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1、(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201410649420.2(22)申请日 2014.11.14H01L 21/68(2006.01)(71)申请人昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司地址 215300 江苏省苏州市昆山市昆山高新区晨丰路188号申请人昆山国显光电有限公司(72)发明人朱涛 葛泳 刘玉成 刘雪洲(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司 44224代理人唐清凯(54) 发明名称显示器件转印定位装置及其方法(57) 摘要一种显示器件转印定位装置及其方法，所述显示器件转印定位装置，用于将芯片转印定位到基板上，包括转印头，位于所述基板上方，用于将芯。
2、片转印到所述基板的表面上；电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上。上述显示器件转印定位装置及其方法，能更加精确、简单地进行定位，并可以根据转印头和基板之间的互感信息，确定芯片抓取是否缺失。(51)Int.Cl.(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请权利要求书1页 说明书4页 附图2页(10)申请公布号 CN 104465474 A(43)申请公布日 2015.03.25CN 104465474 A1/1页21.一种显示器件转印定位装置，用于将芯片转印。
3、定位到基板上，其特征在于，所述显示器件转印定位装置包括：转印头，位于所述基板上方，用于将芯片转印到所述基板的表面上；电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上。2.根据权利要求1所述的显示器件转印定位装置，其特征在于，所述第一电极阵列包括至少一个第一电极单元，所述第一电极单元在所述第一电极阵列的一个方向上相互连接，且相邻两个所述第一电极单元之间形成互感电容。3.根据权利要求2所述的显示器件转印定位装置，其特征在于，所述第一电极单元的形状为多边形。4.根据权利要求1所述的显。
4、示器件转印定位装置，其特征在于，所述感应单元为电容传感器，用于感应所述第一电极阵列的互感电容。5.根据权利要求1所述的显示器件转印定位装置，其特征在于，所述感应单元为第二电极阵列，用于和所述第一电极阵列之间形成互感电容。6.根据权利要求5所述的显示器件转印定位装置，其特征在于，所述第二电极阵列包括至少一个第二电极单元。7.一种显示器件转印定位方法，其特征在于，所述方法包括：制作电容组件，其中，所述电容组件包括第一电极阵列，以及与所述第一电极阵列对应的感应单元，在基板上制作第一电极阵列，并在转印头上制作与所述第一电极阵列对应的感应单元，并将所述第一电极阵列和所述感应单元接入到控制电路中；在所述基。
5、板垂直的方向上，移动所述转印头，并测量所述第一电极阵列和所述感应单元之间的互感信号值，根据预先设定的互感信号值，确定所述转印头距离所述基板的垂直高度；测量所述感应单元和所述第一电极阵列上的各个位置之间的互感信号值，并根据所述互感信号值，定位所述转印头的水平位置。8.根据权利要求7所述的显示器件转印定位方法，其特征在于，所述第一电极阵列包括至少一个第一电极单元，且所述第一电极单元在所述第一电极阵列在一个方向上相互连接。9.根据权利要求7所述的显示器件转印定位方法，其特征在于，所述方法还包括根据所述转印头和所述基板之间的互感信号，确定转印到所述基板上的芯片的状态。权 利 要 求 书CN 10446。
