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1、(10)申请公布号 CN 104245547 A (43)申请公布日 2014.12.24 C N 1 0 4 2 4 5 5 4 7 A (21)申请号 201380021075.1 (22)申请日 2013.02.26 2012-100556 2012.04.26 JP 2012-183973 2012.08.23 JP B65G 49/06(2006.01) H01L 21/677(2006.01) (71)申请人株式会社IHI 地址日本东京都 (72)发明人王鹏 和田芳幸 松尾研吾 (74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限 公司 11243 代理人丁文蕴 王莉莉 (54) 发明名称。
2、 输送装置 (57) 摘要 用于利用气体使对象物悬浮并向第一方向 输送的输送装置，具备：悬浮部，其喷出上述气体 对上述对象物加压从而使上述对象物悬浮；输送 部，其具备带以及多个辊中的至少一方，该带是在 上述第一方向上延伸的环形带，并具备为与上述 对象物接触而突出的多个突起，该多个辊在上述 第一方向上能够旋转，并在上述第一方向上排列， 上述输送部为与上述对象物接触并向上述第一方 向驱动而构成；罩，其覆盖上述输送部、或者与上 述输送装置邻接地平行延伸并仅使上述多个突起 或上述多个辊的各自的上端突出、且具备与上述 对象物的下表面平行的面；以及吸引部，其对上 述罩内给与负压而使上述对象物与上述输送部接。
3、 触。 (30)优先权数据 (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2014.10.21 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2013/054989 2013.02.26 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2013/161376 JA 2013.10.31 (51)Int.Cl. 权利要求书1页 说明书7页 附图7页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书1页 说明书7页 附图7页 (10)申请公布号 CN 104245547 A CN 104245547 A 1/1页 2 1.一种输送装置，是用于利用气体使对象物悬浮并向第一方向输送的输送装置，其特。
4、 征在于，具备： 悬浮部，其喷出上述气体对上述对象物加压从而使上述对象物悬浮； 输送部，其具备带以及多个辊中的至少一方，该带是在上述第一方向上延伸的环形带， 并具备为与上述对象物接触而突出的多个突起，该多个辊在上述第一方向上能够旋转，并 在上述第一方向上排列，上述输送部为与上述对象物接触并将其向上述第一方向驱动而构 成； 罩，其仅使上述多个突起或者上述多个辊的各自的上端突出，并具备与上述对象物的 下表面平行的面；以及 吸引部，其对上述罩内给与负压而使上述对象物与上述输送部接触。 2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于， 上述罩覆盖上述输送部，或者与上述输送部邻接地平行延伸，并且，具备切口。
5、，该切口 在上述第一方向上延伸并为使上述对象物受到上述负压而构成。 3.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于， 上述罩的上述面相对于上述对象物在其宽度方向中央弯曲时产生的端部的下表面的 倾斜而平行。 4.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于， 上述罩的上述面具备在其端向离开上述对象物的方向倾斜的斜面。 5.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于， 还具备调整部，该调整部为对上述罩的倾斜度进行调整而构成。 6.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于， 上述悬浮部或者上述输送部包含变形机构，该变形机构为使上述对象物在其宽度方向 中央弯曲而构成。 7.根据权利要求6所述的输送装置，其特征。
