传感器一体型保护玻璃.pdf

本发明涉及一种传感器一体型保护玻璃，其具备：玻璃板；形成在所述玻璃板的一个面上的、在第一方向延伸的第一透明导电膜和在与所述第一方向不同的方向延伸的第二透明导电膜；和形成在所述玻璃板与所述第一透明导电膜和所述第二透明导电膜之间的透明的包含有机化合物的基底绝缘膜。

权利要求书
1.  一种传感器一体型保护玻璃，其具备：
玻璃板；
形成在所述玻璃板的一个面上的、在第一方向延伸的第一透明导电膜和在与所述第一方向不同的方向延伸的第二透明导电膜；和
形成在所述玻璃板与所述第一透明导电膜和所述第二透明导电膜之间的透明的包含有机化合物的基底绝缘膜。

2.  如权利要求1所述的传感器一体型保护玻璃，其中，所述第一透明导电膜和所述第二透明导电膜形成以一个透明导电膜覆盖另一个透明导电膜的方式交叉的交叉部，在所述交叉部，所述第一透明导电膜与所述第二透明导电膜之间具有交叉部绝缘膜。

3.  如权利要求1或2所述的传感器一体型保护玻璃，其中，仅在所述玻璃板与所述第一透明导电膜和所述第二透明导电膜之间形成所述基底绝缘膜。

4.  如权利要求1或2所述的传感器一体型保护玻璃，其中，至少在形成有所述第一透明导电膜和所述第二透明导电膜的区域以全面覆盖所述玻璃板的方式形成所述基底绝缘膜。

5.  如权利要求2所述的传感器一体型保护玻璃，其中，在所述第一透明导电膜和所述第二透明导电膜交叉的所述交叉部与所述玻璃板之间未形成所述基底绝缘膜。

6.  如权利要求5所述的传感器一体型保护玻璃，其中，所述交叉部绝缘膜通过延伸至所述交叉部以外的所述玻璃板与所述第一透明导电膜和所述第二透明导电膜之间而形成。

说明书传感器一体型保护玻璃
技术领域
本发明涉及用于静电电容式触控面板等的传感器一体型保护玻璃。
背景技术
触控面板被用于智能手机、平板型电脑等中。
各种触控面板中，静电电容式触控面板通常通过在被称为传感器玻璃的玻璃基板上形成例如在x方向和y方向延伸的用于检测输入位置的透明导电膜(透明电极)等而形成传感器功能部。
通常的静电电容式触控面板通过将形成有透明导电膜等的传感器玻璃与被称为保护玻璃的玻璃胶粘而构成。
与此相对，如专利文献1所示，静电电容式触控面板中，还已知通过去掉传感器玻璃来实现部件数的减少和薄型化、轻量化。
即，该静电电容式触控面板具有如下构成：将强化玻璃用作保护玻璃，在该保护玻璃上形成用于检测输入位置的透明导电膜等，由此使保护玻璃和传感器部成为一体型(传感器一体型保护玻璃)。
强化玻璃是通过在表面上形成强化层(压缩应力层)而使压缩应力发挥作用由此提高了强度的玻璃。
作为强化玻璃的制造方法，已知有利用由加热和冷却引起的玻璃的膨胀和收缩而形成强化层的物理强化法(风冷强化法)和通过将玻璃 中的碱离子替换为离子半径更大的其它碱离子而形成强化层的化学强化法。
对于触控面板的保护玻璃等薄玻璃而言，通常利用通过化学强化法得到的强化玻璃、即所谓的化学强化玻璃。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2011-197708号公报
发明内容
发明所要解决的问题
顺便指出，对于传感器一体型保护玻璃而言，为了实现耐久性优良的触控面板，重要的是进行操作的保护玻璃具有充分的强度。
因此，对于传感器一体型保护玻璃而言，要求确保与保护玻璃同等或者其以上的强度。
本发明的目的在于提供一种传感器一体型保护玻璃，其为用于静电电容式触控面板中的、通过在保护玻璃上形成用于检测位置的透明导电膜等而得到的传感器一体型保护玻璃，其能够实现耐久性优良的静电电容式触控面板。
用于解决问题的手段
本发明的一个方式的传感器一体型保护玻璃具备：玻璃板；形成在上述玻璃板的一个面上的、在第一方向延伸的第一透明导电膜和在与上述第一方向不同的方向延伸的第二透明导电膜；和形成在上述玻璃板与上述第一透明导电膜和上述第二透明导电膜之间的透明的包含有机化合物的基底绝缘膜。
