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1、(10)申请公布号 CN 103140336 A (43)申请公布日 2013.06.05 CN 103140336 A *CN103140336A* (21)申请号 201180034643.2 (22)申请日 2011.07.08 1020100313645 2010.07.15 DE B28D 5/00(2006.01) B28D 5/04(2006.01) (71)申请人 吉布尔施密德有限责任公司 地址 德国弗罗伊登施塔特 (72)发明人 迈克尔艾瑟希 马克舒斯特 (74)专利代理机构 北京聿宏知识产权代理有限 公司 11372 代理人 吴大建 刘华联 (54) 发明名称 硅块载体、 。
2、具有该载体的载体装置和制造载 体装置的方法 (57) 摘要 一种硅块 （31） 载体 （13） ， 设计作为载体装置 （11） 的一部分， 与载体下部 （25） 一起固定连接到 硅块 （31） ， 并且与其一起移动， 来通过锯削、 清洁 或诸如此类来机械加工。载体 （13） 指向硅块 （31） 的底面具有多个通道 （29） ， 正如连接到此处的载 体下部 （25） ， 在不同的情况中， 通道 （29） 一个置 于另一个之上。水从上面引入到载体 （13） 中的 通道 （29） 中并且能够延伸通过位于锯削的硅块 （31） 的晶片之间的载体下部 （25） 中的锯削槽， 用 于清洁目的。 (30)优先。
3、权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2013.01.14 (86)PCT申请的申请数据 PCT/EP2011/061606 2011.07.08 (87)PCT申请的公布数据 WO2012/007381 DE 2012.01.19 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 6 页 附图 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 (10)申请公布号 CN 103140336 A CN 103140336 A *CN103140336A* 1/1 页 2 1. 一种硅块载体， 所述载体设计作为载体装置的一部分固定地连接。
4、到硅块上并与所述 硅块一起移动， 用来通过锯削、 清洁等来机加工， 所述载体在其指向硅块的底面具有多个凹 部、 通道或刻痕。 2. 根据权利要求 1 所述的载体， 其特征在于， 多个形式为槽的平行的通道布置在所述 底面， 优选地在所述载体的纵向方向上， 尤其是彼此间相隔规律的距离。 3.根据权利要求1或2所述的载体， 其特征在于， 除了所述凹部、 通道或刻痕以外， 所述 底面是平坦的， 尤其是所述载体具有大致上均匀的厚度。 4. 根据上述权利要求中任一项所述的载体， 其特征在于， 在其顶面设有紧固工具， 以用 来紧固到例如锯或清洁设备的移动设备上， 尤其是所述紧固工具设计为带有螺纹孔的指向 上。
5、方的紧固凸起。 5. 根据上述权利要求中任一项所述的载体， 其特征在于， 所述载体由金属、 尤其是钢或 高级钢制成。 6. 根据上述权利要求中任一项所述的载体， 其特征在于， 所述载体基本上包括矩形载 体板， 所述载体板尤其是一个部分和单件式的， 并且在所述载体板的顶面优选地布置有或 设置有根据权利要求 4 所述的紧固工具。 7. 根据上述权利要求中任一项所述的载体， 其特征在于， 所述凹部、 通道或刻痕或槽向 下闭合为液体能够渗透的， 尤其是仅在底面之上为液体能够渗透的， 所述凹部、 通道或刻痕 或槽优选地通过穿孔栅格或穿孔板闭合。 8. 根据上述权利要求中任一项所述的载体， 其特征在于， 。