6、在于， 上述变形机构是气体供给装置或者上述多个突起，该气体供给装置为使上述悬浮部产 生比上述多个突起上的上述对象物的高度低的悬浮高度而构成，上述多个突起形成为比上 述悬浮部的上述对象物的悬浮高度高。 8.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于， 上述吸引部是设置在上述罩内的风扇、鼓风机或者泵。 权 利 要 求 书CN 104245547 A 1/7页 3 输送装置 技术领域 0001 本发明涉及使如薄的玻璃那样的基板悬浮而进行输送的输送装置。 背景技术 0002 在以液晶显示器为代表的平板显示器的制造中，为了无损伤地输送如薄的玻璃那 样的基板，利用使基板悬浮而进行输送的输送装置。这种输送装置。
7、通常具备喷出压缩空气 的悬浮装置，并且具备与悬浮的基板接触并对其给与驱动力的带式输送机或者辊式输送 机。 0003 附着于玻璃基板上的尘埃、其表面的伤痕对显示器的品质带来重大的影响。尘埃 的附着、表面的伤痕的主要原因之一是玻璃基板与输送装置等接触。另一方面，由于玻璃基 板例如厚度为0.7mm或其以下，因此具有挠性，为了防止输送中的接触，重视在将基板保持 为平坦的状态下进行输送。近年来，还渴望薄的玻璃，将玻璃保持为平坦地进行输送更加困 难。 0004 专利文献1公开了具备带式输送机的输送装置的技术。根据该技术，带具备以等 间隔配置的突起，突起与悬浮的玻璃基板接触来对其进行输送。 0005 专利文。
8、献2公开了具备辊式输送机的输送装置技术。根据专利文献2，“存在玻璃 基板的通过线中央部向上方较大地浮起、或下垂的弯曲变得明显的情况。”被认为是技术课 题。为了解决该课题，通过调节来自宽度方向中央位置的气动工作台单元的空气供给量，来 抑制玻璃基板的弯曲。 0006 现有技术文献 0007 专利文献 0008 专利文献1：日本国专利申请公开2008066661号 0009 专利文献2：日本国专利申请公开2008260591号 发明内容 0010 发明所要解决的课题 0011 上述那样的技术能够大体上平坦地保持玻璃基板。但是，关于在输送方向上、如前 端的弯曲那样的局部的弯曲，仍然留有技术的课题。即、。
9、在玻璃基板从一个辊向下一个辊移 动，或者，从一个输送装置向下一个输送装置移动，由于没有支撑前端的构件，因此前端因 自重而向下方弯曲。存在前端容易与辊或者输送装置冲突的问题。 0012 本发明是鉴于上述的问题而提出的方案。本发明的发明者发现，与上述那样的技 术常识相反地，仅将玻璃基板的宽度方向的两端平坦地支撑，而使玻璃基板的中央部稍微 弯曲，从而可抑制前端的弯曲，由此想到了本发明。 0013 用于解决课题的方案 0014 根据本发明的一个方案，用于利用气体使对象物悬浮并向第一方向输送的输送装 置具备：悬浮部，其喷出上述气体对上述对象物加压从而使上述对象物悬浮；输送部，其具 说 明 书CN 104。
10、245547 A 2/7页 4 备带以及多个辊中的至少一方，该带是在上述第一方向上延伸的环形带，并具备为与上述 对象物接触而突出的多个突起，该多个辊在上述第一方向上能够旋转，并在上述第一方向 上排列，上述输送部为与上述对象物接触并将其向上述第一方向驱动而构成；罩，其覆盖上 述输送部，或者与上述输送部邻接地平行延伸，其仅使上述多个突起或者上述多个辊的各 自的上端突出，并具备与上述对象物的下表面平行的面；以及吸引部，其对上述罩内给与负 压而使上述对象物与上述输送部接触。 0015 发明的效果 0016 能够防止基板的前端的弯曲，并能够防止基板和输送装置等冲突。 附图说明 0017 图1是表示本发明。
11、的一个实施方式的输送装置的一部分的立体图。 0018 图2是本实施方式的输送装置的三视图。 0019 图3是本实施方式的输送部以及吸引部的横向剖视图。 0020 图4是其他实施方式的输送部以及吸引部的横向剖视图。 0021 图5是另一实施方式的吸引部以及输送部的横向剖视图。 0022 图6是表示再一实施方式的输送装置的一部分的立体图。 0023 图7是表示通过中央附近弯曲而防止前端弯曲的情形的基板的立体图。 具体实施方式 0024 以下参照附图对本发明的例示的几个的实施方式进行说明。 0025 本发明的实施方式的输送装置能够适合用于例如在清洁室内输送如玻璃基板那 样薄的对象物。在玻璃基板的情况。