本发明的传感器一体型保护玻璃优选：上述第一透明导电膜和上述第二透明导电膜形成以一个透明导电膜覆盖另一个透明导电膜的方式交叉的交叉部，在上述交叉部，上述第一透明导电膜与上述第二透明导电膜之间具有交叉部绝缘膜。
本发明的传感器一体型保护玻璃优选：仅在上述玻璃板与上述第一透明导电膜和上述第二透明导电膜之间形成上述基底绝缘膜。
本发明的传感器一体型保护玻璃优选：至少在形成有上述第一透明导电膜和上述第二透明导电膜的区域以全面覆盖上述玻璃板的方式形成上述基底绝缘膜。
另外，优选在上述第一透明导电膜和上述第二透明导电膜交叉的上述交叉部与上述玻璃板之间未形成上述基底绝缘膜。
此外，优选上述交叉部绝缘膜通过延伸至上述交叉部以外的上述玻璃板与上述第一透明导电膜和上述第二透明导电膜之间而形成。
发明效果
具有上述构成的本发明的传感器一体型保护玻璃为用于静电电容式触控面板中的、通过在保护玻璃上形成用于检测位置的透明导电膜等而得到的传感器一体型保护玻璃，能够提供可以实现耐久性优良的静电电容式触控面板的传感器一体型保护玻璃。
附图说明
图1(A)～1(D)是示意性地表示本发明的传感器一体型保护玻璃的一例的图，其中，图1(A)为俯视图，图1(B)为图1(A)的b-b线截面，图1(C)为图1(A)的c-c线截面，图1(D)为端部附近的截面。
图2是用于说明图1(A)～1(D)中所示的传感器一体型保护玻璃的构成的俯视图。
图3是表示图1(A)～1(D)中所示的传感器一体型保护玻璃的制造方法的一例的流程图。
图4(A)～4(C)是示意性地表示传感器一体型保护玻璃的另一实施方式的图，其中，图4(A)为俯视图，图4(B)为图4(A)的b-b线截面，图4(C)为图4(A)的c-c线截面。
图5(A)和5(B)是示意性地表示用于测定本发明的实施例中的各样品的面强度的试验方法的图，其中，图5(A)为俯视图，图5(B)为侧视图。
具体实施方式
以下，基于附图所示的优选的示例，对本发明的传感器一体型保护玻璃进行详细说明。
图1(A)～1(D)中示意性地表示本发明的传感器一体型保护玻璃的一例。
需要说明的是，图1(A)～1(D)中，图1(A)为俯视图，即从与玻璃板12的面方向(以下将该方向简称为面方向)正交的方向观察传感器一体型保护玻璃10时的部分，图1(B)和图1(C)是分别表示图1(A)的b-b线截面和图1(A)的c-c线截面的图。此外，图1(D)是示意性地表示传感器一体型保护玻璃10的、x方向的端部附近的x方向的截面的图。
图示例中，传感器一体型保护玻璃10基本上构成如下：形成玻璃板12作为基板，并具有第一透明导电膜14、第二透明导电膜16及遮光膜18、形成在遮光膜18上的金属布线20和覆盖它们而形成在玻璃板12上的保护绝缘膜24(图1(A)中，省略了保护绝缘膜24，且遮光膜18和金属布线20记载于后述的图2中)。另外，在第一透明导电膜14与第二透明导电膜16之间设置有交叉部绝缘膜28。
另外，本发明的传感器一体型保护玻璃10在玻璃板12与第一透 明导电膜14和第二透明导电膜16之间具有基底绝缘膜26。
本发明的传感器一体型保护玻璃不限于图示例的构成，可以利用各种通过在构成对静电电容式触控面板进行操作的面的玻璃板上形成构成传感器的透明导电膜等而得到的公知的传感器一体型保护玻璃的构成。
本发明的传感器一体型保护玻璃10构成静电电容式触控面板。如图1(B)所示，在该传感器一体型保护玻璃10中，玻璃板12的未形成有第一透明导电膜14、第二透明导电膜16等一侧的表面(主面)12a作为进行操作的面。以下，玻璃板12中，将进行操作的面12a设为操作面12a、将形成有第一透明导电膜14和第二透明导电膜16等的面设为传感器面12b。
