一种触控面板及其制造方法 【技术领域】
本发明涉及显示器技术领域， 尤其涉及一种触控面板及其制造方法。背景技术 当今， 触控式显示器产品日趋多样化。 越来越复杂的使用者操作， 如放大缩小的操 作需要用拇指跟食指分开或并拢、 图片旋转需要拇指跟食指定向转动等， 对触控面板的灵 敏度提出了更高的要求。
现有技术中， 利用感应电容原理制造的触控面板被各种主流触控式显示器产品采 用。图 1 所示为现有技术中常用的一种感应电容触控面板， 如图 1 所示， 这种触控面板包括 基板 ( 图中未示出 ) 和设置在基板上的行电极 2 和列电极 3。行电极 2 和列电极 3 采用依 次串联起来的菱形部来实现。相邻的行电极 2 的菱形部与列电极 3 的菱形部之间能形成感 应电容， 当使用者进行触控操作时， 感应使用者的触碰行为。
但是， 现有技术中这种触控面板， 感应灵敏度较低， 随着使用者的触控操作的快速 化和复杂化， 现有技术中的触控面板可能由于灵敏度低的原因而对使用者操作做出错误判 断， 严重影响使用者的使用。 因而， 如何提高触控面板的灵敏度成为触控显示技术领域中的 一个热点问题。
发明内容
本发明的实施例提供了一种触控面板及其制造方法， 用于提高触控面板的灵敏度。 为达到上述目的， 本发明的实施例采用如下技术方案 ：
一种触控面板， 包括基板、 设置于所述基板上的行电极和列电极， 所述行电极与所 述列电极彼此绝缘， 所述行电极包括至少两个依次串联的行感应部， 所述列电极包括至少 两个依次串联的列感应部 ；
至少一对相邻的所述行感应部与所述列感应部之间设置有凸起和与所述凸起相 适应的凹槽 ；
其中， 所述凸起设置在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上， 所述凹槽 设置在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上 ；
或者，
所述凸起设置在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上， 所述凹槽设置在 所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上。
一种触控面板的制造方法， 包括形成行电极和形成列电极的步骤 ；
其中， 所述行电极与所述列电极彼此绝缘， 所述行电极包括至少两个依次串联的 行感应部， 所述列电极包括至少两个依次串联的列感应部 ；
至少一对相邻的所述行感应部与所述列感应部之间形成有凸起和与所述凸起相 适应的凹槽 ；
其中， 所述凸起形成在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上， 所述凹槽 形成在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上 ；
或者，
所述凸起形成在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上， 所述凹槽形成在 所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上。
本发明实施例提供的触控面板及其制造方法， 通过将电容式触控面板的行电极和 列电极的形状加以改变， 使用于感应触碰行为的相邻的行感应部和列感应部之间形成凸起 和与该凸起相适应的凹槽， 有效增加了相邻的行感应部和列感应部的边缘处彼此相对部分 的面积， 从而增大了触控感应电极的感应电容， 在使用者同样的触碰条件下， 能够更灵敏地 检测到使用者操作， 有效提高了触控面板的灵敏度。 附图说明 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案， 下面将对实施例或现 有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍， 显而易见地， 下面描述中的附图仅仅是本 发明的一些实施例， 对于本领域普通技术人员来讲， 在不付出创造性劳动的前提下， 还可以 根据这些附图获得其他的附图。
图 1 为现有技术中触控面板的一种结构示意图 ；
图 2 为本发明实施例提供的触控面板的一种结构示意图 ；
图 3 为图 2 中虚线框 Z 的放大图 ；
图 4 为本发明实施例提供的触控面板的另一种结构示意图 ；
