切割固定治具.pdf

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1、(10)申请公布号 CN 102903679 A (43)申请公布日 2013.01.30 C N 1 0 2 9 0 3 6 7 9 A *CN102903679A* (21)申请号 201210448924.9 (22)申请日 2012.11.09 H01L 21/78(2006.01) H01L 21/683(2006.01) (71)申请人日月光半导体制造股份有限公司 地址中国台湾高雄市楠梓加工出口区经三 路26号 (72)发明人李相润 张敬模 (74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公 司 31100 代理人陆勍 (54) 发明名称 切割固定治具 (57) 摘要 切割固定治具包括绝。

2、缘框、基板承载件及导 电件。绝缘框具有上表面。基板承载件设于绝缘 框内且承载待切割基板。导电件设于绝缘框且具 有切割参考面，切割参考面与绝缘框的上表面实 质上齐平。 (51)Int.Cl. 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 权利要求书 1 页 说明书 5 页 附图 4 页 1/1页 2 1.一种切割固定治具，包括： 一绝缘框，具有一上表面； 一基板承载件，设于该绝缘框内且承载一待切割基板；以及 一导电件，设于该绝缘框且具有一切割参考面，该切割参考面与该绝缘框的该上表面 实质上齐平。 2.如权利要求1所述的切割固定治具，其中绝缘框具。

3、有一第一边缘斜面及一下表面， 该第一边缘斜面延伸于该上表面与该下表面之间，且从该上表面往该下表面的方向往外侧 倾斜。 3.如权利要求2所述的切割固定治具，其中该绝缘框更具有一第二边缘斜面，该第二 边缘斜面与该第一边缘斜面位于该绝缘框的相对二侧，该第二边缘斜面延伸于该上表面与 该下表面之间且从该上表面往该下表面的方向往外侧倾斜。 4.如权利要求3所述的切割固定治具，其中该绝缘框更具有一第三边缘斜面，该第三 边缘斜面延伸于该上表面与该下表面之间且从该上表面往该下表面的方向往外侧倾斜。 5.如权利要求4所述的切割固定治具，其中该绝缘框更具有一第四边缘斜面，该第四 边缘斜面与该第三边缘斜面位于该绝缘框。

4、的另相对二侧，该第四边缘斜面延伸于该上表面 与该下表面之间且从该上表面往该下表面的方向往外侧倾斜。 6.如权利要求5所述的切割固定治具，其中该第一边缘斜面、该第二边缘斜面、该第三 边缘斜面与该第四边缘斜面与该上表面的夹角介于10度至80度之间。 7.如权利要求1所述的切割固定治具，其中该绝缘框具有一下表面及一容置缺口，该 容置缺口从该上表面延伸至该下表面，该导电件设于该容置缺口内，且从该下表面露出。 8.如权利要求1所述的切割固定治具，其中该绝缘框具有一下表面、一外侧面及一容 置缺口，该容置缺口从该上表面延伸至该下表面，该导电件设于该容置缺口内，且从该外侧 面露出。 9.如权利要求1所述的切割。

5、固定治具，其中该导电件包括： 一块体，具有相对的一第一侧面与一第二侧面及相对于该切割参考面的一下表面； 一第一定位侧翼，连接于该块体的该第一侧面，且位于该块体的该切割参考面与该下 表面之间；以及 一第二定位侧翼，连接于该块体的该第二侧面，且位于该块体的该切割参考面与该下 表面之间； 其中，该导电件经由该第一定位侧翼及该第二定位侧翼定位于该绝缘框上。 10.如权利要求1所述的切割固定治具，其中该基板承载件与该绝缘框一体成形结构。 权 利 要 求 书CN 102903679 A 1/5页 3 切割固定治具 技术领域 0001 本发明是有关于一种切割固定治具，且特别是有关于一种用于半导体切割工艺的 。