6、5474 A1/4页3显示器件转印定位装置及其方法技术领域0001 本发明涉及显示器件技术领域，特别是涉及一种显示器件转印定位装置和一种显示器件转印定位方法。背景技术0002 转印指的是将中间载体薄膜上的图文采用相应的压力转移到承接物上的一种印刷方法，目前，转印技术已广泛应用到显示装置的制造中。在使用转印技术制造显示装置的技术中，转印时，需要转印头将预制好的芯片转印到基板(例如：玻璃基板)表面，因此，要对转印头进行定位，从而精确地将芯片转印到基板的对应位置。0003 一般地，转印头定位的方法主要是采用光学定位，对于抓取个别芯片进行转印时，采用该方法，难以将个别芯片的对位标志标记在动态显示区的内。
7、部，即不能准确地定位个别芯片。此外，在对所有芯片进行转印后，需进行光学检测来确定是否有转印缺失，该方法不能实时监控转印率。发明内容0004 基于此，为了解决个别芯片难以准确定位和实时监控转转印率的问题，提供一种显示器件转印定位装置及其方法。0005 一种显示器件转印定位装置，用于将芯片转印定位到基板上，所述装置包括：0006 转印头，位于所述基板上方，用于将芯片转印到所述基板的表面上；0007 电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上。0008 在其中一个实施例中，所述。
8、第一电极阵列包括至少一个第一电极单元，所述第一电极单元在所述第一电极阵列的一个方向上相互连接，且相邻两个所述第一电极单元之间形成互感电容。0009 在其中一个实施例中，所述第一电极单元的形状为多边形。0010 在其中一个实施例中，所述感应单元为电容传感器，用于感应所述第一电极阵列的互感电容。0011 在其中一个实施例中，所述感应单元为第二电极阵列，用于和所述第一电极阵列之间形成互感电容。0012 在其中一个实施例中，所述第二电极阵列包括至少一个第二电极单元。0013 还有必要提供一种显示器件转印定位方法。0014 一种显示器件转印定位方法，所述方法包括：0015 制作电容组件，其中，所述电容组。
9、件包括第一电极阵列，以及与所述第一电极阵列对应的感应单元，在基板上制作第一电极阵列，并在转印头上制作与所述第一电极阵列对应的感应单元，并将所述第一电极阵列和所述感应单元接入到控制电路中；说 明 书CN 104465474 A2/4页40016 在所述基板垂直的方向上，移动所述转印头，并测量所述第一电极阵列和所述感应单元之间的互感信号值，根据预先设定的互感信号值，确定所述转印头距离所述基板的垂直高度；0017 测量所述感应单元和所述第一电极阵列上的各个位置之间的互感信号值，并根据所述互感信号值，定位所述转印头的水平位置。0018 在其中一个实施例中，所述第一电极阵列包括至少一个第一电极单元，且所。
10、述第一电极单元在所述第一电极阵列在一个方向上相互连接。0019 在其中一个实施例中，所述方法还包括根据所述转印头和所述基板之间的互感信号，确定转印到所述基板上的芯片的状态。0020 上述显示器件转印定位装置及其方法，通过制作电容组件，该电容组件包括在基板的表面上制作的电极阵列，和在转印头上制作的与电极阵列相对应的感应单元，在转印定位过程中，通过电路将电极阵列和感应单元接入到控制电路中，从而可以转印头和基板之间的互感信号，据转印头和基板之间的距离以及位置关系，定位转印头的位置，能更加精确、简单地进行定位，并可以根据转印头和基板之间的互感信息，确定芯片抓取是否缺失。附图说明0021 图1为本发明第。
11、一实施例的显示器件转印定位装置的结构示意图；0022 图2为图1中第一电极阵列的结构示意图；0023 图3为本发明第二实施例的显示器件转印定位装置的结构示意图；0024 图4为本发明实施例的显示器件转印定位方法的流程图。具体实施方式0025 为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施的限制。0026 本发明的显示器件转印定位装置，用于将芯片转印定位。