图 5 为图 3 中沿 A-A 的剖面图 ；
图 6 为图 3 中沿 B-B 的剖面图 ；
图 7 为本发明实施例提供的触控面板的一种剖面图 ；
图 8 为本发明实施例提供的触控面板的另一种剖面图 ；
图 9 为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的一种流程图 ；
图 10 为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的另一种流程图 ；
图 11 为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的另一种流程图 ；
图 12 为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的另一种流程图 ；
图 13 为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的另一种流程图 ；
图 14 为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的另一种流程图。
附图标记
1- 基板， 2- 行电极， 21- 行感应部， 22- 行串联部， 3- 列电极， 31- 列感应部， 32- 列 串联部， 41- 凸起， 411- 凸起， 412- 凸起， 42- 凹槽， 421- 凹槽， 422- 凹槽， 5- 绝缘部， 51- 通 孔， 6- 绝缘层。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图， 对本发明实施例中的技术方案进行详细描 述。
应当明确， 所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于本发明中的实施例， 本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其 他实施例， 都属于本发明保护的范围。
图 2 所示为本发明实施例提供的一种触控面板的结构示意图。图 3 为图 2 中箭头 所指的虚线框 Z 的放大图。需要说明的是， 图 2 所示仅为本发明实施例提供的触控面板的 局部结构。结合图 2 和图 3 所示， 本实施例提供的触控面板， 包括 ：
基板 1、 设置于基板 1 上的多个行电极 2 和多个列电极 3， 行电极 2 与列电极 3 彼 此绝缘 ； 行电极 2 包括至少两个行感应部 21， 该至少两个行感应部 21 通过行串联部 22 依 次串联 ； 列电极 3 包括至少两个列感应部 31， 该至少两个列感应部 31 通过列串联部 32 依 次串联 ； 其中， 行感应部 21 和列感应部 31 均匀地分布在基板上 1， 彼此之间呈间隔状。
如图 2 和图 3 所示， 每个行感应部 21 均与至少一个列感应部 31 相邻， 同理， 每个 列感应部 31 均与至少一个行感应部 21 相邻 ； 在本实施例中， 存在至少一对相邻的行感应部 21 和列感应部 31 之间设置有凸起和与该凸起相适应的凹槽， 所述凹槽和凸起分别设置在 相邻的行感应部 21 和列感应部 31 彼此相对的边缘上， 如果凸起设置在行感应部 21 的与列 感应部 31 相对的边缘上， 则凹槽设置在列感应部 31 的与行感应部 21 相对的边缘上 ； 如果 凸起设置在列感应部 31 的与行感应部 21 相对的边缘上， 则凹槽设置在行感应部 21 的与列 感应部 31 相对的边缘上。
具体的， 如图 2 所示， 至少一对相邻的行感应部 21 与列感应部 31 之间设置有凸起 41 和与凸起 41 相适应的凹槽 42。例如， 如图 3 所示， 凸起 411 设置在一对相邻的行感应部 21 的与列感应部 31 相对的边缘上， 凹槽 421 设置在该对相邻的列感应部 31 的与行感应部 21 相对的边缘上， 凸起 411 与凹槽 421 相适应。凸起 412 设置在一对相邻的列感应部 31 的 与行感应部 21 相对的边缘上， 凹槽 422 设置在该对相邻的行感应部 21 的与列感应部 31 相 对的边缘上， 凸起 412 与凹槽 422 相适应。
