)。如果溶质没有完全蒸 发， 且形成不挥发残留物， 这些细口径管会发生阻塞， 从而阻止溶液的任何进一步的流动。

    [1128] 基于这些原因， 非常理想的是， 为了获得可能的最佳 DLI 性能， TGA 实验中观察到 的不挥发残留物应尽可能少， 以避免阻塞残留物的积聚。这在处理设备故障非常昂贵的 商业制造环境中尤其重要。值得注意的是， 图 5 和图 16 中四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 二 钡和四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二钡分子的 TGA 结果分别表明只有 3.53 重量％和 2.99 重量％的不挥发残留物， 这是非常低的数值， 表明与它们的 barocene 同系物 ( 如 Ba(tBu3C5H2)2( 四氢呋喃 )) 相比， 本发明的金属咪唑络合物具有卓越的蒸发特 性和优越的挥发性。据报道后者具有 4.2 重量％的 TGA 不挥发残留物 (Timo Hatanpaa， Marko Vehkamaki， Ilpo Mutikainen， Jarno Kansikas and Mikko Ritala “Synthesis and characterization of cyclopentadienyl complexes of barium ： precursors for atomic layer deposition of BaTiO3” Dalton Trans.， 2004， p.1181-1188)。但是， 由于这一 TGA 结果为 barocene 的四氢呋喃加成物而不是纯 barocene 的结果， 其看起来不自然地低， 因为 一些重量的损失仅仅是由于四氢呋喃的损失。对这一差异的解析得到校正值 675/603X4.2 ＝ 4.7 重量％， 其中 675 和 603 分别代表 barocene 四氢呋喃加成物和纯 barocene 的分子 量。

    [1129] 实施例 22 和图 22 表明了四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基咪唑 ) 二锶的卓 越的热稳定性， 其中在 ALD 条件下， 直到＞ 350℃才显示出在基底表面上四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基咪唑 ) 二锶的脉冲的热降解。

    [1130] 优选的金属咪唑化合物包括 ： 四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 二钡 ； 四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡 ； 四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 - 叔丁基咪唑 ) 二钡 ； 和四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡 ； 四 (2， 4， 5- 三 叔丁基咪唑 ) 二锶 ； 四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶 ； 四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 - 叔丁基咪唑 ) 二锶 ； 和四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶。

    [1131] 本发明还涉及新和新型的基于钡、 锶、 镁、 镭和钙取代的咪唑基配体的化合物的合 成和用途， 以及用于直接液体注射时的蒸气输送的其溶液， 其中， 咪唑基配体阴离子的取代 的优选烷基是大体积的烃类， 如叔丁基、 叔戊基、 金刚烷基、 环己基、 新戊基等 ； 且可以是含 有氮或氧的烷基， 如叔胺或醚基团。此外， 这些新化合物也可以配位其他中性配体， 如醚或 胺或烷氧基胺。吸电子基团 ( 如硝基或酰基 ) 也可以作为咪唑基配体环取代基存在。

    [1132] 虽然不希望受限于理论， 基团 ( 如硝基 ) 通过使得咪唑基配体阴离子向钡或锶或 其他碱土金属较少供电子而增强加入的中性配体 ( 例如， 四氢呋喃 (THF)、 二甘醇二甲醚、 18- 冠 -6 冠醚 ) 的配位， 因此， 增加金属对于加入的配体的路易斯酸度， 并因此， 增加它们对 于金属的亲和力。实现这种增强的配位使得带有配位配体 ( 如 THF) 的整个钡化合物或锶 化合物能够作为一个完整的化合物一起蒸发， 而不是首先释放这种配位配体。

    [1133] 本 发 明 还 包 括 通 过 使 用 金 属 试 剂 ( 如 六 甲 基 二 硅 氮 烷 钡 (bariumhexamethyldisilazane) 或六甲基二硅氮烷锶 (strontium hexamethyldisilazane) 或氢 化钡或氢化锶 ) 直接金属化咪唑基配体来合成钡、 锶、 镁、 镭或钙化合物的新型方法， 从而 提供对于使用标准复分解反应类型的有效替代方案， 在标准复分解反应中， 首先用金属氢 化物 ( 如氢化钠 ) 处理咪唑， 以形成咪唑钠， 其然后与钡或锶的卤化物 ( 如碘化钡或碘化锶 等 ) 反应。

    [1134] 合成这些新化合物的其他新技术包括但不限于 ： 咪唑配体与作为蒸气或良好分散 的粉末的钡、 锶、 镁或钙金属直接反应 ； 或在氨的存在下与钡或锶金属等反应 ； 或在胺 ( 如 六甲基二硅氮烷 ) 和氨的存在下咪唑配体与钡金属反应。新型的化合物也可以通过电化学 合成制备。

    [1135] 此外， 在与钡、 锶、 镁、 镭或钙源反应之前， 多种金属和金属化试剂 (metalizing agent) 可以用于有效地对咪唑配体去质子化。该试剂包括但不限于 ： 金属锂、 正丁基锂、 正 己基锂、 仲丁基锂、 叔丁醇锂、 二异丙基氨基化锂、 氢化钾、 六甲基二硅氮烷钾、 氢化钠、 金属 钠、 六甲基二硅氮烷钠、 金属钾、 金属钡、 叔丁醇钠、 叔丁醇钾。钡源包括但不限于 ： 碘化钡、 溴化钡、 三氟乙酸钡、 六氟乙酰丙酮化钡、 三氟乙酰基丙酮酸钡、 乙酰基丙酮酸钡、 二亚胺 钡、 酮亚胺钡、 脒基钡 (barium amidinate)、 胍基钡 (barium guanidinate)、 氨基化钡、 烷醇 钡、 氨基化钡、 碳酸钡、 乙酸钡、 碳酸钡、 甲酸钡、 丙酸钡、 苯氧基钡、 氢氧化钡、 氟化钡、 脒基 钡、 barium amidinine 及类似于钡源的锶、 镁、 镭和钙源。

