喷出量修正方法、功能液喷出方法、有机EL装置制造方法.pdf

本发明涉及喷出量修正方法、功能液喷出方法、有机EL装置制造方法。所述喷嘴喷出量修正方法包含根据通过多次的主扫描将液滴D从选择出的喷嘴（52）喷出至喷出区域A的情况下的规定量B与预先设定的规定量A的差C，计算多个驱动信号的各个的修正量并进行第一信号修正的第一修正步骤；根据在液滴D的喷出数最多的前段的主扫描使用进行了第一信号修正的多个驱动信号，在后段的主扫描使用修正前的驱动信号将液滴D喷出至喷出区域A的情况下的规定量D和上述规定量A的差E，计算与后段的主扫描对应的修正前的多个驱动信号的修正量并进行第二信号修正的第二修正步骤；以及与剩余的主扫描次数对应地分阶段地进行第二修正步骤的步骤。

权利要求书
1.  一种喷出量修正方法，其特征在于，
是使多个喷嘴与形成有喷出区域的被喷出物对置配置，并在使所述多个喷嘴与所述被喷出物相对移动的多次主扫描的期间，将多个驱动信号中的一个驱动信号供给至所述多个喷嘴中被选择的喷嘴的致动器，并按所述多个喷嘴的每一个对将预先设定的规定量A的功能液以液滴的形式喷出至所述喷出区域时的所述液滴的喷出量进行修正的喷嘴喷出量的修正方法，该修正方法包括：
第一修正步骤，根据使用所述多个驱动信号并通过所述多次主扫描来将所述液滴从所述被选择的喷嘴喷出至所述喷出区域的情况下的规定量B与所述规定量A之差C，计算所述多个驱动信号的每一个驱动信号的修正量来进行第一信号修正；
第二修正步骤，根据在所述多次主扫描中的前段主扫描中使用进行了所述第一信号修正后的所述多个驱动信号，并在后段主扫描中使用修正前的所述多个驱动信号来将所述液滴从所述被选择的喷嘴喷出至所述喷出区域的情况下的规定量D与所述规定量A之差E，计算与所述后段的主扫描对应的所述修正前的所述多个驱动信号的每一个信号的修正量来进行第二信号修正；以及
根据所述多次主扫描的剩余次数，分阶段地进行所述第二修正步骤的步骤，
将所述多次主扫描中的、喷出至所述喷出区域的所述液滴的喷出数最多的主扫描作为所述前段主扫描。

2.  根据权利要求1所述的喷出量修正方法，其特征在于，
针对同一所述喷出区域，在所述多次主扫描中的至少一次主扫描中被选择的喷嘴与在其余的主扫描中被选择的喷嘴不同。

3.  根据权利要求1所述的喷出量修正方法，其特征在于，
针对同一所述喷出区域，按所述多次主扫描的每一个选择不同的喷嘴。

4.  根据权利要求1～3中任意一项所述的喷出量修正方法，其特征在于，
所述致动器是压电元件，
所述多个驱动信号的修正是修正所述多个驱动信号的波形的电位。

5.  一种功能液喷出方法，其特征在于，
是使多个喷嘴与形成有喷出区域的被喷出物对置配置，在使所述多 个喷嘴与所述被喷出物相对移动的多次主扫描的期间，将多个驱动信号中的一个驱动信号供给至所述多个喷嘴中被选择的喷嘴的致动器，来将规定量的功能液以液滴的形式从所述被选择的喷嘴喷出至所述喷出区域的功能液的喷出方法，该修正方法具有：
第一步骤，使用权利要求1～4中任意一项所述的喷嘴喷出量的修正方法，并按所述多次主扫描的每一个进行所述多个驱动信号的信号修正；以及
第二步骤，使用进行了信号修正后的所述多个驱动信号，在所述多次主扫描的期间，将所述规定量的所述功能液以液滴的形式从所述被选择的喷嘴喷出至所述喷出区域。

6.  根据权利要求5所述的功能液喷出方法，其特征在于，
在所述第二步骤中，将所述多次主扫描中的、针对所述喷出区域的液滴的喷出数最多的主扫描作为第一次主扫描来实施。

7.  一种有机EL装置制造方法，其特征在于，
是在基板上的多个喷出区域的每一区域具有包含发光层的功能层的有机EL装置的制造方法，所述制造方法具备：
使用权利要求5或者权利要求6所述的功能液的喷出方法，来将规定量的所述功能液涂覆在所述多个喷出区域的每一个喷出区域的工序；以及
对涂覆的所述功能液进行固化，并在所述多个喷出区域的每一个喷出区域形成所述功能层中的一个有机层的工序。

8.  根据权利要求7所述的有机EL装置制造方法，其特征在于，
在涂覆所述功能液的工序中，涂覆包含发光层形成材料的所述功能液。

说明书喷出量修正方法、功能液喷出方法、有机EL 装置制造方法
技术领域
本发明涉及从喷头的喷嘴喷出的功能液的喷嘴喷出量修正方法、使用了该喷嘴喷出量的修正方法的功能液喷出方法、有机电致发光（EL；Electroluminescence）装置的制造方法。
背景技术
以往，已知一种从喷墨头的喷嘴将包含功能性材料的液体以液滴的形式喷出来形成薄膜的液滴喷出法（喷墨法）。通过液滴喷出法形成的薄膜的代表例是彩色滤光片、有机EL面板的发光层。
喷墨头具有：存积液体的多个腔、与该腔连通且在一个方向上配列的多个喷嘴、以及对各腔内的液体进行加压的多个致动器（例如，压电元件、电阻加热元件等）。
喷墨头输入与基于描绘数据而被选择的致动器共用的驱动信号，来使液体的液滴从与各致动器对应的喷嘴喷出。在喷墨法中，通过使液体以液滴的形式从喷墨头的喷嘴朝向基板喷出，使着落在基板上的液滴干燥从而形成薄膜。
随着描绘对象的高精细化，期待灰度表现良好的描绘的喷墨法，例如专利文献1公开了作为能够进行灰度表现良好的描绘的喷墨头的液滴喷头的驱动方法。
根据上述专利文献1的液滴喷头的驱动方法，基于描绘数据而被选择的喷嘴被施加与在致动器中设定的等级对应的多个不同的驱动信号，能够使喷出的液滴的平均重量成为预先规定的规定重量。因此，能够通过按等级生成的驱动信号的组合，来按喷嘴较正喷出至对象物上的液体（液滴）的总重量，能够使将液体干燥得到的薄膜的膜厚均匀性提高。并且，记载了与利用单一的驱动信号喷出液滴的情况相比，能够在上述平均重量的调整时使其精度提高与组合不同的驱动信号对应的量，并且能够使其自由度扩展。
另一方面，在上述专利文献1所记载的对多个液滴的平均重量划分等级的液滴喷头的驱动方法中，由于局限于分等级的灰度，所以难以充分地修正液滴的重量偏差。
在液滴的重量偏差的修正未被充分完成的情况下，重量较大的液滴，或者重量较小的液滴沿基板的扫描方向连续。因此，即使重量较大的液滴和重量较小的液滴的重量差微小，也会产生彩色滤光片、有机EL面板的发光层等薄膜的膜厚差，在电光装置的显示中，该膜厚差被以较高的灵敏度反映，所以存在使画质降低这样的课题。
作为改善这样的课题的方法，专利文献2公开了喷嘴喷出量的修正方法。上述专利文献2的喷嘴喷出量的修正方法包括：第一步骤，在该第一步骤中，根据未按每个喷嘴进行液滴的重量的修正的情况下的喷出至喷出区域的所有液滴的重量的合计值A与预先设定的规定量B的差，以修正后的第一喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量、和喷出至相同的喷出区域的第一以外的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量的合计值C成为规定量B的方式，按每个喷嘴进行第一喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的修正计算；以及第二步骤，在该第二步骤中，根据在第一步骤中修正的喷出至喷出区域的计算上的所有液滴的重量的合计值D与规定量B的差，以修正后的第一喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量、和喷出至相同的喷出区域的修正后的第二喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量、和喷出至相同的喷出区域的第一、第二以外的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的液滴的重量的合计值E成为规定量B的方式按每个喷嘴进行第二喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的修正计算，分阶段地进行喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的个数的量的修正量计算。
根据上述专利文献2，以在一个喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位使喷出区域的所有液滴的重量的合计值A、C成为规定量B的方式进行修正，所以能够与将液滴喷出至喷出区域的喷嘴列单位或者喷出单位或者扫描单位的个数对应地通过累乘增加修正灰度。由此能够充分地进行按每个喷嘴喷出的液滴的重量偏差的修正，能够使使用多个喷嘴形成在喷出区域上的薄膜的膜厚均匀化。
专利文献1：日本特开2008－136927号公报
专利文献2：日本特开2012－209216号公报
然而，修正按喷嘴施加给致动器的驱动信号的情况下，若优先针对喷出区域的液滴的喷出数比其他的扫描少的扫描来修正上述驱动信号，则存在偏离适当的修正范围的问题。
具体而言，在喷出数较少的扫描中，与其他的扫描相比，喷出至喷出区域的液体的总重量相对较少，若对该总重量优先进行修正，则例如，存在在偏离了表示施加给致动器的驱动信号的设定与从具有该致动器的喷嘴喷出的液滴的重量的关系的标准曲线的适当的范围的状态下进行修正这样的课题。
发明内容
本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，能够以以下的方式或者应用例来实现。
应用例1
本应用例所涉及的喷嘴喷出量的修正方法的特征在于，是使多个喷嘴与形成有喷出区域的被喷出物对置配置，并在使上述多个喷嘴和上述被喷出物相对移动的多次主扫描期间，将多个驱动信号中的一个驱动信号供给至上述多个喷嘴中的选择出的喷嘴的致动器，并按上述多个喷嘴修正将预先设定的规定量A的功能液以液滴的形式喷出至上述喷出区域时的上述液滴的喷出量的喷嘴喷出量的修正方法，该修正方法包括：根据使用上述多个驱动信号并通过上述多次主扫描来将上述液滴从上述选择出的喷嘴喷出至上述喷出区域的情况下的规定量B与上述规定量A的差C，计算上述多个驱动信号的每一个驱动信号的修正量来进行第一信号修正的第一修正步骤；根据在上述多次主扫描中的前段主扫描使用进行了上述第一信号修正后的上述多个驱动信号，并在后段主扫描中使用修正前的上述多个驱动信号来将上述液滴从上述选择出的喷嘴喷出至上述喷出区域的情况下的规定量D与上述规定量A的差E，计算与上述后段主扫描对应的上述修正前的上述多个驱动信号的每个驱动信号的修正量来进行第二信号修正的第二修正步骤；以及根据上述多 次主扫描的剩余的次数，分阶段地进行上述第二修正步骤的步骤，将上述多次主扫描中的喷出至上述喷出区域的上述液滴的喷出数最多的主扫描作为上述前段主扫描。
根据本应用例，施加给按多次主扫描的每一个而被选择的喷嘴的致动器的驱动信号根据主扫描的次数而被依次修正，并且，将喷出到喷出区域的液滴的喷出数最多的主扫描作为前段主扫描进行第二修正步骤。
因此，与优先液滴的喷出数与其他的主扫描相比少的主扫描来进行第二修正步骤的情况相比，修正用于将液滴从喷嘴喷出的驱动信号的修正量变小。换句话说，驱动信号的修正负荷较少，因此能够按主扫描进行在液滴的喷出量涉及的标准曲线的适当的范围内的修正。因此，能够提供能够使规定量的功能液以液滴的形式高精度地从选择出的喷嘴喷出的喷嘴喷出量的修正方法。
