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1、(10)申请公布号 CN 103026413 A (43)申请公布日 2013.04.03 CN 103026413 A *CN103026413A* (21)申请号 201280002170.2 (22)申请日 2012.01.19 2011-029768 2011.02.15 JP G11B 17/028(2006.01) (71)申请人 松下电器产业株式会社 地址 日本大阪府 (72)发明人 仲昭行 前田真一 有吉祐二 丸山益生 高桥宏 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 代理人 汪惠民 (54) 发明名称 转台 (57) 摘要 本发明的目的在于， 即便在尘。
2、埃附着于转台 的盘支撑面上所设的弹性层的表面的情况下， 也 能够维持防止在盘支撑面与盘部件之间发生相对 性滑动的防止效果， 并且在将弹性层设置于盘支 撑面上的情况下能够抑制盘部件旋转时的表面抖 动。转台在与被对置配置的夹紧部件之间夹持了 盘支撑面上的盘部件的状态下， 以能旋转的方式 支撑盘部件， 在所述盘支撑面具备按照从该盘支 撑面突出的方式设置的规定宽度的弹性层， 在所 述弹性层的外周缘部设置了边缘部， 该边缘部作 为因所述夹紧部件的按压而引起的接触压力比其 他部分高的高接触压力部。 (30)优先权数据 (85)PCT申请进入国家阶段日 2013.01.25 (86)PCT申请的申请数据 P。
3、CT/JP2012/000305 2012.01.19 (87)PCT申请的公布数据 WO2012/111253 JA 2012.08.23 (51)Int.Cl. 权利要求书 1 页 说明书 11 页 附图 8 页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 11 页 附图 8 页 1/1 页 2 1. 一种转台， 在与被对置配置的夹紧部件之间夹持了盘支撑面上的盘部件的状态下， 以能旋转的方式支撑所述盘支撑面上的盘部件， 在所述盘支撑面具备按照从该盘支撑面突出的方式设置的规定宽度的弹性层， 在所述弹性层的外周缘部以及内周缘部中的至少任一方设置了因所。
4、述夹紧部件的按 压而引起的接触压力比其他部分高的高接触压力部。 2. 根据权利要求 1 所述的转台， 其特征在于， 在所述高接触压力部设置有在俯视时向周缘部侧开口的缺口部。 3. 根据权利要求 1 或 2 所述的转台， 其特征在于， 所述高接触压力部由边缘部构成， 该边缘部沿半径方向横截所述盘支撑面的垂直剖面 中呈规定角度而突出。 4. 根据权利要求 1 3 中任一项所述的转台， 其特征在于， 所述高接触压力部是在将所述弹性层固定于所述盘支撑面上之后通过切削加工而形 成的。 5. 一种转台， 在与被对置配置的夹紧部件之间夹持了盘支撑面上的盘部件的状态下， 以能旋转的方式支撑所述盘支撑面上的盘部。
5、件， 在所述盘支撑面具备按照从该盘支撑面突出的方式设置的规定宽度的弹性层， 在所述弹性层设置了边缘部， 该边缘部沿半径方向横截所述盘支撑面的垂直剖面中呈 规定角度而突出。 6. 根据权利要求 5 所述的转台， 其特征在于， 所述边缘部被设置于所述弹性层的外周缘部以及内周缘部中的至少任一方。 7. 根据权利要求 6 所述的转台， 其特征在于， 在所述边缘部设置有在俯视时向周缘部侧开口的缺口部。 8. 根据权利要求 5 7 中任一项所述的转台， 其特征在于， 所述边缘部是在将所述弹性层固定于所述盘支撑面上之后通过切削加工而形成的。 9. 一种转台， 在与被对置配置的夹紧部件之间夹持了盘支撑面上的盘。
6、部件的状态下， 以能旋转的方式支撑所述盘支撑面上的盘部件， 在所述盘支撑面具备按照从该盘支撑面突出的方式设置的规定宽度的弹性层， 在所述弹性层的外周缘部以及内周缘部中的至少任一方设置有在俯视时向周缘部侧 开口的缺口部。 10. 根据权利要求 9 所述的转台， 其特征在于， 所述弹性层的表面是在将所述弹性层固定于所述盘支撑面上之后通过切削加工而形 成的。 权 利 要 求 书 CN 103026413 A 2 1/11 页 3 转台 技术领域 0001 本发明涉及以能旋转的方式支撑例如光盘等盘部件的转台。 背景技术 0002 如所周知的那样， 在对例如光盘等盘状记录介质中所记录的信息信号进行再生、。