    [1136] 本发明的新型的多取代的咪唑钡、 镁、 钙、 镭或锶化合物选自以下式 E、 F、 G和H的 1 2 3 结构， 其中 R 、 R、 R 各自单独地选自酰基、 甲酰基、 硝基、 酰氨基、 H、 C1-C10 伯、 仲或叔烷基、 伯、 仲或叔烯烃或炔烃、 C1-C10 烷氧基、 C9-C20 烷基苯基、 烷基胺、 用例如咪唑、 吡咯、 吡啶、 呋 喃、 嘧啶、 吡唑、 吡咯的杂原子取代的环结构官能化的 C1-C10 烷基、 用酰胺基官能化的 C1-C10 烷基和用酯基官能化的 C1-C10 烷基 ； 且各个 n 独立地为 0-4， 优选各个 n 独立地为 0、 1 或 2。 请注意， 也描述了不含中性配体的分子， 其中， (L)n 中的 n ＝ 0 表示没有配位的 (L) 配体。 1-3

    [1137] 也可以产生混合的络合物， 其中， R 在咪唑基配体阴离子之间是不同变化的， 然 后这种混合物络合钡或其他碱土金属， 使得产生的钡或其他碱土金属络合物代表混合物。 例如， 如果两种不同的咪唑基配体阴离子 I1 和 I2 混合在一起， 然后络合钡， 那么可以制备三 1 1 2 2 种独特的钡络合物， 即， Ba(I )2、 Ba(I I ) 和 Ba(I )2。 如果三种不同的咪唑基配体阴离子 I1、 I2 和 I3 混合， 然后络合钡， 那么形成六种钡络合物， 即， Ba(I1)2、 Ba(I1I2)、 Ba(I1I3)、 Ba(I2)2、 Ba(I2I3) 和 Ba(I3)2。 这些混合物是液体或对于 DLI 是非常可溶的制剂。 同时， 一个咪唑基配 1-3 体阴离子的基团 R 可以连接在一起， 或可以连接至另一咪唑基配体阴离子的基团 R1-3 以 将两个阴离子连接在一起。 中性配体 (L) 选自脂肪族 C1-C20 醚或聚醚、 冠醚 ( 如 18- 冠 -6)、 胺或聚胺、 烷氧基胺或聚烷氧基胺、 酰胺或聚酰胺、 酯或聚酯、 芳香醚、 芳香酯、 芳香酰胺、 芳 1 2 3 香胺、 吡啶、 咪唑、 吡啶、 吡嗪、 呋喃、 碳酸烷基酯或吡咯。此外， 基团 R 、 R、 R 可以连接在一 起以形成环结构。这些环结构还可为芳香族的。

    [1138] 值得注意的是， 式 F、 G 和 H 中的二聚化合物作为起始材料， 可以添加中性配体 ( 例 如二甘醇二甲醚 ) 以由此产生加成络合物。在式 E、 F、 G 和 H 中， M 为选自镁、 钙、 锶、 钡、 镭， 优选锶和钡， 更优选钡的 II 族金属。 不希望局限于理论， 除了上述络合物以外， 还能制备混合的钡络合物， 其中一个多 烷基化的咪唑基配体阴离子和一个其他有机或无机阴离子与钡配位， 以生成完全的络合 物。该可供选择的阴离子的例子包括但不限于 ： β- 二酮根、 乙酸根、 酮亚胺配体、 二亚胺、 醇根、 氨基化物、 氢化物、 β- 酮酸酯、 脒基配体、 胍基配体、 环戊二烯基、 氰化物、 异氰化物、 甲酸根、 草酸根、 丙二酸根、 酚根、 硫醇根、 硫化物、 硝酸根、 烷基、 甲硅烷基烷基、 氟烷基、 芳 基、 咪唑基配体。如上所述， 也考虑其他碱土金属络合物。

    [1143] 一些优势可以通过这些含金属的多烷基化的咪唑作为用于化学气相沉积或原子 层沉积的前体来实现， 且这些优势包括 ：

    [1144] 以最高达和超过每循环一个单层的高生长速率生长 ALD 和 CVD 金属氧化物和混合 的金属氧化物 ( 例如 STO 或 BST) 的能力 ；

    [1145] 直接在 ALD 或 CVD 方法条件下生长晶体金属氧化物和混合的金属氧化物膜 ( 例如 STO 和 BST) 的能力 ；

    [1146] 形成不对称烷基化的咪唑基配体的金属咪唑络合物以得到低熔点或液体前体的 能力 ；

    [1147] 以良好的产率形成反应性络合物的能力 ；

    [1148] 形成与一种或混合种类的配体配位的热稳定的单体络合物 ( 尤其是锶和钡络合 物 ) 的能力， 从而达到比已知的锶和钡前体更高的蒸气压力。已知的锶和钡前体是具有较 低蒸气压的聚合络合物， 或具有低热稳定性或具有相对高含量的不挥发残留物的单体化合 物；

    [1149] 形成适用于微电子器件的高度保形金属氧化物薄膜的能力 ；

    [1150] 由于络合物的高化学反应性， 提高含有金属的烷基化咪唑基配体阴离子和基底表 面之间的表面反应的能力 ； 和 1-3

    [1151] 通过改变 R 基团调整这些含金属的多取代的咪唑基配体阴离子的物理性质的能 力。

    [1152] 此外， 金属络合物也可以通过以下方式产生 ： 两个不同的多取代的咪唑基配体阴 离子与金属中心 ( 如钡 ) 配位， 使得两个配体彼此且围绕金属具有最佳的 “匹配” 或 “联锁” ， 以这种方式提供了足够产生稳定的单体络合物的配位层。

    [1153] 尽管不希望受限于理论， 本文公开的分子是在应用的等离子体放电的存在下或不 存在下， 通过将它们一起顺序或同时与例如水、 醇、 氧气、 臭氧、 氧化亚氮、 二氧化氮、 过氧化 氢或其组合的氧化剂反应用于沉积含有碱土金属氧化物的膜的 CVD 或 ALD 方法的优异的前 体。此外， 本文公开的钡和锶分子可以以 CVD、 脉冲 CVD 或 ALD 或氢化物脉冲的 CVD/ALD 方 法的模式与例如烷醇钛 / 二酮钛、 烷醇钛 / 酮酸酯钛、 烷醇钛、 环戊二烯基钛、 氨基化钛、 含 咪唑钛的前体、 含吡咯基钛的前体或其组合的钛前体反应， 以沉积 BST( 钛酸锶钡 ) 膜， 上 述沉积物由于具有高介电常数是非常珍贵的。此外， 本文公开的钡络合物可以以 CVD、 脉冲 CVD 或 ALD 或氢化物脉冲的 CVD/ALD 的模式， 与酮亚胺锶和例如烷醇钛 / 二酮钛、 烷醇钛 / 酮酸酯钛、 烷醇钛、 环戊二烯基钛、 氨基化钛、 含咪唑钛的前体、 含吡咯基钛的前体或其组合 的钛前体反应， 以沉积 BST 膜。