6、切割固定治具。 背景技术 0002 在半导体封装单元的切割工艺中，常需要使用的全金属切割固定治具搭配刀具把 封装基板单一化成数个封装单元。然而，切割固定治具价格昂贵，且制造时间长，不利于快 速变化的产业发展。 发明内容 0003 本发明有关于一种切割固定治具，一实施例中，切割固定治具的价格较便宜，且制 造所需时间较短。 0004 根据本发明，提出一种切割固定治具。切割固定治具包括一绝缘框、一基板承载件 及一导电件。绝缘框具有一上表面。基板承载件设于绝缘框内且承载一待切割基板。导电 件设于绝缘框且具有一切割参考面，切割参考面与绝缘框的上表面实质上齐平。 0005 为让本发明的上述内容能更明显易懂。

7、，下文特举实施例，并配合附图，作详细说明 如下： 附图说明 0006 图1绘示依照本发明一实施例的切割固定治具的分解图。 0007 图2绘示图1的基板承载件与绝缘框的组合图。 0008 图3绘示图2中沿方向3-3的剖视图。 0009 图4绘示图3的待切割基板被切割的剖视图。 0010 图5绘示图1的绝缘框与导电件的分解图。 0011 图6A绘示依照本发明另一实施例的切割固定治具的外观图。 0012 图6B绘示图6A中沿方向6B-6B的剖视图。 0013 主要元件符号说明： 0014 100、200：切割固定治具 0015 110：基板承载件 0016 110u、120u、132u、133u：上。

8、表面 0017 111：吸气道 0018 112：刀具让槽 0019 120：绝缘框 0020 120b、130b、131b、132b：下表面 0021 120s1：第一外侧面 0022 120s2：第二外侧面 说 明 书CN 102903679 A 2/5页 4 0023 120s3：第三外侧面 0024 120s4：第四外侧面 0025 120t1：第一边缘斜面 0026 120t2：第二边缘斜面 0027 120t3：第三边缘斜面 0028 120t4：第四边缘斜面 0029 121：容置缺口 0030 130：导电件 0031 130s：外侧面 0032 130u：切割参考面 0033。

9、 131：块体 0034 131s1：第一侧面 0035 131s2：第二侧面 0036 132：第一定位侧翼 0037 133：第二定位侧翼 0038 140：待切割基板 0039 141：基板 0040 142：封装单元 0041 143：封装体 0042 144：第一边缘部 0043 145：第二边缘部 0044 150：导电刀具 0045 160：电线 0046 170：机台 0047 A1、A2：夹角 具体实施方式 0048 请参照图1，其绘示依照本发明一实施例的切割固定治具的分解图。切割固定治具 100包括基板承载件110、绝缘框120及导电件130。 0049 基板承载件110与。

10、绝缘框120各自独立元件，其分别形成后再采用卡合、锁合、黏 合、其它永久或暂时性方式结合在一起。然另一例中，绝缘框120及基板承载件110可以是 一体成形结构。基板承载件110的材料可以是金属、塑胶或相似于绝缘框120的材料。 0050 基板承载件110固定于绝缘框120内，用以承载待切割基板140(图3)。基板承 载件110具有数个吸气道111及数个刀具让槽112，刀具让槽112围绕吸气道111，吸气道 111及刀具让槽112延伸至基板承载件110的上表面110u。当待切割基板140设于基板承 载件110上，一真空吸力(未绘示)可通过吸气道111吸住基板承载件110，避免切割待切 割基板14。

11、0时，刀具的切割力迫使基板承载件110与基板承载件110分离。 0051 请参照图2，其绘示图1的基板承载件与绝缘框的组合图。基板承载件110具有上 表面110u，当基板承载件110设于绝缘框120内，上表面110u突出于绝缘框120的上表面 说 明 书CN 102903679 A 3/5页 5 120u，使刀具让槽112露出，如此可让刀具从露出的刀具让槽112进入基板承载件110内， 以切割待切割基板140。此外，经由相邻二刀具让槽112的间距，可控制切割后的封装单元 的尺寸。 0052 请参照图3，其绘示图2中沿方向3-3的剖视图。基板承载件110承载待切割基 板140(以虚线绘示)。待切。