7、 以及 / 或者在盘状记录介质中记录信息信号的、 所谓的盘装置之中， 具备以能旋转的方式 支撑该盘状记录介质的转台。 0003 在相应的盘装置中， 在转台的盘支撑面上载置了盘状记录介质的基础上， 使该盘 状记录介质夹持在盘支撑面与被对置配置的夹紧 (clamp) 部件之间， 例如针对转台来驱动 具有被一体式组装的输出轴的电机 ( 所谓的主轴电机 )， 从而旋转驱动在盘支撑面上支撑 盘状记录介质的转台。其中， 此时， 转台与夹紧部件之间的盘夹持力， 例如能够通过利用弹 簧的弹簧力、 设于两者中的至少任一方的磁铁的磁力等而获得。 0004 针对安装到这种盘装置中的转台， 为了防止在该转台的盘支撑面。
8、与盘部件 ( 盘状 记录介质 ) 之间产生滑动 (slip)， 公知一种在盘支撑面上设置提高两者之间的摩擦力的橡 胶等弹性层的方法(例如， 参照专利文献1)。 此外公知， 一般在转台的转速发生变动的情况 下容易产生相应的盘支撑面与盘部件之间的滑动， 且在产生这种滑动时难以进行恰当的聚 焦控制。 0005 现有技术文献 0006 专利文献 0007 专利文献 1 ： 日本特开平 4-125845 号公报 发明内容 0008 发明要解决的课题 0009 然而， 作为盘装置被配置的周围环境， 一般来说设想含有衣服、 绒毯或动物等纤毛 类、 其他尘埃等的环境的情况较多， 在这种环境下极难完全地阻止尘埃。
9、等向盘装置内的侵 入， 尤其是在更换盘时等一般不能避免尘埃等的一部分侵入到盘装置内。 0010 这种的侵入到盘装置内的尘埃附着于转台的盘支撑面上所设的所述弹性层的表 面的情况下， 尤其是尘埃在弹性层表面局部具有某种程度以上的厚度的情况等下， 弹性层 表面的摩擦系数显著地降低， 故存在着防止在盘支撑面与盘部件之间发生相对性滑动的防 止效果受损的问题。 0011 另外， 在将前述那样的弹性层设于盘支撑面上的情况下， 一般是通过使处于能流 动状态的橡胶材料流入到规定的成型模内来预先成形弹性层， 并将该成形后的弹性层粘贴 设置于盘支撑面上。 0012 然而， 在将相应的橡胶成形体直接地用于弹性层的情况。
10、下， 由于橡胶成形而引起 的弹性层的形状以及尺寸精度的确保受到限制， 因此例如针对以转台的盘支撑面为基准的 弹性层的高度， 不可避免地会伴有偏差， 尤其是在圆周方向上可能会产生某种程度以上的 说 明 书 CN 103026413 A 3 2/11 页 4 不同 ( 高度不均匀 )。 0013 而且， 在这种高度不均匀的弹性层上载置 / 支撑盘部件并使转台旋转的情况下， 因为盘部件相对于盘支撑面会以倾斜的状态进行旋转， 所以还存在着会发生所谓的旋转时 的表面抖动的问题。 0014 因此， 本发明的基本目的在于， 提供一种即便在尘埃附着于盘支撑面上所设的弹 性层的表面的情况下， 也能够有效地维持防。
11、止在盘支撑面与盘部件之间发生相对性滑动的 防止效果的转台， 另外提供一种在将弹性层设置于盘支撑面上的情况下能够有效地抑制盘 部件旋转时的表面抖动的转台。 0015 用于解决课题的技术方案 0016 为此， 本申请的第 1 发明涉及的转台， 在与被对置配置的夹紧部件之间夹持了盘 支撑面上的盘部件的状态下， 以能旋转的方式支撑所述盘支撑面上的盘部件， 其特征在于， 在所述盘支撑面具备按照从该盘支撑面突出的方式设置的规定宽度的弹性层， 在所述弹性 层的外周缘部以及内周缘部中的至少任一方设置了因所述夹紧部件的按压而引起的接触 压力比其他部分高的高接触压力部。 0017 在该构成中， 通过在弹性层的外周。
12、缘部以及内周缘部中的至少任一方设置了因夹 紧部件的按压而引起的接触压力比其他部分高的高接触压力部， 从而在该高接触压力部 中， 因夹紧部件的按压而引起的弹性变形变得比其他部分大， 即便在尘埃附着于表面的情 况下， 使该尘埃填入弹性层内也更容易。尤其是， 在高接触压力部发生变形之际， 在使接触 面积增大的同时发生变形以将附着于表面的尘埃推到弹性层的外周侧以及内周侧中的至 少任一方侧， 从而能够防止附着于弹性层的表面的尘埃在表面局部具有某种程度以上的厚 度， 而使弹性层表面的摩擦系数显著地降低。 0018 在该情况下， 优选在所述高接触压力部设置有在俯视时向周缘部侧开口的缺口 部。 0019 在该。