即，传感器一体型保护玻璃10中，玻璃板12兼具作为构成静电电容式触控面板的操作面12a的保护玻璃的功能和作为形成有作为传感器发挥功能的第一透明导电膜14和第二透明导电膜16等的传感器玻璃的功能。
传感器一体型保护玻璃10中，玻璃板12可以利用各种在公知的触摸传感器中可以用作构成操作面的保护玻璃的玻璃板。即，对于玻璃板12而言，组成、浮法或熔融法等制造方法等没有限制。
作为玻璃板12，例示的有上述化学强化玻璃、物理强化玻璃等强化玻璃；钠钙玻璃、无碱玻璃等作为一例。其中，优选利用硅铝酸盐化学强化玻璃，钠钙化学强化玻璃等。
玻璃板12的厚度可以与用于公知的触摸传感器的保护玻璃同样。需要说明的是，玻璃板12的厚度通常为0.3～1.5mm，优选为0.5～1.1mm。
传感器一体型保护玻璃10以这样的玻璃板12作为基板并在传感器面12b上形成有第一透明导电膜14、第二透明导电膜16和遮光膜18。
另外，在第一透明导电膜14和第二透明导电膜16与玻璃板12之间形成有基底绝缘膜26。关于该基底绝缘膜26，后面详细描述。需要说明的是，可以在基底绝缘膜26与第一透明导电膜14和第二透明导电膜16之间设置其它膜。例如，可以设置SiO2等无机膜。
传感器一体型保护玻璃10中，第一透明导电膜14和第二透明导电膜16用于检测输入位置(用于检测输入位置的透明电极)。即，第一透明导电膜14和第二透明导电膜16构成检测输入位置的传感器。
以下的说明中，在无需区别第一透明导电膜14和第二透明导电膜16的情况下，也可以将两者统称为透明导电膜14和16。
图示例的传感器一体型保护玻璃10中，第一透明导电膜14在图中x方向延伸并在与该x方向正交的y方向上排列多个。另一方面，第二透明导电膜16在图中y方向延伸并在x方向排列多个。
如图1(A)所示，第一透明导电膜14可以具有如下构成：在延伸方向即x方向以规定间隔排列矩形的大面积部(垫部)14a，并用连接部14b连接。另外，第二透明导电膜16也可以同样地具有如下构成：在延伸方向即y方向以规定间隔排列矩形的大面积部16a，并用连接部16b连接。
大面积部14a和大面积部16a相互分离，并在x方向和y方向以相互交替的方式排列，是为了改善输入位置检测而设置的。因此，第一透明导电膜14和第二透明导电膜16以连接部14b和连接部16b交 叉的方式形成。
如图1(A)和1(C)所示，第一透明导电膜14与第二透明导电膜16的交叉部、即连接部14b与连接部16b的交叉部中，以在x方向跨过第二透明导电膜16的方式形成交叉部绝缘膜28。
另外，在该交叉部，在该交叉部绝缘膜28上以在x方向跨过交叉部绝缘膜28和第二透明导电膜16的方式形成第一透明导电膜14。
由此，形成使第一透明导电膜14和第二透明导电膜16以绝缘状态交叉的跨接部(交叉部)，保持相互交叉形成的第一透明导电膜14和第二透明导电膜16的绝缘状态。
本发明的传感器一体型保护玻璃10中，透明导电膜14和16的形成材料可以利用各种用于形成静电电容式触摸传感器中的传感器部的、公知的透明(具有透光性)的导电性材料。
具体而言，例示的有ITO(氧化铟锡)、IZO(氧化铟锌)等。其中，优选利用ITO。
透明导电膜14和16的厚度可以根据形成材料等适当确定。需要说明的是，透明导电膜14和16的厚度通常为约20～约100nm。
交叉部绝缘膜28的形成材料可以利用各种公知的透明绝缘性材料。具体而言，例示的有丙烯酸类、聚酰亚胺类等各种光致抗蚀剂等。
另外，交叉部绝缘膜28的厚度可以根据形成材料等适当确定。需要说明的是，交叉部绝缘膜28的厚度通常为约0.8～约2.0μm。
图2是用于说明传感器一体型保护玻璃10的构成的俯视图。图2 中，遮光膜18是形成于玻璃板12的传感器面外周部的、具有遮光性的绝缘性膜。