12、到基板上，包括转印头，位于所述基板上方，用于将芯片转印到所述基板的表面上；电容组件，所述电容组件包括第一电极阵列和与所述第一电极阵列对应的感应单元，所述第一电极阵列设置在所述基板上，所述感应单元设置在所述转印头的与所述基板相对应的转印表面上。0027 在本发明的第一实施例中，如图1所示，需转印的芯片30为一个时，所述装置包括转印头20和电容组件，其中，电容组件包括第一电极阵列12和与第一电极阵列12对应的感应单元。在本实施例中，基板10为玻璃基板，转印头20要将芯片30转印到玻璃基板的目标位置13上。具体地，如图1和图2所示，基板10的表面上覆盖有膜11，膜11上刻蚀有第一电极阵列12。从图中。
13、可知，第一电极阵列12包括多个第一电极单元121，第一电极单元121在第一电极阵列12在一个方向上相互连接，即第一电极单元121构成第一电极阵列12，在一个方向上，各个第一电极单元121依次连接在一起，而在另一个方向上，各个第一电极单元121是相互独立的，因此，每个第一电极单元121和其相邻的第一电极单元121之间均能形成电容，产生互感信号。此外，第一电极单元121的形状为多边形，也可以是其说 明 书CN 104465474 A3/4页5他闭合的图形。在本实施例中，在膜11上刻蚀的第一电极阵列12为由至少一个电容组成的阵列，即第一电极单元121为电容，且电容的形状为菱形，电容和电容之间相当于两。
14、个电极，因此，所有的电容组成的阵列，构成第一电极阵列12。0028 为了精确地将转印头移到正确的位置，在转印头20的转印表面上设置与第一电极阵列12对应的感应单元，感应单元可以感应转印头20与基板10之间的互感信号，从而确定转印头20的位置。其中，感应单元可以为电容传感器，该电容传感器直接安装在转印头20，用于感应第一电极阵列12的互感电容，其中，互感电容由第一电极阵列12中的电容之间产生的。感应单元也可以为第二电极阵列，该第二电极阵列和第一电极阵列12相当于电容的两个电极，从而和第一电极阵列12之间形成互感电容。需要说明的是，第二电极阵列也包括至少一个第二电极单元，第二电极单元构成第二电极阵。
15、列，第二电极阵列的结构等参考上述第一电极阵列12。0029 在本发明的第二实施例中，如图3所示，需转印的芯片30为多个时，该装置包括转印头20和电容组件，其中，电容组件包括第一电极阵列12和与第一电极阵列12对应的感应单元。在本实施例中，基板10为玻璃基板，转印头20要将芯片30转印到玻璃基板的目标位置13上。具体地，如图1和图2所示，基板10的表面上覆盖有膜11，膜11上刻蚀有第一电极阵列12。从图中可知，第一电极阵列12包括多个第一电极单元121，第一电极单元121在第一电极阵列12在一个方向上相互连接，即第一电极单元121构成第一电极阵列12，在一个方向上，各个第一电极单元121依次连接。
16、在一起，而在另一个方向上，各个第一电极单元121是相互独立的，因此，每个第一电极单元121和其相邻的第一电极单元121之间均能形成电容，产生互感信号。此外，第一电极单元121的形状为多边形，也可以是其他闭合的图形。在本实施例中，在膜11上刻蚀的第一电极阵列12为由至少一个电容组成的阵列，即第一电极单元121为电容，且电容的形状为菱形，电容和电容之间相当于两个电极，因此，所有的电容组成的阵列，构成第一电极阵列12。0030 为了精确地将转印头移到正确的位置，在每个转印头20的转印表面上设置与第一电极阵列12对应的感应单元，感应单元可以感应转印头20与基板10之间的互感信号，从而确定转印头20的位。
17、置。其中，感应单元可以为电容传感器，该电容传感器直接安装在转印头20，用于感应第一电极阵列12的互感电容。感应单元也可以为第二电极阵列，该第二电极阵列和第一电极阵列12相当于电容的两个电极，从而和第一电极阵列12之间形成互感电容。需要说明的是，第二电极阵列也包括至少一个第二电极单元，第二电极单元构成第二电极阵列，第二电极阵列的结构等参考上述第一电极阵列。需要说明的是，不同的转印头上的感应单元可以不同，即并不是都是电容传感器或都是第二电极阵列。0031 对应于上述显示器件转印定位装置，本发明还提供一种显示器件转印定位方法，如图4所示，首先，执行S1，制作电容组件，其中，该电容组件包括第一电极阵列。
