《自动调节硅片制绒工艺的装置.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《自动调节硅片制绒工艺的装置.pdf(5页珍藏版)》请在专利查询网上搜索。
本发明公开了一种自动调节硅片制绒工艺的装置,该装置由反射率测量系统、硅片厚度测量系统、反馈控制系统组成,反射率测量系统设置于制绒设备的下料端,硅片厚度测量系统设置于制绒设备的上料端与下料端,反馈控制系统分别与反射率测量系统、硅片厚度测量系统及制绒设备主控计算机相连接,反馈控制系统收集反射率测量系统和硅片厚度测量系统测得的信号,经内部算法处理后,下达指令予制绒设备主控计算机,对制绒设备的工艺参数进行。