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电子材料用新型清洗剂,包括如下重量比组分:烷基苯磺酸钠2?5、高碳脂肪醇聚氧乙烯醚4?6、油酸三乙醇胺0.8?1、乙酰胺4?6,其余为去离子水补至100。本发明提出的电子材料用新型清洗剂以水基为溶剂,以阴离子表面活性剂为主要成分,对环境的污染降低,更环保,并且清洗效力更佳,可对ULSI衬底、电子玻璃等表面上的金属离子、有机、无机杂质和固体粒子进行清洗,同时清洗后的电子材料不会锈蚀。。