对流式嗅敏检漏仪 本发明涉及一种对流式嗅敏检漏仪，它具有一个作为测试气体检测器的质谱仪、一个在对流中有检测气体流过的高真空泵或高真空泵级，一个连接在高真空泵或高真空泵级的出口侧的吸气软管，以及一个在吸气软管入口区的大气压与吸气软管出口区的压力之间保持压差的节流阀。
为使这种检漏仪既有短的反应时间，又有高的检测灵敏度，建议上述吸气软管要这样设计，使其到所要求的节流作用。
通过上述措施可以达到，总是有最大允许气流流过上述吸气软管。由于在氦—测试气体检漏时，感兴趣的泄漏量级为10-2mbar/L/S，因此可以保证从可能存在的泄漏点中溢出的全部检测气流能被吸入并到达检漏仪中。由此产生出一个高的检测灵敏度。另外，由于按照本发明确定地吸气软管中的气体流速较高，因而反应时间也短。当吸气软管在全长上直径相同，从而产生全部所需的节流作用时，上述优点将特别良好持实现。但是，为了解决所提出的任务，只要吸气软管的较大一段、例如其长度的50％或70％具有节流功能也就足够，而其余管段则基本上无阻力地将待测气体引导至检漏仪。
从DE-B-2441124中已经知道有一种嗅敏检漏仪。其中，该文件所描述的现有技术是，在吸气软管的入口区中设一个节流阀。按照该文件的权利要求1的嗅敏检漏仪具有一个节流阀，该阀直接安置在质谱仪检测器的前面。在这两种方案中，从可能存在的泄漏点溢出的一部分检测气体不可避免地未能到达检漏仪的入口中。
在本发明的范围内，在校准方面还具有特殊的优点。对本发明的嗅敏检漏仪来说，为了进行校准，只要在高真空泵和预真空泵之间的连接管区中用一个检测泄漏点放入已知量的检测气体就已足够。这样，那种迄今为止在检漏仪中所必需的外部检测泄漏点就可省去。
下面将根据图1和2说明其它优点和细节。
在图1和2中示意性地用1表示检漏仪，用2表示其入口。该检漏仪包括质谱仪3，它与高真空泵4、最好是涡流分子泵的入口连接。高真空泵4通过一条连接管5与预真空泵6连接。
在检漏仪1的入口2处接有吸气管软7。吸气软管的两端用8(入口)和9(出口)表示。吸气软管的入口8被引向试验物11的有泄漏嫌疑的区域，泄漏点用12来表示。
在图1的检漏仪上，检漏仪1的入口2与连接管5连接。选用一种涡流分子泵13作为在对流中工作的高真空泵4。
在图2的检漏仪中，高真空泵4包括：位于高真空侧的级14(最好为涡流分子泵级)和位于预真空侧的级15(最好为分子泵级)。高真空泵4装有一个接头16，该接头16与高真空泵级14和15之间的区域连接。检漏仪1的入口2可以有选择地(借助未示出的阀)接在高真空泵4和预真空泵6之间的连接管5上，或者为了提高灵敏度而接在高真空泵4的入口16上。
吸气软管7的尺寸(长度、内径)要这样选择，使它能够在其入口区8的大气压与其出口区9的压力之间保持压力差。当检漏仪1的入口2接在高真空泵4和预真空泵6之间的连接管上时(见图1)，其出口区9的压力约为2mbar。当检漏仪1的入口2与高真空泵4的接头16连接时(见图2)，吸气软管7的出口区9的压力约为0.1bar。一条长度约为4米、内径约为0.4mm的吸气软管7就具有所要求的节流作用。在一条这样的吸气软管中，气体流量约为0.4mbar/L/S。当吸气软管7较长时，就必需采用较大的内径，而在吸气软管较短时，则要选用较小的内径。
另外，在高真空泵4和预真空泵6之间的连接5上，通过一个阀17还连接着一个检测泄漏点18。由于吸气软管7的特殊性能，检漏仪的校准工作完全可以由内装的检测泄漏点18来完成，因而不再需要用一个外部检测泄漏点来校准检漏仪。