    [1142] 由于它们能够使用高度新颖的表面吸收和反应模式， 这些新前体分子能够具有异 常高的沉积速率。因此， 当使用新型前体时， 在 350℃下实现每个循环＞ 2.5 埃的氧化锶的 沉积速率， 其约为常规生长速率的 5 倍。该每个循环的生长速率的提高是特别重要的， 因为 它允许在商业生产中在每单位时间内的晶片产量更高。此外， 据认为本发明的新型咪唑基 配体将类似地允许其他金属和含金属膜的生长速率提高。

    [1155] 本发明的前体特别适于作为 ALD、 CVD、 脉冲 CVD、 等离子体增强的 ALD(PEALD) 或等离子体增强的 CVD(PECVD) 的挥发性前体用于生产半导体类型的微电子器件， 例如 用于存储应用 ( 例如 DRAM 器件 ) 的微电容器电池。它们还非常适用于生产高温测量 (pyrodetector) 装置。

    [1156] 本申请的前体还可容易地溶于多种溶剂中， 且所得的溶液用在 DLI 模式中以向 ALD 或 CVD 反应器提供这些前体的蒸气流。由于具有低熔点， 它们是非常可溶的， 包括溶解 在烷基醚、 烷基胺、 烷氧基胺、 芳香醚、 芳香胺、 酰胺、 酯和烃溶剂中。 后两种物质是特别吸引 人的， 因为它们能够干燥至亚 ppm 浓度的水。可用于本发明的示例性的溶剂为氨基醚 ( 如 BL-19)、 甘醇二甲醚类 (glymes)( 如二丙二醇二甲醚， 例如 DPGDME)、 五甲基二亚乙基三胺、 N， N- 二甲基环己基胺、 N- 甲基二环己基胺、 二甲基 -4- 吗啉乙胺、 苯甲醚 ( 甲氧基苯 )、 苯 乙醚 ( 乙氧基苯 )、 甲苯、 1， 3， 5- 三甲基苯、 枯烯 ( 异丙基苯 )、 对异丙基甲苯 (4- 异丙基甲 苯 )、 1， 3- 二异丙基苯、 辛烷、 十二烷、 1， 2， 4- 三甲基环己烷、 正丁基环己烷和十氢化萘 ( 萘 烷 )。本申请的前体还可在不锈钢容器中储存和使用。

    [1157] 本申请的前体还可与其他合适的金属前体相混合， 其混合物用于同时提供两种金 属以生长二元金属氧化物或氮化物膜。例如， 本发明的锶前体可与合适的钛前体 ( 包括基 于咪唑基配体的钛前体 ) 相混合， 用于生长钛酸锶 (STO) 膜。同样地， 本发明的钡前体可与 合适的锶前体 ( 包括基于咪唑基配体的锶前体 ) 和合适的钛前体 ( 包括咪唑基配体前体 ) 相混合， 用于生长钛酸钡锶 (BST) 膜。同样地， 本发明的钡前体可与合适的钛前体 ( 包括基 于咪唑基配体的钛前体 ) 相混合， 用于生长钛酸钡 (BTO) 膜。

    [1158] 本发明还提供了通过 ALD 或 CVD 来沉积含金属膜的方法， 包括使用上述本发明的 金属咪唑化合物结构。

    [1159] 优选地， 本发明包括通过本发明的金属咪唑化合物结构与选自水、 醇、 氧气、 臭 氧、 氧化亚氮、 二氧化氮、 过氧化氢或其组合的氧化剂反应来沉积含金属膜的方法， 从而 生长选自氧化钡、 氧化锶、 氧化镁、 氧化钙或氧化镭及其混合物的含金属膜， 该方法使用 0.001-1000 托的反应器压力和 0-1000℃的温度。

    [1160] 更优选地， 该方法使得氧化钡的沉积＞ 1 埃 / 循环。再更优选地， 氧化钡的沉积＞ 1.5 埃 / 循环。再更优选地， 氧化钡的沉积＞ 2 埃 / 循环。

    [1161] 可选地， 该方法使得氧化锶的沉积＞ 1 埃 / 循环。优选地， 氧化锶的沉积＞ 1.5 埃 / 循环。更优选地， 氧化锶的沉积＞ 2 埃 / 循环。

    [1162] 在一个实施方式中， 本发明的方法包括将本发明的咪唑 Ba 和 Sr 结构与选自烷醇 钛、 烷醇钛 / 二酮钛、 环戊二烯基钛、 氨基化钛、 咪唑钛及其混合物的钛前体的交替脉冲以 ALD 或脉冲 CVD 模式反应， 以生长 BST 膜。

    [1163] 在另一实施方式中， 本发明为本发明的咪唑锶结构与选自烷醇钛、 烷醇钛 / 二酮 钛、 环戊二烯基钛、 氨基化钛、 咪唑钛及其混合物的钛前体的交替脉冲以 ALD 或脉冲 CVD 模式反应以生长 STO 膜的方法。

    [1164] 进一步的实施方式为本发明的咪唑钡结构与选自烷醇钛、 烷醇钛 / 二酮钛、 烷醇 钛 / 酮酸酯钛、 环戊二烯基钛、 氨基化钛、 咪唑钛及其混合物的钛前体的交替脉冲以 ALD 或 脉冲 CVD 模式反应以生长 BTO 膜的方法。

    [1165] 再进一步的实施方式为本发明的咪唑钡结构与选自酮亚胺锶、 二酮锶及其混合物 的锶化合物和选自烷醇钛、 烷醇钛 / 二酮钛、 烷醇钛 / 酮酸酯钛、 环戊二烯基钛、 氨基化钛及 其混合物的钛前体的交替脉冲以 ALD、 CVD 或脉冲 CVD 模式反应以生长 BST 膜的方法。