由于相邻的行感应部 21 与列感应部 31 将作为触控感应电容的两个极板， 通过触 碰操作对电容两侧电学特征的影响来确定是否有触碰操作， 可以理解的， 触控感应电容的 大小将直接影响着触控面板对触碰操作的感应。如图 3 所示， 相邻的行感应部 21 与列感应 部 31 被等效成一个平行板电容器， 其电容值与行感应部 21 和列感应部 31 的正对部分的面 积大小成正比， 与行感应部 21 和列感应部 31 的间隔 d， 即行感应部 21 和列感应部 31 相对 部分的边缘之间的距离成反比。
结合图 2 和图 3， 如果相邻的行感应部 21 和列感应部 31 的彼此相对的边缘形状 都为直线， 则行感应部 21 和列感应部 31 的正对部分只能是直线形边缘的两点之间的距离 所对应的部分， 如果在用于感应触碰行为的相邻的行感应部 21 和列感应部 31 之间形成凸 起 41-1 和与该凸起 41 相适应的凹槽 42， 则行感应部 21 和列感应部 31 正对部分还包括凸 起 41 和凹槽 42 彼此相对的部分， 有效增加了相邻的行感应部 21 和列感应部 31 的正对部 分的面积， 因此有利于提高行感应部 21 和列感应部 31 形成的触控感应电容的电容值， 从而 能有效提高触控面板的灵敏度。
因此， 本发明实施例提供的触控面板， 通过将电容式触控面板的行电极 2 和列电 极 3 的形状加以改变， 使用于感应触碰行为的相邻的行感应部和列感应部之间形成凸起 41 和与该凸起 41 相适应的凹槽 42， 有效增加了相邻的行感应部 21 和列感应部 22 的边缘处彼 此相对部分的面积， 从而增大了触控感应电极的感应电容， 在使用者同样的触碰条件下， 能够更灵敏地检测到使用者操作， 有效提高了触控面板的灵敏度。
具体的， 本实施例中， 凸起 41 的形状为锯齿状， 凹槽 42 的形状为与凸起 41 相适应 的锯齿状。但本发明不限于此， 在本发明的其它实施例中， 凸起 41 和凹槽 42 的形状可以为 其它形状， 如波浪状、 台阶状等， 不论凸起 41 和凹槽 42 具体为何形状， 只要它们在形状上相 互适应， 而且能增加相邻的行感应部 21 和列感应部 31 的边缘处彼此相对部分的面积即可。
具体的， 行感应部 21 与列感应部 31 是行电极 2 和列电极 3 中有效感应碰触行为的 部分， 优选的， 其长宽需要与手指的宽度相近， 较佳的， 可以为 4 毫米至 7 毫米， 即如图 2 所 示， 每个行感应部 21 在行电极 2 延伸方向上的长度 h-x 为 4 毫米至 7 毫米， 在列电极 3 延 伸方向上的宽度 h-y 也为 4 毫米至 7 毫米 ； 每个列感应部 31 在列电极 3 延伸方向上的宽度 l-y 为 4 毫米至 7 毫米， 在行电极 2 延伸方向上的长度 l-x 也为 4 毫米至 7 毫米。
为了保持行电极和列电极对触控感应的一致性， 优选的， 行感应部 21 和列感应部 31 的形状和大小一致， 即行感应部 21 的长度 h-x 与列感应部 31 的长度 l-x 相同， 行感应部 21 的宽度 h-y 与列感应部 31 的宽度 l-y 相同。
而行感应部 21 的长度 h-x 和宽度 h-y 可以相同， 也可以不同， 同理， 列感应部 31 的长度 l-x 和宽度 l-y 可以相同， 也可以不同， 本发明对此不做限定。 可选的， 相邻的行感应部 21 与列感应部 31 的间隔 d 可以为 25 微米至 50 微米， 优 选为 30 微米。当相邻的行感应部 21 与列感应部 31 的间隔 d 减小时， 根据前述的平行板电 容模型， 触碰感应电容的电容值就会相对增大， 触控感应灵敏度也会增大， 当相邻的行感应 部 21 与列感应部 31 的间隔 d 增大时， 触碰感应电容的电容值就会相对减小， 触控感应灵敏 度也会减小。在本发明的其它实施例中， 该间隔的大小可以根据工艺条件和触控面板的性 能要求来确定， 本发明对此不做限制。
具体的， 行感应部 21 和列感应部 31 的材料可以是透明导电材料， 如氧化铟锡等， 而行串联部 22 和列串联部 32 的材料既可以是透明导电材料， 也可以是不透明的导电材料， 如铝、 钼等金属， 本发明对此不做限制。
