《用于对检漏仪进行功能测试的方法.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《用于对检漏仪进行功能测试的方法.pdf（6页珍藏版）》请在专利查询网上搜索。
1、(10)申请公布号 CN 102317753 A (43)申请公布日 2012.01.11 CN 102317753 A *CN102317753A* (21)申请号 201080008060.8 (22)申请日 2010.02.10 102009009370.2 2009.02.18 DE G01M 3/20(2006.01) G01L 27/00(2006.01) G01L 21/30(2006.01) (71)申请人 因菲康有限公司 地址 德国科隆 (72)发明人 兰道夫罗尔夫 (74)专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限 公司 11227 代理人 寇英杰 黄霖 (54) 发明名称 用。
2、于对检漏仪进行功能测试的方法 (57) 摘要 为了对包括分压力传感器 (21) 的检漏仪 (20)进行功能测试， 将具有可变容积(33)的测试 装置(30)连接于该检漏仪。 所述测试装置能够是 注射器。通过改变容积 (33)， 包含在环境空气中 的测试气体的分压力被改变。执行测试以检验检 漏仪 (20) 是否指示这种改变。根据本发明， 不需 要具有机械真空泵的真空泵吸装置。该方法适合 于测试包含下述真空泵吸装置的真空系统， 该真 空泵吸装置用在泄漏测试中以产生所需的真空。 维修技术人员能够独立于该系统和该真空泵吸装 置执行检漏仪 (20) 的功能测试。 (30)优先权数据 (85)PCT申请进。
3、入国家阶段日 2011.08.16 (86)PCT申请的申请数据 PCT/EP2010/051652 2010.02.10 (87)PCT申请的公布数据 WO2010/094608 DE 2010.08.26 (51)Int.Cl. (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 3 页 附图 1 页 CN 102317760 A1/1 页 2 1. 一种用于对检漏仪进行功能测试的方法， 所述检漏仪包括具有气体入口 (24) 的分 压力传感器 (21)， 其特征在于， 将包括具有可变容积的腔室 (33) 的测试装置 (30) 连接于所述检漏仪 (20)，。
4、 通过改变所述腔室 (33) 的大小， 包含在环境空气中的测试气体的分压力在所述分压 力传感器的气体入口 (24) 处被改变， 并且， 检验所述检漏仪是否指示这种改变。 2. 根据权利要求 1 所述的方法， 其特征在于， 所述测试装置包括注射器， 所述注射器具 有注射器管筒 (31) 以及布置成用于在所述注射器管筒中运动的活塞 (32)。 3. 根据权利要求 1 或 2 所述的方法， 其特征在于， 所述测试装置 (30) 是手动操作的。 4.根据权利要求2所述的方法， 其特征在于， 所述分压力传感器(21)的入口(24)设有 允许注射器的压力密闭式连接的适配器 (26)。 权 利 要 求 书 。
5、CN 102317753 A CN 102317760 A1/3 页 3 用于对检漏仪进行功能测试的方法 技术领域 0001 本发明涉及一种用于对包括具有气体入口的分压力传感器的检漏仪进行功能测 试的方法。 背景技术 0002 检漏仪用于检测气体流中的测试气体的存在。 所述气体流通常将通过从容器抽吸 气体而产生 ； 然而， 也能够使用仅由扩散产生的气流。 当相对于容器从外部喷洒通常为氦气 的测试气体时， 可能存在的泄露将导致测试气体侵入到容器的内部， 从而使得在从容器抽 吸的气体中可检测到测试气体。另一方法设计为， 将测试气体引入到待测试密封性的容器 中。在容器的外侧， 借助嗅吸型检漏仪施加抽。