    [1166] 再另一实施方式为权利要求 13 的咪唑基化合物结构与选自 HCl、 HF、 SiCl4、 HBr 及 其混合物的卤化物气体以 ALD、 CVD 或脉冲 CVD 模式反应生长 MX2 的方法， 其中 X ＝卤阴离 子， M 选自 Ba、 Sr、 Mg、 Ca、 Ra 及其混合物。

    [1167] 合成本发明的咪唑基化合物结构的方法为 ： 咪唑用选自正丁基锂、 正己基锂、 仲丁 基锂、 叔丁醇锂、 二异丙基氨基化锂、 氢化钾、 氢化钠、 金属钠、 金属钾、 叔丁醇钠、 叔丁醇钾、 六甲基二硅氮烷钾、 六甲基二硅氮烷钠的金属试剂直接金属化， 然后将得到的产物与选自 以下的反应剂反应 ： 碱土金属碘化物、 碱土金属醋酸盐、 碱土金属羧酸盐、 碱土金属碳酸盐、 碱土金属甲酸盐、 碱土金属溴化物、 碱土金属三氟乙酸盐、 碱土金属六氟乙酰丙酮化物、 碱 土金属三氟乙酰丙酮酸盐、 碱土金属乙酰丙酮酸盐、 碱土金属二亚胺、 碱土金属酮亚胺、 脒 基碱土金属、 胍基碱土金属及其混合物。

    [1168] 一种直接合成本发明的咪唑基化合物结构的方法是通过使用选自碱土金属氨基 化物、 碱土金属苯氧化物、 碱土金属氢氧化物、 烷基碱土金属、 芳基碱土金属及其混合物的 试剂反应多烷基化的咪唑。

    [1169] 在可选的实施方式中， 本发明为在氨的存在下通过将咪唑与碱土金属反应而合成 本发明的咪唑基化合物结构的方法。

    [1170] 另一个替代方案为在胺和氨的存在下通过将咪唑与碱土金属反应而合成本发明 的咪唑基化合物结构的方法。

    [1171] 本发明还提供通过使用本发明的金属咪唑化合物的混合物生长选自 STO 和 BST 的 介电膜的方法， 以形成选自动态随机存取存储器 (DRAM) 存储单元和高温测量装置的微电 子器件。

    [1172] 可选地， 本发明提供通过使用本发明的咪唑基化合物结构生产选自非挥发性铁电 微电子存储装置、 用于电致发光显示器的显示器磷光体 (phosphors)、 高 Tc 超导器件的微 电子器件的方法。

    [1173] 在再另一实施方式中， 本发明提供通过 ALD 或 DVD 生长金属氧化物或氮化物膜的 方法， 包括 ： 提供溶解在选自醚、 氨基醚、 酰胺、 酯、 芳香或烃溶剂的溶剂中的本发明的咪唑 钡或咪唑锶结构和钛源， 并通过 DLI 系统输送所得到的溶液来提供得到的溶液的蒸气流， 以通过 ALD 或 DVD 生长金属氧化物或氮化物膜。

    [1174] 实施例

    [1175] 实施例 1

    [1176] 2， 5- 二叔丁基咪唑的合成

    [1177] 将 5.44 克 (0.04 摩 尔 ) 的 2， 2- 二 甲 基 丙 胺 酰 亚 胺 盐 酸 盐 (2， 2-dimethylpropanimideamide hydrochloride) 与 7.2 克 (0.04 摩尔 ) 的 1- 溴频哪酮和11.2 克的三乙胺在 16.0 克的二乙基甲酰胺 (DEF) 中相混合， 并在室温下搅拌 7 天。然后 将反应混合物倒入水中， 并用 50 毫升单位的己烷萃取三次。合并己烷份， 并用 50 毫升等分 部分的水洗涤三次。然后使用 5 克的无水硫酸镁搅拌己烷层过夜。然后通过真空除去己烷 至 5 毫升的体积， 以产生微细悬浮液。过滤该悬浮液， 并用新鲜的己烷洗涤得到的固体， 产 生 4.22 克 (59％， 理论值 ) 的无色细晶产物， 经气相色谱分析为 99％纯。通过质谱分析为 180mu 的母离子。结构通过 X 射线晶体学确定 ( 参见图 1)。

    [1178] GCMS. 1

    [1179] H NMR ： (500MHz， D8THF) ： δ ＝ 1.23(s， 9H)， δ ＝ 1.3(s， 9H)， δ ＝ 6.48(s， 1H)， δ ＝ 10(bs， 1H)。 1

    [1180] H NMR ： (500MHz， D8THF) ： δ ＝ 30.3(s， 3C)， δ ＝ 30.8(s， 3C)， δ ＝ 32.1(s， 1C)， δ ＝ 33.6(s， 1C)， δ ＝ 111(bs， 1C)， δ ＝ 148(bs， 1C)， δ ＝ 155(s， 1C)。

    [1181] X 射线

    [1182] 实施例 2

    [1183] 2， 2， 5， 5- 四甲基 -3- 己酮的合成

    [1184] 向 800 毫升 THF 中的镁粒 (19.5 克， 0.8 摩尔 ) 缓慢加入 2- 氯 -2- 甲基丙烷 (75 克， 0.8 摩尔 )， 以制备格氏试剂 tBuMgCl。将其缓慢加入氯化亚铜 (49.5 克， 0.50 摩尔 ) 和 叔丁基乙酰氯 (67.25 克， 0.50 摩尔 ) 的混合物中， 在干冰中冷却至 -50℃。加入后， 使混合 物升温到室温过夜。在降低的压力下除去大部分 THF， 接着加入 500 毫升己烷和 200 毫升 2M 的盐酸。过滤该混合物以除去固体副产物。用 3x100 毫升的己烷洗涤水层， 用 3x200 毫 升 2M 的盐酸、 2x200 毫升 NaHCO3/ 水、 1x200 毫升水和最后用 1x200 毫升 NaCl/ 水洗涤己烷 层。然后用 MgSO4 干燥产物混合物 1 小时， 随后通过过滤除去 MgSO4。然后通过常压蒸馏除 去己烷。

    [1185] 产率＝ 61 克 (78％， 理论值 )。

    [1186] 通过质谱法确定产物的母离子为 227mu， NMR 与以下文献吻合 ： D.P Bauer， J.Org. Chem.， Vol.40， No.13， 1975， 1990-1992。