6、所述底面中的所述凹部、 通道 或刻痕或槽能够从上方进入， 尤其通过流入通道， 优选地， 流入通道将多个凹部、 通道或刻 痕或槽彼此连接， 并且朝向顶面或在顶面上的凸起中为能够进入的。 9. 具有载体、 尤其是根据上述权利要求中任一项所述的载体的载体装置， 所述载体是 金属的， 并且载体下部被紧固、 尤其是固粘到所述载体的底面， 以便将硅块连接于载体下部 上， 所述载体下部由非金属材料制成， 其中所述载体下部在其连接到所述载体的顶面上具 有凹部、 通道或刻痕或槽。 10. 根据权利要求 9 所述的载体装置， 其特征在于， 所述载体下部由玻璃或陶瓷制成。 11. 根据权利要求 9 或 10 所述的。
7、载体装置， 其特征在于， 所述凹部、 通道或刻痕或槽具 有数毫米的深度， 尤其为 3mm 到 12mm， 并且具有数个毫米的宽度， 尤其为 3mm 到 15mm。 12.根据权利要求9到11中任一项所述的载体装置， 其特征在于， 所述槽或凹部布置在 所述载体的底面和所述载体下部的顶面， 并且精确地一个在另一个之上地延伸， 尤其是各 自具有精确相同的宽度。 13.根据权利要求9到12中任一项所述的载体装置， 其特征在于， 所述载体与所述载体 下部相一致或具有相等的尺寸， 所述载体与载体下部优选地具有相似的厚度。 14.制造根据权利要求9到13中任一项所述的载体装置的方法， 其特征在于， 将根据权。
8、 利要求 1 到 8 中任一项所述的载体胶粘到所述载体下部。 15. 根据权利要求 14 所述的方法， 其特征在于， 在锯削过的硅块分离后清洁所使用的 载体装置， 并且尤其是通过化学或热学的方式释放所述载体和载体下部之间的粘接， 随后 对所述载体的尤其是在其底面处的粘合剂残屑或类似物进行清洁， 之后将所述载体胶粘到 新的载体下部。 权 利 要 求 书 CN 103140336 A 2 1/6 页 3 硅块载体、 具有该载体的载体装置和制造载体装置的方法 技术领域 0001 本发明涉及一种硅块载体、 一种载体装置和制造该载体装置的方法。 背景技术 0002 从专利文献DE102009023121。
9、A1和DE102009023122A1中已知了由塑料或由陶瓷制 造的硅块载体。该载体用于在多个操作步骤中更好地处理硅块， 尤其是在硅块被胶粘到载 体底面上的锯削期间。在这种载体中集成有连续的内部纵向通道。当锯削硅块时， 这些纵 向通道从下方被锯开。因此可以将水或其它的清洁流体引入到纵向通道中， 使其之后从上 方进入到单个锯开的晶片之间的间隙中， 并且在那里将锯屑冲出。 0003 如此完成的清洁作业很有优势。然而， 将整体式的纵向通道引入到由所述材料制 造的载体中构成了相当大的花费。 发明内容 0004 本发明所基于的目的是提供在上文中提及的载体、 相应的载体装置和用于制造这 种载体装置的方法，。
10、 由此能解决现有技术中的问题， 并且尤其是可以提供用来制造和使用 这种载体的有利的、 具成本效益的和过程可靠的方法。 0005 该目的通过具有权利要求 1 的特征的载体、 具有权利要求 9 的特征的载体装置以 及具有权利要求 14 的特征的用于制造这种载体装置的方法来达到。有利的和优选的本发 明的改进是从属权利要求的主题， 并且将在下面更详细地解释。 其中， 下面特征中的许多仅 针对载体或仅针对载体装置或仅针对方法来提及。 然而， 尽管如此， 它们不仅能够应用于载 体， 也能够应用于载体装置或者方法。权利要求书的用语通过表达引用而成为说明书的内 容。 0006 作如下设置， 载体设计为载体装置。