需要说明的是， 本发明实施例提供的触控面板中， 除边缘部分以外， 任意一个行感 应部 21 周围都相邻有 4 个列感应部 31， 任意一个列感应部 31 周围都有 4 个行感应部 21， 本实施例中， 如图 3 所示， 每个行感应部 21 只与其周围的两个列感应部 31 之间形成凸起 41 和凹槽 42， 每个列感应部 31 也只与其周围的两个行感应部 21 之间形成凸起 41 和凹槽 42， 但本发明不限于此， 凸起 41 和凹槽 42 可以分布在任何相邻的行感应部 21 或列感应部 31 之间， 只要可以满足增大行感应部 21 和列感应部 31 相对部分的面积， 增大触控感应电容的 电容值， 进而提高触控感应电容的灵敏度即可。
优选的， 在本发明的另一个实施例中， 如图 4 所示， 每一对相邻的行感应部 21 与列 感应部 31 之间均设置有凸起 41 和与凸起 41 相适应的凹槽 42。例如， 如图 4 所示， 凸起 41 和凹槽 42 分别分布在行感应部 21 和其周围的四个列感应部 31 的边缘之间。另外， 本发明 对于行感应部 21 或列感应部 31 的具体形状亦不作限定。
图 5 为图 3 中沿 A-A 的剖面图， 图 6 为图 3 中沿 B-B 的剖面图， 结合图 3、 图5和 图 6， 本实施例中， 行感应部 21、 行串联部 22 和列感应部 31 处于基板 1 的同一层面， 列串联 部 32 不在此层面， 行感应部 21 和列感应部 31 之间的电绝缘依靠的是行感应部 21 和列感 应部 31 之间的空间间隔 ； 在行串联部 22 上表面还设置有绝缘部 5， 列串联部 32 设置在绝
缘部 5 上。可见， 在这种行感应部 21 和列感应部 31 处于基板 1 的同一层面的情况中， 列串 联部 32 通过绝缘部 5 实现了与行串联部 22 的绝缘。
本实施例中， 列串联部 32 在绝缘部 5 之上， 列感应部 31 和行电极 2 在绝缘部 5 之 下， 绝缘部 5 仅覆盖了行串联部 22 所在区域的上方， 但本发明不限于此。在本发明的其它 实施例中， 列串联部也可以在绝缘部之下， 列感应部和行电极也可以在绝缘部之上， 而且绝 缘部还可以是覆盖多个行电极或列电极的、 具有通孔的绝缘层。例如， 如图 7 所示， 列串联 部 32 位于基板 1 上， 绝缘部 5 设置于列串联部 32 上， 列感应部 31 和行电极 2 设置于绝缘 部 5 上， 绝缘部 5 上设置有通孔 51， 列串联部 32 通过通孔 51 将属于同一列电极 3 的相邻的 列感应部 31 相串联以形成列电极 3。行串联部 22 设置在绝缘部 5 上， 与列感应部 31 间隔 设置。
需要说明的是， 行电极和列电极的设置位置还可以是其它方式。 例如， 在本发明的 另一个实施例中， 列感应部、 列串联部和行感应部处于基板的同一层面， 行串联部不在此层 面。 其中， 只有列串联部和行串联部的相对位置与前述实施例有所不同， 对于前述实施例的 其它特征， 本实施例均适用， 此处不再赘述。
另外， 在本发明的另一个实施例中， 如图 8 所示， 行电极 2 和列电极 3 还可以分别 处于基板 1 同一侧的两个层面上， 即行感应部和行串联部处于基板 1 的一个层面上， 而列感 应部和列串联部处于基板 1 的与该行感应部和行串联部同侧的另一个层面上， 且行电极 2 所在层面和列电极 3 所在层面之间设置有绝缘层 6。行电极 2 位于绝缘层 6 下侧， 列电极 3 位于绝缘层 6 上侧。绝缘层 6 的厚度不限， 优选为 1 至 2 微米。由于绝缘层 6 通常只有 1 至 2 微米的厚度， 因此相邻的行感应部和列感应部之间仍然存在感应电容， 可用于感应触碰行 为。当然， 在本发明的又一个实施例中， 行电极 2 与列电极 3 的位置也可以互换， 即行电极 2 位于绝缘层 6 上侧， 列电极 3 位于绝缘层 6 下侧。 需要说明的是， 本发明实施例提供的触控面板中， 相邻的行感应部与列感应部之 间形成有凸起和与所述凸起相适应的凹槽， 这种相互适应的凸起和凹槽既可以均匀分布在 整个触控面板上， 也可以为了单独提高触控面板上某部分区域的灵敏度而只在触控面板的 一部分区域分布， 本发明对此不做限定。
与前述实施例相对应， 本发明还提供了一种上述本发明实施例提供的触控面板的 制造方法， 包括形成上述行电极和形成上述列电极的步骤。
对于上述装置实施例中， 行感应部、 行串联部和列感应部处于基板的同一层面的 触控面板。如图 9 所示， 本发明实施例提供的触控面板的制造方法中， 形成上述行电极和形 成上述列电极的步骤具体包括 ：
S11， 在基板上沉积透明导电薄膜， 通过构图工艺形成列电极的列感应部和行电 极；