13、构成中， 通过设置在俯视时向周缘部侧开口的缺口部， 从而在缺口部与周缘 部的交叉部在平面内形成有边缘部 ( 平面边缘部 )， 在该平面边缘部中， 在夹紧部件的按压 时， 在使接触面积进一步增大的同时发生变形， 故附着于平面边缘部的表面的尘埃被更有 效地分散。 0020 在以上的情况下， 更优选所述高接触压力部由边缘部(剖面边缘部)构成， 该边缘 部沿半径方向横截盘支撑面的垂直剖面中呈规定角度而突出。 0021 在该构成中， 通过所述高接触压力部由沿半径方向横截盘支撑面的垂直剖面中呈 规定角度而突出的剖面边缘部构成， 从而因夹紧部件的按压而引起的弹性变形变得比其他 部分更大， 即便在尘埃附着于表。
14、面的情况下， 使该尘埃填入弹性层内也更容易。尤其是， 在 发生变形之际， 在使接触面积进一步增大的同时发生变形以将附着于表面的尘埃推到弹性 层的外周侧以及内周侧中的至少任一方侧， 故附着于剖面边缘部的表面的尘埃被更有效地 分散。 0022 另外， 在以上的情况下， 更优选所述高接触压力部是在将弹性层固定于盘支撑面 上之后通过切削加工而形成的。 0023 在该构成中， 较之将橡胶成形体直接地用于弹性层的情况， 能够使以转台的盘支 撑面为基准的弹性层的高度均匀地形成， 在将盘部件载置 / 支撑于弹性层上并使转台旋转 说 明 书 CN 103026413 A 4 3/11 页 5 之际， 能够有效地。
15、抑制表面抖动的发生。 0024 另外， 本申请的第 2 发明涉及的转台， 在与被对置配置的夹紧部件之间夹持了盘 支撑面上的盘部件的状态下， 以能旋转的方式支撑所述盘支撑面上的盘部件， 其特征在于， 在所述盘支撑面具备按照从该盘支撑面突出的方式设置的规定宽度的弹性层， 在所述弹性 层设置了边缘部 ( 剖面边缘部 )， 该边缘部沿半径方向横截所述盘支撑面的垂直剖面中呈 规定角而度突出。 0025 在该构成中， 通过在弹性层设置了沿半径方向横截盘支撑面的垂直剖面中呈规定 角度而突出的剖面边缘部， 从而在该剖面边缘部中， 因夹紧部件的按压而引起的弹性变形 变得比其他部分更大， 即便在尘埃附着于表面的情。
16、况下， 使该尘埃填入弹性层内也更容易。 尤其是， 在发生变形之际， 在使剖面边缘部的接触面积进一步增大的同时发生变形， 故附着 于该剖面边缘部的表面的尘埃被更有效地分散。因此， 能够防止附着于弹性层的表面的尘 埃在表面局部具有某种程度以上的厚度， 而使弹性层表面的摩擦系数显著地降低。 0026 在该情况下， 优选所述剖面边缘部被设置于弹性层的外周缘部以及内周缘部中的 至少任一方。 0027 在该构成中， 在剖面边缘部发生变形之际， 在使接触面积进一步增大的同时发生 变形以将附着于表面的尘埃推到弹性层的外周侧以及内周侧中的至少任一方侧， 故附着于 剖面边缘部的表面的尘埃被更有效地分散。 0028。
17、 在该情况下， 更优选在所述剖面边缘部设置有在俯视时向周缘部侧开口的缺口 部。 0029 在该构成中， 通过在所述剖面边缘部设置在俯视时向周缘部侧开口的缺口部， 从 而在缺口部与周缘部的交叉部在平面内形成有边缘部 ( 平面边缘部 )， 在该平面边缘部中， 在夹紧部件的按压时使接触面积进一步增大的同时发生变形， 故附着于平面边缘部的表面 的尘埃被更有效地分散。 0030 另外， 在以上的情况下， 更优选所述剖面边缘部是在将弹性层固定于盘支撑面上 之后通过切削加工而形成的。 0031 在该构成中， 较之将橡胶成形体直接地用于弹性层的情况， 能够使以转台的盘支 撑面为基准的弹性层的高度均匀地形成， 。
18、在将盘部件载置 / 支撑于弹性层上并使转台旋转 之际， 能够有效地抑制表面抖动的发生。 0032 进而， 本申请的第 3 发明涉及的转台， 在与被对置配置的夹紧部件之间夹持了盘 支撑面上的盘部件的状态下， 以能旋转的方式支撑所述盘支撑面上的盘部件， 其特征在于， 在所述盘支撑面具备按照从该盘支撑面突出的方式设置的规定宽度的弹性层， 在所述弹性 层的外周缘部以及内周缘部中的至少任一方设置有在俯视时向周缘部侧开口的缺口部。 0033 在该构成中， 在俯视时在缺口部与周缘部的交叉部形成有边缘部 ( 平面边缘部 )， 在该平面边缘部中， 在夹紧部件的按压时使接触面积进一步增大的同时发生变形， 故附着 。