遮光膜18是为了遮挡来自与传感器一体型保护玻璃10组合的显示器的漏光、隐藏用于驱动该显示器的布线或IC、隐藏后述的金属布线20等而设置的。
遮光膜18的厚度可以适当改变。需要说明的是，遮光膜18的厚度通常为约0.8～约2.0μm。
需要说明的是，本发明的传感器一体型保护玻璃10中，遮光膜18作为优选方式而设置。
如图2和图1(D)所示，在遮光膜18(遮光膜18上的基底绝缘膜26)上(传感器面12b)形成有金属布线20。
根据第一透明导电膜14和第二透明导电膜16的数目形成多个金属布线20，各个金属布线20的一端与第一透明导电膜14或第二透明导电膜16连接。另外，各个金属布线20的另一端与例如柔性布线基板30连接，该柔性布线基板30与组合在传感器一体型保护玻璃10上的显示器连接。
通过具有该金属布线20，可以补偿包含ITO等的透明导电膜的低导电性，从而容易地提取来自传感器的信号。
本发明的传感器一体型保护玻璃10中，金属布线20在触控面板中可以利用各种金属材料。
具体而言，例示的有Mo/Al/Mo的三层金属材料(MAM)、Mo-Nb合金/Al/Mo-Nb合金的三层金属材料、Mo-Nb合金/Al-Nb合金/Mo-Nb 合金的三层金属材料等。
金属布线20的厚度可以根据所使用的材料的导电性、可能的布线的宽度等适当确定。需要说明的是，金属布线20的厚度通常为约0.3～约0.5μm。
本发明的传感器一体型保护玻璃中，该金属布线20也是作为优选方式而设置。
在上述金属布线20上设置有保护绝缘膜24，但并不是全部被保护绝缘膜24覆盖，必要的部分露出在外部。例如，金属布线20中，只有与和显示器等连接的柔性布线基板30的连接部露出，而未被保护绝缘膜24覆盖。
本发明的传感器一体型保护玻璃10中，保护绝缘膜24可以利用各种用于形成传感器一体型保护玻璃的保护膜的公知的透明绝缘性材料，可以使用与交叉部绝缘膜28同样的材料。
另外，保护绝缘膜24的厚度可以根据形成材料、在玻璃板12的传感器面上形成的各种部位的厚度等适当设定覆盖它们且作为保护层充分发挥作用的厚度。需要说明的是，保护绝缘膜24的厚度通常为0.8～2.0μm。
如上所述，本发明的传感器一体型保护玻璃10中，在玻璃板12与第一透明导电膜14和第二透明导电膜16之间形成有基底绝缘膜26。需要说明的是，图示例中，如图1(D)所示，基底绝缘膜26不仅在玻璃板12与透明导电膜14和16之间形成，而且还形成至遮光膜18上。
基底绝缘膜26是本发明的特征性部位，是透明且具有绝缘性的包含有机化合物的膜。
本发明的传感器一体型保护玻璃10具有该基底绝缘膜26，由此大幅提高了玻璃板12的强度，实现了耐久性优良的智能手机、平板型电脑等的触摸传感器。
即，本发明人的研究结果发现，对于以往的传感器一体型保护玻璃而言，玻璃板的传感器面的面强度弱。
如上所述，组装有传感器一体型保护玻璃的设备的操作在与作为形成有透明导电膜的面的传感器面相反侧的操作面进行。即，玻璃板通常从操作面侧受到按压力，并对传感器面施加拉伸应力。
因此，玻璃板中，施加拉伸应力的传感器面的面强度低对于传感器一体型保护玻璃而言可能会成为严重的问题。
本发明是为了解决上述问题而作出的，传感器一体型保护玻璃10的传感器面12b上，在玻璃板12与透明导电膜14和16之间具有包含有机化合物且透明、具有绝缘性的基底绝缘膜26。
本发明的传感器一体型保护玻璃10中，基底绝缘膜26的形成材料只要是包含有机化合物且具有充分的透明性和绝缘性的材料，则可以利用各种材料。具体而言，例示的有透明的环氧树脂、丙烯酸类树脂、其它光固化性树脂或热固化性树脂、各种光致抗蚀剂等。在此，充分的透明性是指在可见光区域(波长为400nm～700nm)的透射率为85％以上。另外，充分的绝缘性是指电阻率为1E12(Ω/□)以上、更优选为1E14(Ω/□)以上。