S12， 在所述形成有列电极的列感应部和行电极的基板上依次沉积绝缘薄膜和导 电薄膜， 通过构图工艺形成绝缘部和所述列电极的列串联部， 通过所述绝缘部使所述列串 联部与所述行电极相绝缘， 通过所述列串联部使所述列感应部依次串联以形成列电极 ；
如图 10 所示， 本发明实施例提供的触控面板的制造方法中， 另一种形成上述行电 极和形成上述列电极的步骤具体包括 ：
S21， 在基板上沉积导电薄膜， 通过构图工艺形成列电极的列串联部 ；
S22， 在所述形成有列电极的列串联部的基板上依次沉积绝缘薄膜和透明导电薄 膜， 通过构图工艺形成绝缘部、 所述列电极的列感应部和行电极， 通过所述绝缘部使所述列 串联部与所述行电极相绝缘， 通过所述列串联部使所述列感应部依次串联以形成列电极。
对于上述装置实施例中， 行感应部、 列串联部和列感应部处于基板的同一层面的 触控面板， 如图 11 所示， 本发明实施例提供的触控面板的制造方法中， 形成上述行电极和 形成上述列电极的步骤具体包括 ：
S31， 在基板上沉积透明导电薄膜， 通过构图工艺形成行电极的行感应部和列电 极；
S32， 在所述形成有行电极的行感应部和列电极的基板上依次沉积绝缘薄膜和导 电薄膜， 通过构图工艺形成绝缘部和所述行电极的行串联部， 通过所述绝缘部使所述行串 联部与所述列电极相绝缘， 通过所述行串联部使所述行感应部依次串联以形成行电极。
如图 12 所示， 本发明实施例提供的触控面板的制造方法中， 另一种形成上述行电 极和形成上述列电极的步骤具体包括 ：
S41， 在基板上沉积导电薄膜， 通过构图工艺形成行电极的行串联部 ；
S42， 在所述形成有行电极的行串联部的基板上依次沉积绝缘薄膜和透明导电薄 膜， 通过构图工艺形成绝缘部、 所述行电极的行感应部和列电极， 通过所述绝缘部使所述行 串联部与所述列电极相绝缘， 通过所述行串联部使所述行感应部依次串联以形成行电极。 对于上述装置实施例中， 行电极与列电极分别在基板同一侧的两个层面且行电极 在列电极下侧的触控面板， 如图 13 所示， 本发明实施例提供的触控面板的制造方法中， 形 成上述行电极和形成上述列电极的步骤具体包括 ：
S51， 在基板上形成第一透明导电薄膜， 通过构图工艺形成行电极 ；
S52， 在所述形成有行电极的基板上形成绝缘层 ；
S53， 在所述形成有行电极、 绝缘层的基板上沉积第二透明导电薄膜， 通过构图工 艺形成列电极。
对于上述装置实施例中， 行电极与列电极分别在基板同一侧的两个层面且列电极 在行电极下侧的触控面板， 如图 14 所示， 本发明实施例提供的触控面板的制造方法中， 形 成上述行电极和形成上述列电极的步骤具体包括 ：
S61， 在基板上形成第一透明导电薄膜， 通过构图工艺形成列电极 ；
S62， 在所述形成有列电极的基板上形成绝缘层 ；
S63， 在所述形成有列电极、 绝缘层的基板上沉积第二透明导电薄膜， 通过构图工 艺形成行电极。
具体的， 在图 9 至图 14 所示的实施例中， 至少一对相邻的行感应部与列感应部之 间设置有凸起和与该凸起相适应的凹槽 ； 可选的， 凸起的形状可以制作为锯齿状、 台阶状或 波浪状， 凹槽的形状与凸起相适应。
具体的， 在上述形成行电极和列电极的步骤中， 用于形成行感应部和列感应部的 透明导电薄膜可以为氧化铟锡等， 用于形成行串联部和列串联部的导电薄膜既可以是透明 导电薄膜， 也可以是铝、 钼等金属薄膜 ； 而绝缘薄膜则包括二氧化硅薄膜或氮化硅薄膜等。
本发明实施例提供的触控面板的制造方法， 通过将电容式触控面板的行电极和列 电极的形状加以改变， 使用于感应触碰行为的相邻的行感应部和列感应部之间形成凸起和
与该凸起相适应的凹槽， 有效增加了相邻的行感应部和列感应部的边缘处彼此相对部分的 面积， 从而增大了触控感应电极的感应电容， 在使用者同样的触碰条件下， 能够更灵敏地检 测到使用者操作， 有效提高了触控面板的灵敏度。
以上所述， 仅为本发明的具体实施方式， 但本发明的保护范围并不局限于此， 任何 熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内， 可轻易想到变化或替换， 都应涵 盖在本发明的保护范围之内。 因此， 本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。