应用例2
在上述应用例所涉及的喷嘴喷出量的修正方法中，优选对同一上述喷出区域，在上述多次主扫描中的至少一次主扫描中选择出的喷嘴与在其余主扫描中选择出的喷嘴不同。
根据该方法，能够进行考虑了多个喷嘴的喷出特性的喷嘴分散型的喷嘴喷出量的修正。
应用例3
在上述应用例所涉及的喷嘴喷出量的修正方法中，优选对同一上述喷出区域，按上述多次主扫描的每一个选择不同的喷嘴。
根据该方法，考虑多个喷嘴的喷出特性，能够进行更可靠的喷嘴分散型的喷嘴喷出量的修正。
应用例4
在上述应用例所涉及的喷嘴喷出量的修正方法中，其特征在于，上述致动器是压电元件，上述多个驱动信号的修正是修正上述多个驱动信号的波形的电位。
根据该方法，通过修正驱动信号的波形的电位，控制作为致动器的压电元件的驱动，能够高精度地修正从喷嘴喷出的液滴的喷出量。
应用例5
本应用例所涉及的功能液的喷出方法的特征在于，是使多个喷嘴与形成有喷出区域的被喷出物对置配置，在使上述多个喷嘴与上述被喷出物相对移动的多次主扫描期间，将多个驱动信号中的一个驱动信号供给至上述多个喷嘴中的选择出的喷嘴的致动器，来将规定量的功能液以液滴的形式从上述选择出的喷嘴喷出至上述喷出区域的功能液的喷出方法，该修正方法具有：使用上述应用例所记载的喷嘴喷出量的修正方法，按上述多次主扫描的每一个来进行上述多个驱动信号的信号修正的第一步骤；以及使用进行了信号修正后的上述多个驱动信号，在上述多次主扫描期间，将上述规定量的上述功能液以液滴的形式从上述选择出的喷嘴喷出至上述喷出区域的第二步骤。
根据本应用例，能够提供在多次主扫描期间，针对喷出区域从选择出的喷嘴高精度地喷出规定量的功能液的功能液的喷出方法。
应用例6
在上述应用例所涉及的功能液的喷出方法中，优选在上述第二步骤中，将上述多次的主扫描中的针对上述喷出区域的液滴的喷出数最多的主扫描作为第一次的主扫描来实施。
根据该方法，在针对喷出区域的液滴的喷出数最多的最初的主扫描中，优先进行驱动信号的修正，因而与优先喷出数较少的主扫描进行驱动信号的修正的情况相比，能够以较高的精度将规定量的功能液喷出至喷出区域。
应用例7
本应用例所涉及的有机EL装置的制造方法的特征在于，是具有在基板上的多个喷出区域的每一区域具有包含发光层的功能层的有机EL装置的制造方法，该制造方法具备：使用上述应用例所记载的功能液的喷出方法，将规定量的上述功能液涂覆在各上述多个喷出区域的工序； 和对涂覆的上述功能液进行固化，并在上述多个喷出区域的每一区域形成上述功能层中的一个有机层的工序。
根据本应用例，规定量的功能液被高精度地喷出至各多个喷出区域，因而能够制造具备了具有膜厚不均、膜厚偏差较小的有机层的功能层的有机EL装置。
应用例8
在上述应用例所涉及的有机EL装置的制造方法中，其特征在于，在涂覆上述功能液的工序中，涂覆包含发光层形成材料的上述功能液。
根据该方法，能够高成品率地制造具有稳定的发光特性的有机EL装置。
附图说明
图1是表示喷出装置的构成的示意立体图。
图2（a）是表示喷头的构成的示意立体图，图2（b）是表示喷嘴面中的多个喷嘴的配置状态的俯视图。
图3是表示头单元中的喷头的配置的示意俯视图。
图4（a）是表示着落面积测量机构的构成的示意立体图，图4（b）是表示从主扫描方向观察到的着落面积测量机构的各构成的配置的图。
图5是表示喷出装置的控制系统的框图。
图6是表示喷头的电控制的框图。
图7是驱动信号以及控制信号的时序图。
图8（a）～（c）是表示功能液的着落面积的测量方法的示意剖视图。
图9是表示液滴的着落痕迹的照片。
图10是表示功能液的喷出方法的一个例子的示意俯视图。
图11是表示比较例的喷嘴喷出量的修正方法中的第一修正步骤的 功能液的填充量偏差和驱动信号的修正量的表。
图12是表示比较例的喷嘴喷出量的修正方法中的第二修正步骤的功能液的填充量偏差和驱动信号的修正量的表。
图13是表示比较例的喷嘴喷出量的修正方法中的第三修正步骤的功能液的填充量偏差和驱动信号的修正量的表。
图14是表示比较例的喷嘴喷出量的修正方法中的第四修正步骤的功能液的填充量偏差和驱动信号的修正量的表。
图15是表示比较例的喷嘴喷出量的修正方法中的最终的修正后的功能液的填充量偏差的表。
图16是表示实施例的喷嘴喷出量的修正方法中的第一修正步骤的功能液的填充量和驱动信号的修正量的表。
图17是表示实施例的喷嘴喷出量的修正方法中的第二修正步骤的功能液的填充量和驱动信号的修正量的表。
图18是表示实施例的喷嘴喷出量的修正方法中的第三修正步骤的功能液的填充量和驱动信号的修正量的表。
图19是表示实施例的喷嘴喷出量的修正方法中的第四修正步骤的功能液的填充量和驱动信号的修正量的表。
图20是表示实施例的喷嘴喷出量的修正方法中的最终的修正后的功能液的填充量的表。
图21是表示比较例以及实施例的主扫描中的驱动信号的修正量和喷出区域中的功能液的填充量偏差的表。
图22（a）是表示比较例的各喷出区域中的功能液的填充量偏差的图，图22（b）是表示实施例的各喷出区域中的功能液的填充量偏差的图。
图23（a）是表示比较例和实施例的主扫描中的驱动信号的修正量的图，图23（b）是表示比较例和实施例的主扫描中的填充量偏差的图。
图24是表示有机EL装置的示意主视图。
图25是有机EL装置的主要部分示意剖视图。
图26是表示有机EL装置的制造方法的流程图。
图27（a）～（d）是表示有机EL装置的制造方法的示意剖视图。
图28（e）～（h）是表示有机EL装置的制造方法的示意剖视图。
具体实施方式
以下，根据附图对将本发明具体化了的实施方式进行说明。应予说明，适当地放大或者缩小显示使用的附图，以成为能够识别说明的部分的状态。
此外，在以下的方式中，记载为“在基板上”的情况，表示以接触的方式配置在基板上的情况，或者经由其他的构成物配置在基板上的情况，或者一部分以接触的方式配置在基板上的情况，一部分经由其他的构成物配置在基板上的情况。
第一实施方式
喷出装置
首先，参照图1～图7对能够将包含功能层形成材料的功能液以液滴的形成喷出至工件的喷出装置进行说明。图1是表示喷出装置的构成的示意立体图。
如图1所示，喷出装置10具备使作为被喷出物例如平板状的工件W在作为第一方向的主扫描方向（Y轴方向）上移动的工件移动机构20、和使头单元9在与主扫描方向正交的作为第二方向的副扫描方向（X轴方向）上移动的头移动机构30。
工件移动机构20具备一对导轨21、沿一对导轨21移动的移动台22、和经由旋转机构6配设在移动台22上的载置工件W的工作台5。
移动台22通过设置于导轨21的内部的空气滑块和线性电机（图示 省略）在主扫描方向（Y轴方向）上移动。在移动台22设置有作为时刻信号生成部的编码器12（参照图5）。
编码器12随着移动台22沿主扫描方向（Y轴方向）的相对移动，读取并设于导轨21的线性标尺（图示省略）的刻度，生成作为时刻信号的编码器脉冲。此外，编码器12的设置并不局限于此，例如，也可以使移动台22构成为沿旋转轴在主扫描方向（Y轴方向）上相对移动，在设置了使旋转轴旋转的驱动部的情况下，也可以将编码器12设置于驱动部。作为驱动部列举有伺服电机等。
工作台5能够吸附及固定工件W，并且能够通过旋转机构6使工件W内的基准轴准确地对准主扫描方向（Y轴方向）、副扫描方向（X轴方向）。
另外，还能够根据在工件W上被喷出功能液的喷出区域（也称为膜形成区域）的配置，使工件W例如旋转90°。
头移动机构30具备一对导轨31、和沿一对导轨31移动的移动台32。在移动台32设置有经由旋转机构7吊设的滑架8。
在滑架8安装有头单元9，该头单元9在头板9a搭载有多个喷头50（参照图2）。
另外，设置有用于向喷头50供给功能液的功能液供给机构（图示省略）、和用于进行多个喷头50的电驱动控制的头驱动器48（参照图5）。
移动台32使滑架8在副扫描方向（X轴方向）上移动，并将头单元9与工件W对置配置。
喷出装置10除了上述构成外，还在面对多个喷头50的位置处配设有维护机构，该维护机构进行搭载于头单元9的多个喷头50的喷嘴堵塞消除、喷嘴面的异物、污垢的去除等维护。
另外，喷出装置10具备：重量测量机构，其接受从喷头50的多个喷嘴喷出的功能液，并测量喷出的功能液的重量；作为本实施方式的测量机构的着落面积测量机构60，其测量同样地喷出的功能液的着落面积（参照图5）。此外还具备统一控制这些构成的控制部40。此外，在图1 中，维护机构及重量测量机构以及着落面积测量机构60省略了图示。
图2（a）是表示喷头的构成的示意立体图，图2（b）是表示喷嘴面中的多个喷嘴的配置状态的俯视图。
如图2（a）所示，喷头50是所谓的两列式喷头，具备具有两列的连接针54的功能液的导入部53、层叠于导入部53的头基板55、以及配置在头基板55上且在内部形成有功能液的头内流路的头主体56。连接针54经由配管与上述的功能液供给机构（图示省略）连接，来将功能液供给至头内流路。在头基板55设置有经由挠性扁平线缆（图示省略）与头驱动器48（参照图5）连接的两列式的连接器58。
头主体56具有由作为驱动单元（致动器）的压电元件构成的具有腔的加压部57、和在喷嘴面51a相互平行地形成有两个喷嘴列52a、52b的喷嘴板51。
如图2（b）所示，两个喷嘴列52a、52b被以多个（180个）喷嘴52分别以间距P1大致等间隔地排列，且彼此错开间距P1的一半的间距P2的状态配设于喷嘴面51a。在本实施方式中，间距P1例如大概为141μm。由此，若从与由两个喷嘴列52a、52b构成的喷嘴列52c正交的方向观察，则成为360个喷嘴52以大概70.5μm的喷嘴间距配列的状态。另外，喷嘴52的直径大致为27μm。
对喷头50来说，若从头驱动器48向压电元件施加作为电信号的驱动信号，则引起加压部57的腔的体积变动，在由此引起的抽吸作用下对填充于腔的功能液进行加压，能够将功能液以液滴的形式从喷嘴52喷出。
在喷头50中按各喷嘴52设置的驱动单元（致动器）并不局限于压电元件。也可以是通过静电吸附使作为致动器的振动板位移的机电转换元件、加热功能液并使其以液滴的形式从喷嘴52喷出的电热转换元件。
图3是表示头单元中的喷头的配置的示意俯视图。详细来说，是从与工件W对置的一侧观察到的图。
如图3所示，头单元9具备配设有多个喷头50的头板9a。在头板 9a安装有由三个喷头50构成的头组50A、和同样由三个喷头50构成的头组50B的共计6个喷头50。在本实施方式中，头组50A的头R1（喷头50）与头组50B的头R2（喷头50）喷出同种功能液。其他的头G1与头G2、头B1与头B2中也同样。即，成为能够喷出三种不同的功能液的构成。
将一个喷头50能够描绘的描绘宽度设为L0，并将其设为喷嘴列52c的有效长度。以下，所谓的喷嘴列52c指由360个喷嘴52构成的喷嘴列。
头R1与头R2被沿主扫描方向并列配置成从主扫描方向（Y轴方向）观察，相邻的喷嘴列52c在与主扫描方向正交的副扫描方向（X轴方向）上隔着一个喷嘴间距而连续。因此，喷出同种功能液的头R1与头R2的有效描绘宽度L1为描绘宽度L0的两倍。头G1与头G2、头B1与头B2也同样被沿主扫描方向（Y轴方向）并列配置。