19、于平面边缘部的表面的尘埃被更有效地分散。 0034 在该情况下， 更优选所述弹性层的表面是在将弹性层固定于盘支撑面上之后通过 切削加工而形成的。 0035 在该构成中， 较之将橡胶成形体直接地用于弹性层的情况， 能够使以转台的盘支 撑面为基准的弹性层的高度均匀地形成， 在将盘部件载置 / 支撑于弹性层上并使转台旋转 说 明 书 CN 103026413 A 5 4/11 页 6 之际， 能够有效地抑制表面抖动的发生。 0036 发明效果 0037 根据本申请的第 1 发明， 通过在弹性层的外周缘部以及内周缘部中的至少任一方 设置了因夹紧部件的按压而引起的接触压力比其他部分高的高接触压力部， 从。
20、而在该高接 触压力部中， 因夹紧部件的按压而引起的弹性变形变得比其他部分大， 即便在尘埃附着于 表面的情况下， 使该尘埃填入弹性层内也更容易。 尤其是， 因为高接触压力部被设置于弹性 层的外周缘部以及内周缘部中的至少任一方， 所以在高接触压力部发生变形之际， 在使接 触面积增大的同时发生变形以将附着于其表面的尘埃推到弹性层的外周侧以及内周侧中 的至少任一方侧。因此， 伴随着高接触压力部发生变形、 接触面积增大， 而附着于表面的尘 埃彼此之间的间隔扩大， 故可以使这些尘埃分散。 其结果， 能够有效地防止附着于高接触压 力部的表面的尘埃在表面局部具有某种程度以上的厚度， 而使该表面的摩擦系数显著地。
21、降 低， 能够维持防止在转台的盘支撑面与盘部件之间发生相对性滑动的效果。 0038 另外， 根据本申请的第 2 发明， 通过在弹性层设置了沿半径方向横截盘支撑面的 垂直剖面中呈规定角度而突出的剖面边缘部， 从而在该剖面边缘部中， 因夹紧部件的按压 而引起的弹性变形变得比其他部分显著大， 即便在尘埃附着于表面的情况下， 使该尘埃填 入弹性层内也更容易。 尤其是， 在发生变形之际， 在使剖面边缘部的接触面积进一步增大的 同时发生变形， 故附着于该剖面边缘部的表面的尘埃被更有效地分散。 因此， 能够防止附着 于剖面边缘部的表面的尘埃在表面局部具有某种程度以上的厚度， 而使弹性层表面的摩擦 系数显著地。
22、降低， 能够维持防止在转台的盘支撑面与盘部件之间发生相对性滑动的效果。 0039 进而， 根据本申请的第 3 发明， 通过在弹性层的外周缘部以及内周缘部中的至少 任一方设置有在俯视时向周缘部侧开口的缺口部， 从而在俯视时在缺口部与周缘部的交叉 部形成有边缘部 ( 平面边缘部 )。在该平面边缘部中， 在夹紧部件的按压时， 在使接触面积 进一步增大的同时发生变形， 故附着于平面边缘部的表面的尘埃被更有效地分散。 因此， 能 够防止附着于平面边缘部的表面的尘埃在表面局部具有某种程度以上的厚度， 而使弹性层 表面的摩擦系数显著地降低。 附图说明 0040 图 1 是示意性表示本发明的第 1 实施方式涉。
23、及的转台的概略构成的俯视图。 0041 图 2 是沿着图 1 的 Y2-Y2 线的所述转台的示意性纵向剖视图。 0042 图 3 是放大表示图 2 的主要部分 Y3 的放大纵向剖视图。 0043 图 4 是示意性表示作用夹紧力时的弹性层的变形状态的纵向剖视图。 0044 图 5 是示意性表示作用夹紧力时的弹性层的接触表面压力的宽度方向上的变化 的图表。 0045 图 6 是第 1 实施方式的第 1 变形例涉及的弹性层的示意性纵向剖视图。 0046 图 7 是第 1 实施方式的第 2 变形例涉及的弹性层的示意性纵向剖视图。 0047 图 8 是第 1 实施方式的第 3 变形例涉及的弹性层的示意性。
24、纵向剖视图。 0048 图 9 是示意性表示本发明的第 2 实施方式涉及的转台的概略构成的俯视图。 0049 图 10 是放大表示图 9 的主要部分的放大俯视图。 0050 图 11 是示意性表示作用夹紧力时的弹性层的变形状态的放大俯视图。 说 明 书 CN 103026413 A 6 5/11 页 7 0051 图 12 是沿着图 11 的 Y12-Y12 线的转台的示意性纵向剖视图。 0052 图 13 是第 2 实施方式的变形例涉及的弹性层的示意性俯视图。 0053 图 14 是具备第 1 实施方式的比较例涉及的弹性层的转台的示意性纵向剖视图。 0054 图 15 是示意性表示本发明的作。