18、12，以及与第一电极阵列12对应的感应单元，即在基板10上制作第一电极阵列12，并在转印头20上制作与第一电极阵列12对应的感应单元，并将第一电极阵列12和感应单元接入到控制电路中。具体地，在本实施例中，利用像素发光区之间的区域或者下层区域，通过化学气相沉积的方法，在基板10上沉积一层氧化铟锡(Indium tin oxide，ITO)膜，在ITO膜上依次沉积一层绝缘层和一层金属层，再通过光刻的方法刻蚀出第一电极阵列12，第一电极阵列12由多个第一电极单元121构成，第一电极单元121在第一电极阵列12在一个方向上相互连说 明 书CN 104465474 A4/4页6接，即第一电极单元121构。
19、成第一电极阵列12，在一个方向上，各个第一电极单元121依次连接在一起，而在另一个方向上，各个第一电极单元121是相互独立的，因此，每个第一电极单元121和其相邻的第一电极单元121之间均能形成电容，产生互感信号。此外，第一电极单元121的形状为多边形，也可以是其他闭合的图形。在本实施例中，在膜11上刻蚀的第一电极阵列12为由至少一个电容组成的阵列，即第一电极单元121为电容，且电容的形状为菱形，电容和电容之间相当于两个电极，因此，所有的电容组成的阵列，构成第一电极阵列12。0032 对于感应单元，可以为转印头20上安装的电容传感器，也可以为第二电极阵列，该第二电极阵列的制作方法和上述的第一电。
20、极阵列12的制作方法相同。0033 接着，执行S2，在基板10垂直的方向上，移动转印头20，并测量第一电极阵列12和感应单元之间的互感信号值，根据预先设定的互感信号值，确定转印头20距离基板10的垂直高度。具体地，由S1中可知，在转印定位过程中，将第一电极阵列12和感应单元通过电路接入到控制电路中，当感应单元为电容传感器时，其可以感应基板10的互感电容的变化，根据预先设定的互感信号值，确定感应到的互感电容为预先设定的互感信号值时的位置为转印头20距离基板10的垂直高度，即在垂直基板的方向上，定位了转印头20的位置。当感应单元为第二电极阵列时，通过改变与基板10之间的距离，从而改变与基板10之间。
21、的电容，根据预先设定值，定位转印20距离基板10的垂直高度。0034 接着，执行S3，测量感应单元和第一电极阵列12上的各个位置之间的互感信号值，并根据该互感信号值，定位转印头20的水平位置。具体地，在转印头20距离基板10的垂直高度确定的情况下，转印头20在平行于基板10表面的平面上移动，可以确定转印头20和基板10的各个位置之间的互感信号值，根据芯片30实际需要转印到基板10上的位置所对应的互感信号值，定位转印头20的水平位置。通过上述方法，就可以定位转印头20的位置，从而可以精确地将芯片30转印到基板10的目标位置13上。此外，基板上的第一电极阵列可以配合后续器件制作，达到内置触摸屏的功。
22、能。0035 对于上述本发明的第二实施例，当需转印的芯片30为多个时，还可以确定芯片30是否有缺失，具体地，先确定在没有芯片30时，转印头20和基板10之间的互感信号值，在转印过程中，即在有芯片30时，确定转印头20和基板10之间的互感信号值，比较两者情况下的互感信号值，若互感信号异常，则表明该转印头20下对应的芯片30缺失。0036 上述显示器件转印定位装置及其方法，通过制作电容组件，该电容组件包括在基板的表面上制作的电极阵列，和在转印头上制作的与电极阵列相对应的感应单元，在转印定位过程中，通过电路将电极阵列和感应单元接入到控制电路中，从而可以转印头和基板之间的互感信号，据转印头和基板之间的。
23、距离以及位置关系，定位转印头的位置，能更加精确、简单地进行定位，并可以根据转印头和基板之间的互感信息，确定芯片抓取是否缺失。此外，基板上的第一电极阵列可以配合后续器件制作，达到内置触摸屏的功能。0037 以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。说 明 书CN 104465474 A1/2页7图1图2说 明 书 附 图CN 104465474 A2/2页8图3图4说 明 书 附 图CN 104465474 A。