一种触控面板及其制造方法.pdf

1、(10)申请公布号 CN 102654806 A(43)申请公布日 2012.09.05CN102654806A*CN102654806A*(21)申请号 201110255866.3(22)申请日 2011.08.31G06F 3/041(2006.01)(71)申请人北京京东方光电科技有限公司地址 100176 北京市经济技术开发区西环中路8号(72)发明人王海生 胡明(74)专利代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司 11274代理人申健(54) 发明名称一种触控面板及其制造方法(57) 摘要本发明提供了一种触控面板及其制造方法，涉及显示器技术领域，为提高触控面板的灵敏度而发明。所述触

2、控面板，包括基板、设置于所述基板上的行电极和列电极，所述行电极与所述列电极彼此绝缘，所述行电极包括至少两个依次串联的行感应部，所述列电极包括至少两个依次串联的列感应部；至少一对相邻的所述行感应部与所述列感应部之间设置有凸起和与所述凸起相适应的凹槽；所述凸起设置在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上，所述凹槽设置在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上；或者，所述凸起设置在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上，所述凹槽设置在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上。本发明可用于显示器中。(51)Int.Cl.权利要求书2页 说明书7页 附图7页(19)中华人民共和国国家知识产权局(12

3、)发明专利申请权利要求书 2 页 说明书 7 页 附图 7 页1/2页21.一种触控面板，包括基板、设置于所述基板上的行电极和列电极，所述行电极与所述列电极彼此绝缘，其特征在于，所述行电极包括至少两个依次串联的行感应部，所述列电极包括至少两个依次串联的列感应部；至少一对相邻的所述行感应部与所述列感应部之间设置有凸起和与所述凸起相适应的凹槽；其中，所述凸起设置在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上，所述凹槽设置在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上；或者，所述凸起设置在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上，所述凹槽设置在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上。2.根据权利要求1所述

4、的触控面板，其特征在于，每一对相邻的所述行感应部与所述列感应部之间均设置有凸起和与所述凸起相适应的凹槽。3.根据权利要求1或2所述的触控面板，其特征在于，所述凸起的形状为锯齿状、台阶状或波浪状，所述凹槽的形状与所述凸起相适应。4.根据权利要求3所述的触控面板，其特征在于，每个所述行感应部在所述行电极的延伸方向上的长度为4毫米至7毫米；每个所述列感应部在所述列电极的延伸方向上的宽度为4毫米至7毫米。5.根据权利要求1所述的触控面板，其特征在于，相邻的所述行感应部与所述列感应部的间隔为25微米至50微米。6.根据权利要求1所述的触控面板，其特征在于，所述行感应部与所述列感应部处于所述基板的同一个层

5、面上。7.根据权利要求1所述的触控面板，其特征在于，所述行电极和所述列电极分别处于所述基板同一侧的两个层面上，所述行电极所在层面和所述列电极所在层面之间设置有绝缘层。8.一种触控面板的制造方法，其特征在于，包括形成行电极和形成列电极的步骤；其中，所述行电极与所述列电极彼此绝缘，所述行电极包括至少两个依次串联的行感应部，所述列电极包括至少两个依次串联的列感应部；至少一对相邻的所述行感应部与所述列感应部之间形成有凸起和与所述凸起相适应的凹槽；其中，所述凸起形成在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上，所述凹槽形成在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上；或者，所述凸起形成在所述列感应部的与所述

6、行感应部相对的边缘上，所述凹槽形成在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上。9.根据权利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述形成行电极和形成列电极的步骤包括：在基板上沉积透明导电薄膜，通过构图工艺形成列电极的列感应部和行电极；在所述形成有列电极的列感应部和行电极的基板上依次沉积绝缘薄膜和导电薄膜，通权 利 要 求 书CN 102654806 A2/2页3过构图工艺形成绝缘部和所述列电极的列串联部，通过所述绝缘部使所述列串联部与所述行电极相绝缘，通过所述列串联部使所述列感应部依次串联以形成列电极；或者在基板上沉积导电薄膜，通过构图工艺形成列电极的列串联部；在所述形成有列电极的列串联部的基板上