此外，设置于喷头50的喷嘴列52c并不局限于两列式，也可以为单列式。另外，头单元9中的喷头50的配置并不局限于此。
接下来，参照图4对着落面积测量机构进行说明。图4（a）是表示着落面积测量机构的构成的示意立体图，图4（b）是表示从主扫描方向观察到的着落面积测量机构的各构成的配置的图。
如图4（a）以及（b）所示，着落面积测量机构60由照明部61、摄像部62、图像处理部63、显示器64、移动台65、以及载置于移动台65的记录用的介质160构成。
着落面积测量机构60使功能液以液滴的形式从上述的喷头50的多个喷嘴52着落在介质160上，由摄像部62拍摄在介质160上产生的着落痕迹，并测量该着落痕迹的面积（着落面积）。
记录用的介质160根据功能液而被选择。在功能液包含着色材料的情况下，介质160例如使用不透明的记录纸等。在功能液不包含着色材料几乎透明的情况下，例如使用在表面形成有收容功能液的受容层的透明薄膜等。在本实施方式中，介质160使用后者的透明薄膜。
移动台65与移动台22（参照图1）同样，能够通过设置于一对导轨21的内部的空气滑块和线性电机（图示省略）而在主扫描方向（Y轴方向）上移动。移动台65也设置有作为时刻信号生成部的编码器12（参照图5）。
在移动台65上沿X轴方向延伸地配置有例如由透明的玻璃、塑料等构成的支承台66。长条的介质160被缠绕在开卷辊68a和卷绕辊68b，长条的两端被支承。在移动台65上，开卷辊68a与卷绕辊68b分别被安装在隔着支承台66的设置于X轴方向的两端侧的轴承67上。由此，介质160在支承台66上沿X轴方向被展开，介质160的背面侧被支承台66支承。
照明部61例如具备卤素灯、氙气灯等光源、和使从光源发出的光向规定的方向聚光的聚光单元。聚光单元例如是反射板（镜）、聚光透镜。照明部61在X轴方向上被配置在一对导轨21之间，能够朝向移动台65照射来自光源的光。在面对照明部61的移动台65的部分形成有贯通移动台65的孔65a。透明的支承台66以堵塞孔65a的方式配置在移动台65上。换句话说，照明部61能够经由移动台65和支承台66，从背面侧对在支承台66上展开的透明的介质160进行照明。
此外，也可以与如上述那样使用例如不透明的记录纸作为介质160的情况对应地具备从上方侧对介质160进行照明的其他照明部。
摄像部62例如具备CCD等摄像元件，在照明部61的上方被配置在面对照明部61的位置处。摄像部62与图像处理部63电连接。另外，图像处理部63例如与液晶显示装置等显示器64电连接。换句话说，能够通过图像处理部63对由摄像部62摄像到的图像实施图像处理，并且通过显示器64不仅能够确认拍摄到的原图像，也能够确认实施了图像处理后的图像。
接下来参照图5对喷出装置10的控制系统进行说明。图5是表示喷出装置的控制系统的框图。如图5所示，喷出装置10的控制系统具备：驱动部46，其具有对喷头50、工件移动机构20、头移动机构30、着落面积测量机构60等进行驱动的各种驱动器；以及控制部40，其对驱动部46和喷出装置10进行统一控制。
驱动部46具备分别对工件移动机构20以及头移动机构30的各线性电机进行驱动控制的移动用驱动器47、对喷头50进行驱动控制的头驱动器48、以及对着落面积测量机构60进行驱动控制的着落面积测量用驱动器49。除此而外还具备对维护机构进行驱动控制的维护用驱动器、对重量测量机构进行驱动控制的重量测量用驱动器等，但省略它们的图示。
控制部40具备CPU41、ROM42、RAM43、以及P－CON44，它们经由总线45相互连接。P－CON44与上位计算机11连接。ROM42具有存储由CPU41处理的控制程序等的控制程序区域、以及存储用于进行描绘动作、功能恢复处理等的控制数据等的控制数据区域。
RAM43具有存储用于在工件W上进行描绘的描绘数据的描绘数据存储部和存储工件W以及喷头50（实际上是喷嘴列52c）的位置数据的位置数据存储部等各种存储部，作为用于控制处理的各种作业区域而被使用。P－CON44与驱动部46的各种驱动器等连接，在P－CON44中构成并组入有逻辑电路，该逻辑电路用于补充CPU41的功能，并且用于处理与外围电路的接口信号。因此，P－CON44将来自上位计算机11的各种指令等直接或者进行加工后取入至总线45，并且与CPU41连动地将从CPU41等向总线45输出的数据、控制信号直接或者进行加工后输出给驱动部46。
而且，CPU41按照ROM42内的控制程序，经由P－CON44输入各种检测信号、各种指令、各种数据等，并在处理了RAM43内的各种数据等后，经由P－CON44将各种控制信号输出给驱动部46等，从而控制喷出装置10整体。例如，CPU41控制喷头50、工件移动机构20以及头移动机构30，来使头单元9与工件W对置配置。然后，向头驱动器48发出控制信号，以便使功能液与头单元9和工件W的相对移动同步地从安装于头单元9的各喷头50的多个喷嘴52以液滴的形式向工件W喷出。在本实施方式中，将与工件W朝向Y轴方向的移动同步地喷出功能液称为主扫描，相对于主扫描，将使头单元9在X轴方向上的移动称为副扫描。本实施方式的喷出装置10通过组合主扫描与副扫描来多次反复，能够将功能液喷出至工件W。主扫描并不局限于工件W相对于喷头50向单方向的移动，也能够使工件W往复移动。
编码器12与头驱动器48电连接，随着主扫描生成编码器脉冲。在主扫描中，使移动台22以规定的移动速度移动，因而编码器脉冲周期性地产生。
例如，若将主扫描中的移动台22的移动速度设为200mm／sec，将驱动喷头50的驱动频率（换句话说，连续喷出液滴的情况下的喷出时刻）设为20kHz，则主扫描方向上的液滴的喷出分辨率通过将移动速度除以驱动频率来获得，因此为10μm。即，能够将液滴以10μm的间距配置在工件W上。若将移动台22的移动速度设为20mm／sec，则能够将液滴以1μm的间距配置在工件W上。实际的液滴的喷出时刻基于对周期性地产生的编码器脉冲进行计数而生成的锁存信号。将这样的主扫描中的工件W上的液滴的最小配置间距称为喷出分辨率。
上位计算机11将控制程序、控制数据等控制信息发送给喷出装置10。另外，上位计算机11具有生成作为喷出控制数据的配置信息的配置信息生成部的功能，配置信息使按工件W上的喷出区域为单位将规定量的功能液以液滴的形式配置。配置信息例如以位图的方式表示喷出区域（膜形成区域）中的液滴的喷出位置（换句话说，工件W与喷嘴52的相对位置）、液滴的配置数（换句话说，每个喷嘴52的喷出数）、主扫描中的多个喷嘴52的ON／OFF即喷嘴52的选择／非选择、喷出时刻等信息。上位计算机11不仅生成上述配置信息，还能够修正暂时储存于RAM43的上述配置信息。
接下来，参照图6以及图7对喷头的喷出控制方法进行说明。图6是表示喷头的电控制的框图。
如图6所示，头驱动器48具备D／A转换器（以下称为DAC）71A～71D，这些D／A转换器71A～71D分别独立生成控制液滴的喷出量的不同的多个驱动信号COM；波形数据选择电路72，在其内部具有储存DAC71A～71D生成的驱动信号COM的转换速率数据（以下，称为波形数据（WD1～WD4））的存储器；以及数据存储器73，其用于储存经由P－CON44从上位计算机11发送来的喷出控制数据。由DAC71A～DAC71D生成的驱动信号COM分别被输出至COM1～COM4的各COM线。
各喷头50具备：开关电路74，其打开、关闭向按各喷嘴52设置的作为驱动单元（致动器）的压电元件59施加驱动信号COM；以及驱动信号选择电路75，其选择各COM线的其中一个来将驱动信号COM发送至与各压电元件59连接的开关电路74。
在喷嘴列52a（参照图2（b））中，压电元件59的一方电极59b与DAC71A～71D的接地线（GND）连接。另外，压电元件59的另一方电极59a（以下，为分段电极59a）经由开关电路74、驱动信号选择电路75与各COM线电连接。另外，向开关电路74、驱动信号选择电路75、波形数据选择电路72输入时钟信号（CLK）、与各喷出时刻对应的锁存信号（LAT）。这样的驱动电路的构成在喷嘴列52b（参照图2（b））中也相同。
在数据存储器73中，按根据各喷头50的扫描位置而周期性地设定的各喷出时刻储存有下面的数据。即，对向各压电元件59的驱动信号COM的施加（ON／OFF）进行规定的喷出数据DA、对与各压电元件59对应的COM线（COM1～COM4）的选择进行规定的驱动信号选择数据DB、以及对输入至DAC71A～71D的波形数据（WD1～WD4）的种类进行规定的波形编号数据WN。在本实施方式中，喷出数据DA构成为每一个喷嘴1位（0、1），驱动信号选择数据DB构成为每一个喷嘴2位（0、1、2、3），波形编号数据WN构成为每一个DAC7位（0～127）。此外，能够适当地变更数据结构。
图7是驱动信号以及控制信号的时序图。在上述的构成中，按如下方式进行各喷出时刻所涉及的驱动控制。如图7所示，在时刻t1～t2的期间，喷出数据DA、驱动信号选择数据DB、波形编号数据WN分别被串行信号化，并被发送给开关电路74、驱动信号选择电路75、波形数据选择电路72。而且，在时刻t2，各数据被锁存，从而成为喷出（ON）涉及的各压电元件59的分段电极59a与以驱动信号选择数据DB指定的COM线（COM1～COM4的其中一个）连接的状态。例如，压电元件59的分段电极59a在驱动信号选择数据DB为“0”时，与COM1连接。同样，在驱动信号选择数据DB为“1”时与COM2连接，在驱动信号选择数据DB为“2”时与COM3连接，在驱动信号选择数据DB为“3”时与COM4连接。另外，DAC71A～71D的生成所涉及的驱动信号的波形数 据（WD1～WD4）与该选择连动地被设定。
在时刻t3～t4的期间，按照在时刻t2设定的波形数据，分别通过电位上升、电位保持、电位下降的一系列的步骤生成驱动信号COM。而且，向处于分别与COM1～COM4连接的状态的压电元件59供给生成的驱动信号COM，进行与喷嘴52连通的腔的体积（压力）控制。
驱动信号COM的电位上升、电位保持、电位下降所涉及的时刻成分、电压成分紧密地取决于与通过其供给而喷出的功能液的喷出量。特别是在压电方式的喷头50中，喷出量对电压成分的变化示出良好的线性，因此能够将时刻t3～t4的电压成分的变化（电位差）规定为驱动电压Vh（Vh1～Vh4），并能够将其作为喷出量控制的条件加以利用。即，驱动电压Vh是控制液滴的喷出量的驱动信号的条件之一。此外，生成的驱动信号COM并不限定于本实施方式所示的简单的梯形波，例如，也能够适当地采用矩形波等公知的各种形状的波形。另外，在不同的驱动方式（例如热敏方式）的实施方式的情况下，还能够将驱动信号COM的脉冲宽度（时刻成分）作为喷出量控制的条件加以利用。