    [1187] 实施例 3

    [1188] 4- 溴 -2， 2， 5， 5- 四甲基 -3- 己酮的合成

    [1189] 向 50 毫升三甲基乙腈中的 10 克 2， 2， 5， 5- 四甲基 -3- 己酮 (0.064 摩尔 ) 加入 24 克 N- 溴代琥珀酰亚胺 (0.1344 摩尔 )。在 5 分钟内向该混合物加入 10 克醋酸铵 (0.1344 摩尔 )。回流该混合物过夜并过滤。向滤液加入 24 克 N- 溴代琥珀酰亚胺 (0.1344 摩尔 ) 和 10 克醋酸铵 (0.1344 摩尔 )， 然后回流 5 小时。然后冷却反应混合物， 加入 600 毫升水， 然后过滤产生的混合物。用 50 毫升己烷洗涤水层三次。然后合并己烷份， 用 50 毫升水洗 涤三次， 然后用无水硫酸镁干燥。通过常压蒸馏除去己烷而收集产物。

    [1190] 产率 11.6 克 (77％， 理论值 )

    [1191] 通 过 质 谱 法 确 定 产 物 的 母 离 子 为 236mu， NMR 与 以 下 文 献 吻 合 ： D.P_Bauer， J.Org.Chem.， Vol.40， No.13， 1975， 1990-1992 ； Procedure Reference ： K.Tanemura， Chem Commun.2004， 470-471。

    [1192] 实施例 4

    [1193] 4- 羟基 -2， 2， 5， 5- 四甲基 -3- 己酮的合成向 10 克干燥二乙基甲酰胺中的 11.6 克 (0.05 摩尔 )4- 溴 -2， 2， 5， 5- 四甲基 -3- 己 酮加入 5 克 (0.125 摩尔 ) 氢氧化钠粉末。加热该反应混合物至 110℃长达 2 小时， 冷却至 室温， 并加入 600 毫升水和 200 毫升己烷。收集己烷层， 并用 50 毫升另外的己烷洗涤水层 三次。然后合并己烷份， 用 50 毫升水洗涤三次， 然后用 MgSO4 干燥。通过常压蒸馏除去己 烷后收集产物， 为结晶固体。

    [1195] 产率＝ 5.2 克， (60％， 理论值 )。

    [1196] 通过质谱法确定产物的母离子为 172mu。

    [1197] 实施例 5

    [1198] 2， 2， 5， 5- 四甲基 -3， 4- 己二酮的合成

    [1199] 将 7.8 克 (0.045 摩尔 )2， 2， 5， 5- 四甲基 -4- 羟基 -3- 己酮溶解在 90 毫升己烷中， 并与含 1.8 克 (0.045 摩尔 ) 氢氧化钠的 157 毫升 1M 高锰酸钾水溶液进行剧烈搅拌。然后 回流该混合物过夜。然后将该混合物冷却至室温， 并分离己烷层。然后用 50 毫升己烷萃取 水层三次。然后合并己烷溶液， 并用 50 毫升纯水洗涤三次， 随后用无水硫酸镁干燥。然后 过滤混合物， 并在常压下蒸馏除去己烷， 得到 6.3 克 2， 2， 5， 5- 四甲基 -3， 4- 己二酮 (82％， 理论值 )。

    [1200] 产 物 通 过 GCMS 确 定 为 170mu 的 母 离 子， 与以下文献结果吻合 ： G.A.Olah and A.Wu， J.Org.Chem.， 56， 904-906(1991)。

    [1201] 实施例 6

    [1202] 2， 4， 5- 三叔丁基咪唑的合成

    [1203] 将 1.6 克 (0.0094 摩尔 )2， 2， 5， 5- 四甲基 -3， 4- 己二酮与 2.9 克 (0.037 摩尔 ) 醋酸铵、 3.4 克 (0.057 摩尔 ) 醋酸和 1.6 克 (0.019 摩尔 ) 新戊醛 (pivaldehyde) 混合， 并 在密闭容器中加热至 130℃长达 72 小时。 然后将该混合物冷却并缓慢加入到过量的饱和碳 酸氢钠水溶液中。用 3X50 毫升己烷萃取产生的混合物。合并己烷份， 用 20 毫升等分部分 的纯水洗涤三次， 然后用无水硫酸钠干燥。蒸发己烷后得到作为其水合物的粗制 2， 4， 5- 三 叔丁基咪唑 (2 个咪唑分子 / 水分子 )。然后通过在 50 毫升六甲基二硅氮烷中回流 48 小时 干燥该产物。然后蒸发六甲基二硅氮烷和六甲基二硅氧烷 ( 从干燥过程中形成的 )， 并在 60℃下升华得到的固体， 以产生无色晶体， 产率为 1.3 克 (58％， 理论值 )。 1

    [1204] H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 1.24(s， 9H)， δ ＝ 1.26(s， 9H)， δ ＝ 1.65(s， 9H)， δ ＝ 8.07(bs， 1H)。 13

    [1205] C NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 30.0(s， 3C)， δ ＝ 31.70(s， 1C)， δ ＝ 32.26(s， 3C)， δ ＝ 32.87(s， 1C)， δ ＝ 33.18(s， 3C)， δ ＝ 34.07(s， 1C)， δ ＝ 130.16(s， 1C)， δ＝ 143.84(s， 1C)， δ ＝ 149.21(s， 1C)。

    [1206] 质谱 ： 236mu( 母离子 )。

    [1207] 还通过 X 射线晶体学确定了 2， 4， 5- 三叔丁基咪唑的结构， 参见图 2。

    [1208] 除了本文公开的用于制备具有位阻的咪唑的合成路线， 还能想到多种其他路线。 这包括通过破坏特定的环键来在概念上解构五元咪唑环， 以产生具有所需的大体积基团的 片段。然后开展这些片段的合成， 接着将它们偶联在一起以形成最终的咪唑产物。