7、依次沉积绝缘薄膜和透明导电薄膜，通过构图工艺形成绝缘部、所述列电极的列感应部和行电极，通过所述绝缘部使所述列串联部与所述行电极相绝缘，通过所述列串联部使所述列感应部依次串联以形成列电极；或者在基板上沉积透明导电薄膜，通过构图工艺形成行电极的行感应部和列电极；在所述形成有行电极的行感应部和列电极的基板上依次沉积绝缘薄膜和导电薄膜，通过构图工艺形成绝缘部和所述行电极的行串联部，通过所述绝缘部使所述行串联部与所述列电极相绝缘，通过所述行串联部使所述行感应部依次串联以形成行电极；或者在基板上沉积导电薄膜，通过构图工艺形成行电极的行串联部；在所述形成有行电极的行串联部的基板上依次沉积绝缘薄膜和透明导电薄

8、膜，通过构图工艺形成绝缘部、所述行电极的行感应部和列电极，通过所述绝缘部使所述行串联部与所述列电极相绝缘，通过所述行串联部使所述行感应部依次串联以形成行电极。10.根据权利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述形成行电极和形成列电极的步骤包括：在基板上形成第一透明导电薄膜，通过构图工艺形成行电极；在所述形成有行电极的基板上形成绝缘层；在所述形成有行电极、绝缘层的基板上沉积第二透明导电薄膜，通过构图工艺形成列电极；或者在基板上形成第一透明导电薄膜，通过构图工艺形成列电极；在所述形成有列电极的基板上形成绝缘层；在所述形成有列电极、绝缘层的基板上沉积第二透明导电薄膜，通过构图工艺形成行电极。11.根

9、据权利要求8所述的制造方法，其特征在于，所述凸起的形状为锯齿状、台阶状或波浪状，所述凹槽的形状与所述凸起相适应。权 利 要 求 书CN 102654806 A1/7页4一种触控面板及其制造方法技术领域0001 本发明涉及显示器技术领域，尤其涉及一种触控面板及其制造方法。背景技术0002 当今，触控式显示器产品日趋多样化。越来越复杂的使用者操作，如放大缩小的操作需要用拇指跟食指分开或并拢、图片旋转需要拇指跟食指定向转动等，对触控面板的灵敏度提出了更高的要求。0003 现有技术中，利用感应电容原理制造的触控面板被各种主流触控式显示器产品采用。图1所示为现有技术中常用的一种感应电容触控面板，如图1所

10、示，这种触控面板包括基板(图中未示出)和设置在基板上的行电极2和列电极3。行电极2和列电极3采用依次串联起来的菱形部来实现。相邻的行电极2的菱形部与列电极3的菱形部之间能形成感应电容，当使用者进行触控操作时，感应使用者的触碰行为。0004 但是，现有技术中这种触控面板，感应灵敏度较低，随着使用者的触控操作的快速化和复杂化，现有技术中的触控面板可能由于灵敏度低的原因而对使用者操作做出错误判断，严重影响使用者的使用。因而，如何提高触控面板的灵敏度成为触控显示技术领域中的一个热点问题。发明内容0005 本发明的实施例提供了一种触控面板及其制造方法，用于提高触控面板的灵敏度。0006 为达到上述目的，

11、本发明的实施例采用如下技术方案：0007 一种触控面板，包括基板、设置于所述基板上的行电极和列电极，所述行电极与所述列电极彼此绝缘，所述行电极包括至少两个依次串联的行感应部，所述列电极包括至少两个依次串联的列感应部；0008 至少一对相邻的所述行感应部与所述列感应部之间设置有凸起和与所述凸起相适应的凹槽；0009 其中，所述凸起设置在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上，所述凹槽设置在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上；0010 或者，0011 所述凸起设置在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上，所述凹槽设置在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上。0012 一种触控面板的制造

12、方法，包括形成行电极和形成列电极的步骤；0013 其中，所述行电极与所述列电极彼此绝缘，所述行电极包括至少两个依次串联的行感应部，所述列电极包括至少两个依次串联的列感应部；0014 至少一对相邻的所述行感应部与所述列感应部之间形成有凸起和与所述凸起相适应的凹槽；说 明 书CN 102654806 A2/7页50015 其中，所述凸起形成在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上，所述凹槽形成在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上；0016 或者，0017 所述凸起形成在所述列感应部的与所述行感应部相对的边缘上，所述凹槽形成在所述行感应部的与所述列感应部相对的边缘上。0018 本发明实施例提