6、吸， 以便检测从容器流出的测试气体。 0003 如果泄漏检测要在下述真空系统中执行， 该真空系统是包括待被排空的容器和真 空泵装置的类型， 那么检漏仪将连接于真空泵装置的抽吸管线。用于测试气体的检测的复 杂的检漏仪包括质谱仪， 但是也已知的是需要较少技术支出并且重量相对较轻的分压力传 感器。在 WO 2002 003057( 因菲康 (Inficon) 中描述了设计成使用氦气或氢气作为测试 气体的这种分压力传感器。 所述传感器包括窗口， 该窗口设有膜， 该膜可选择性地渗透例如 氦气， 并且界定传感器腔室， 并且， 在传感器腔室的内部进一步包括压力传感器。该传感器 在任意环境压力下操作。 000。
7、4 在 DE 10 2006 047 856A1( 因菲康 (Inficon) 中描述了分压力传感器的另一示 例。该类型的分压力传感器以商标名 Wise TechnologyTM( 明智技术 ) 而已知。 发明内容 0005 本发明的目的是提供一种用于对检漏仪进行功能测试的方法， 在该方法中， 该功 能测试能够在没有输送泵的情况下执行。 0006 根据本发明的方法通过权利要求 1 中限定的特征来区分。所述方法的特征在于， 包括具有可变容积的腔室的测试装置将被连接于检漏仪， 通过改变所述腔室的大小， 在分 压力传感器的入口处、 包含在环境空气中的测试气体的分压力被改变， 并且， 检验检漏仪是 否。
8、指示这种改变。 0007 根据本发明的用于功能测试的方法消除了机器驱动式真空泵的使用， 取而代之 地， 利用了包括具有可变容积的腔室的测试装置。这种测试装置能够方便地运输和连接于 检漏仪。优选地， 该装置是手动操作的， 因此也消除了对于马达或其它驱动装置的需要。 0008 该方法特别适合于待用在包括容器和真空泵装置的真空系统中的氦气检漏仪。 检 漏仪将在合适的位置连接于抽吸管线。检漏仪不需要其自己的泵， 因为抽吸气流由系统的 真空泵装置产生。 这种小型化的检漏仪尤其适合于维修目的， 因为由于不存在集成泵， 所以 其易于运输。 在执行维修任务之前， 维修技术人员将希望验证检漏仪的功能性， 可能地。
9、甚至 包括其灵敏度的验证。 以这种方式， 技术人员能够避免用有缺陷的装置进行维修请求， 或将 有缺陷的装置连接于系统。由于检漏仪不具有内置的泵， 所以通过使用小型或轻型测试装 说 明 书 CN 102317753 A CN 102317760 A2/3 页 4 置执行功能测试。 0009 本发明实现下述效果 ： 例如氦气或氢气的测试气体包含在环境空气中， 并且空气 中的测试气体的含量是相对恒定的。通过扩大测试装置的腔室， 能够减小作用在传感器的 入口上的压力， 由此， 与之对应地， 也降低了测试气体的分压力。 因此， 通过检查检漏仪是否 将指示分压力的改变而使检漏仪的功能测试成为可能。而且， 。
10、通过与环境空气中存在的氦 气含量相关地设定分压力的所测量的改变而可以校正检漏仪。 0010 测试装置优选地包括注射器， 该注射器是与用于施加医疗液体的注射器类似的类 型。这种注射器包括注射器管筒和布置成用于在注射器管筒中运动的活塞， 所述活塞连接 于活塞杆。通过回缩活塞， 将扩大活塞的内部的腔室。在注射器管筒的前端处， 布置有注射 器芯部。注射器芯部能够以压力密闭的方式连接于安装至分压力传感器的入口的适配器。 0011 本发明使得维修技术人员可以在无需过度介入装置的情况下以及在任何期望的 地方容易地对检漏仪执行功能测试和校正。所有必须携带的将只是手动操作的测试装置。 代替将测试装置实现为注射器。
11、， 装置能够是具有可变容积的活塞 - 筒体单元或另一腔室。 0012 下文中将参考附图对本发明的示例性实施方式进行更详细描述。 附图说明 0013 在附图中 ： 0014 图 1 示出了分压力传感器在包括压力密闭式容器和真空泵装置的系统中的使用 ； 以及 0015 图2是描绘了应用于根据图1而可操作的分压力传感器的测试装置的使用的示意 图。 具体实施方式 0016 在图 1 中， 示出了包括其内腔室应被排空的容器 10 的真空系统。容器 10 能够是 用于对工件进行真空处理的反应器， 例如用于进行喷溅、 气相沉积和 CVD 等。 0017 真空测试涉及检测测试气体此处为氦气是否从外部泄漏到排空。