基底绝缘膜26的厚度可以适当设定。根据本发明人的研究，基底绝缘膜26的厚度优选为0.8～2.0μm、特别优选为1.0～1.5μm。
如图1(D)所示，基底绝缘膜26不仅在玻璃板12与透明导电膜14和16之间形成，而且还形成至遮光膜18上。但是，本发明并不限于此，基底绝缘膜26可以不形成于遮光膜18上而仅设置在遮光膜18的内侧。
此外，如图1(C)和1(D)所示，基底绝缘膜26形成于传感器面12b的整个面上。但是，本发明不限于此，基底绝缘膜26可以不形成在传感器面12b上的无透明导电膜14和16的部分、而仅形成于透明导电膜14和16与玻璃板12之间。即，本发明中，基底绝缘膜26只要至少在透明导电膜14和16与玻璃板12之间形成即可。
需要说明的是，如此，在需要进行基底绝缘膜26的图案化的情况下，基底绝缘膜26优选由光致抗蚀剂形成。
以下，参照图3的流程图对传感器一体型保护玻璃10的制造方法的一例进行说明。
需要说明的是，本发明的传感器一体型保护玻璃10并不限于按照该步骤制造。只要能够在透明导电膜14和16与玻璃板12之间形成基底绝缘膜26，则可以利用例如在形成透明导电膜后形成金属布线等按照公知的传感器一体型保护玻璃中所使用的各种步骤的制造方法。
另外，各膜的形成方法也不限于以下所示的例子，根据膜的形成材料等，可以利用公知的传感器一体型保护玻璃中所使用的各种方法。
首先，准备作为原材料的玻璃板，并对该玻璃板实施化学强化，从而制作出玻璃板12。化学强化可以通过公知的方法进行。
接着，在玻璃板12上印刷遮光膜18以包围作为有源区域A的区域(参见图2)。遮光膜18的印刷可以通过在制造触控面板中所利用的公 知的方法。需要说明的是，如前文所述，遮光膜18的形成可以根据需要进行。
接着，形成作为基底绝缘膜26的膜，并根据需要进行图案化等从而形成基底绝缘膜26。
对于基底绝缘膜26的成膜方法没有特别限定，可以利用各种公知的包含有机化合物的膜的成膜方法。
另外，进行图案化时，也可以根据基底绝缘膜26的形成材料通过公知的方法进行。
接着，在基底绝缘膜26的整个面上将形成之后成为第二透明导电膜16的一部分的交叉部透明导电膜16c的ITO等成膜，并进行图案化。ITO等的成膜可以通过溅射等公知的方法进行。图案化也可以通过利用光刻的方法等公知的方法进行。
接着，在交叉部透明导电膜16c上形成绝缘膜，并进行图案化以使交叉部透明导电膜16c以外的区域和交叉部透明导电膜16c的一部分露出，从而形成交叉部绝缘膜28。成膜方法和图案化可以根据交叉部绝缘膜28的形成材料通过公知的方法进行。
接着，将形成第一透明导电膜14和除交叉部透明导电膜16c以外的第二透明导电膜16的ITO等成膜，并进行图案化，由此完成透明传感器布线部分。与之前同样，ITO等的成膜可以通过溅射等公知的方法进行，图案化也可以通过公知的方法进行。
进一步地，在遮光膜18上形成金属布线20，并进行图案化。需要说明的是，如前文所述，该工序也可以根据需要进行。另外，本实施方式中，在形成交叉部透明导电膜16c和交叉部绝缘膜28的工序之 间实施，但不限于此。
接着，以覆盖玻璃板12的传感器面12b的整个面的方式形成保护绝缘膜24，并进行图案化以使与柔性布线基板30的连接部等金属布线20的必要部分露出。成膜方法和图案化可以根据保护绝缘膜24的形成材料通过公知的方法进行。
接着，图4(A)～4(C)是示意性地表示本发明的传感器一体型保护玻璃的另一实施方式的图。
需要说明的是，图4(A)为与图1(A)同样的部分的俯视图，图4(B)和图4(C)是分别表示图4(A)的b-b线截面和图4(A)的c-c线截面的图。
需要说明的是，图4(A)～4(C)所示的传感器一体型保护玻璃10a具有大量与上述传感器一体型保护玻璃10相同的构件，因此对相同构件赋予相同符号，主要对不同部位进行说明。