12、下，不仅将厚度0.7mm左右的基板作为对象，而且厚度 0.10.3mm左右的极薄的基板也能够作为对象。 0026 参照图1，本发明的一个实施方式的输送装置100具备使工件W(对象物)悬浮的 悬浮部116、和向方向X(第一方向)驱动工件W的输送部120。悬浮部116具备喷出气体 的开口116a，喷出的气体对工件W给与正压，因此，工件W悬浮。输送部120具备由马达等 向方向X被驱动的多个突起114，突起114与工件W接触来输送工件W。输送部120通过具 备吸引部128来吸引突起114的周围的气体而使工件W与突起114接触，详细内容将于后 文叙述。也可以不通过悬浮部116而是仅通过输送部120来支撑。
13、并输送工件W。 0027 参照图2进行详细说明。图2(a)是与罩一起观察输送装置的俯视图，图2(b)、(c) 是在拆下了罩的状态下观察输送装置的正视图以及侧视图。 0028 带112和悬浮部116一起支撑于支撑台118，支撑台118经由支撑腿118a设置在 清洁室的地面或地面网板上。悬浮部116排列于支撑台118上，例如沿着方向X排列有多 个悬浮部116，并且在与方向X正交的方向(宽度方向)上也排列有多个悬浮部116。排列 的个数能够自由地选择，由此装置的结构能够根据对象物的大小而任意地变更。输送部120 通常配置在多个悬浮部116的宽度方向两端，但也可以是其他配置。 0029 悬浮部116的。
14、整体是箱型，其上表面大致平坦。上表面具备朝向上方开口的开口 116a，开口116a贯通上表面而与内部的空间连通。开口116a既可以是例如图1、2那样的 圆形的切口，也可以采用矩形的多个切口、或者多个小孔等各种形状。另外，开口116a既可 说 明 书CN 104245547 A 3/7页 5 以垂直地贯通上表面，也可以相对于上表面具有倾斜度。或者，悬浮部116的上表面的一部 分或者整体是具有通气性的网眼体、多孔体。 0030 以与开口116a连通的方式在外部设置气体供给装置，供给空气、氮气那样的气体 G并从开口116a喷出。气体供给装置是向悬浮部116加压地供给气体G的泵或者压缩机。 既可以在一。
15、个悬浮部116上连结一个气体供给装置，也可以在多个悬浮部116上连结单一 的气体供给装置。另外，还可以是贮存一定量的压缩气体的腔室介于气体供给装置和悬浮 部116之间。 0031 从开口116a喷出的气体G在工件W与悬浮部116之间产生被加压的空间P，因此 对工件W加压而给与悬浮力。此时，不仅喷出的气体G碰撞在工件W上而产生的力、而且碰 撞后的气体G朝向周围分散的过程中产生的静压也成为悬浮力的来源。因此，通过比较小 的加压力便可得到较大的悬浮力，能量转换效率也优良。 0032 带112是大致环绕在两个以上的轮110之间的环形带，输送部120整体为带式输 送机。轮110分别由框架102支撑。如上。
16、所述，输送部120配置在多个悬浮部116的宽度 方向两端，其带112朝向沿着方向X延伸。 0033 在轮110上结合有轴110a，轴110a轴支承于框架102的支撑孔102a，从而轮110 能够绕该轴110a旋转。在轴110a上结合有齿轮110b，并一体地旋转。为了结合，例如既可 以采用相互嵌合的键和键槽的组合，也可以代替嵌合而为一体构造。 0034 输送装置100还具备电动马达那样的驱动装置110c。驱动装置110c具备与齿轮 110b啮合的齿轮110d，因此通过驱动装置110c的驱动，轮110旋转，带112在轮110之间 旋转。或者，驱动装置也可以直接驱动轮，或者也可以进一步介入适当的齿轮。
17、、小齿轮装置。 0035 带112具备向外侧方突出的多个突起114。多个突起114还沿着方向X并排排列。 突起114既可以与带112为一体，也可以为分体并与带配合。突起114如后文所述，形成为 比工件W的悬浮高度稍高。其形状也可以是圆筒、长方体、锥体或者其他任意形状。另外， 其前端可以是平坦的，或者为了减小与工件W的接触面积，也可以是球形或锥形。再有，前 端也可以具有朝向悬浮部116向下的倾斜。对该方式将于后文叙述。 0036 参照图3(a)，带112以及突起114优选被罩126覆盖。罩126在其上端具备开口 126c，突起114仅其上端从开口126c向上方突出。如从图1理解的那样，开口126。