12、容器 10 中。氦气的泄漏速率由 QHe标示。 0018 容器10连接于例如罗茨泵的真空泵11。 真空泵的出口连接于前级真空泵12的抽 吸入口。前级真空泵 12 的出口 13 通向大气压力占优的环境空气。 0019 在真空泵 11 的抽吸入口处， 泵吸速度 SI和压力 PI占优。在此位置， 布置有用于将 检漏仪连接于其上的连接器 14。 0020 在前级真空泵 12 的抽吸入口处， 泵吸速度 SII和压力 PII占优。布置在此位置的是 连接器 15， 连接器 15 同样地适合于任选地将检漏仪连接于其上。 0021 在前级真空泵 12 的出口处， 压力 PIII占优。布置在此位置的是连接器 16。
13、， 连接器 16 同样地适合于任选地将检漏仪连接于其上。 0022 在图 1 中， 检漏仪 20 连接于连接器 15。 0023 真空系统的操作过程中的参数 QHe、 V、 P 和 S 的典型范围如下 ： 0024 QHe 10-710-410-310-1mbarl/s(Grob) 0025 V 0， 510， 5m380m3 说 明 书 CN 102317753 A CN 102317760 A3/3 页 5 0026 PI 10-215mbar 0027 SI800l/s(3000m3/h) 0028 PII 10-20， 145mbar 0029 SII 1350l/s(1260m3/h。
14、) 0030 PIII Atm 0031 在图 2 中， 示出了检漏仪 20 的功能测试。检漏仪包括以如在 DE 100 31 882A1 中描述的相同的方式构造的分压力传感器 21， DE 100 31 882A1 在此通过参引结合到本申 请中。该分压力传感器包括检测腔室 22， 检测腔室 22 具有窗口， 该窗口对氦气而言是选 择性地可渗透并且形成分压力传感器的入口 24。在检测腔室 22 内部， 布置有例如成彭宁 (Penning) 压力传感器形式的压力传感器， 如也在 DE 10 2004 034 831A1 中描述的那样。 该传感器将把对应于氦气分压力的检测值传送给评估单元 25。 。
15、0032 连接于入口 24 的是允许测试装置 30 的压力密闭式连接的适配器 26。此处， 测试 装置 30 包括注射器， 该注射器包括注射器管筒 31 和布置成用于在所述注射器管筒中移位 的活塞 32。在活塞 32 前面， 布置有具有可变容积的腔室 33。通过活塞 32 的手动移位， 腔 室 33 的大小将改变。在注射器的前端处， 设置有以压力密闭的方式连接于适配器 26 的注 射器芯部 34。 0033 分压力传感器 21 将测量氦气分压力。该分压力传感器已连接于测试装置 30， 其 中， 窗口 23 与活塞路径的前端之间的闭塞的容积应该是限定的容积， 从而使得当容积改变 时， 将可以产生。
16、稳定的、 限定的压力改变。 0034 在传感器处， 1000 毫巴 (mbar) 的空气压力和大约 5E-3 毫巴的氦气分压力将首先 占优。当现在通过使用注射器活塞、 在观察附接于注射器筒体的刻度的同时将筒体腔室扩 大至已知的容积时， 传感器处的空气压力和氦气分压力将以下述比率降低， 该比率取决于 闭塞的容积和注射器容积。注射器可以说是被用作 “泵” 。通过该压力下降， 检漏仪的所指 示的泄漏速率将改变。因此， 能够检验检漏仪的功能， 并且如果已知氦气分压力， 甚至能够 执行检漏仪的灵敏度的定量检验。 0035 本发明提供了下列优点 ： 0036 将既不需要泵也不需要另外的气体 ( 例如氮气或氦气 ) ； 0037 所需的测量器件极其便宜 ； 在任何地方将可获得替换的注射器 ； 0038 测量的是实际氦气灵敏度， 而不是一些替代的值。因此， 整个测量路径将得到检 验。 0039 而且， 能够获得定量结果。 说 明 书 CN 102317753 A CN 102317760 A1/1 页 6 图 1 图 2 说 明 书 附 图 CN 102317753 A 。