11、的一部分固定连接到硅块上， 硅块通常为很重 的且重达若干公斤。在该情况中， 载体并不必然直接地固定连接到硅块上， 或者作如下设 置， 载体并非直接地固定连接到硅块上。 为此， 有利地提供了如在下文中更详细地解释的载 体下部， 其紧固到载体的底部， 并且硅块又紧固到该载体下部上， 尤其是以本身已知的方式 牢固地胶粘。因此， 载体装置分成两个部分， 即， 在上述现有技术中为一体式的载体在本情 况中包括两个部分， 确切地说是载体和载体下部。作为载体装置的一部分的载体可以连接 到载体下部， 并且该单元又可连接到重的硅块。 后者可以与载体装置一起移动， 用来通过锯 削、 清洁等进行机加工。 0007 载。
12、体自身可以有利地设计为有利地通过例如螺旋连接件等的紧固工具紧固到移 动设备， 由此可以移动到锯床或清洁设备中。 载体在其指向硅块的底面上具有多个凹部、 通 道或刻痕。它们在下侧向下敞开。它们之后由载体下部闭合或覆盖， 并且可以由容易制造 的敞开通道变换为整体式的内部纵向通道 （其自身的制造要难得多） 。载体下部与硅块一起 设置成在锯削时被锯削到所述凹部那么远， 并且实际上直到单个晶片完全分离。 因此， 载体 和载体下部一起形成载体装置， 如在开篇中提及的现有技术中的单件形式。 说 明 书 CN 103140336 A 3 2/6 页 4 0008 有利地， 在载体的底面上布置了多个形式为槽的平。
13、行的敞开通道。 尤其有利地， 它 们在载体的纵向方向上延伸， 并且优选地彼此相隔规律的距离。从而， 例如它们可以为 4 到 10 个凹部或通道， 其有利地在载体的纵向方向上彼此间相隔相同距离地延伸。 0009 在本发明的一个有利的改进中， 除了所述的凹部、 通道或刻痕以外， 载体的底面是 均匀的或平坦的和平面的。在该情况中， 可作如下设置， 即载体具有大致上恒定的厚度， 并 且尤其是一种板。有利地， 如在已知的载体装置中那样， 其为狭长的和矩形的， 如硅块通常 的样子。 0010 在本发明的一个改进中， 在载体的顶面上可以设置紧固工具， 载体可通过该工具 紧固到上述移动设备或处理设备。 包括载。
14、体装置和硅块的复合结构之后可以靠紧固工具来 夹持并移动。在本发明的一个优选的改进中， 紧固工具设计为具有螺纹孔的紧固凸起。尤 其优选地， 在这种情况中， 它们可以指向上方， 以实现垂直于载体的拧入方向。 然而， 也可以 构思出许多其它不同的紧固工具， 它们对于本领域的技术人员来说是已知的。 0011 载体可以有利地包括金属。尤其有利地， 它由钢或高级钢制成。其尺寸可以在长 度和宽度上与惯用的载体装置一致， 并且尤其取决于其要连接的硅块。载体的厚度可以在 1cm 和 3cm 之间不等， 例如实际上为约 2cm。因此， 可以容易地保持重硅块并进行运输。所 述载体的长度可以位于 20cm 和 50c。
15、m 之间， 或者在特定条件下甚至稍多。大致地可以有利 地作如下设置， 载体或至少实质上形成载体的矩形载体板为一个部分并且为单件。上述紧 固工具而后可以紧固到载体板上， 或甚至制造成单件或形成为一体。 0012 所述凹部、 通道或刻痕可以基本上具有任意期望的横截面。 有利地， 它们是矩形的 或类圆的， 尤其是半圆形的。它们可以通过铣削来制造。 0013 在本发明的另一个改进中， 凹部、 通道或刻痕可以向下闭合， 但仍为液体可渗透 的。这可以恰在底面之上进行。闭合可以有利地通过一类穿孔栅格或穿孔板来进行。该液 体可渗透的闭合实质上作为一种扩散器或分布器。从而， 引导到凹部中的水可以从凹部向 下流动。