    [1209] 实施例 7

    [1210] ( 四氢呋喃 ) 双 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 钡的合成在氮气氛中， 搅拌下将 0.292 克 (0.00124 摩尔 ) 干 2， 4， 5- 三叔丁基咪唑溶于 5 毫升干四氢呋喃。向其中加入溶于 5 毫升四氢呋喃的 0.37 克 (0.00062 摩尔 ) 的双 ( 四氢 呋喃 ) 双 ( 六甲基二硅氮烷 ) 钡。该混合物在室温下搅拌 3 小时。然后施加真空蒸发四氢 呋喃和副产物六甲基二硅氮烷， 得到的白色固体溶于 1 毫升干己烷。然后通过煮沸浓缩得 到的溶液至 0.5 毫升， 且使其在室温下静置。产生 0.3 克 (83％， 理论值 ) 无色棱晶的 ( 四 氢呋喃 ) 双 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 钡。结构通过单晶 X 射线衍射确定， 参见图 3。 1

    [1212] H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 1.29(m， 4H)， δ ＝ 1.49(s， 18H)， δ ＝ 1.59(m， 36H)， δ ＝ 3.82(m， 4H)。 13

    [1213] C NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 25.72(s， 2C)， δ ＝ 30.1(s， 1C)， δ ＝ 31.5(s， 3C)， δ ＝ 33.7(s， 6C)， δ ＝ 34.26(s， 2C)， δ ＝ 69.95(s， 2C)， δ ＝ 147.75(s， 1C)， δ＝ 159.77(s， 1C)。

    [1214] 实施例 8

    [1215] 四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 二钡的合成

    [1216] 在氮气氛中， 将 1.18 克 (0.005 摩尔 )2， 4， 5- 三叔丁基咪唑溶于 10 毫升干己烷和 0.4 克 (0.0025 摩尔 ) 双 [2-(N， N- 二甲基氨基 ) 乙基 ] 醚。向该混合物中逐滴加入溶于 10 毫升干己烷的 1.5 克 (0.0025 摩尔 ) 的双 ( 四氢呋喃 ) 双 ( 六甲基二硅氮烷 ) 钡的溶液， 将该混合物搅拌过夜。然后在真空下除去溶剂， 得到的固体在 160℃下升华两次， 产生 0.6 克 (47％， 理论值 ) 的雪白色固体， 熔点 (MPt)150℃， 通过 X 射线晶体学确定， 参见图 4。

    [1217] 通过 TGA 确定四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 二钡的蒸发特性， 仅产生 3.5 重量％残 留物， 如图 5 所示。 1

    [1218] H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 1.46(6， 36H)， δ ＝ 1.50(s， 18H)。

    [1219] 实施例 9

    [1220] 四 (2， 4， 5- 三叔丁基咪唑 ) 二锶的合成

    [1221] 在氮气氛中， 将 1.18 克 (0.005 摩尔 )2， 4， 5- 三叔丁基咪唑溶于 10 毫升干四氢呋 喃。然后将 1.38 克 (0.0025 摩尔 ) 的双 ( 四氢呋喃 ) 双 ( 六甲基二硅氮烷 ) 锶溶于 10 毫 升干四氢呋喃， 搅拌下将该溶液逐滴加入 2， 4， 5- 三叔丁基咪唑溶液， 并将产生的混合物搅 拌过夜。然后在真空下除去溶剂， 得到的固体在 150℃下升华两次， 产生 0.5 克 (36％， 理论 值 ) 的雪白色固体， MPt 为 149℃， 通过 X 射线晶体学确定， 参见图 6。

    [1222] 实施例 10

    [1223] 3， 3， 6， 6- 四甲基 -4， 5- 辛二酮的合成

    [1224] 在氮气保护下， 通过加入 0.5 毫升 1， 2- 二溴乙烷活化 780 毫升四氢呋喃中的 18.72 克 (0.78 摩尔 ) 镁屑。然后缓慢加入 2- 氯 -2- 甲基丁烷 (96 毫升， 0.78 摩尔 )， 逐 渐形成格式试剂， 伴随着反应放热。然后将该格式试剂缓慢加入溶于 340 毫升四氢呋喃的 112 克 (0.78 摩尔 ) 溴化铜和 67 克 (0.78 摩尔 ) 溴化锂的混合物中， 冷却至 -65℃。加入 所有的格式试剂后， 将温度稳定在 -65℃下， 缓慢加入 100 毫升四氢呋喃中的 26 毫升 (0.30 摩尔 ) 草酰氯， 维持混合物温度在 -65℃。在 -65℃下将得到的混合物搅拌 1 个小时， 然后 升温至室温过夜。然后真空除去 90％的四氢呋喃 THF。向产生的浆液中加入 500 毫升己烷 和 300 毫升饱和氯化铵水溶液， 并分离己烷层。 进一步用三份 200 毫升的己烷萃取水层。 然 后用 200 毫升水洗涤合并的己烷层， 并用 10 克无水硫酸镁干燥 1 小时。然后过滤除去硫酸镁， 在大气压力下蒸馏除去己烷， 得到橘红色液体的粗制产物二酮。产率＝ 32.2 克 (54％， 理论值 )。

    [1225] 质谱 ： 198mu( 母离子 )。

    [1226] 实施例 11

    [1227] 2- 叔丁基 -4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑的合成

    [1228] 在密封不锈钢容器中加热 32.3 克 (0.163 摩尔 )3， 6， 6- 四甲基 -4， 5- 辛二酮、 50 克 (0.652 摩尔 ) 醋酸铵、 36 毫升 (0.326 摩尔 ) 新戊醛和 56 毫升 (0.978 摩尔 ) 醋酸的混 合物至 200℃ 3 天。 用碳酸氢钠溶液中和得到的产物混合物， 并用四份 200 毫升己烷萃取混 合物。用 3X100 毫升水洗涤合并的己烷层， 然后用 100 毫升饱和氯化钠溶液洗涤。加入 10 克无水硫酸镁， 并搅拌过夜。过滤后真空除去己烷， 得到黄色油状粗制产物。产率为 31.5 克 (73％， 理论值 )。

    [1229] 质谱 ： 264mu( 母离子 )。

    [1230] 实施例 12

    [1231] 四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶的合成

    [1232] 在氮气保护下， 在室温下， 在五分钟的过程中向溶于 20 毫升干四氢呋喃的 1.08 克 (0.004 摩尔 )2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑中逐滴加入溶于 20 毫升干四氢 呋喃的 1.13 克 (0.002 摩尔 ) 双 ( 四氢呋喃 ) 双 ( 六甲基二甲硅烷基氨基 ) 锶， 并将得到 的混合物搅拌 2 个小时。真空除去 THF 和副产物六甲基二硅氮烷。然后在 200℃下， 真空 蒸馏得到的粗制产物， 得到 0.5 克无色玻璃状固体。在己烷中重结晶得到无色棱晶， MPt 为 103℃。