在本实施方式中，准备阶段性地改变了驱动电压Vh的多种的波形数据，通过向DAC71A～71D输入分别独立的波形数据（WD1～WD4），能够向各COM线分别输出不同的驱动电压Vh1～Vh4的驱动信号COM。能够准备的波形数据的种类是与波形编号数据WN的信息量（7位）相当的128种，例如使其与每0.1V的驱动电压Vh对应。换句话说，在12.8V的电位差的范围内，能够以0.1V为单位设定Vh1～Vh4的各驱动波形。
这样，本实施方式的喷出装置10通过考虑每个喷嘴52的喷出特性，适当地设定规定各压电元件59（喷嘴52）与各COM线的对应关系的驱动信号选择数据DB、和规定各COM线与驱动信号COM的种类（驱动电压Vh）的对应关系的波形编号数据WN，能够调整液滴的喷出量来喷出功能液。换句话说，适当地进行根据驱动信号选择数据DB和波形编号数据WN的关系决定的各喷嘴52的驱动信号COM的设定可以说是用于管理喷出量的重要事项。
在上述喷出装置10中，喷头50的喷出控制方法能够按每次液滴的 喷出，换句话说按每个喷出时刻来更新驱动信号选择数据DB和波形编号数据WN。另外，还能够与喷出数据DA对应地精细地设定驱动信号COM。因此，能够使按各喷嘴52喷出的液滴的喷出量按喷出时刻至少经过四个阶段地变化，因而与将恒定的驱动信号COM施加给各压电元件59的情况相比，能够按各喷嘴52，且按液滴的喷出来调整由喷嘴列52a、52b的喷出特性所带来的液滴的喷出量的偏差。因此，能够减少喷嘴列52a、52b的喷出特性所带来的喷出不均地喷出功能液。
另一方面，即使能够使按各喷嘴52喷出的液滴的喷出量按液滴的喷出至少经过四个阶段地变化，难以在所有多个喷嘴52中使上述喷出量为恒定的值，例如，基准喷出量（或者目标喷出量）。这是因为存在例如与每个喷嘴52连通的腔的结构未必相同这样的机械性因素、每个喷嘴52的压电元件59的电特性也未必相同这样的电性因素等。
于是，在本实施方式中，使功能液从喷嘴52以多个液滴的形式着落于介质160，测量其着落痕迹的着落面积，从而推测按各喷嘴52喷出的液滴的喷出量。而且，基于该液滴的喷出量与驱动信号COM的波形的电位的相关关系，进行四个阶段的驱动信号COM的波形的电位的修正，以便使四个阶段的驱动信号COM中的一个被合适地施加至在主扫描中选择出的各喷嘴52。由此，将从通过多次主扫描选择出的喷嘴52被以多个液滴的形式喷出至喷出区域的功能液的总量（也称为填充量）的偏差收敛在某程度的范围内。
功能液的喷出量的测量方法
以下，参照图8以及图9对能够精度良好地测量几乎透明的功能液的喷出量的、功能液的着落面积的测量方法进行说明。图8（a）～（c）是表示功能液的着落面积的测量方法的示意剖视图，图9是表示液滴的着落痕迹的照片。
本实施方式中的功能液的喷出量的测量方法具备：如图8（a）所示的以多个液滴D的形式从喷头50的多个喷嘴52向介质160按多个喷嘴52喷出规定量的功能液的测量用喷出工序；以及如图8（c）所示测量按多个各喷嘴52着落于介质160的功能液的着落面积的测量工序。介质160具有透明的基膜161、和形成于基膜161的表面且接受并收容功 能液的受容层162。如图8（b）所示，从喷嘴52喷出且着落于受容层162的液滴D浸透至受容层162并被收容而成为着落痕迹165。在测量工序中，通过照明部61从背面侧对介质160进行照明，并通过摄像部62对着落痕迹165进行摄像。明确着落痕迹165的着落面积与喷出的功能液的喷出量之间存在相关关系，因此通过根据摄像的图像求出着落痕迹165的着落面积与其偏差，能够推测按各喷嘴52喷出的功能液的喷出量与其偏差。
本实施方式的功能液在通过液相法（喷墨法）形成后述的有机电致发光（EL；Electro Luminescence）装置的功能层时使用。功能液包含功能层形成材料和溶剂，几乎透明。溶剂未必为一种，为了使喷出的功能液不容易干燥，优选选择沸点大概为200℃以上的溶剂。作为溶剂，例如能够列举作为脂溶剂的乙二醇（沸点197.3℃）、作为芳香族溶剂的环己基苯（沸点240℃）、1，4－二甲基萘（沸点247℃）等。
介质160使用PICTORICO公司制的图形艺术透明薄膜。基膜161使用厚度大概为145μm的聚对苯二甲酸乙二酯（PET）薄膜。受容层162的详细构成未被公开，但能够选择与涂覆的功能液对应的厚度的受容层162。在本实施方式中，使用受容层162的厚度为35μm的介质160。
如图8（a）所示，在测量用喷出工序中，使喷头50与介质160对置，将功能液以多个液滴D的形式从喷头50的多个喷嘴52喷出。另外，在使喷头50与介质160在主扫描方向上相对移动的主扫描期间，使多个液滴D以规定的喷出时刻反复喷出。换句话说，在介质160中着落痕迹165在主扫描方向上显出多个，并且在副扫描方向上显出多个与使液滴喷出的喷嘴52的个数对应的量。另外，在使多个液滴D着落于受容层162的相同的位置时，若超过受容层162中的功能液的受容量，则落痕迹165渗入而难以高精度地测量着落面积，所以使多个液滴D的着落位置以微米（μm）为单位偏移。
图9是表示通过测量用喷出工序产生的功能液的着落痕迹的照片。
根据上述那样的测量用喷出工序，如图9所示，通过使多个液滴D以微米（μm）为单位偏移而着落于介质160，能够获得清晰的着落痕迹165。因此，着落痕迹165的着落面积的测量精度提高。此外，图9是 从多个喷嘴52分别喷出十滴一滴为10pl的液滴D至受容层162的厚度为35μm的介质160，且彼此着落位置偏移1μm而形成的图。
另外，透过几乎透明的功能液着落并浸透的受容层162的部分的光与其他的部分相比散射。因此，功能液着落并浸透的受容层162的部分与其他的部分相比更明亮，所以通过图像处理部63进行强调亮度的差的处理。
在着落面积的测量工序中，按各喷嘴52测量通过测量用喷出工序产生的多个着落痕迹165的着落面积。而且，计算多个着落痕迹165的着落面积的例如平均值，根据该平均值推测该喷嘴52的喷出量与其偏差。在多个喷嘴52的每一个中实施这样的着落面积的测量。按每一个喷嘴52测量的着落痕迹165的个数例如为40个。
这样能够高精度地求出从多个喷嘴52喷出的功能液的喷出量与其偏差。作为下一个阶段，列举具体的功能液的喷出方法，对根据求出的各喷嘴52的功能液的喷出量与其偏差，怎样设定对各喷嘴52的压电元件59进行驱动的驱动信号COM，怎样抑制作为其结果喷出至喷出区域的功能液的总量（也称为填充量）的偏差进行说明。
功能液的喷出方法以及喷嘴喷出量的修正方法
首先，参照图10对本实施方式的功能液的喷出方法进行说明。
图10是表示功能液的喷出方法的一个例子的示意俯视图。
本实施方式的功能液的喷出方法应用于后述的有机EL装置的制造方法的液相法中，即将包含功能层形成材料的功能液喷出至喷出区域，并将喷出的功能液干燥、固化从而形成功能层。
如图10所示，喷出区域A例如为相互对置的一方边部比另一方边部长的大致矩形形状，在工件W上，喷出区域A的长边方向沿副扫描方向，且在副扫描方向（X轴方向）与主扫描方向（Y轴方向）上配列多个。另外，多个喷出区域A被区分成与红色（R）、绿色（G）、蓝色（B）对应，采用相同颜色的喷出区域A沿副扫描方向（X轴方向）排列，不同颜色的喷出区域A在主扫描方向（Y轴方向）上，以红色（R）、 绿色（G）、蓝色（B）为一个单位反复排列的条纹方式的配置。此外，喷出区域A的配置并不限定于此。
针对这样的多个喷出区域A，喷头50的喷嘴列52c（包括喷嘴列52a和喷嘴列52b；参照图2）沿副扫描方向（X轴方向）对置配置。
使工件W与喷头50对置配置，在工件W与喷头50向主扫描方向的相对移动（主扫描）的期间，从喷嘴列52c中选择出的喷嘴52以液滴D的形式将功能液喷出至喷出区域A。特别是在按R、G、B喷出不同种类的功能液的情况下，如图10所示，在主扫描方向上，例如从R、G、B中选择性地将液滴D喷出至R的喷出区域A。在其他的G、B的喷出区域A中也相同。
在图10所示的功能液的喷出方法的例子中，喷出区域A的副扫描方向上的长度例如大概为200μm，同样地副扫描方向上的配置间距例如大概为250μm。因此，从主扫描方向观察时的喷嘴列52c中的喷嘴52的配置间距大概为70μm，所以在主扫描上最大有三个喷嘴52覆盖喷出区域A。在主扫描中，从覆盖喷出区域A的多个喷嘴52中选择在喷出区域A的长边方向上液滴D着落于中央附近的喷嘴52。
以下，列举将规定量的功能液以5滴的液滴D的形式喷出至一个喷出区域A的比较例与实施例，对应用了本发明的喷嘴喷出量的修正方法的功能液的喷出方法进行说明。在以下的比较例、实施例的说明中，将主扫描称为经过（Pass）。另外，将一次的主扫描中的液滴D的喷出数称为发射（shot）数。
如上述，喷嘴列52c包含由180个喷嘴52构成的喷嘴列52a、和同样地由180个喷嘴52构成的喷嘴列52b，所以总共由360个喷嘴52构成。将360个中除位于喷嘴列52c的两端的10个喷嘴52而外的340个喷嘴52作为有效喷嘴加以利用。在使用了有效喷嘴的主扫描中，将有效喷嘴覆盖的喷出区域A的个数设为60个（参照图10），对以下的比较例、实施例进行说明。
比较例
在比较例的功能液的喷出方法中，将规定量的功能液以5滴液滴D 的形式分四次的经过喷出至一个喷出区域A。具体而言，在第一次至第三次的经过中分别喷出各一滴液滴D，在最后的第四次的经过中喷出两滴液滴D。
另外，每次经过改变所选择的喷嘴52。换句话说，实际的液滴D的喷出时，对喷嘴列52c进行副扫描并在每次经过时改变喷嘴列52c相对于喷出区域A的相对位置。采用通过从每次经过而不同的喷嘴52喷出液滴D，使因喷嘴52间的喷出特性的不同而引起的液滴D的喷出量偏差分散的方法。
这样的比较例的功能液的喷出方法中的喷嘴喷出量的修正方法是应用了在背景技术中示出的专利文献2（日本特开2012－209216号）的发明的方法。
参照图11～图15对比较例中的喷嘴喷出量的修正方法进行说明。图11是表示比较例的喷嘴喷出量的修正方法中的第一修正步骤的功能液的填充量偏差与驱动信号的修正量的表，图12是表示比较例的喷嘴喷出量的修正方法中的第二修正步骤的功能液的填充量偏差与驱动信号的修正量的表，图13是表示比较例的喷嘴喷出量的修正方法中的第三修正步骤的功能液的填充量偏差与驱动信号的修正量的表，图14是表示比较例的喷嘴喷出量的修正方法中的第四修正步骤的功能液的填充量偏差与驱动信号的修正量的表，图15是表示比较例的喷嘴喷出量的修正方法中的最终的修正后的功能液的填充量偏差的表。
比较例的喷嘴喷出量的修正方法具有按多次（四次）的经过分阶段地进行多个驱动信号COM的修正的第一修正步骤～第四修正步骤。
首先，在第一修正步骤中，按60个喷出区域A的每一个计算第一次经过至第四次经过从使用修正前的驱动信号COM选择出的喷嘴52分别将液滴D喷出至喷出区域A的情况下的功能液的总量（填充量）。具体而言，将修正前的驱动信号COM施加给有效喷嘴的致动器亦即压电元件59，将多个液滴D从各个有效喷嘴喷出至介质160，并测量其着落痕迹165的着落面积，从而推测出液滴D的喷出量与其偏差，将功能液的填充量数值化。在比较例中，将喷出到一个喷出区域A的功能液的填充量，换句话说，本发明中的预先设定的规定量数值化为“5.0000”。