18、c是沿着 方向X延伸的切口，突起114以保持使其上端突出的状态在方向X上能够移动。优选罩126 在带112上不仅覆盖上侧(在方向X上移动的去程路)，而且还覆盖下侧(在与方向X相反 的方向上移动的回程路)。 0037 输送部120在罩126的内部、或者以与罩126的内部连通的方式具备吸引部128。 吸引部128是如风扇、鼓风机或者泵那样的吸气机构，使罩126的内部为负压。罩126的内 部经由开口126c与突起114的上端的周围的空间连通，吸引该空间的气体G，因此，使工件 W受到负压NP。气体G既可以与上述的气体G相同，也可以是其他气体。 0038 如图3(b)所示，罩126的上端也可以朝向上变得。
19、尖细，但优选如图3(a)所示，上 端具备平坦的面126a，更优选面126a与工件W的下表面大致平行。为了确保平行，也可以 在上端追加分体的部件。 0039 罩126的面126a与工件W的下表面大致平行，如图3(a)所示，在其之间保持一对 流路f，气体G通过这些流路f朝向开口126c被吸入。流路f分别是被两个面包围的比较 说 明 书CN 104245547 A 4/7页 6 狭窄的流路，另外，一对流路f相对于开口126c以及突起114为大致对称。气体G从宽阔 的空间流入狭窄的流路f，从而根据伯努利原理，气体G的流速变大的同时，压力降低，因 此，产生负压NP。流路f在其整体范围为大致固定的宽度，因。
20、此该负压NP在流路f的整体 范围为大致恒定。 0040 上述的结构的效果通过对图3(a)和图3(b)进行比较可更加清楚地理解。图3(a)、 (b)的各自的下侧的曲线图是表示负压NP相对于位置D(横轴)的大小(纵轴)的曲线图， 为了有助于理解，纵轴利用绝对值(使负值的符号为相反的值)来表示。如图3(b)所示， 罩2c的上端2a变得尖细，在带1和吸引部3被罩覆盖的情况下，负压集中产生于开口2b 的中心附近，若离开中心，则负压急剧变小。在开口2b的中心附近(虚线a)，负压NP大，但 在离开开口2b的中心的罩2c的两肩附近(虚线b、c)，负压NP明显较小。另一方面，如图 3(a)所示，在上端具有与工件。
21、W的下表面大致平行的面126a的情况下，由于在一对流路f 的整体范围产生大致恒定的负压NP，因此在从开口的中心附近(虚线a)至面126a的两端 附近(虚线b、c)的范围，产生恒定的负压NP。即、工件W的端部保持为平坦的宽度变大。 另外，作用于工件W的吸引力为负压NP的积分值，因此在宽阔的范围产生负压NP关系到带 来更大的吸引力。因此，即使吸引部128的输出比较小，也能得到大的吸引力，能量转换效 率也优良。 0041 罩126的例如下端还具备开口，气体G从开口向外部排出。优选开口具备空气过 滤器126f。如带式输送机、风扇或者鼓风机那样的旋转体经常是清洁室内的主要的尘埃产 生源，因此在该部位设置。
22、空气过滤器，有利于维持清洁室的空气的清洁度。 0042 另外，也可以在向悬浮部116供给气体的气体供给装置连接开口，以此使气体G循 环。上述构件构成循环部。对于气体供给装置来说，通过均衡流入和流出，从而能量转换效 率变高，因此在节能性方面有利。另外，在该情况下，也可以省略吸气机构和气体供给装置 的一方，而使另一方兼作吸引气体的机构和对气体加压的机构。 0043 关于罩的形态，能够进行各种变形。例如，如图4(a)所示，罩226的上端的面226a 也可以与工件W的弯曲相应地倾斜。具体而言，相对于工件W在其宽度方向中央弯曲时产 生的端部的下表面的倾斜而平行。开口226c设置在倾斜的面226a上。不仅。
23、有利于确保面 226a和工件W的平行性，而且还能够防止工件W与罩226接触。 0044 如图4(b)所示，罩126整体还可以能够倾斜。具体而言，罩126具备调整部320， 该调整部320为调整罩的倾斜度而构成。调整部320具备支撑罩126的支撑体320a和轴 支承支撑体320a的轴320b。罩126能够绕轴320b转动，因此能够调整其倾斜度。也可以 在轴320b上结合电动马达等驱动机构。工件W的弯曲根据其种类及厚度、或者驱动悬浮部 116的条件，可有各种各样地变更。如图4(b)所示，如果具备调整部320，则能够与各种弯 曲对应地确保面126a和工件W的平行性。 0045 如图4(c)所示，罩3。