12、割基板140包括基板141、数个芯片142及封装体143，其中芯 片142设于基板141上，而封装体143包覆此些芯片142。此外，芯片142的位置对应吸气 道111，使待切割基板140切割成数个彼此分离的封装单元后，各封装单元仍被吸附于对应 的吸气道111上，而避免与基板承载件110分离。 0053 绝缘框120的材料例如是工程塑胶，如丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物 (Acrylonitrile butadiene styrene，ABS)或其它合适塑胶材料。相较于金属，工程塑胶的 价格相对便宜，可降低切割固定治具100的整体价格。就成形方法而言，绝缘框120可采用 射出成形方法完成。射出成形。

13、方法中，从加热塑料、射出至模穴到成品冷却固化的时间短， 因此生产率高、生产速度快。 0054 绝缘框120具有第一外侧面120s1及第一边缘斜面120t1，第一边缘斜面120t1 连接上表面120u与第一外侧面120s1。第一边缘斜面120t1延伸于上表面120u与下表面 120b之间且从上表面120u往下表面120b的方向往外倾斜。第一边缘斜面120t1与上表面 120u的夹角A1介于10度与80度之间，然亦可小于10度或大于80度。一实施例中，夹角 A1为10度。夹角A1使待切割基板140的第一边缘部144被切割后，容易完全脱离于切割 固定治具100。 0055 如图3所示，导电件130设。

14、于绝缘框120且具有切割参考面130u。当要切割待切 割基板140前，导电刀具150可先碰触切割参考面130u，以定义导电刀具150的位置，如零 点(zero point)高度。依据此零点高度可正确控制导电刀具150的进刀量，而正确完成切 割工艺。此外，切割参考面130u与绝缘框120的上表面120u实质上齐平，使切割参考面 130u与绝缘框120的上表面120u的相对高度差实质上为零。 0056 请参照图4，其绘示图3的待切割基板被切割的剖视图。当沿方向Y切割待切割 基板140的第一边缘部144后，第一边缘部144由于自重而掉落至第一边缘斜面120t1，并 经由第一边缘斜面120t1的引导而。

15、完全脱离切割固定治具100，如此可避免第一边缘部144 干涉到后续沿方向X进行切割的刀具，进而避免刀具损坏。此外，第一边缘部144的重心位 置对应于基板承载件110之外的区域，例如与第一边缘斜面120t1上下重迭，使第一边缘部 144受到其自重的作用后可朝向第一边缘斜面120t1的方向掉落。 0057 相似地，绝缘框120更具有第二外侧面120s2及第二边缘斜面120t2，第二边缘斜 面120t2连接上表面120u与第二外侧面120s2。第二边缘斜面120t2与第一边缘斜面120t1 位于绝缘框120的相对二侧。第二边缘斜面120t2延伸于上表面120u与下表面120b之间 且从上表面120u。

16、往下表面120b的方向往外倾斜。当沿方向Y切割待切割基板140的第二 边缘部145后，第二边缘部145由于自重而掉落至第二边缘斜面120t2，并经由第二边缘斜 面120t2的引导而完全脱离切割固定治具100，如此可避免第二边缘部145干涉到后续沿 方向X进行切割的刀具，进而避免刀具损坏。此外，第二边缘部145的重心位置对应于基板 承载件110之外的区域，例如与第二边缘斜面120t2上下重迭，使第二边缘部145受到其自 重的作用而朝向第二边缘斜面120t2掉落。第二边缘斜面120t2与上表面120u的夹角A2 说 明 书CN 102903679 A 4/5页 6 介于10度与80度之间，然亦可小。

17、于10度或大于80度。夹角A2的值可相同或相异于夹角 A1。 0058 此外，第一边缘斜面120t1及第二边缘斜面120t2例如是平面，然亦可为曲面，如 外凸曲面。 0059 导电件130具有下表面130b，其从绝缘框120的下表面120b露出。本例中，一电 线160可连接导电件130的下表面130b与机台170，此外导电刀具150也电性连接于机台 170，如此一来，当导电刀具150碰触导电件130时，碰触讯号(未绘示)通过连接于下表面 130b的电线160传送给机台170，使机台170获得导电刀具150的零点高度。机台170依 据导电刀具150的零点高度控制导电刀具150的进刀量，而正确完成。