16、， 大致均匀地分布， 并且通过紧固到载体底部的载体下部中的锯削间隙进入到晶片 之间的间隙。 因而可以确定， 即使对于凹部或通道来说水仅在一个或两个点被引入， 也会产 生水大致均匀地进入到晶片之间的保留间隙中。 0014 从现有技术中可知， 为了将水引入到完成的载体装置的凹部中， 或为了使得凹部 可进入， 一种可能性是通过已经获得的纵向通道的起始孔口和端部孔口。另一个有利的可 能性是载体中的凹部以及整体的纵向通道为可从上方进入的。为此目的， 可以在载体中布 置流入通道。有利地， 这样的流入通道将多个凹部、 通道或刻痕彼此连接。因此， 这意味着 它们例如横向于凹部延伸的方向而形成， 并且也结合到底。
17、面中。它们可以经由通过顶面的 钻孔来进入。 在另一个改进中， 在顶面上， 可以设置具有这样的流入通道或用于连接水源等 的凸起。 0015 尤其是也通过上述流入通道来分布所引入的水到不同凹部中的所述作业基于如 下事实， 即在完成的载体装置中， 载体下部连接到载体。这里， 一种有利的可能性是将载体 胶粘到载体下部。 载体下部是仅用一次的磨损件， 这是因为当硅块被锯削时其也被锯削。 为 了将其从载体移除， 粘合连接可以本身常用的手段释放， 例如化学方式或热学方式。 而后可 以清洁掉载体底面上的粘合剂残渣， 并且而后再次胶粘到新的载体下部上。新的硅块可以 连接到该新的载体装置， 尤其是还牢固地粘于其上。
18、， 用于例如锯削或清洁的后续机械加工 说 明 书 CN 103140336 A 4 3/6 页 5 步骤。 0016 在根据本发明的载体装置中， 载体是金属的， 并且在其底面紧固有载体下部， 重硅 块可以转而例如通过牢固粘合永久地或固化地连接到该载体下部。 载体下部包括非金属材 料， 并且在其连接到载体的顶面具有凹部、 通道或刻痕或槽。 这些可以在形状或形成方面与 针对载体的有利构型所描述的凹部、 通道或刻痕或槽相一致。 在该情况中， 载体自身并不必 然在其底面上布置有这样的凹部。 非常明显的是， 在载体连接到载体下部之后， 得到板形式 的载体装置， 就像已知的和在开篇中提及的那些载体装置， 。
19、其具有一个或有利地具有多个 整合的纵向通道， 当紧固到载体装置的底部上的硅块被锯削时， 这些整合的纵向通道被锯 削。 通过将水引入到纵向通道中， 已经描述的已知的有利的清洁作业而后可以再次进行。 即 使在载体和载体下部的该相对简单的设计的情况中， 也能够从载体上移除锯削好的和所使 用的载体下部， 并且将新的载体下部紧固于其上。从而， 不仅可以再次使用载体， 并且尤其 是还可非常简单地在载体下部、 并且尤其地当其为可自由进入的表面时还在载体自身的底 面制造凹部、 通道或刻痕。在载体由金属制成的情况中， 它们可以被铣削。在载体下部由非 金属材料、 有利地由玻璃或陶瓷制成的情况中， 它们可以在生产中。
20、通过挤压而制成为相应 的外形。由于载体和载体下部的连接， 位于敞开侧的凹部成为整合的通道或纵向通道。因 此， 这里载体下部中的凹部、 通道或刻痕是重要的， 或者是必不可少的。尽管它们有利地布 置在载体中或在其底面， 但这并非必然的。 0017 大致地， 所述凹部、 通道或刻痕可以具有数毫米的深度， 例如 3mm 至 12mm。它们的 宽度可以同样地可为数个毫米， 有利地为 3mm 到 15mm。 0018 尤其有利地， 这样的载体下部用在具有在开篇中提及过的载体的根据本发明的载 体装置中， 载体具有以匹配方式形成于其底面的凹部。这意味着它们精确地一个在另一个 之上延伸， 并且尤其还精确地具有相。