25、用效果的确认试验中的滑动转矩的测量方法的说 明图。 0055 图 16 是表示所述确认试验的结果的图表。 0056 图 17 是表示在弹性层上附着了模仿纤毛状尘埃的棉纤维的状态的一例的显微镜 照片。 具体实施方式 0057 以下， 参照附图， 对本发明的实施方式进行详细地说明。 0058 图 1 是示意性表示本发明的实施方式 ( 第 1 实施方式 ) 涉及的转台的概略构成的 俯视图， 图 2 是沿着图 1 的 Y2-Y2 线的所述转台的示意性纵向剖视图， 另外图 3 是放大表示 图 2 的主要部分 Y3 的放大纵向剖视图。 0059 如这些图所示那样， 本实施方式涉及的转台10具备载置光盘等盘。
26、部件2的盘支撑 面 12， 在其中心部一体式组装有主轴电机 ( 未图示 ) 的输出轴 6。按照与该转台 10 的盘支 撑面12对置的方式配置夹紧部件16。 如后面详细说明的那样， 在所述盘支撑面12上， 优选 在其外周区域上设置有规定宽度的弹性层20， 且盘部件2实际上被载置于弹性层20的上表 面， 隔着该弹性层 20 而被支撑在盘支撑面 12 上。 0060 在该例子中， 按照环绕所述电机输出轴 6 的方式配置有环状的磁铁 8。夹紧部件 16 至少在转台 10 的磁铁 8 所对置的部分具备由例如钢等磁性材料构成的部件 ( 未图示 )， 且由于基于作用于转台 10 的磁铁 8 与夹紧部件 16。
27、 的磁性部件 ( 未图示 ) 之间的磁力的吸 引力， 使得载置于盘支撑面 12( 的弹性层 20) 上的盘部件 2 以所需的夹紧力被夹持在转台 10 与夹紧部件 16 之间。 0061 而且， 在转台 10 与夹紧部件 16 之间夹持了所述盘部件 2 的状态下， 通过以所需的 转速驱动主轴电机 ( 未图示 )， 从而转台 10( 因此盘部件 2) 以所需的旋转速度被旋转。 0062 以上那样的转台10以及夹紧部件16的构成、 作用是已知的， 故能够适用以往公知 的各种技术。例如， 也可在夹紧部件 16 侧设置磁铁 8， 该磁铁 8 使夹紧力产生在转台 10 与 夹紧部件 16 之间。取代采用磁。
28、铁 8， 也能够利用弹簧的弹力来获得夹紧力。 0063 在本实施方式中， 如前述那样， 在所述转台 10 的盘支撑面 12 上， 优选在该盘支撑 面 12 的外周区域上按照从该盘支撑面 12 突出的方式设置有规定宽度的弹性层 20。该弹 性层 20 更优选被形成为环状， 基本上是用于防止在盘支撑面 12 与盘部件 2 之间产生滑动 (slip)， 利用具有所需的弹性特性、 且能提高两者 2、 12 之间的摩擦力的弹性材料来制作。 在本实施方式中， 作为该弹性材料， 例如使用了氯丁 (CR) 橡胶。 0064 此外， 作为该弹性材料， 只要是具有在作用于转台10与夹紧部件16之间的夹紧力 被卸载。
29、 (unloaded) 之际恢复成原始的形状以及尺寸的弹性、 且使所需的摩擦力产生在与 盘部件 2 之间的材料即可， 例如能够使用硅橡胶、 EPDM 等的其他橡胶材料。进而， 只要是具 有前述的弹性以及摩擦特性的材料即可， 但并不限定于橡胶， 也可以使用例如软质树脂等 的橡胶以外的材料。 说 明 书 CN 103026413 A 7 6/11 页 8 0065 所述弹性层 20 隔着粘接层 14 而被粘接固定于转台 10 的盘支撑面 12 上。作为该 粘接层 14， 能够使用所谓的双面胶带。或者， 也可以适用粘接剂来粘接固定。 0066 在本实施方式中， 在所述弹性层 20 的外周缘部 20g。
30、 以及内周缘部 20n 中的至少任 一方 ( 在图 1 图 3 的例子中为在弹性层 20 的外周缘部 20g)， 设置有因夹紧部件 15 的按 压而引起的接触压力比其他部分高的高接触压力部。在本实施方式中， 该高接触压力部具 体而言作为沿半径方向横截盘支撑面 12 的垂直剖面 ( 纵向剖面 ) 中呈规定角度 突出的 边缘部 22( 剖面边缘部 ) 而构成。 0067 在该例子中， 弹性层20被形成为 ： 外周半径Rg例如约13.7mm、 内周半径Rn例如约 11.7mm、 外周缘部 20g 的高度 Hg 例如约 0.3mm、 内周缘部 20n 的高度 Hn 例如约 0.2mm、 宽度 Dw例如。
31、约2mm、 且纵向剖面形状呈梯形， 该剖面中的外周缘部20g的上端部构成了作为高接 触压力部的剖面边缘部 22。在该情况下， 弹性层 20 的表面 ( 上表面 ) 的倾斜角 ( 90 度 -) 呈约 2.9 度的角度。 0068 另外， 包含该剖面边缘部 22 的弹性层 20 的表面是在将弹性层 20 粘接固定于盘支 撑面 12 上之后通过切削加工而形成的。 0069 在相应的构成中， 在盘支撑面 12( 的弹性层 20) 上载置盘部件 2、 且使夹紧力作用 于转台 10 与夹紧部件 16 之间了来夹持所述盘部件 2 的情况下， 由于夹紧力的作用， 使得弹 性层 20 从在图 4 中由虚线所示。