24、26的上端的面还可以还具备倾斜面326f。倾斜面326f从上 端的面的肩开始，随着离开开口326c而向离开工件W的方向倾斜。倾斜面326f既可以是 如图示那样的圆形的面、也可以是平面或者一点点改变角度的平面的集合。气体G首先在 通过倾斜面326f的附近后流入到流路f。此时，气体G通过逐渐变得狭窄的流路，由此流 速逐渐变大，压力逐渐变小。即、在流路f的入口，压力不会急剧变动，另外，气体G的流动 也难以产生紊乱。这些都有利于确保工件W的端部的平坦性。另外，由于难以产生压力损 说 明 书CN 104245547 A 5/7页 7 失，因此在能量转换效率方面也有利。 0046 如图4(d)所示，罩42。
25、6的上表面也可以具备朝向外侧方延伸的凸缘部426a。不言 而喻，凸缘部426a优选与工件W的下表面大致平行。即使这样，在凸缘部426a与工件W的 下表面之间形成流路f，在从开口426c至流路f的范围产生均匀的负压NP。有利于扩大产 生均匀的负压NP的范围，另外，能够确保宽阔的开口426c，因此能够减小压力损失，在能量 转换效率方面也有利。 0047 罩的上端的面与工件W的下表面之间的平行性并非严格要求，如图5(a)、(b)所 示，也可以具有若干角度。在图5(a)的例子中，面526a朝向工件W的中央倾斜，面526a与 工件W的下表面具有角度。在图5(b)的例子中，面626a以左右对称的方式，随着。
26、离开中心 而倾斜，在面626a与工件W的下表面具有角度。这些角度例如若在10左右则被允许，为 了充分获得后述的效果，更优选在5以下。 0048 带112以及突起114也可以不一定由罩覆盖。在图5(c)所示的例子中，在相当于 上述罩的部件的吸引管726的外部设置有带112以及突起114。优选带112以及突起114 在输送装置的宽度方向上比吸引管726靠外侧。吸引管726的上端是与内部连通的开口 726c。开口726c是沿着方向X延伸的切口。并且，从开口726c连续设有凸缘部726a。不 言而喻，凸缘部726a优选与工件W的下表面大致平行。既可以在开口726c的两侧设置凸 缘部726a，也可以在如。
27、图示那样仅在一方侧设置凸缘部726a。在吸引管726的内部、或者 与吸引管726的内部连通地设有吸引部728。虽然与吸引部728连通地设有用于排气的开 口，但也可以与至此说明的实施方式相同，在该开口设置空气过滤器。虽然负压相对于突起 114不对称，但除此以外的效果与至此说明的实施方式相同。 0049 在上述的任意实施方式中，吸引部经由开口使工件W受到负压NP，使工件W的端部 与突起接触。工件W的端部以与突起接触的状态与之一起前进，因此被输送。开口包围突 起，在其周围宽阔的范围产生负压NP，因此工件W的端部在宽度方向上在宽阔的范围保持 为平坦。并且，开口沿着方向X延长，因此工件W的端部在沿着方向。
28、X宽阔的范围被保持为 平坦。 0050 另外，在输送部120，也可以代替从开口吸引气体G而使气体G喷出。在工件W 的下表面与罩的上端之间的间隙，气体G具有相当程度的流速地流出。此时，若间隙变大， 则流速改变，根据伯努利原理产生负压。如果间隙和流量满足特定的关系，则产生为吸引工 件W而充分的负压。即、输送部120作为所谓的伯努利吸盘而发挥功能，使工件W受到负压 NP。 0051 工件W的端部由排成一列的多个突起114支撑，与之一起移动，因此如由柱支撑的 顶板那样保持平坦的形状。如从在图3、4中表示工件W朝向左方下降的情况可理解：工件 W的端部平坦地被支撑，另一方面，在工件W的中央附近因自重而向下。
29、方稍微弯曲。即、若沿 着方向X观察，则工件W成为凹字的形状。或者，也可以设置使工件W的中央附近弯曲的变 形机构。 0052 这样的变形机构之一是产生特定的悬浮高度的气体供给装置。在气体供给装置所 供给的加压气体中，通过适当地调整加压力，能够使悬浮部116上的悬浮高度比突起114上 的工件W的高度低。或者，也可以减小在宽度方向上排列的多个悬浮部116中的、仅处于中 央的悬浮部116的悬浮力。再或者，也可以在气体供给装置或者悬浮部116上设置适当的 说 明 书CN 104245547 A 6/7页 8 降压机构(圧損手段)或流量调整机构，在中央附近减小悬浮力。通过该变形机构，能够使 工件W取得凹字。