21、同的宽度。另外， 它们也可以精确地具有相同的形状。 0019 载体下部应占据与载体自身相同的面积， 即大约为相同的尺寸。 有利地， 它们还具 有相似的厚度， 例如开篇中提到的数个厘米。 0020 这些和进一步的特征不仅可以从权利要求中收集到， 还可以从说明书和附图中收 集到， 然而在本发明的一个实施方案中或在其它的领域中， 单个的特征可以在不同的情况 下分开地实施或若干个以子组合的形式实施， 并且构成针对要求保护的范围的有利的和可 独立授权的版本。 本申请下所细分成的单个部分和中间标题并不限制在这些部分或标题之 下所做陈述的适用于整体的有效性。 附图说明 0021 在附图中图示地说明了本发明的。
22、示例性实施方案， 并且下面会将之更详细地解 释。在附图中 ： 0022 图 1 显示了载体装置的剖视图， 其包括载体和还未布置于载体底面上的载体下 部 ； 0023 图 2 显示了具有单个的排出孔的图 1 所示载体的底面的图示 ； 0024 图 3 显示了具有与根据图 2 的排出孔相适配的纵向通道的载体下部的俯视图 ； 0025 图4显示了类似图1的剖视图， 其中载体和载体下部连接到一起作为载体装置， 并 且在载体下部上设有硅块 ； 说 明 书 CN 103140336 A 5 4/6 页 6 0026 图5显示了类似图2的具有被穿孔栅格覆盖的连续纵向通道的载体的改进底面的 图示 ； 以及 0。
23、027 图 6 显示了类似图 1 的放大的截面， 展示出在排出通道之上的穿孔网格。 具体实施方式 0028 图 1 显示了载体装置 11， 如刚刚组装或制成的那样。载体装置 11 具有形式为狭 长矩形板的载体 13， 载体 13 被沿着其宽度切开， 例如在长度上对分。载体具有载体顶面 14 和载体底面15， 后者基本上是均匀的或是平面的。 稳定的载体13有利地由钢或工具钢或高 级钢制成， 并大致地具有 20cm 到 50cm 之间的长度， 在特定的条件下也可以更长。 0029 多个排出孔 17 布置在载体底面 15， 并且可以在图 2 中作为圆孔看到。因此， 它们 穿过载体底面 15， 使得载。
24、体底面 15 除去排出孔 17 以外是平坦的或为平面的。排出孔 17 通 过载体 13 中的输送线 18 彼此连接， 输送线 18 通过图 1 和 2 中的虚线示出。连接方式可以 如此处所示， 但是也可以与此不同， 尤其是朝着中间区域具有明显更多的排出孔 17， 用于尤 其是在那里提高清洁。对于制造来说， 输送线 18 可以例如从侧部钻入载体 13 中， 并且这些 孔口之后再次在外侧闭合。 0030 在载体 13 的上部区域中， 输送线 18 向上并入到左、 右两个连通部 19 中。连通部 19 位于紧固凸起 21 中， 并且能够以未示出的方式连接到水或清洁流体的输送线。另外， 紧 固凸起 2。
25、1 各自具有中央螺纹 22， 载体装置 11 通过该螺纹以已知的方式紧固。 0031 有利地， 载体13在其载体顶面14具有四个这样的紧固凸起21。 因此， 也可以设置 四个到输送线 18 的连通部 19， 但是连通部 19 可以更多或更少。排出孔 17 可以具有数毫米 的直径， 例如 1mm 到 6mm， 优选大约 3mm 到 5mm。 0032 图 1 所示的载体下部 25 在长度和宽度的尺寸方面有利地具有与载体 13 相似的尺 寸， 其顶面 26 和底面 27 基本是平面的。然而， 当底面 27 设计为有利地完全为平面并且没 有中断或下凹或凸起时， 顶面 26 具有多个敞开的通道 29。。