32、的载置状态 ( 仅施加盘部件 2 的自重的状态 ) 起， 如在图 4 中由实线所示那样发生弹性变形。 0070 此时， 在弹性层 20 的高接触压力部 ( 剖面边缘部 22) 中， 因施加夹紧力而引起的 弹性变形变得比弹性层 20 的其他部分大。尤其是， 通过将高接触压力部构成为剖面边缘部 22， 从而能够显著地增大此时的弹性变形。另外， 在与弹性层 20 的内周缘部 20n 相距宽度 Dn 的范围内， 弹性层 20 不会与盘部件 2 接触， 因此完全不会发生变形。 0071 图 5 是以弹性层 20 的内周缘部 20n 为原点来示意性表示夹紧力作用时的弹性层 的接触表面压力的宽度方向上的变化。
33、的图。在该图中， 实线曲线 L2 表示图 4 示出的弹性层 20 的接触表面压力的变化。另外， 双点划线曲线 L1 作为对比， 而表示弹性层的表面与背面 平行且没有设置任何高接触压力部、 纵向剖面被形成为长方形状的情况。 0072 由该图可知， 在弹性层的表面与背面平行且没有设置任何高接触压力部的情况下 ( 参照双点划线曲线 L1)， 接触表面压力恒定。与之相对， 在弹性层 20 的外周缘部 20g 设置 了高接触压力部(剖面边缘部22)的本实施方式的情况下(参照实线曲线L2)， 在与弹性层 20 的内周缘部 20n 相距宽度 Dn 的范围内， 接触表面压力为 0( 零 )， 从与宽度 Dn 。
34、对应的部 位到与外周缘部 20g( 宽度 Dw) 对应的部位， 以陡峭的倾斜度产生接触表面压力， 在外周缘 部 20g 中作用了非常高的接触表面压力。 0073 如以上那样， 在本实施方式中， 通过设置了因作用夹紧力而引起的接触压力比其 他部分高的高接触压力部 ( 具体而言为剖面边缘部 22)， 从而即便在尘埃附着于表面的情 况下， 使该尘埃填入弹性层 20 内也很容易。尤其是， 因为高接触压力部被设置于弹性层 20 的外周缘部 20g， 所以在高接触压力部发生变形之际， 在使接触面积增大的同时发生变形以 将附着于其表面的尘埃推到弹性层 20 的外周侧， 故附着于高接触压力部的表面的尘埃被 更。
35、有效地分散。由此， 附着于弹性层 20 的表面的尘埃在表面局部具有某种程度以上的厚 度， 故能够有效地防止使弹性层20表面的摩擦系数显著地降低， 能够维持防止在转台10的 说 明 书 CN 103026413 A 8 7/11 页 9 盘支撑面 12 与盘部件 2 之间发生相对性滑动的效果。 0074 在本实施方式中， 尤其是所述高接触压力部由沿半径方向横截盘支撑面 12 的垂 直剖面中呈规定角度 突出的剖面边缘部 22 构成。由此， 因作用夹紧力而引起的弹性变 形比弹性层 20 的其他部分显著大， 即便在尘埃附着于表面的情况下， 使该尘埃填入弹性层 内也更容易。另外， 在剖面边缘部 22 发。
36、生变形之际， 在使接触面积进一步增大的同时发生 变形以将附着于表面的尘埃推到弹性层 20 的外周侧， 故附着于剖面边缘部 22 的表面的尘 埃被更有效地分散。 0075 另外， 在本实施方式中， 在弹性层 20 的表面设置高接触压力部 ( 剖面边缘部 22) 之际， 如前述那样所述高接触压力部 ( 剖面边缘部 22) 是在将弹性层 20 粘接固定于盘支撑 面 12 上之后通过切削加工而形成的。该切削加工是在使转台 10 旋转的同时将切削刀放在 弹性层 20 的表面而进行的。或者， 也可以利用刀片边缘在弹性层 20 的厚度方向上将橡胶 厚度切削得较薄。 0076 因此， 较之将橡胶成形体直接用于。
37、弹性层20的情况， 能够均匀地形成以转台10的 盘支撑面 12 为基准的弹性层 20 的高度 ( 尤其是， 最高的外周缘部 20g 处的剖面边缘部 22 的高度 Hg)， 在将盘部件 2 载置 / 支撑于弹性层 20 上并使转台 10 旋转之际， 能够极其有效 地抑制表面抖动的发生。 0077 关于构成弹性层 20 的纵向剖面的梯形形状 ( 参照图 3) 的各尺寸， 在外周半径 Rg 例如约 13.7mm 程度的情况、 或者内周半径 Rn 例如约 11.7mm 程度的情况下， 在以下的范围 内设定的参数是适合的。 0078 弹性层 20 的宽度 Dw ： 约 0.5 2mm 0079 ( 优选。