13、供的触控面板及其制造方法，通过将电容式触控面板的行电极和列电极的形状加以改变，使用于感应触碰行为的相邻的行感应部和列感应部之间形成凸起和与该凸起相适应的凹槽，有效增加了相邻的行感应部和列感应部的边缘处彼此相对部分的面积，从而增大了触控感应电极的感应电容，在使用者同样的触碰条件下，能够更灵敏地检测到使用者操作，有效提高了触控面板的灵敏度。附图说明0019 为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得

14、其他的附图。0020 图1为现有技术中触控面板的一种结构示意图；0021 图2为本发明实施例提供的触控面板的一种结构示意图；0022 图3为图2中虚线框Z的放大图；0023 图4为本发明实施例提供的触控面板的另一种结构示意图；0024 图5为图3中沿A-A的剖面图；0025 图6为图3中沿B-B的剖面图；0026 图7为本发明实施例提供的触控面板的一种剖面图；0027 图8为本发明实施例提供的触控面板的另一种剖面图；0028 图9为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的一种流程图；0029 图10为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的另一种流程图；0030 图11为本发明实施例提供的触控面板

15、的制造方法的另一种流程图；0031 图12为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的另一种流程图；0032 图13为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的另一种流程图；0033 图14为本发明实施例提供的触控面板的制造方法的另一种流程图。0034 附图标记0035 1-基板，2-行电极，21-行感应部，22-行串联部，3-列电极，31-列感应部，32-列串联部，41-凸起，411-凸起，412-凸起，42-凹槽，421-凹槽，422-凹槽，5-绝缘部，51-通孔，6-绝缘层。具体实施方式0036 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行详细描述。0037 应当明确，所描述的

16、实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基说 明 书CN 102654806 A3/7页6于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。0038 图2所示为本发明实施例提供的一种触控面板的结构示意图。图3为图2中箭头所指的虚线框Z的放大图。需要说明的是，图2所示仅为本发明实施例提供的触控面板的局部结构。结合图2和图3所示，本实施例提供的触控面板，包括：0039 基板1、设置于基板1上的多个行电极2和多个列电极3，行电极2与列电极3彼此绝缘；行电极2包括至少两个行感应部21，该至少两个行感应部21通过行串联部22依次串

17、联；列电极3包括至少两个列感应部31，该至少两个列感应部31通过列串联部32依次串联；其中，行感应部21和列感应部31均匀地分布在基板上1，彼此之间呈间隔状。0040 如图2和图3所示，每个行感应部21均与至少一个列感应部31相邻，同理，每个列感应部31均与至少一个行感应部21相邻；在本实施例中，存在至少一对相邻的行感应部21和列感应部31之间设置有凸起和与该凸起相适应的凹槽，所述凹槽和凸起分别设置在相邻的行感应部21和列感应部31彼此相对的边缘上，如果凸起设置在行感应部21的与列感应部31相对的边缘上，则凹槽设置在列感应部31的与行感应部21相对的边缘上；如果凸起设置在列感应部31的与行感应

18、部21相对的边缘上，则凹槽设置在行感应部21的与列感应部31相对的边缘上。0041 具体的，如图2所示，至少一对相邻的行感应部21与列感应部31之间设置有凸起41和与凸起41相适应的凹槽42。例如，如图3所示，凸起411设置在一对相邻的行感应部21的与列感应部31相对的边缘上，凹槽421设置在该对相邻的列感应部31的与行感应部21相对的边缘上，凸起411与凹槽421相适应。凸起412设置在一对相邻的列感应部31的与行感应部21相对的边缘上，凹槽422设置在该对相邻的行感应部21的与列感应部31相对的边缘上，凸起412与凹槽422相适应。0042 由于相邻的行感应部21与列感应部31将作为触控感