26、这些通道 29 在载体下部 25 的整 个顶面 26 上从前端到后端被拉制成有利笔直的形态， 并且彼此平行地延伸， 尽管彼此相隔 不同的距离。这可以从根据图 3 的载体下部 25 的俯视图中看到。载体下部 25 有利地由玻 璃或陶瓷材料制造， 尤其有利地由玻璃、 备选地由塑料制造。 0033 如在图 1 中所示， 通道 29 精确地布置成使得它们在载体 13 的纵向方向上与排出 孔 17 的排行一致， 或者在组装状态下精确地置于排出孔 17 之下。这可以在下面的图 4 中 看到。通道 29 的宽度还可以大约位于排出孔 17 的直径区域中， 它们也可以备选地与此稍 微偏离。然而， 通道 29 彼。
27、此相同并且有利地具有类圆的横截面， 例如半圆形的或半椭圆形 的。甚至有利地是， 它们的深度稍微大于宽度。 0034 图 4 是组装的或配合到一起的载体装置 11 的简化显示。此处， 载体下部 25 通过 其顶面 26 紧固或胶粘到载体 13 的载体底面 15。 0035 考虑到载体 13 的钢和载体下部 25 的玻璃或陶瓷的材料组合， 可使用通常用于此 目的的粘合剂来胶粘， 由此， 如现有技术中已知的玻璃或陶瓷的束也粘到由钢制成的载体 上。这些束之后再次被分离， 如下面还将要解释的那样。 0036 载体 13 中的排出孔 17 精确地位于载体下部 25 的通道 29 之上。在载体下部 25 或。
28、其底面27上紧固了重硅块31， 具体地说同样是牢固胶粘。 该牢固胶粘也如现有技术中已 说 明 书 CN 103140336 A 6 5/6 页 7 知地进行， 并且带来如下优势， 即可靠地保持住重硅块， 同时仍具有在之后的时刻分离的可 能性。载体下部 25 之后在任何情况中都不再可用， 仅载体 13 保持为可用的。 0037 因此， 图4中的载体装置11与开篇中提及的现有技术中已知的载体装置大体上一 致， 即具有内部的和近似为整合的纵向通道。这些整合的纵向通道实质上由通道 29 产生。 它们可以在端部或端部处的孔口从外侧关闭， 例如通过塞子等， 使得水仅能通过晶片之间 的锯削间隙排出以提高清洁。
29、， 但这并不必然如此。 0038 通过锯削硅块 31， 可以将其分离成单个的硅片或晶片。锯丝所达到的最远的或者 锯削所进行的最远的锯削线 32 用虚线表示。在该情况中， 可以看出， 所有的纵向通道 29 都 从下方被锯削， 并且因此可以达到与开篇中提及的现有技术中已知的同样的清洁效果。在 这一方面参考所引用文献。 0039 本发明的优势之一同样在此示例性实施方案中显示出来， 即通过连通部 19、 输送 线18和位于通道29之上的排出孔17， 水或清洁流体可以提供给这些通道29或冲洗这些通 道 29。供给可以通过以分散的方式布置的排出孔 17 来更均匀地进行， 相反， 在开篇中提及 的现有技术中。
30、， 这仅能通过通道 29 的两端或孔口来进行。因此， 可以实现更好的清洁作业。 非常有利的是， 如图4所示， 通道29的起始孔口和端部孔口是闭合的， 使得水或清洁流体实 际上仅能通过硅块 31 的锯开晶片而流出。 0040 本发明的另一个大优势是载体下部 25 可以设计为磨损件， 因为它是被锯削的， 也 就是说， 它可由玻璃、 陶瓷或类似材料或甚至塑料制成。 通过在其顶面26上布置通道29， 相 比在现有技术中已知的封闭的整合式纵向通道的情况来说， 通道 29 可以更简易地制造， 其 中甚至在载体下部 25 的制造中也可有利地引入通道 29。这例如可以在连铸等工艺中没有 额外工作步骤地进行。 。