38、 2mm) 0080 内周缘部 20n 的高度 Hn ： 0 0.2mm 0081 ( 优选 0.2mm) 0082 外周缘部 20g 的高度 Hg ： 约 0.2 0.5mm 0083 ( 优选 0.25 0.5mm) 0084 弹性层 20 的上表面的倾斜角 ： 约 0.5 45 度 0085 ( 优选 1 10 度 ) 0086 在以上的实施方式 ( 第 1 实施方式 ) 中， 虽然作为高接触压力部的剖面边缘部 22 被形成于弹性层 20 的外周缘部 20g， 但是相应的剖面边缘部并不限于弹性层的外周缘部， 也可设置于其他部位。 0087 其次， 对本实施方式的变形例进行说明。 其中， 。
39、在以下的说明中， 关于具备与在图1 至图 5 中说明过的实施方式中的情况同样的构成、 起到同样作用的部分， 赋予同一符号， 并 省略其说明。 0088 图 6 是本实施方式的第 1 变形例涉及的弹性层 30 的示意性纵向剖视图， 在该第 1 变形例中， 剖面边缘部 32 被形成于弹性层 30 的内周缘部 30n。 0089 图 7 是本实施方式的第 2 变形例涉及的弹性层 40 的示意性纵向剖视图， 在该第 2 变形例中， 剖面边缘部 42 被形成于弹性层 40 的内周缘部 40n 和外周缘部 40g 双方。 0090 另外， 图 8 是本实施方式的第 3 变形例涉及的弹性层 50 的示意性纵。
40、向剖视图， 在 该第 3 变形例中， 剖面边缘部 52 被形成于弹性层 50 的宽度方向上的大致中央部分。 说 明 书 CN 103026413 A 9 8/11 页 10 0091 此外， 在弹性层的表面设置高接触压力部的情况下， 例如如图 14 所示那样还考虑 在纵向剖面中按照弹性层 200 的宽度方向上的大致中央部成为最大高度的方式构成表面 被形成为弧状的凸形状的高接触压力部202。 在该情况下， 弹性层200的纵向剖面形状成为 接近于所谓的半柱面形的形状。 0092 但是， 在该比较例的情况下， 比较其纵向剖面形状可知 ： 无法获得本实施方式的剖 面边缘部那样的较高的接触压力， 因此在。
41、尘埃附着于表面的情况下， 使该尘埃填入弹性层 内的作用远远低于本实施方式。 0093 而且， 凸形状的高接触压力部 202 被构成为弹性层 200 的宽度方向上的大致中央 部成为最大高度， 且在该宽度方向上的大致中央部分处的接触表面压力最高的关系上， 因 作用夹紧力而引起的高接触压力部 202 的变形成为垂直方向的压缩变形 ( 图 14 ： 参照双点 划线显示 )， 故无法期待如在本实施方式中高接触压力部被设置于弹性层的外周缘部或内 周缘部的情况那样， 按照将附着于表面的尘埃推到外周侧或内周侧的方式发生变形。 因此， 无法期待还可获得如下的效果 ： 伴随着发生变形、 接触面积增大， 而尘埃彼此。
42、之间的间隔扩 大， 故附着于表面的尘埃被分散。 0094 在本实施方式中， 在将高接触压力部设为剖面边缘部的情况下， 在作用夹紧力时 能够获得非常高的接触压力， 在尘埃附着于表面的情况下， 能够使该尘埃容易填入弹性层 内。 0095 另外， 在将设置高接触压力部的位置设为弹性层的外周缘部或内周缘部 ( 或者双 方 ) 的情况下， 在作用夹紧力时高接触压力部发生变形之际， 因为以将附着于表面的尘埃 推到弹性层的外周侧或内周侧的方式发生变形， 所以伴随着发生变形、 接触面积增大， 而附 着于表面的尘埃彼此之间的间隔扩大， 故可以使这些尘埃分散。 其结果， 附着于高接触压力 部的表面的尘埃在表面局部。
43、具有某种程度以上的厚度， 故能够有效地防止使该表面的摩擦 系数显著地降低， 能够维持防止在转台的盘支撑面与盘部件之间发生相对性滑动的效果。 0096 其次， 参照图 9 至图 12， 对本发明的第 2 实施方式进行说明。 0097 其中， 即便在该第2实施方式的说明中， 关于具备与前述的第1实施方式中的情况 同样的构成、 起到同样作用的部分， 也赋予同一符号， 并省略其说明。 0098 在该第 2 实施方式中， 在弹性层 80 的外周缘部 80g 以及内周缘部 80n 中的至少任 一方 ( 在本实施方式中为外周缘部 80g)， 设置有在俯视时向周缘部侧开口的缺口部 85。在 该例子中， 缺口部。