如图11所示，根据比较例的第一修正步骤中的功能液的填充量的计算结果，例如在一号（No.1）喷出区域A中，从在第一次经过中选择出的喷嘴52喷出的液滴D的喷出量为“0.98845”，同样地，第二次经过的喷出量为“1.02080”，第三次经过的喷出量为“1.00433”，第四次经过的喷出量为“1.00250”。此外，示出了各经过中一滴液滴D的喷出量，所以由于第四次经过喷出两滴液滴D，而实际成为两倍的值。因此，喷出到四次经过后的一号喷出区域A的功能液的总量（填充量）成为“5.01858”，与规定量的“5.0000”的差（偏移量）成为“0.01858”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最大值为14号喷出区域A中的“0.07899”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最小值为10号喷出区域A中的“－0.11223”。因此，喷出至60个喷出区域A中的功能液的总量（填充量）与规定量的差（偏移量）的范围的大小（范围；Range）成为“0.19122”。该范围相对于规定量的比例为“3.82%”。
在比较例的第一修正步骤中，为了例如仅通过第一次经过喷出的液滴D的喷出量的修正消除一号（No.1）喷出区域A中的偏移量“0.01858”，计算施加给在第一次经过中选择出的喷嘴52的压电元件59的驱动信号COM的修正量。预先求出驱动信号COM的波形中的电位与液滴D的喷出量的关系作为标准曲线，基于该标准曲线计算驱动信号COM的修正量。基于该修正量，将在第一次经过中选择出的喷嘴52例如划分为8个等级。在60个的喷出区域A的每一个中，针对在第一次经过中选择出的喷嘴52划分等级。而且，根据60个选择出的喷嘴52的等级进行多个驱动信号COM的均等分配。例如将8个等级中的两个等级分配给四个驱动信号COM中的一个。
在比较例的第一修正步骤中，将驱动信号COM1设为“103.6%”，将驱动信号COM2设为“99.8%”，将驱动信号COM3设为“97.8%”，将驱动信号COM4设为“95.5%”。驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差为8.1%。另外，将驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差的1／2设定为驱动信号COM的基准电压。然后，进入第二修正步骤。
在比较例的第二修正步骤中，计算将在第一修正步骤计算出的多个驱动信号COM（COM1～COM4）的修正（第一信号修正）应用于第一 次经过的各喷出区域A的喷出量。第二次经过至第四次经过与第一修正步骤相同，直接使用应用修正前的驱动信号COM喷出液滴D的情况下的喷出量。而且，再次计算喷出至四次经过结束后的各喷出区域A的功能液的总量（填充量）。
如图12所示，根据比较例的第二修正步骤中的功能液的填充量的计算结果，例如在一号（No.1）喷出区域A中，第一次经过的喷出量为“0.95464”，第二次经过的喷出量为“1.02080”，第三次经过的喷出量为“1.00433”，第四次经过的喷出量为“1.00250”。因此，喷出至四次经过后的一号喷出区域A的功能液的总量（填充量）为“4.98477”，与规定量的“5.0000”的差（偏移量）成为“－0.01523”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最大值为“0.03176”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最小值为“－0.03139”。因此，喷出至60个喷出区域A的功能液的总量（填充量）与规定量的差的范围的大小（范围；Range）成为“0.06315”。该范围相对于规定量的比例为“1.26%”。
在比较例的第二修正步骤中，与第一修正步骤相同，例如为了仅通过第二次经过喷出的液滴D的喷出量的修正消除一号喷出区域A中的偏移量“－0.01523”，计算施加给第二次经过选择出的喷嘴52的压电元件59的驱动信号COM的修正量。基于该修正量，将第二次经过所选择出的喷嘴52例如划分为8个等级。对在60个的各喷出区域A中在第二次经过中选择出的喷嘴52划分等级。而且，根据60个选择出的喷嘴52的等级进行多个驱动信号COM的均等分配。例如将8个等级中的两个等级分配给四个驱动信号COM中的一个。
在比较例的第二修正步骤中，将驱动信号COM1设为“101.6%”，将驱动信号COM2设为“100.8%”，将驱动信号COM3设为“99.4%”，将驱动信号COM4设为“97.5%”。驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差为4.1%。另外，将驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差的1／2设定为驱动信号COM的基准电压。然后，进入第三修正步骤。
在比较例的第三修正步骤中，将在第二修正步骤中计算出的多个驱动信号COM（COM1～COM4）的修正（第二信号修正）应用于第二次经过，并计算出各喷出区域A的喷出量。第三次经过、第四次经过直接 使用应用修正前的驱动信号COM喷出液滴D的情况下的喷出量。而且，再次计算出喷出至四次经过结束后的各喷出区域A的功能液的总量（填充量）。
如图13所示，根据比较例的第三修正步骤中的功能液的填充量的计算结果，例如在一号（No.1）喷出区域A中，第一次经过的喷出量为“0.95464”，第二次经过的喷出量为“1.03507”，第三次经过的喷出量为“1.00433”，第四次经过的喷出量为“1.00250”。因此，喷出至四次经过后的一号喷出区域A的功能液的总量（填充量）成为“4.99903”，与规定量的“5.0000”的差（偏移量）成为“－0.00097”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最大值为“0.01285”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最小值为“－0.01520”。因此，喷出至60个喷出区域A中的功能液的总量（填充量）与规定量的差的范围的大小（范围；Range）成为“0.02805”。该范围相对于规定量的比例为“0.56%”。
在比较例的第三修正步骤中，与第二修正步骤相同，例如，为了仅通过第三次经过喷出的液滴D的喷出量的修正消除一号喷出区域A中的偏移量“－0.00097”，计算施加给第三次经过选择出的喷嘴52的压电元件59的驱动信号COM的修正量。基于该修正量，将第三次经过选择出的喷嘴52例如划分为8个等级。对60个的各喷出区域A中在第三次经过中选择出的喷嘴52划分等级。而且，根据60个的选择出的喷嘴52的等级进行多个驱动信号COM的均等分配。例如将8个等级中的两个等级分配给四个驱动信号COM中的一个。
在比较例的第三修正步骤中，将驱动信号COM1设为“100.3%”，将驱动信号COM2设为“100.0%”，将驱动信号COM3设为“99.6%”，将驱动信号COM4设为“98.9%”。驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差为1.4%。另外，将驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差的1／2设定为驱动信号COM的基准电压。然后，进入第四修正步骤。
在比较例的第四修正步骤中，将在第三修正步骤中计算出的多个驱动信号COM（COM1～COM4）的修正（第三信号修正）应用于第三次经过，并计算出各喷出区域A的喷出量。第四次经过直接使用应用修正前的驱动信号COM喷出液滴D的情况下的喷出量。而且，再次计算 出喷出到四次经过结束后的各喷出区域A的功能液的总量（填充量）。
如图14所示，根据比较例的第四修正步骤中的功能液的填充量的计算结果，例如在一号（No.1）喷出区域A中，第一次经过的喷出量为“0.95464”，第二次经过的喷出量为“1.03507”，第三次经过的喷出量为“1.00650”，第四次经过的喷出量为“1.00250”。因此，喷出至四次经过后的一号喷出区域A的功能液的总量（填充量）成为“5.00120”，与规定量的“5.0000”的差（偏移量）成为“0.00120”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最大值为“0.00598”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最小值为“－0.00576”。因此，喷出至60个喷出区域A的功能液的总量（填充量）与规定量的差的范围的大小（范围；Range）成为“0.01174”。该范围相对于规定量的比例为“0.23%”。
在比较例的第四修正步骤中，与第三修正步骤相同，例如为了仅通过第四次经过喷出的液滴D的喷出量的修正消除一号喷出区域A中的偏移量“0.00120”，计算出施加给在第四次经过中选择出的喷嘴52的压电元件59的驱动信号COM的修正量。基于该修正量，将在第四次经过中选择出的喷嘴52例如划分为8个等级。对60个的各喷出区域A中在第四次经过中选择出的喷嘴52划分等级。而且，根据60个的选择出的喷嘴52的等级进行多个驱动信号COM的均等分配。例如将8个等级中的两个等级分配给四个驱动信号COM中的一个。
在比较例的第四修正步骤中，将驱动信号COM1设为“100.2%”，将驱动信号COM2设为“100.0%”，将驱动信号COM3设为“100.0%”，将驱动信号COM4设为“99.9%”。驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差为0.3%。另外，将驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差的1／2设定为驱动信号COM的基准电压。然后，进入最终步骤。
在比较例的最终步骤中，将在第四修正步骤中计算出的多个驱动信号COM（COM1～COM4）的修正（第四信号修正）应用于第四次经过，并计算出各喷出区域A的喷出量。而且，再次计算出喷出至四次经过结束后的各喷出区域A的功能液的总量（填充量）。
如图15所示，根据比较例的最终步骤中的功能液的填充量的计算 结果，例如在一号（No.1）喷出区域A中，第一次经过的喷出量为“0.95464”，第二次经过的喷出量为“1.03507”，第三次经过的喷出量为“1.00650”，第四次经过的喷出量为“1.00223”。因此，喷出至四次经过后的一号喷出区域A的功能液的总量（填充量）成为“5.00067”，与规定量的“5.0000”的差（偏移量）成为“0.00067”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最大值为“0.00244”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最小值为“－0.00237”。因此，喷出至60个喷出区域A的功能液的总量（填充量）与规定量的差的范围的大小（范围；Range）成为“0.00481”。该范围相对于规定量的比例为“0.10%”。
