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1、(10)申请公布号 CN 103086723 A (43)申请公布日 2013.05.08 CN 103086723 A *CN103086723A* (21)申请号 201110340027.1 (22)申请日 2011.11.01 C04B 35/64(2006.01) C04B 41/91(2006.01) (71)申请人 上海科秉电子科技有限公司 地址 201709 上海市青浦区白鹤镇外青松公 路 3236 号 申请人 科治新技股份有限公司 (72)发明人 吴志君 (74)专利代理机构 上海兆丰知识产权代理事务 所 ( 有限合伙 ) 31241 代理人 倪继祖 (54) 发明名称 一种。
2、用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法 (57) 摘要 本发明涉及一种用于陶瓷零部件的高温焙烧 清洗方法， 包括以下步骤 ： 先将陶瓷零部件放入 化学液中浸泡， 待将主要附着物去除后， 取出陶瓷 零部件并置于高温烘箱装置中， 在 300-900的 温度条件下， 高温焙烧1至12小时， 完成高温焙烧 的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细 部附着物去除。本发明方法能够有效的去除陶瓷 零部件表面难以去除的聚合物及污染物， 使产品 变得更加洁白艳质 ； 利用热对陶瓷零部件进行清 洗， 过程中没有施加任何外力， 所以完全不会损伤 零部件。可有效的延长零部件的使用寿命 ； 大量 减少高浓度化学药液的使用，。
3、 对原料使用成本降 低有明显帮助 ； 对于降低污水的处理成本与其他 环保成本的支出， 具有既有效又正面的帮助。 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 2 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书2页 (10)申请公布号 CN 103086723 A CN 103086723 A *CN103086723A* 1/1 页 2 1. 一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法， 其特征在于， 包括以下步骤 ： 先将陶瓷零部件放入化学液中浸泡， 待将主要附着物去除后， 取出陶瓷零部件并置于 高温烘箱装置中， 在 300-900的温度条件下， 高温。
4、焙烧 1 至 12 小时， 完成高温焙烧的陶瓷 零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。 2. 如权利要求 1 所述的一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法， 其特征在于， 所述 化学液为酸液、 碱液或有机溶液。 3. 如权利要求 2 所述的一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法， 其特征在于， 所述 酸液为氟氢酸， 所述碱液为氢氧化钾， 所述有机溶液为异丙醇。 权 利 要 求 书 CN 103086723 A 2 1/2 页 3 一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法 技术领域 0001 本发明涉及一种陶瓷零部件的清洗方法， 尤其涉及一种用于陶瓷零部件的高温焙 烧清洗方法。 背景技术 0。
5、002 在半导体和太阳能高科技行业中， 当设备做完例行性保养后， 会卸下一定数量的 陶瓷材质零部件， 该零部件上附着了许多聚合物及污染物需要清洗才可再次使用。 0003 在一般情况下， 这些卸下的陶瓷零部件只需使用酸液就可以清洗干净的目的 ； 但 仍有些陶瓷零部件因制程特殊， 使用药液清洗后， 其表面仍会留有少许黄斑或暗斑， 这些痕 迹如果不清除的话， 上机后会发生异常， 容易造成机台稳定度不佳， 甚至会损伤产品这最不 良的结果产生。 0004 因此， 如何去除这些残留痕迹本领域技术人员致力于解决的难题之一。 发明内容 0005 本发明的目的， 就是针对上述问题而提供一种用于陶瓷零部件的高温焙。
6、烧清洗方 法， 该清洗方法能够有效的去除陶瓷零部件表面难以去除的聚合物及污染物。使产品变得 更加洁白艳质。 0006 本发明为达目的所采用的技术方案是 ： 0007 本发明的一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法， 包括以下步骤 ： 0008 先将陶瓷零部件放入化学液中浸泡， 待将主要附着物去除后， 取出陶瓷零部件并 置于高温烘箱装置中， 在 300-900的温度条件下， 高温焙烧 1 至 12 小时， 完成高温焙烧的 陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。 0009 上述的一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法， 其中， 所述化学液为酸液、 碱液 或有机溶液。 0010 上述的一。
7、种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法， 其中， 所述酸液为氟氢酸， 所述 碱液为氢氧化钾， 所述有机溶液为异丙醇。 0011 本发明清洗方法具有以下优点 ： 0012 1. 能够有效的去除陶瓷零部件表面难以去除的聚合物及污染物， 使产品变得更加 洁白艳质 ； 0013 2. 是利用热对陶瓷零部件进行清洗， 过程中没有施加任何外力， 所以完全不会损 伤零部件。可有效的延长零部件的使用寿命 ； 0014 3. 大量减少高浓度化学药液的使用， 对原料使用成本降低有明显帮助 ； 0015 4. 由于化学药液使用量降低， 相对也降低化学废液的产生， 对于降低污水的处理 成本与其他环保成本的支出， 具有既有。
8、效又正面的帮助。 具体实施方式 说 明 书 CN 103086723 A 3 2/2 页 4 0016 下面结合实施例对本发明作进一步描述 ： 0017 实施例 1 0018 先将待清洗陶瓷零部件放入酸液(氟氢酸)中浸泡， 待将主要附着物去除后， 取出 陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中， 在 600的温度条件下， 高温焙烧 8 小时， 完成高温焙 烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。 0019 实施例 2 0020 先将待清洗陶瓷零部件放入碱液(氢氧化钾)中浸泡， 待将主要附着物去除后， 取 出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中， 在 700的温度条件下， 高温焙烧 7 小时，。
9、 完成高温 焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。 0021 实施例 3 0022 先将待清洗陶瓷零部件放入有机溶液(异丙醇)中浸泡， 待将主要附着物去除后， 取出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中， 在 800的温度条件下， 高温焙烧 6 小时， 完成高 温焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。 0023 实施例 4 0024 先将待清洗陶瓷零部件放入碱液(氢氧化钾)中浸泡， 待将主要附着物去除后， 取 出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中， 在 500的温度条件下， 高温焙烧 10 小时， 完成高温 焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。 0025 实施例 5 0026 先将待清洗陶瓷零部件放入有机溶液(异丙醇)中浸泡， 待将主要附着物去除后， 取出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中， 在 500的温度条件下， 高温焙烧 11 小时， 完成高 温焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。 0027 以上实施例仅供说明本发明之用， 而非对本发明的限制， 有关技术领域的技术人 员， 在不脱离本发明的精神和范围的情况下， 还可以作出各种变换或变型， 因此所有等同的 技术方案也应该属于本发明的范畴， 应由各权利要求所限定。 说 明 书 CN 103086723 A 4 。