44、 85 针对 5 个地方被设置成例如圆周均配状， 这些缺口部是例如使用冲压 装置而以冲孔加工的方式形成的。另外， 在该例子中， 如图 12 可知， 弹性层 80 的表面与背 面平行、 且并没有特别设置第 1 实施方式中那样的高接触压力部。 0099 但是， 通过设置所述缺口部 85， 从而如图 10 所示那样， 在俯视时在缺口部 85 的弧 状的周缘部与弹性层 80 的外周缘部 80g 的交叉部形成有边缘部 ( 平面边缘部 )82。 0100 在相应的构成中， 在盘支撑面 12( 的弹性层 80) 上载置盘部件 2、 且使夹紧力作用 于转台 10 与夹紧部件 16 之间来夹持所述盘部件 2 的。
45、情况下， 由于夹紧力的作用， 使得弹性 层 80 从在图 11 以及图 12 中由虚线所示的载置状态 ( 仅施加盘部件 2 的自重的状态 )， 如 在图 11 以及图 12 中由实线所示那样发生弹性变形。 0101 此时， 在平面边缘部 82 中， 由于夹紧力的作用， 在使接触面积进一步增大的同时 朝向斜外方发生变形， 故附着于平面边缘部 82 的表面的尘埃被更有效地分散。因此， 附着 说 明 书 CN 103026413 A 10 9/11 页 11 于平面边缘部 82 的表面的尘埃在表面局部具有某种程度以上的厚度， 故能够防止使平面 边缘部 82 表面的摩擦系数显著地降低。 0102 即便。
46、在该情况下， 也更优选弹性层 80 的表面是在将形成了缺口部 85 的弹性层 80 固定于盘支撑面 12 上之后通过切削加工而形成的。 0103 因此， 较之将橡胶成形体直接地用于弹性层 80 的情况， 能够均匀地形成以盘支撑 面 12 为基准的弹性层 80 的高度， 在将盘部件 2 载置 / 支撑于弹性层 80 上并使转台旋转之 际， 能够有效地抑制表面抖动的发生。 0104 在图 9 至图 12 示出的例子中， 虽然缺口部 85 被形成于弹性层 80 的外周缘部 80g 侧， 但是也可设置成向内周缘部 80n 开口。或者， 也可在外周缘部 80g 侧和内周缘部 80n 侧 双方设置缺口部。。
47、 0105 在图 13 所示的例子中， 在弹性层 90 的外周侧形成有向外周缘部 90g 开口的多个 缺口部 95， 并且在内周侧也形成有向内周缘部 90n 开口的多个缺口部 97。此时， 在外周侧， 6 个缺口部 95 被设置成圆周均配状， 在内周侧， 按照位于这些缺口部 95 彼此之间的方式， 6 个缺口部 97 被设置成圆周均配状。此外， 即便在该例子中， 也是 ： 弹性层 90 的表面与背面 平行、 且第 1 实施方式中那样的高接触压力部并没有特别设置。 0106 另外， 在该情况下， 各缺口部 95、 97 以例如使用了冲压装置的冲孔加工的方式被 形成为圆弧的一部分。形成相应的圆弧 。
48、( 缺口部 95、 97) 的冲孔 Kg、 Kn 的直径 Pg、 Pn 能够 进行各种变更。在图 13 的例子中， 弹性层 90 被设定成 ： 外周半径 Rg 例如约 13.7mm、 内周 半径 Rn 例如约 11.7mm、 且冲孔 Kg、 Kn 的直径 Pg、 Pn 为 Pg Pn 4mm。 0107 关于构成弹性层20的缺口部95、 97的圆弧部分的个数、 冲孔Kg、 Kn的直径Pg、 Pn， 在外周半径 Rg 例如约 13.7mm 程度的情况、 或者内周半径 Rn 例如约 11.7mm 程度的情况下， 在以下的范围内设定的参数是适合的。 0108 冲孔 Kg、 Kn 的直径 (Pg Pn。
49、) ： 约 1 10mm 0109 ( 优选 2 6mm) 0110 外周缘部 90g 的缺口部 95 的个数 ： 0 20 个 0111 ( 优选 4 10 个 ) 0112 内周缘部 90n 的缺口部 97 的个数 ： 0 20 个 0113 ( 优选 0 10 个 ) 0114 其中， 不让外周侧以及内周侧都为 0 个。 0115 以上， 在说明过的本发明的第 2 实施方式 ( 图 9 图 13) 中， 虽然弹性层 80、 90 的 表面与背面平行、 且第 1 实施方式中那样的高接触压力部并没有特别设置， 但是也可设置 相应的高接触压力部或者剖面边缘部， 并在该高接触压力部或剖面边缘部中， 在弹性层的 外周缘部以及内周。