实施例
实施例的功能液的喷出方法与比较例相同，将规定量的功能液以5滴液滴D的形式分四次经过喷出至一个喷出区域A。具体而言，在第一次经过中喷出两滴液滴D，在第二次至第四次经过中分别喷出各一滴液滴D。另外，与比较例相同，每次经过改变所选择的喷嘴52。换句话说，采用通过从每次经过而不同的喷嘴52喷出液滴D，从而使因喷嘴52间的喷出特性的不同引起的液滴D的喷出量偏差分散的方法。
这样的实施例的功能液的喷出方法中的喷嘴喷出量的修正方法基本应用了在背景技术中示出的专利文献2（日本特开2012－209216号）的发明，但第一次经过中的液滴D的喷出数（发射数）比其他经过多这一点与比较例不同。进一步来说，优先实际喷出液滴D的多次主扫描中喷出数（发射数）最多的主扫描来分阶段地进行喷嘴喷出量的修正这一点不同。
参照图16～图20对实施例中的喷嘴喷出量的修正方法进行说明。图16是表示实施例的喷嘴喷出量的修正方法中的第一修正步骤的功能液的填充量和驱动信号的修正量的表，图17是表示实施例的喷嘴喷出量的修正方法中的第二修正步骤的功能液的填充量和驱动信号的修正量的表，图18是表示实施例的喷嘴喷出量的修正方法中的第三修正步骤的功能液的填充量和驱动信号的修正量的表，图19是表示实施例的喷嘴喷出量的修正方法中的第四修正步骤的功能液的填充量和驱动信号的修正量的表，图20是表示实施例的喷嘴喷出量的修正方法中的最终的修正后的功能液的填充量的表。
实施例的喷嘴喷出量的修正方法具有按多次（四次）经过分阶段地进行多个驱动信号COM的修正的第一修正步骤～第四修正步骤。
首先，在第一修正步骤中，按60个喷出区域A的每一个计算第一次经过至第四次经过从使用修正前的驱动信号COM选择出的喷嘴52分别将液滴D喷出至喷出区域A的情况下的功能液的总量（填充量）。第一修正步骤的驱动信号COM的修正中的基本思路与比较例相同，但在第一次经过中从选择出的喷嘴52喷出两滴液滴D，所以计算结果受到喷出数的影响，未必与比较例的第一修正步骤相同。对致动器亦即压电元件59施加修正前的驱动信号COM，从各有效喷嘴将多个液滴D喷出至介质160，通过测量其着落痕迹165的着落面积来推测液滴D的喷出量和其偏差，将功能液的填充量数值化。在实施例中，也与比较例相同，将喷出至一个喷出区域A的功能液的填充量，换句话说，本发明中的预先设定的规定量数值化为“5.0000”。
如图16所示，根据实施例的第一修正步骤中的功能液的填充量的计算结果，例如在一号（No.1）喷出区域A中，从在第一次经过中选择出的喷嘴52喷出的液滴D的喷出量为“0.99643”，同样地第二次经过的喷出量为“1.02080”，第三次经过的喷出量为“1.00433”，第四次经过的喷出量为“1.00250”。此外，在各经过中示出有一滴液滴D的喷出量，所以由于第一次经过喷出两滴液滴D而实际上成为两倍的值。因此，喷出至四次经过后的一号喷出区域A的功能液的总量（填充量）成为“5.02049”，与规定量的“5.0000”的差（偏移量）成为“0.02049”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最大值为58号喷出区域A中的“0.09801”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最小值为20号喷出区域A中的“－0.07126”。因此，喷出至60个喷出区域A中的功能液的总量（填充量）与规定量的差（偏移量）的范围的大小（范围；Range）成为“0.16927”。该范围相对于规定量的比例为“3.39%”。
在实施例的第一修正步骤中，例如为了仅通过在第一次经过中喷出的两滴液滴D的喷出量的修正消除一号（No.1）喷出区域A中的偏移量“0.02049”，计算出施加给在第一次经过中选择出的喷嘴52的压电元件59的驱动信号COM的修正量。预先求出驱动信号COM的波形中的电位与液滴D的喷出量的关系作为标准曲线，基于该标准曲线计算 出驱动信号COM的修正量。基于该修正量，将在第一次经过中选择出的喷嘴52例如划分8个等级。对在60个喷出区域A的每一个中在第一次经过中选择出的喷嘴52划分等级。而且，根据60个选择出的喷嘴52的等级进行多个驱动信号COM的均等分配。例如将8个等级中的两个等级分配给四个驱动信号COM中的一个。
在实施例的第一修正步骤中，将驱动信号COM1设为“101.5%”，将驱动信号COM2设为“99.9%”，将驱动信号COM3设为“98.9%”，将驱动信号COM4设为“97.5%”。驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差为4.0%。另外，将驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差的1／2设定为驱动信号COM的基准电压。若在第一修正步骤的时刻比较比较例与实施例，则驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差几乎成为一半。然后，进入第二修正步骤。
在实施例的第二修正步骤中，计算将在第一修正步骤中计算出的多个驱动信号COM（COM1～COM4）的修正（第一信号修正）应用于第一次经过的各喷出区域A的喷出量。第二次经过至第四次经过与第一修正步骤相同，直接使用应用修正前的驱动信号COM来喷出液滴D的情况下的喷出量。而且，再次计算出喷出到四次经过结束后的各喷出区域A的功能液的总量（填充量）。
如图17所示，根据实施例的第二修正步骤中的功能液的填充量的计算结果，例如在一号（No.1）喷出区域A中，第一次经过的喷出量为“0.97899”，第二次经过的喷出量为“1.02080”，第三次经过的喷出量为“1.00433”，第四次经过的喷出量为“1.00250”。因此，喷出至四次经过后的一号喷出区域A的功能液的总量（填充量）成为“4.98561”，与规定量的“5.0000”的差（偏移量）成为“－0.01439”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最大值为“0.02702”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最小值为“－0.02566”。因此，在60个喷出区域A中喷出的功能液的总量（填充量）与规定量的差的范围的大小（范围；Range）成为“0.05268”。该范围相对于规定量的比例为“1.05%”。
在实施例的第二修正步骤中，与第一修正步骤相同，例如，为了仅通过在第二次经过中喷出的液滴D的喷出量的修正消除一号喷出区 域A中的偏移量“－0.01439”，计算施加给在第二次经过中选择出的喷嘴52的压电元件59的驱动信号COM的修正量。基于该修正量，将在第二次经过中选择出的喷嘴52例如划分为8个等级。对在60个喷出区域A的每一个中在第二次经过中选择出的喷嘴52划分等级。而且，根据60个选择出的喷嘴52的等级进行多个驱动信号COM的均等分配。例如将8个等级中的两个等级分配给四个驱动信号COM中的一个。
在实施例的第二修正步骤中，将驱动信号COM1设为“101.4%”，将驱动信号COM2设为“100.4%”，将驱动信号COM3设为“99.7%”，将驱动信号COM4设为“99.1%”。驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差为2.3%。另外，将驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差的1／2设定为驱动信号COM的基准电压。然后，进入第三修正步骤。
在实施例的第三修正步骤中，将在第二修正步骤中计算出的多个驱动信号COM（COM1～COM4）的修正（第二信号修正）应用于第二次经过，计算出各喷出区域A的喷出量。第三次经过、第四次经过直接使用应用修正前的驱动信号COM来喷出液滴D的情况下的喷出量。而且，再次计算出喷出至四次经过结束后的各喷出区域A的功能液的总量（填充量）。
如图18所示，根据实施例的第三修正步骤中的功能液的填充量的计算结果，例如在一号（No.1）喷出区域A中，第一次经过的喷出量为“0.97899”，第二次经过的喷出量为“1.03415”，第三次经过的喷出量为“1.00433”，第四次经过的喷出量为“1.00250”。因此，喷出至四次经过后的一号喷出区域A的功能液的总量（填充量）成为“4.99895”，与规定量的“5.0000”的差（偏移量）成为“－0.00105”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最大值为“0.00777”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最小值为“－0.00640”。因此，喷出至60个喷出区域A的功能液的总量（填充量）与规定量的差的范围的大小（范围；Range）成为“0.01417”。该范围相对于规定量的比例为“0.28%”。
在实施例的第三修正步骤中，与第二修正步骤相同，例如为了仅通过在第三次经过中喷出的液滴D的喷出量的修正消除一号喷出区域A中的偏移量“－0.00105”，计算施加给在第三次经过中选择出的喷嘴 52的压电元件59的驱动信号COM的修正量。基于该修正量，将在第三次经过中选择出的喷嘴52例如划分为8个等级。对在60个喷出区域A的每一个中在第三次经过中选择出的喷嘴52划分等级。而且，根据60个选择出的喷嘴52的等级进行多个驱动信号COM的均等分配。例如将8个等级中的两个等级分配给四个驱动信号COM中的一个。
在实施例的第三修正步骤中，将驱动信号COM1设为“100.4%”，将驱动信号COM2设为“100.2%”，将驱动信号COM3设为“100.0%”，将驱动信号COM4设为“99.7%”。驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差为0.7%。另外，将驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差的1／2设定为驱动信号COM的基准电压。然后，进入第四修正步骤。
在实施例的第四修正步骤中，将在第三修正步骤中计算出的多个驱动信号COM（COM1～COM4）的修正（第三信号修正）应用于第三次经过，计算出各喷出区域A的喷出量。第四次经过直接使用应用修正前的驱动信号COM来喷出液滴D的情况下的喷出量。而且，再次计算喷出至四次经过结束后的各喷出区域A的功能液的总量（填充量）。