19、应电容的两个极板，通过触碰操作对电容两侧电学特征的影响来确定是否有触碰操作，可以理解的，触控感应电容的大小将直接影响着触控面板对触碰操作的感应。如图3所示，相邻的行感应部21与列感应部31被等效成一个平行板电容器，其电容值与行感应部21和列感应部31的正对部分的面积大小成正比，与行感应部21和列感应部31的间隔d，即行感应部21和列感应部31相对部分的边缘之间的距离成反比。0043 结合图2和图3，如果相邻的行感应部21和列感应部31的彼此相对的边缘形状都为直线，则行感应部21和列感应部31的正对部分只能是直线形边缘的两点之间的距离所对应的部分，如果在用于感应触碰行为的相邻的行感应部21和列感

20、应部31之间形成凸起41-1和与该凸起41相适应的凹槽42，则行感应部21和列感应部31正对部分还包括凸起41和凹槽42彼此相对的部分，有效增加了相邻的行感应部21和列感应部31的正对部分的面积，因此有利于提高行感应部21和列感应部31形成的触控感应电容的电容值，从而能有效提高触控面板的灵敏度。0044 因此，本发明实施例提供的触控面板，通过将电容式触控面板的行电极2和列电极3的形状加以改变，使用于感应触碰行为的相邻的行感应部和列感应部之间形成凸起41和与该凸起41相适应的凹槽42，有效增加了相邻的行感应部21和列感应部22的边缘处彼此相对部分的面积，从而增大了触控感应电极的感应电容，在使用者

21、同样的触碰条件下，能说 明 书CN 102654806 A4/7页7够更灵敏地检测到使用者操作，有效提高了触控面板的灵敏度。0045 具体的，本实施例中，凸起41的形状为锯齿状，凹槽42的形状为与凸起41相适应的锯齿状。但本发明不限于此，在本发明的其它实施例中，凸起41和凹槽42的形状可以为其它形状，如波浪状、台阶状等，不论凸起41和凹槽42具体为何形状，只要它们在形状上相互适应，而且能增加相邻的行感应部21和列感应部31的边缘处彼此相对部分的面积即可。0046 具体的，行感应部21与列感应部31是行电极2和列电极3中有效感应碰触行为的部分，优选的，其长宽需要与手指的宽度相近，较佳的，可以为4

22、毫米至7毫米，即如图2所示，每个行感应部21在行电极2延伸方向上的长度h-x为4毫米至7毫米，在列电极3延伸方向上的宽度h-y也为4毫米至7毫米；每个列感应部31在列电极3延伸方向上的宽度l-y为4毫米至7毫米，在行电极2延伸方向上的长度l-x也为4毫米至7毫米。0047 为了保持行电极和列电极对触控感应的一致性，优选的，行感应部21和列感应部31的形状和大小一致，即行感应部21的长度h-x与列感应部31的长度l-x相同，行感应部21的宽度h-y与列感应部31的宽度l-y相同。0048 而行感应部21的长度h-x和宽度h-y可以相同，也可以不同，同理，列感应部31的长度l-x和宽度l-y可以相

23、同，也可以不同，本发明对此不做限定。0049 可选的，相邻的行感应部21与列感应部31的间隔d可以为25微米至50微米，优选为30微米。当相邻的行感应部21与列感应部31的间隔d减小时，根据前述的平行板电容模型，触碰感应电容的电容值就会相对增大，触控感应灵敏度也会增大，当相邻的行感应部21与列感应部31的间隔d增大时，触碰感应电容的电容值就会相对减小，触控感应灵敏度也会减小。在本发明的其它实施例中，该间隔的大小可以根据工艺条件和触控面板的性能要求来确定，本发明对此不做限制。0050 具体的，行感应部21和列感应部31的材料可以是透明导电材料，如氧化铟锡等，而行串联部22和列串联部32的材料既可

24、以是透明导电材料，也可以是不透明的导电材料，如铝、钼等金属，本发明对此不做限制。0051 需要说明的是，本发明实施例提供的触控面板中，除边缘部分以外，任意一个行感应部21周围都相邻有4个列感应部31，任意一个列感应部31周围都有4个行感应部21，本实施例中，如图3所示，每个行感应部21只与其周围的两个列感应部31之间形成凸起41和凹槽42，每个列感应部31也只与其周围的两个行感应部21之间形成凸起41和凹槽42，但本发明不限于此，凸起41和凹槽42可以分布在任何相邻的行感应部21或列感应部31之间，只要可以满足增大行感应部21和列感应部31相对部分的面积，增大触控感应电容的电容值，进而提高触控