31、0041 载体 13 其自身并非磨损件， 并且可以频繁地再利用。在移除锯削过的晶片后， 使 用过的或锯削过的载体下部 25 仅仅需要通过释放粘贴结合来移除。载体底面 15 之后可以 被清洁， 并且胶粘到新的载体下部 25。 0042 此外， 即使在载体 13 由钢制成的情况中， 也更容易产生水的引导， 也就是说更容 易形成排出孔 17 和输送线 18 以及连通部 19。它们在各种情况下可以已知的方式被钻孔。 由于载体 13 可以频繁地再利用， 因此提供排出孔 17、 输送线 18 和连通部 19 的相对复杂的 系统也是值得的。 0043 图5显示了载体113的类似图3的一个备选实施方案， 即载。
32、体113的载体底面115 的视图。此处， 取代根据图 2 的单个排出孔 17， 多个长的排出通道 117 布置在载体 113 的纵 向方向上。这些排出通道 117 从而与根据图 1 和图 3 的载体下部 25 中的通道 29 一致。这 些排出通道 117 甚至比根据图 1 和图 2 的多个排出孔 17 更易于制造， 例如通过相应的铣削 或切割。 0044 一方面， 可能的是在一个变体中， 排出通道 117 简单地敞开， 并且通过此处未示出 的输送线而输送的水随意地流到排出通道 117， 并且从那里到载体下部 25 的顶面中的直接 毗邻的通道 29。 0045 为了更好地分布所输送的水， 可以作。
33、如下设置， 如在图 6 的放大截面图中所示， 设 置了穿孔栅格 120， 其如同插入到排出通道 117 中一样。这可以是压合式的， 或备选地为粘 贴式的或旋入式的。 穿孔栅格120可以认为覆盖了所有的排出通道117， 即布置在这些排出 说 明 书 CN 103140336 A 7 6/6 页 8 通道 117 和相匹配的载体下部 25 的顶面中的通道 29 之间。穿孔栅格 120 具有多个孔， 有 利的是在孔之间具有很短的距离。因此， 例如孔可以具有大约 1mm 的直径， 并且在它们之间 具有 1mm 到 3mm 的距离， 但是有时在不同的情况下， 一些更多或一些更少。 0046 穿孔栅格 1。
34、20 中的这些孔的优势是， 它们对从上方引入的水具有高度的分布作 用， 因此， 不管某一特定点离输送线有多远， 它们引起水的流入在通道 29 的长度上均匀地 分布。从图 6 中可以看出， 在排出通道 117 中的位于穿孔栅格 120 之上的空间中， 水可以在 排出通道的长度上畅通无阻地分布， 并且大约均匀地向下流动。硅块 31 的所有锯削晶片上 的清洁作业因此是一致的。因此， 尽管仍然可以根据图 1 和 2 提供彼此分支出来的多个输 送线18， 但这并不必然如那样复杂。 有时， 即使相对于排出通道117横向延伸的一条输送线 或许已足够， 并且其针对每个排出通道 117 具有孔口， 并且即使该横。
35、向延伸的输送线也仅 需要具有一个连通部。从而， 不仅仅简化了连通部， 载体 113 自身的制造也简化了。 0047 在一个此处未示出的、 但是可从图 4 容易想到的变体中， 载体在顶部处没有孔， 或 者在其底面没有通道或类似物， 相反， 载体是封闭的或厚重的钢板， 该钢板具有平面的和封 闭的且没有下凹的底面。根据图 4 的载体下部通过牢固胶粘紧固于载体。由于载体下部在 其顶面具有纵向通道， 如上所述， 因此也可以产生出整合的纵向通道， 如在开篇中提及的现 有技术中所描述的。 然而， 其制造相当简单， 因为仅有载体下部需要在其顶面并且因此在外 侧具有通道， 从而简化了制造。水或清洁流体的引入在通道的端部处通过位于此处的通道 孔口进行， 如在现有技术中所同样地描述的那样。 说 明 书 CN 103140336 A 8 1/2 页 9 图 5 说 明 书 附 图 CN 103140336 A 9 2/2 页 10 图 4 图 6 说 明 书 附 图 CN 103140336 A 10 。