如图19所示，根据实施例的第四修正步骤中的功能液的填充量的计算结果，例如在一号（No.1）喷出区域中，第一次经过的喷出量为“0.97899”，第二次经过的喷出量为“1.03415”，第三次经过的喷出量为“1.00433”，第四次经过的喷出量为“1.00250”。因此，喷出至四次经过后的一号喷出区域A的功能液的总量（填充量）成为“4.99895”，与规定量的“5.0000”的差（偏移量）成为“－0.00105”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最大值为“0.00284”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最小值为“－0.00260”。因此，喷出至60个喷出区域A的功能液的总量（填充量）与规定量的差的范围的大小（范围；Range）成为“0.00544”。该范围相对于规定量的比例为“0.11%”。
在实施例的第四修正步骤中，与第三修正步骤相同，例如为了仅通过第四次经过喷出的液滴D的喷出量的修正消除一号喷出区域A中的偏移量“－0.00105”，计算施加给在第四次经过中选择出的喷嘴52的压电元件59的驱动信号COM的修正量。基于该修正量，将在第四次经过中选择出的喷嘴52例如划分为8个等级。对在60个喷出区域A的 每一个中在第三次经过中选择出的喷嘴52划分等级。而且，根据60个选择出的喷嘴52的等级进行多个驱动信号COM的均等分配。例如将8个等级中的两个等级分配给四个驱动信号COM中的一个。
在实施例的第四修正步骤中，将驱动信号COM1设为“100.1%”，将驱动信号COM2设为“100.1%”，将驱动信号COM3设为“100.0%”，将驱动信号COM4设为“99.9%”。驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差为0.3%。另外，将驱动信号COM中的修正率的最大值（MAX）与最小值（MIN）的差的1／2设定为驱动信号COM的基准电压。然后，进入最终步骤。
在实施例的最终步骤中，将在第四修正步骤中计算出的多个驱动信号COM（COM1～COM4）的修正（第四信号修正）应用于第四次经过，计算出各喷出区域A的喷出量。而且，再次计算出喷出至四次经过结束后的各喷出区域A的功能液的总量（填充量）。
如图20所示，根据实施例的最终步骤中的功能液的填充量的计算结果，例如在一号（No.1）喷出区域A中，第一次经过的喷出量成为“0.97899”，第二次经过的喷出量成为“1.03417”，第三次经过的喷出量成为“1.00433”，第四次经过的喷出量成为“1.00363”。因此，喷出至四次经过后的一号喷出区域A的功能液的总量（填充量）成为“5.00008”，与规定量的“5.0000”的差（偏移量）成为“0.00008”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最大值为“0.00076”。60个喷出区域A中的与规定量的差（偏移量）的最小值为“－0.00078”。因此，喷出至60个喷出区域A的功能液的总量（填充量）与规定量的差的范围的大小（范围；Range）成为“0.00154”。该范围相对于规定量的比例为“0.03%”。
图21是表示比较例以及实施例的主扫描中的驱动信号的修正量和喷出区域中的功能液的填充量偏差的表。图22（a）是表示比较例的各喷出区域中的功能液的填充量偏差的图，图22（b）是表示实施例的各喷出区域中的功能液的填充量偏差的图，图23（a）是表示比较例和实施例的主扫描中的驱动信号的修正量的图，图23（b）是表示比较例和实施例的主扫描中的填充量偏差的图。图22（a）以及（b）、图23（a）以及（b）是将图21的数值数据置换为图来进行表示的图。
如图21的表以及图22（a）以及（b）的图所示，在比较例以及实施例的功能液的喷出方法中，若使用修正前的驱动信号COM进行液滴D的喷出，则喷出区域A中的功能液的总量（填充量）分别具有超过3%的偏差。
通过在每次经过（主扫描）中分别修正多个驱动信号COM（COM1～COM4），来修正从在每次经过（主扫描）中选择出的喷嘴52喷出的液滴D的喷出量，即喷嘴喷出量，所以比较例以及实施例的填充量的偏差分别随着经过的行进而变小。
然而，如图21的表以及图23（a）的图所示，比较例的各经过中的驱动信号COM的修正量比实施例大。换句话说，实施例中的驱动信号COM的修正量比比较例的小。由于在实施例中优先修正液滴D的喷出数较多的经过（主扫描），所以可以不进行驱动信号COM中的过度修正。对于表示施加给作为致动器的压电元件59的驱动信号COM的波形的电位与液滴D的喷出量的关系的标准曲线而言，例如，相对于基准电位升压或者降压的电位的大小越大，液滴D的喷出量越容易偏离标准曲线中的直线关系。换句话说，优选在驱动信号COM的标准曲线的可靠度高的范围内进行驱动信号COM的修正。
根据这样的实施例的功能液的喷出方法以及喷嘴喷出量的修正方法，如图23（b）所示，能够使喷出区域A中的功能液的填充量偏差比比较例的小。
第二实施方式
有机场致发光装置
接下来，参照图24以及图25对有机场致发光（EL）装置进行说明。图24是表示有机EL装置的示意主视图，图25是有机EL装置的主要部分示意剖视图。
如图24所示，有机EL装置100具备具备R（红色）、G（绿色）、B（蓝色）的三种颜色的发光像素107的元件基板101、和间隔规定的间隔对置配置在元件基板101上的密封基板102。密封基板102被以密封设置了多个发光像素107的发光区域106的方式，使用具有较高的气 密性的密封剂贴合在元件基板101上。
发光像素107具备后述的作为发光元件的有机EL元件112（参照图25），且成为获得同种颜色的发光的发光像素107沿附图上的纵向排列的所谓条纹方式。此外，实际上，发光像素107为微小的元件，为便于图示而放大图示。
元件基板101比密封基板102大一圈，在突出为边框状的部分设置有驱动发光像素107的两个扫描线驱动电路部103和一个数据线驱动电路部104。例如可以将扫描线驱动电路部103、数据线驱动电路部104以集成了电路的IC的方式安装于元件基板101，也可以将扫描线驱动电路部103以及数据线驱动电路部104直接形成在元件基板101的表面上。
在元件基板101的端子部101a安装有用于连接这些扫描线驱动电路部103、数据线驱动电路部104和外部驱动电路的中继基板105。中继基板105例如能够使用可挠性电路基板等。
如图25所示，在有机EL装置100中，有机EL元件112具有作为像素电极的阳极131、划分阳极131的隔壁133、和形成在阳极131上的包含由有机膜构成的发光层的功能层132。另外，具有以经由功能层132与阳极131对置的方式形成的作为共用电极的阴极134。
隔壁133由苯酚树脂或者聚酰亚胺树脂等具有绝缘性的感光性树脂构成，并被设置成部分覆盖构成发光像素107的阳极131的周围，并分别划分多个阳极131。
阳极131与形成在元件基板101上的TFT元件108的三个端子中的一个连接，例如，是以厚度100nm左右成膜作为透明电极材料的ITO（Indium Tin Oxide：氧化铟锡）而成的电极。
阴极134例如由Al、Ag等具有光反射性的金属、该金属与其他金属（例如Mg）的合金等形成。
有机EL装置100成为所谓的底部发光型的构造，使驱动电流在阳极131与阴极134之间流通而在功能层132处发出光的光在阴极134 处反射，并从元件基板101侧取出。因此，元件基板101使用玻璃等透明基板。另外，密封基板102也能够使用透明基板以及不透明基板的任意一个。作为不透明基板，例如，除了有在氧化铝等陶瓷、不锈钢等金属薄板上实施表面氧化等绝缘处理而形成的基板外，还列举了热固化性树脂、热塑性树脂等。
在元件基板101设置有驱动有机EL元件112的电路部111。即，在元件基板101的表面作为基底形成以SiO2为主体的基底保护层121，在其上例如形成有由多晶硅等构成的半导体层122。在该半导体层122的表面形成有以SiO2以及／或者SiN为主体的栅极绝缘膜123。
另外，将半导体层122中，隔着栅极绝缘膜123与栅电极126重叠的区域作为沟道区域122a。此外，该栅电极126为未图示的扫描线的一部分。另一方面，在覆盖半导体层122，且形成了栅电极126的栅极绝缘膜123的表面形成有以SiO2为主体的第一层间绝缘层127。
另外，半导体层122中，在沟道区域122a的源极侧设有低浓度源极区域以及高浓度源极区域122c，另一方面，在沟道区域122a的漏极侧设有低浓度漏极区域以及高浓度漏极区域122b，成为所谓的LDD（Light Doped Drain：轻掺杂漏极）结构。它们中的高浓度源极区域122c经由遍及栅极绝缘膜123和第一层间绝缘层127开孔的接触孔125a，与源极电极125连接。该源极电极125作为电源线（未图示）的一部分而构成。另一方面，高浓度漏极区域122b经由贯通栅极绝缘膜123和第一层间绝缘层127的接触孔124a，与由和源极电极125同一层构成的漏极电极124连接。
在形成了源极电极125以及漏极电极124的第一层间绝缘层127的上层形成有平坦化层128。该平坦化层128由丙烯系、聚酰亚胺系等耐热性绝缘树脂等形成，是为了去除由TFT元件108、源极电极125、漏极电极124等形成的表面的凹凸而形成的已知层。
而且，阳极131形成在该平坦化层128的表面上，并且经由设于该平坦化层128的接触孔128a与漏极电极124连接。即，阳极131经由漏极电极124与半导体层122的高浓度漏极区域122b连接。阴极134与GND连接。因此，利用作为开关元件的TFT元件108，控制被从上 述电源线供给至阳极131且在与阴极134之间流通的驱动电流。由此，电路部111能够使所希望的有机EL元件112发光，并进行彩色显示。
此外，驱动有机EL元件112的电路部111的构成并不限定于此。
功能层132由包括作为有机层的空穴注入层、中间层、发光层的多个薄膜层构成，从阳极131侧按该顺序层叠。在本实施方式中，使用液相法（喷墨法）成膜这些有机层。
作为空穴注入层的材料，例如，可以使用对聚乙撑二氧噻吩（PEDOT）等聚噻吩衍生物添加作为掺杂剂的聚苯乙烯磺酸（PSS）而成的混合物（PEDOT／PSS）、聚苯乙烯、聚吡咯、聚苯胺、聚乙炔、其衍生物。
中间层被设在空穴注入层与发光层之间，是为了使针对发光层的空穴的输送性（注入性）提高，并且抑制电子从发光层向空穴注入层泄露而设置的。即，用于改善基于发光层中的空穴与电子的结合的发光的效率。作为中间层的材料，例如，列举了包含空穴输送性良好的三苯胺基聚合物的材料。
作为发光层的材料，例如，能够使用能够获得红色、绿色、蓝色的发光的聚芴衍生物（PF）、聚对苯撑乙烯衍生物（PPV）、聚亚苯基衍生物（PP）、聚对亚苯基衍生物（PPP）、聚乙烯咔唑（PVK）、PEDOT等聚硫苯衍生物、聚甲基硅烷苯（PMPS）等。另外，也可以对这些高分子材料掺杂二萘嵌苯系色素、香豆素系色素、若丹明系色素等高分子材料、红荧烯、二萘嵌苯、9，10－二苯基蒽、四苯基丁二烯、尼罗红、香豆素6、喹吖啶酮等低分子材料。
具有这样的有机EL元件112的元件基板101被经由将热固化型环氧树脂等作为密封部件使用的密封层135与密封基板102无缝隙地密封。