25、感应电容的灵敏度即可。0052 优选的，在本发明的另一个实施例中，如图4所示，每一对相邻的行感应部21与列感应部31之间均设置有凸起41和与凸起41相适应的凹槽42。例如，如图4所示，凸起41和凹槽42分别分布在行感应部21和其周围的四个列感应部31的边缘之间。另外，本发明对于行感应部21或列感应部31的具体形状亦不作限定。0053 图5为图3中沿A-A的剖面图，图6为图3中沿B-B的剖面图，结合图3、图5和图6，本实施例中，行感应部21、行串联部22和列感应部31处于基板1的同一层面，列串联部32不在此层面，行感应部21和列感应部31之间的电绝缘依靠的是行感应部21和列感应部31之间的空间间

26、隔；在行串联部22上表面还设置有绝缘部5，列串联部32设置在绝说 明 书CN 102654806 A5/7页8缘部5上。可见，在这种行感应部21和列感应部31处于基板1的同一层面的情况中，列串联部32通过绝缘部5实现了与行串联部22的绝缘。0054 本实施例中，列串联部32在绝缘部5之上，列感应部31和行电极2在绝缘部5之下，绝缘部5仅覆盖了行串联部22所在区域的上方，但本发明不限于此。在本发明的其它实施例中，列串联部也可以在绝缘部之下，列感应部和行电极也可以在绝缘部之上，而且绝缘部还可以是覆盖多个行电极或列电极的、具有通孔的绝缘层。例如，如图7所示，列串联部32位于基板1上，绝缘部5设置于列

27、串联部32上，列感应部31和行电极2设置于绝缘部5上，绝缘部5上设置有通孔51，列串联部32通过通孔51将属于同一列电极3的相邻的列感应部31相串联以形成列电极3。行串联部22设置在绝缘部5上，与列感应部31间隔设置。0055 需要说明的是，行电极和列电极的设置位置还可以是其它方式。例如，在本发明的另一个实施例中，列感应部、列串联部和行感应部处于基板的同一层面，行串联部不在此层面。其中，只有列串联部和行串联部的相对位置与前述实施例有所不同，对于前述实施例的其它特征，本实施例均适用，此处不再赘述。0056 另外，在本发明的另一个实施例中，如图8所示，行电极2和列电极3还可以分别处于基板1同一侧的

28、两个层面上，即行感应部和行串联部处于基板1的一个层面上，而列感应部和列串联部处于基板1的与该行感应部和行串联部同侧的另一个层面上，且行电极2所在层面和列电极3所在层面之间设置有绝缘层6。行电极2位于绝缘层6下侧，列电极3位于绝缘层6上侧。绝缘层6的厚度不限，优选为1至2微米。由于绝缘层6通常只有1至2微米的厚度，因此相邻的行感应部和列感应部之间仍然存在感应电容，可用于感应触碰行为。当然，在本发明的又一个实施例中，行电极2与列电极3的位置也可以互换，即行电极2位于绝缘层6上侧，列电极3位于绝缘层6下侧。0057 需要说明的是，本发明实施例提供的触控面板中，相邻的行感应部与列感应部之间形成有凸起和

29、与所述凸起相适应的凹槽，这种相互适应的凸起和凹槽既可以均匀分布在整个触控面板上，也可以为了单独提高触控面板上某部分区域的灵敏度而只在触控面板的一部分区域分布，本发明对此不做限定。0058 与前述实施例相对应，本发明还提供了一种上述本发明实施例提供的触控面板的制造方法，包括形成上述行电极和形成上述列电极的步骤。0059 对于上述装置实施例中，行感应部、行串联部和列感应部处于基板的同一层面的触控面板。如图9所示，本发明实施例提供的触控面板的制造方法中，形成上述行电极和形成上述列电极的步骤具体包括：0060 S11，在基板上沉积透明导电薄膜，通过构图工艺形成列电极的列感应部和行电极；0061 S12