    [1233] 产率＝ 40％， 理论值。 1

    [1234] H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 0.82(t， 12H)， δ ＝ 1.41(s， 24H)， δ ＝ 1.54(s， 18H)， δ ＝ 1.74(q， 8H)。结构通过单晶 X 射线分析确定， 参见图 8。

    [1235] 实施例 13

    [1236] 四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡的合成

    [1237] 在干燥氮气氛下， 向溶于 30 毫升干四氢呋喃的 5.28 克 (0.02 摩尔 )2- 叔丁基 -4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑逐滴加入溶于 15 毫升干四氢呋喃的 6.0 克 (0.01 摩尔 ) 双 ( 四氢呋喃 ) 双 ( 六甲基二硅氮烷 ) 钡的溶液。并将得到的混合物搅拌过夜， 随后真空除去 溶剂和六甲基二硅氮烷。然后在 195℃下， 真空蒸馏得到的蜡状固体， 得到透明无色液体蒸 馏物四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡， 其静置过夜后固化。产率为 4.8 克 (78％ )。结构由 X 射线证实， 参见图 10。MPt 为 65.3℃。 1

    [1238] H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 0.85(t， 12H)， δ ＝ 1.39(s， 24H)， δ ＝ 1.53(s， 18H)， δ ＝ 1.76-1.81(q， 8H)。

    [1239] 实施例 14

    [1240] 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑

    [1241] 将 15 克 (0.09 摩尔 )2， 2， 5， 5- 四甲基 -3， 4- 己二酮与 42 克 (0.55 摩尔 ) 醋酸铵、 32 克 (0.53 摩尔 ) 醋酸和 20.52 克 (0.18 摩尔 )2， 2- 二甲基戊醛混合， 并在密闭容器中加 热至 200℃持续 48 小时。然后将该混合物冷却至 90℃， 减压下蒸馏除去约 90％的醋酸。然 后用约 100 毫升己烷稀释残留粗制产物， 并在强力搅拌下使用饱和碳酸氢钠水溶液中和至pH 7。用 3X200 毫升己烷萃取得到的混合物。合并己烷份， 用 50 毫升等分部分的纯水洗涤 三次， 然后用无水硫酸镁干燥。过夜搅拌后， 除去溶液中的硫酸镁， 然后在分子筛中静置过 夜。然后除去分子筛， 在大气压力下蒸馏除去己烷， 然后在 150℃、 100 毫托的压力下蒸馏得 到的产物。产率＝ 13.5 克 (57％， 理论值 )2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑。 1

    [1242] H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 0.79(t， 3H)， δ ＝ 1.19-1.23(m， 2H)， δ ＝ 1.24(s， 9H)， δ ＝ 1.26(s， 9H)， δ ＝ 1.53-1.57(m， 2H)， δ ＝ 1.65(s， 6H)。

    [1243] 实施例 15

    [1244] 四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二锶

    [1245] 在干燥氮气氛下， 向溶于 30 毫升干四氢呋喃的 5.06 克 (0.019 摩尔 )2- 叔丁基 -4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丁基 ) 咪唑逐滴加入溶于溶于 15 毫升干四氢呋喃的 5.54 克 (0.01 摩尔 ) 双 ( 四氢呋喃 ) 双 ( 六甲基二硅氮烷 ) 锶的溶液。在室温下将得到的混合物搅拌 12 天， 随后真空除去溶剂和六甲基二硅氮烷。在 100 毫托下真空蒸馏得到的粗制产物， 在 150-205℃收集为澄清液体的四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二锶的主要 馏分， 其在室温下固化为玻璃状， 缓慢结晶过夜。产率为 3.5 克 (60％， 理论值 )。使用从己 烷溶液生长的晶体， 通过单晶 X 射线衍射证实结构， 参见图 13。 TGA/DSC 显示熔点为 99.8℃， 不挥发残留物为 8.17 重量％。 1

    [1246] H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 0.91(t， 6H)， δ ＝ 1.27-1.32(m， 4H)， δ ＝ 1.45(s， 36H)， δ ＝ 1.54(s， 12H)， 1.75-1.80(m， 4H)。

    [1247] 实施例 16

    [1248] 四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二钡

    [1249] 在干燥氮气氛下， 向溶于 30 毫升干四氢呋喃的 5.28 克 (0.019 摩尔 )2-(1， 1- 二 甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑逐滴加入溶于 15 毫升干四氢呋喃的 6.03 克 (0.01 摩尔 ) 双 ( 四氢呋喃 ) 双 ( 六甲基二硅氮烷 ) 钡的溶液。在室温下将得到的混合物搅拌 7 天， 随 后真空除去溶剂和六甲基二硅氮烷。在 50 毫托下真空蒸馏得到的粗制产物， 收集作为澄清 液体的四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二叔丁基咪唑 ) 二锶的主要馏分， 其冷却至室温后 结晶。产率为 4.8 克 (72％， 理论值 )。使用从己烷溶液生长的晶体， 通过单晶 X 射线衍射 证实结构， 参见图 15。TGA/DSC 表明熔点为 128℃， 不挥发残留物仅为 2.99 重量％。 1

    [1250] H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 0.92(t， 6H)， δ ＝ 1.28-1.4(m， 4H)， δ ＝ 1.46(s， 36H)， δ ＝ 1.5(s， 12H)， δ ＝ 1.73-1.82(m， 4H)。

    [1251] 实施例 17

    [1252] 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑的合成

    [1253] 将 20 克 (0.1 摩尔 )3， 3， 6， 6- 四甲基 -4， 5- 辛二酮与 46 克 (0.6 摩尔 ) 醋酸铵、 30 克 (0.6 摩尔 ) 醋酸和 11.4 克 (0.1 摩尔 )2， 2- 二甲基戊醛混合， 并在密闭容器中加热至 200℃持续 48 小时。然后冷却混合物至 90℃， 减压蒸馏除去约 90％的醋酸。用约 100 毫升 己烷稀释残留的粗制产物， 并在强力搅拌下用饱和碳酸氢钠水溶液中和至 pH 7。用 3X200 毫升己烷萃取得到的混合物。合并己烷份， 用 50 毫升等分部分的纯水洗涤三次， 然后用无 水硫酸镁干燥。过夜搅拌后， 除去溶液中的硫酸镁， 加入干燥分子筛。过夜静置后， 除去分 子筛， 大气压力下蒸馏除去己烷， 然后在 150℃、 100 毫托压力下蒸馏得到的产物。 产率＝ 15 克 (51％， 理论值 )2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑。54102344413 A CN 102344433