18、切割工艺。另一例中， 电线160亦可连接导电件130的外侧面130s(图2)与机台170。此外，导电件130的外侧 面130s突出于绝缘框120的外侧面120s(如图2所示)，使导电件130容易被取出。另一 例中，导电件130的外侧面130s与绝缘框120的外侧面120s亦可实质上对齐，如共面。 0060 请参照图5，其绘示图1的绝缘框与导电件的分解图。绝缘框120具有容置缺口 121，其从绝缘框120的上表面120u延伸至下表面120b，另一例中，容置缺口121可从绝缘 框120的上表面120u往下表面120b方向延伸，但不贯穿绝缘框120。导电件130包括块体 131、第一定位侧翼132及。

19、第二定位侧翼133。导电件130经由其第一定位侧翼132及第二 定位侧翼133定位于绝缘框120的容置缺口121内。 0061 块体131具有相对的第一侧面131s1与第二侧面131s2。第一定位侧翼132连接 于块体131的第一侧面131s1且位于块体131的切割参考面130u与下表面130b之间。本 例中，第一定位侧翼132与块体131的切割参考面130u及下表面130b各相距一距离；然另 一例中，第一定位侧翼132的上表面132u可与块体131的切割参考面130u实质上对齐，或 第一定位侧翼132的下表面132b可与块体131的下表面130b实质上对齐。第二定位侧翼 133连接于块体13。

20、1的第二侧面131s2且位于块体131的切割参考面130u与下表面130b 之间；本例中，第二定位侧翼133与块体131的切割参考面130u及下表面130b各相距一距 离；然另一例中，第二定位侧翼133的上表面133u可与块体131的切割参考面130u实质上 对齐，或第二定位侧翼133的下表面133b可与块体131的下表面130b实质上对齐。 0062 导电件130与绝缘框120可分别形成后再采用卡合、黏合、其它永久性或暂时性方 式结合一起，然导电件130与绝缘框120亦可采用例如是采用双料射出成形或二次射出成 形方式一体成形。 0063 请参照图6A，其绘示依照本发明另一实施例的切割固定治具。

21、的外观图。切割固定 治具200包括基板承载件110、绝缘框120及导电件130。 0064 请参照图6B，其绘示图6A中沿方向6B-6B的剖视图。本例中，绝缘框120具有第 一边缘斜面120t1、第二边缘斜面120t2、第三外侧面120s3、第三边缘斜面120t3，第四外侧 面120s4及第四边缘斜面120t4，其中第一边缘斜面120t1与第二边缘斜面120t2位于绝缘 框120的相对二侧，而第三边缘斜面120t3与第四边缘斜面120t4位于绝缘框120的另相 对二侧。 0065 第三边缘斜面120t3连接上表面120u与第三外侧面130s3。第三边缘斜面120t3 延伸于上表面120u与下表。

22、面120b之间且从上表面往下表面120b的方向往外倾斜。相似 地，第四边缘斜面120t4连接上表面120u与第四外侧面120s4。第四边缘斜面120t4延伸 说 明 书CN 102903679 A 5/5页 7 于上表面120u与下表面120b之间且从上表面120u往下表面120b的方向往外倾斜。第三 边缘斜面120t3及第四边缘斜面120t4的结构及作用相似于上述第一边缘斜面120t1及第 二边缘斜面120t2，容此不再赘述。 0066 此外，第三边缘斜面120t3及第四边缘斜面120t4例如是平面，然亦可为曲面，如 外凸曲面。 0067 综上所述，虽然本发明已以实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所 属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润 饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。 说 明 书CN 102903679 A 1/4页 8 图1 图2 说 明 书 附 图CN 102903679 A 2/4页 9 图3 图4 说 明 书 附 图CN 102903679 A 3/4页 10 图5 图6A 说 明 书 附 图CN 102903679 A 10 4/4页 11 图6B 说 明 书 附 图CN 102903679 A 11 。