30、，在所述形成有列电极的列感应部和行电极的基板上依次沉积绝缘薄膜和导电薄膜，通过构图工艺形成绝缘部和所述列电极的列串联部，通过所述绝缘部使所述列串联部与所述行电极相绝缘，通过所述列串联部使所述列感应部依次串联以形成列电极；0062 如图10所示，本发明实施例提供的触控面板的制造方法中，另一种形成上述行电极和形成上述列电极的步骤具体包括：0063 S21，在基板上沉积导电薄膜，通过构图工艺形成列电极的列串联部；说 明 书CN 102654806 A6/7页90064 S22，在所述形成有列电极的列串联部的基板上依次沉积绝缘薄膜和透明导电薄膜，通过构图工艺形成绝缘部、所述列电极的列感应部和行电极，通

31、过所述绝缘部使所述列串联部与所述行电极相绝缘，通过所述列串联部使所述列感应部依次串联以形成列电极。0065 对于上述装置实施例中，行感应部、列串联部和列感应部处于基板的同一层面的触控面板，如图11所示，本发明实施例提供的触控面板的制造方法中，形成上述行电极和形成上述列电极的步骤具体包括：0066 S31，在基板上沉积透明导电薄膜，通过构图工艺形成行电极的行感应部和列电极；0067 S32，在所述形成有行电极的行感应部和列电极的基板上依次沉积绝缘薄膜和导电薄膜，通过构图工艺形成绝缘部和所述行电极的行串联部，通过所述绝缘部使所述行串联部与所述列电极相绝缘，通过所述行串联部使所述行感应部依次串联以形

32、成行电极。0068 如图12所示，本发明实施例提供的触控面板的制造方法中，另一种形成上述行电极和形成上述列电极的步骤具体包括：0069 S41，在基板上沉积导电薄膜，通过构图工艺形成行电极的行串联部；0070 S42，在所述形成有行电极的行串联部的基板上依次沉积绝缘薄膜和透明导电薄膜，通过构图工艺形成绝缘部、所述行电极的行感应部和列电极，通过所述绝缘部使所述行串联部与所述列电极相绝缘，通过所述行串联部使所述行感应部依次串联以形成行电极。0071 对于上述装置实施例中，行电极与列电极分别在基板同一侧的两个层面且行电极在列电极下侧的触控面板，如图13所示，本发明实施例提供的触控面板的制造方法中，形

33、成上述行电极和形成上述列电极的步骤具体包括：0072 S51，在基板上形成第一透明导电薄膜，通过构图工艺形成行电极；0073 S52，在所述形成有行电极的基板上形成绝缘层；0074 S53，在所述形成有行电极、绝缘层的基板上沉积第二透明导电薄膜，通过构图工艺形成列电极。0075 对于上述装置实施例中，行电极与列电极分别在基板同一侧的两个层面且列电极在行电极下侧的触控面板，如图14所示，本发明实施例提供的触控面板的制造方法中，形成上述行电极和形成上述列电极的步骤具体包括：0076 S61，在基板上形成第一透明导电薄膜，通过构图工艺形成列电极；0077 S62，在所述形成有列电极的基板上形成绝缘层

34、；0078 S63，在所述形成有列电极、绝缘层的基板上沉积第二透明导电薄膜，通过构图工艺形成行电极。0079 具体的，在图9至图14所示的实施例中，至少一对相邻的行感应部与列感应部之间设置有凸起和与该凸起相适应的凹槽；可选的，凸起的形状可以制作为锯齿状、台阶状或波浪状，凹槽的形状与凸起相适应。0080 具体的，在上述形成行电极和列电极的步骤中，用于形成行感应部和列感应部的透明导电薄膜可以为氧化铟锡等，用于形成行串联部和列串联部的导电薄膜既可以是透明导电薄膜，也可以是铝、钼等金属薄膜；而绝缘薄膜则包括二氧化硅薄膜或氮化硅薄膜等。0081 本发明实施例提供的触控面板的制造方法，通过将电容式触控面板

35、的行电极和列电极的形状加以改变，使用于感应触碰行为的相邻的行感应部和列感应部之间形成凸起和说 明 书CN 102654806 A7/7页10与该凸起相适应的凹槽，有效增加了相邻的行感应部和列感应部的边缘处彼此相对部分的面积，从而增大了触控感应电极的感应电容，在使用者同样的触碰条件下，能够更灵敏地检测到使用者操作，有效提高了触控面板的灵敏度。0082 以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。说 明 书CN 102654806 A10