    [1254] 1说明书49/50 页H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 0.69(t， 3H)， δ ＝ 0.82(t， 3H)， δ ＝ 1.0(t， 3H)， δ ＝ 1.15-1.2(m， 2H).δ ＝ 1.19(s， 6H)， δ ＝ 1.25(s， 6H)， δ ＝ 1.52-1.60(m， 4H)， δ＝ 1.59(s， 6H)， δ ＝ 1.96-2.0(q， 2H)， δ ＝ 8.0(bs， 1H)。

    [1255] 实施例 18

    [1256] 四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶的合成

    [1257] 在干燥氮气氛中， 向溶于 50 毫升干四氢呋喃的 7.88 克 (0.0269 摩尔 )2-(1， 1- 二 甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑中逐滴加入溶于 50 毫升干四氢呋喃的 7.46 克 (0.0135 摩尔 ) 双 ( 四氢呋喃 ) 双 ( 六甲基二硅氮烷 ) 锶的溶液。在室温下将得到的混 合物搅拌 2 天， 然后真空除去溶剂和六甲基二硅氮烷。在 50 毫托下真空蒸馏得到的粗制产 物， 收集四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶的主要馏分。 1

    [1258] H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 0.77(t， 12H)， δ ＝ 0.87(t， 6H)， δ ＝ 1.1-1.23(m， 4H)， δ ＝ 1.38(s， 24H)， δ ＝ 1.51(s， 12H)， δ ＝ 1.62-1.75(m， 12H)。

    [1259] 实施例 19

    [1260] 四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡的合成

    [1261] 在干燥氮气氛中， 向溶于 50 毫升干四氢呋喃的 8.11 克 (0.0277 摩尔 )2-(1， 1- 二 甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 (19％过量 ) 中逐滴加入溶于 50 毫升干四 氢呋喃的 7.0 克 (0.0116 摩尔 ) 双 ( 四氢呋喃 ) 双 ( 六甲基二硅氮烷 ) 钡的溶液。在室温 下将得到的混合物搅拌 2 天， 随后真空除去溶剂和六甲基二硅氮烷。在 200℃ /50 毫托下 从粗反应产物中真空蒸馏出产物和过量的 2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基 丙基 ) 咪唑。然后在 120℃下真空蒸馏除去过量的咪唑配体， 得到作为粘稠琥珀色液体的 四 (2-(1， 1- 二甲基丁基 )-4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二钡。Mpt 为 36℃， 产率为 5.6 克 (62％ )。用己烷重结晶得到无色晶体， MPt 为 56.4℃， TGA 残留物为 6.77 重量％。 1 H NMR ： (500MHz， C6D6) ： δ ＝ 0.84(t， 12H)， δ ＝ 0.93(t， 6H)， δ ＝ 1.22-1.35(m， 4H)， δ ＝ 1.39(s， 24H)， δ ＝ 1.53(s， 12H)， δ ＝ 1.7-1.8(m， 12H)。

    [1262] 实施例 20

    [1263] 双 (2， 4， 5- 三苯基咪唑 ) 钡的合成

    [1264] 在干燥氮气氛中， 0.6 克 (0.002 摩尔 )2， 4， 5- 三苯基咪唑溶于 10 毫升干四氢呋 喃中。然后制备溶于 10 毫升干四氢呋喃的 0.6 克 (0.001 摩尔 ) 双 ( 四氢呋喃 ) 双 ( 六甲 基二硅氮烷 ) 钡的溶液， 将其加入 2， 4， 5- 三苯基咪唑溶液中， 并将得到的混合物搅拌过夜。 然后真空除去溶剂和六甲基二硅氮烷， 得到粘稠焦油， 其最终固化。在施用真空并加热＞ 200℃的条件下， 不会释放任何挥发性产物。

    [1265] 实施例 21

    [1266] 使用四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 (1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶的氧化锶的 ALD

    [1267] 在氮气氛下， 将 50 克四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 -(1， 1- 二甲基丙基 ) 咪唑 ) 二锶加 样到干燥不锈钢容器中。然后加热该容器至 170℃， 氩气运载气体以 100sccm 的速率间歇 地通过该容器， 以获得前体的 ALD“脉冲” ， 其在 6-16 秒间变化。这些前体脉冲被导入含加 热至 300-400℃的硅基底的 ALD 小室。每个前体脉冲后为氩气吹扫脉冲， 然后是臭氧脉冲。 图 18 显示在 350℃基底温度下使用 8 秒和 10 秒前体脉冲得到的 SrO 沉积的结果， 其表明膜 生长与前体脉冲总数之间的线性 ALD 关系， 得到 SrO 的生长速率为 2.3A/ 循环。在 375℃基底温度下使用相同的沉积方法所产生的 SrO 膜示于图 20 中， 其上部为澄清晶体， 其下部为 非结晶的。请注意， 氧化钛保护层在 SrO 上沉积。在晶体区域中， 可看到每 66 埃存在 24 层 SrO， 从而产生 2.75 埃的间距， 这与 (001)SrO 吻合。示于图 21 中的 XPS 表明膜为基本纯的 氧化锶。膜中低水平的碳一定程度上是由于沉积后与大气中二氧化碳反应产生了碳酸锶。

    [1268] 实施例 22

    [1269] 四 (2- 叔丁基 -4， 5- 二 - 叔戊基咪唑 ) 二锶的 ALD 热稳定性的证明

    [1270] 如实施例 15 所示， 100 个循环的 5 秒前体 /10 秒使用氩气的氩气吹扫， 但不使用臭 氧， 用来氧化吸附的前体。在 250-400℃下处理基底。如图 22 所示， 直到＞ 350℃才出现明 显的热沉积， 表明卓越的 ALD 稳定性。