30、形状。或者，也可以加强悬浮部116的悬浮力，来使工件W取得凸字形状。 0053 变形机构的另一个是突起114为使工件W弯曲而构成。工件W在悬浮部116上具 有以工件W的重量和悬浮部116的悬浮力的关系决定的固有的悬浮高度。相对于突起114 以不使工件W弯曲的方式对其进行支撑的高度，如果将突起114形成为以高的高度支撑工 件W，则能够使工件W取得凹字的形状。 0054 变形机构的另一个是突起114的各前端具有朝向悬浮部116下降的倾斜。通过突 起114倾斜，促进工件W的中央附近向下方弯曲。 0055 在上述的实施方式中具有各种变形。以下，特别是关于输送部以及吸引部，说明几 个变更后的实施方式。 。
31、0056 代替带式输送机，如图6(a)所示，也能够采用辊式输送机。输送部120B具备沿方 向X排列的多个辊314，代替具备多个突起114的带112。多个辊314被单一的罩126覆 盖，辊314的上端分别从罩126的开口126c向上方突出。与上述的实施方式相同，经由开 口126c吸引气体G，对工件W施加负压NP。工件W的端部利用负压NP而与辊314接触， 被辊314驱动，从而工件W在方向X上被输送。开口126c的周围的面与工件W的下表面大 致平行，产生遍及该范围的负压NP，可在宽阔的范围保持工件W的端部的平坦性。 0057 辊式输送机能够利用图6(b)所示的驱动装置进行驱动。沿方向X排列有多个辊。
32、 314，分别能够旋转地支撑于框架302。辊314的各轴与带轮310b结合，如电动马达那样的 驱动装置310也与带轮310b结合。这些带轮310b通过带310e而相互连结，由此所有的辊 314同步旋转。驱动装置310的轴310c优选延长至相反侧的端部，使相反侧的端部的带轮 310b旋转。因此，两端的辊314同步旋转。或者，也可以不由带而是由轴以及齿轮机构来构 成驱动装置。 0058 即使在这种方式中，也能够平坦地支撑工件W的宽度方向两端，另一方面，能够使 工件W的中央附近稍稍弯曲。这样，工件W取得凹字(或凸字)形状，发挥如下效果。 0059 参照图7，对上述各实施方式所发挥的效果进行说明。参照。
33、图7(a)，若如现有技术 那样欲将工件W的整体的形状保持为平坦，则在工件W的前端未被支撑时，前端因自重而如 箭头H那样向下方弯曲。例如在工件W从一个辊向下一个辊移动时，或者，从一个输送装置 向下一个输送装置移动时，会成为这种状态。工件W因向下方弯曲而容易与辊或输送装置 冲突。另一方面，根据本实施方式，如图7(b)所示，工件W的宽度方向两端沿着输送方向X 为平坦的，中央附近稍微弯曲。这样，工件W在宽度方向上起伏，因此工件W无法在输送方 向X上自由地变形，因而工件W的前端即使未被支撑也不会向下方弯曲。即使在工件W从 一个辊向下一个辊移动，或者，从一个输送装置向下一个输送装置移动时，也能够防止工件 。
34、W的前端与辊或者输送装置冲突。 0060 利用优选的实施方式对本发明进行了说明，但本发明并不限于上述实施方式。具 有该技术领域的普通技术的人员能够基于上述公开内容、通过实施方式的修改或变形来实 施本发明。 0061 产业上的可利用性 0062 提供能够防止基板的前端的弯曲的输送装置。 0063 符号的说明 说 明 书CN 104245547 A 7/7页 9 0064 100输送装置，120、120B输送部，2c、126、226、326、426罩，128、728吸引 部，114突起，116悬浮部，118支撑台，314辊，X输送方向，W工件，G、G气体。 说 明 书CN 104245547 A 1/7页 10 图1 说 明 书 附 图CN 104245547 A 10 2/7页 11 图2 说 明 书 附 图CN 104245547 A 11 3/7页 12 图3 说 明 书 附 图CN 104245547 A 12 4/7页 13 图4 说 明 书 附 图CN 104245547 A 13 5/7页 14 图5 说 明 书 附 图CN 104245547 A 14 6/7页 15 图6 说 明 书 附 图CN 104245547 A 15 7/7页 16 图7 说 明 书 附 图CN 104245547 A 16 。