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本发明提供一种贴膜治具,包括:基台;用于承载基板的基板承载部;用于承载膜片的膜片承载部;膜片承载部铰接于基台上,能够相对基台旋转至闭合工位和开启工位,当膜片承载部处于闭合工位时,膜片承载部的承载面与基板承载部的承载面相对,以使膜片的第一部分与基板的第一部分接触;基板承载部可移动地设置于基台上,并能够在膜片承载部处于闭合工位之后,沿基板承载部的承载面方向平移,使基板承载部的承载面与膜片承载部的承载面。