有机EL装置100使用在上述第一实施方式中说明的喷出装置10而得以制造，至少发光层具有几乎恒定的膜厚和稳定的膜形状（剖面形状），所以在能够获得不同发光颜色的功能层132R、132G、132B中能够获得各自所希望的发光特性。
此外，本实施方式的有机EL装置100并不限定于底部发光型，例如也可以为使用光反射性的导电材料形成阳极131，使用透明的导电材料形成作为共用电极的阴极134，使有机EL元件112的发光在阳极131反射，并从密封基板102侧取出的顶部发光型的结构。另外，在为顶部发光型的情况下，也可以为将与有机EL元件112的发光颜色对应的彩色滤光片设于密封基板102侧的构成。并且，在密封基板102侧具有彩色滤光片的情况下，也可以为能够从有机EL元件112获得白色发光的构成。
有机EL装置的制造方法
接下来，参照图26～图28对本实施方式的有机EL装置的制造方法进行说明。图26是表示有机EL装置的制造方法的流程图，图27（a）～（d）以及图28（e）～（h）是表示有机EL装置的制造方法的示意剖视图。
本实施方式的有机EL装置100的制造方法使用上述第一实施方式的喷出装置10。另外，使用应用了本发明的喷嘴喷出量的修正方法的功能液的喷出方法。
如图26所示，本实施方式的有机EL装置100的制造方法至少具备隔壁形成工序（步骤S1）、对形成了隔壁的基板实施表面处理的表面处理工序（步骤S2）、空穴注入层形成工序（步骤S3）、中间层形成工序（步骤S4）、发光层形成工序（步骤S5）、阴极形成工序（步骤S6）、以及粘合形成了有机EL元件112的元件基板101和密封基板102的密封基板粘合工序（步骤S7）。此外，在元件基板101上形成电路部111（参照图25）的工序、形成与电路部111电连接的阳极131的工序使用公知的制造方法即可，在本实施方式中省略详细的说明。因此，在图27（a）～（d）以及图28（e）～（h）中，省略电路部111的图示。
图26的步骤S1是隔壁形成工序。在步骤S1中，如图27（a）所示，以覆盖阳极131的周围的一部分了划分每个阳极131的方式形成隔壁133。作为形成方法，例如，在形成了阳极131的元件基板101的表面以大概1μm～3μm左右的厚度涂覆感光性的苯酚树脂或者聚酰亚胺树脂。作为涂覆方法，列举了转印法、狭缝涂布法等。而且，通过使用与 发光像素107的形状对应的掩模进行曝光、显影来形成隔壁133。以下，通过隔壁133划分的发光像素107的区域是本发明中的喷出区域A。然后，进入步骤S2。
图26的步骤S2是表面处理工序。在步骤S2中，在形成了隔壁133的元件基板101的表面实施亲液处理和防水处理。首先，进行将氧作为处理气体的等离子体处理，主要对由无机材料构成的阳极131的表面实施亲液处理。接下来，进行将CF4等氟类气体作为处理气体的等离子体处理，在由有机材料构成的隔壁133的表面导入氟并实施防水处理。
此外，具有防水性的隔壁133的形成并不局限于此。例如，也可以在隔壁133的头顶部转印防水性材料来形成防水层，以使上述感光性树脂本身包含防水性材料的方式形成隔壁133。另外，该情况下，表面处理也可以采用去除形成隔壁133时的残渣，例如照射紫外线而产生臭氧的UV臭氧处理。然后，进入步骤S3。
图26的步骤S3是空穴注入层形成工序。在步骤S3中，首先，如图27（b）所示，将包含空穴注入层形成材料的功能液70涂覆于喷出区域A。功能液70例如使用作为溶剂包含二甘醇和水（纯水），作为空穴注入层形成材料以0.5%左右的重量比包含PEDOT／PSS的功能液。以粘度大概在20mPa·s以下的方式调整溶剂的比例。
作为涂覆功能液70的方法，使用在第一实施方式中说明的能够将功能液（墨水）从喷头50的喷嘴52喷出的喷出装置10。使喷头50与作为工件W的元件基板101对置，将功能液70从喷头50喷出。喷出的功能液70以液滴的形式着落于进行了亲液处理的阳极131并晕开。另外，以干燥后的空穴注入层的膜厚大概为50nm～70nm的方式，喷出与喷出区域A的面积对应的规定量的液滴。然后进入干燥工序。
在干燥工序中，例如以灯退火等方法加热元件基板101，从而使功能液70的溶剂成分干燥并去除，如图27（c）所示，在喷出区域A的阳极131上形成空穴注入层132a。此外，在本实施方式中，在各喷出区域A形成了由相同材料构成的空穴注入层132a，但也可以与后面形成的发光层对应地按发光颜色改变空穴注入层132a的材料。然后进入步骤S4。
图26的步骤S4是中间层形成工序。在步骤S4中，如图27（d）所示，将包含中间层形成材料的功能液80涂覆于喷出区域A。
功能液80例如使用作为溶剂包含环己基苯，作为中间层形成材料以0.1%左右的重量比包含上述的三苯胺系聚合物的功能液。粘度大概为6mPa?s。
作为涂覆功能液80的方法，与涂覆功能液70的情况相同，使用第一实施方式的喷出装置10。以干燥后的中间层的膜厚大概为10nm～20nm的方式，来喷出与喷出区域A的面积对应的规定量的液滴。然后进入干燥工序。
在干燥工序中，例如以灯退火等方法加热元件基板101，从而使功能液80的溶剂成分干燥并去除，如图28（e）所示，在喷出区域A的空穴注入层132a上形成中间层132c。然后进入步骤S5。
图26的步骤S5是发光层形成工序。在步骤S5中，如图28（f）所示，将包含发光层形成材料的功能液90R、90G、90B涂覆于各自对应的喷出区域A。
功能液90R、90G、90B例如使用了作为溶剂包含环己基苯，作为发光层形成材料以0.7%的重量比包含PF的功能液。粘度大概为14mPa?s。
在涂覆功能液90R、90G、90B的方法中，仍然使用第一实施方式的喷出装置10来填充至分别不同的喷头50并从其喷出。另外，以干燥后的发光层的膜厚大概为50nm～100nm的方式，来喷出与喷出区域A的面积对应的规定量的液滴。然后进入干燥工序。
本实施方式中的喷出的功能液90R、90G、90B的干燥工序使用与一般的加热干燥相比能够比较均匀地干燥溶剂成分的减压干燥法。在喷出区域A普遍涂覆所需量的功能液90R、90G、90B。因此，如图28（g）所示，干燥后形成的发光层132r、132g、132b在每个喷出区域A具有大致恒定的膜厚和稳定的膜形状（剖面形状）。由此，完成包含发光层132r、132g、132b的功能层132R、132G、132B。然后，进入步骤S6。
图26的步骤S6是阴极形成工序。在步骤S6中，如图28（h）所示，以覆盖隔壁133和各功能层132R、132G、132B的方式形成阴极134。由此，按各发光像素107构成有机EL元件112。
作为阴极134的材料，使用铝（Al）、银（Ag）和镁（Mg）的合金等。也可以在靠近功能层132R、132G、132B的一侧形成功函数较小的Ca、Ba、LiF的膜。另外，也可以在阴极134上层叠SiO2、SiN等的保护层。这样一来，能够防止阴极134的氧化。作为阴极134的形成方法，列举了蒸镀法、溅射法、CVD法等。特别是在能够防止功能层132R、132G、132B的因热而引起的损伤这一点，优选蒸镀法。然后，进入步骤S7。
图26的步骤S7是密封基板粘合工序。在步骤S7中，对形成有有机EL元件112的元件基板101涂覆密封层135，并与密封基板102无缝隙地密封（参照图25）。并且优选在密封基板102的外周区域设置防止水分、氧等浸入的粘合层并粘合。
根据以上那样的有机EL装置100的制造方法，使用上述第一实施方式的喷出装置10通过液相法（喷墨法）来形成功能层132R、132G、132B。另外，使用上述第一实施方式的喷嘴喷出量的修正方法，按每次经过（主扫描）修正驱动信号COM，将各功能液以液滴的形式从选择出的喷嘴52喷出到喷出区域A。进行经过（主扫描）中的液滴D的喷出数最多的经过（主扫描）作为第一次经过（主扫描）。因此，从喷头50的喷嘴52喷出的功能液的填充量偏差被抑制在某种程度的范围内。因此，在发光区域106的各发光像素107中，形成具有几乎恒定的膜厚和稳定的膜形状（剖面形状）的发光层132r、132g、132b的功能层132R、132G、132B。因此，起因于功能层132R、132G、132B的膜厚偏差的亮度不均被减少，能够制造具有优良的发光特性即显示品质，且能够进行好看的彩色显示的有机EL装置100。
此外，通过将使用了上述第一实施方式的喷出装置10的功能液的喷出方法至少应用于包含发光层形成材料的功能液90R、90G、90B的涂覆，所以能够获得其效果。
电子设备
能够将使用本发明的有机EL装置的制造方法制造出的有机EL装置100优选应用于各种电子设备的显示部。
作为电子设备，能够列举移动电话机、个人计算机、PDA、POS等便携式信息终端、数字照相机、数码摄像机、汽车导航系统、电视、HMD（头戴式显示器）、HUD（平视显示器）等。
另外，有机EL装置100不仅用作显示部，例如作为使有机EL元件112为获得白色发光的结构，还可以用作电子设备的照明装置。
本发明并不限定于上述的实施方式，在不违背从要求保护的范围以及说明书整体领会出的发明的主旨或者思想的范围内能够适当地变更，随着该变更的喷嘴喷出量的修正方法及应用该喷嘴喷出量的修正方法的功能液的喷出方法以及应用该功能液的喷出方法的有机EL装置的制造方法也包含在本发明的技术范围内。除了上述实施方式以外也考虑各种变形例。以下，列举变形例进行说明。
变形例1
在上述第一实施方式中的喷嘴喷出量的修正方法以及功能液的喷出方法中，喷出至一个喷出区域A的液滴的个数并不限定于5滴，并且，并不限定于将5滴液滴分成四次的主扫描喷出。应用本发明的功能液的喷出方法应用于分为N（N为正整数）次的主扫描，至少将N＋1的液滴喷出至喷出区域A，且在N次的主扫描中包含与其他的主扫描相比液滴的喷出数多的主扫描的情况。
变形例2
上述第一实施方式的功能液的喷出方法中的相对于多个喷出区域A的喷嘴列52c的配置并不限定于此。若使喷嘴列52c相对于主扫描方向倾斜地对置配置，则虽然在主扫描中由一个喷嘴列52c能够喷出液滴D的描绘范围变小，但能够在主扫描中增加覆盖一个喷出区域A的喷嘴52的个数，所以能够提高喷嘴52的喷出量偏差中的分散性。
变形例3
在上述第一实施方式的功能液的喷出方法中，并不限定于在每次主 扫描中改变选择出的喷嘴52来喷出液滴D。若在多次主扫描中的至少一次主扫描中改变选择出的喷嘴52，则能够使喷嘴52的喷出量偏差分散。
变形例4
在主扫描中选择出的喷嘴52中的液滴的喷出量等级并不限定于8个。只要是不同波形的驱动信号COM的个数的整数倍，就能够进行均等分配。
变形例5
能够应用本发明的喷嘴喷出量的修正方法以及功能液的喷出方法的并不限定于有机EL装置100的制造方法。例如，也能够应用于功能液包含着色材料的彩色滤光片的制造方法、功能液包含导电材料的布线、电极等的形成方法、功能液包含半导体材料的半导体层的形成方法等。
符号说明
52…喷嘴，59…作为致动器的压电元件，70、80、90R、90G、90B…功能液，100…有机EL装置，101…作为基板的元件基板，132r、132g、132b…发光层，132R、132G、132B…功能层，A…喷出区域，W…作为被喷出物的工件。