图4(A)～4(C)所示的传感器一体型保护玻璃10a不具有基底绝缘膜26，并且使用有机化合物作为用于形成跨接部的透明绝缘膜，将该绝缘膜不仅形成于跨接部，而且形成在玻璃板12的传感器面12b的整个面上，从而制成交叉部/基底绝缘膜32。
即，传感器一体型保护玻璃10a中，形成图1(A)和1(C)所示的传感器一体型保护玻璃的交叉部绝缘膜28时，将包含有机化合物的透明绝缘膜形成于传感器面12b的整个面上，由此具有将上述例子的交叉部绝缘膜28和基底绝缘膜26一体化而得到的交叉部/基底绝缘膜32。
具体而言，对于图4(A)～4(C)所示的传感器一体型保护玻璃10a而言，在图3所示的流程图中，进行化学强化和遮光膜18的印刷后，不进行基底绝缘膜26的成膜，而进行直到形成交叉部透明导电膜16c 和形成金属布线20(金属布线蚀刻)为止的工序。即，本例中，交叉部透明导电膜16c直接形成在玻璃板12(传感器面12b)上。
接着，在整个面上形成透明绝缘膜，通过蚀刻等使交叉部透明导电膜16c的y方向的两端露出，从而形成交叉部/基底绝缘膜32。
然后，同样地，进行交叉部透明导电膜16c以外的透明导电膜14和16的形成和保护绝缘膜24的形成。
即，图4(A)～4(C)所示的传感器一体型保护玻璃10a具有在x方向延伸的第一透明导电膜和在y方向延伸的第二透明导电膜、和设置在第一透明导电膜与第二透明导电膜的交叉部的两导电膜之间以及在上述第一透明导电膜和第二透明导电膜与玻璃板之间的透明的包含有机化合物的交叉部/基底绝缘膜。
换言之，图1(A)～1(D)所示的传感器一体型保护玻璃中，在跨接部的透明导电膜的下方不具有基底绝缘膜，并且交叉部绝缘膜延伸至跨接部以外的第一透明导电膜和第二透明导电膜与玻璃板之间，作为基底绝缘膜发挥作用。
在制造图1(A)～1(D)所示的传感器一体型保护玻璃10时，需要追加形成基底绝缘膜这样的工序。与此相对，本实施方式的图4(A)～4(C)所示的传感器一体型保护玻璃10a能够在不增加工序数的情况下以与以往的传感器一体型保护玻璃相同的工序数来制造。另外，在大部分区域中可以在透明导电膜与玻璃板之间设置基底绝缘膜，因此还能够充分地得到防止玻璃板12的传感器面12b的面强度降低的效果。
另一方面，图1(A)～1(D)所示的传感器一体型保护玻璃10在跨接部的下方也具有基底绝缘膜，因此在玻璃板12的强度方面是有利的。
以上，对本发明的传感器一体型保护玻璃详细地进行了说明，但本发明并不限于上述例子，在不脱离本发明的主旨的范围内，可以进行各种改进、变更，这是理所当然的。
实施例
接着，通过实施例更详细地说明本发明，但本发明并不受这些实施例任何限定。
首先，准备板厚为0.7mm的铝硅酸玻璃(铝硅酸盐玻璃)。将该玻璃进行化学强化后，裁切成50mm见方。
为了考察化学强化条件的依赖性，化学强化使用两种不同的化学强化条件进行。在各化学强化条件下得到的玻璃板各自的CS(压缩应力)为647MPa，DOL(层深度)为21μm；CS为630MPa，DOL为49μm。
以下，为方便起见，将CS为647MPa、DOL为21μm的玻璃板设为玻璃板A，将CS为630MPa、DOL为49μm的玻璃板设为玻璃板B。
接着，制作在所得到的玻璃板上通过溅射法在整个面上形成ITO膜而得到的样品，和通过旋涂在整个面上形成基底绝缘膜后、在其上同样地在整个面上形成ITO膜而得到的样品。在此，ITO膜以100nm的厚度、基底绝缘膜以1.2μm的厚度分别进行成膜。另外，基底绝缘膜使用丙烯酸类树脂。
将在玻璃板A上仅形成有ITO膜的样品设为比较例1，将在玻璃板B上仅形成有ITO膜的样品设为比较例2，将在玻璃板A上形成有基底绝缘膜和ITO膜的样品设为实施例1，以及将在玻璃板B上形成有基底绝缘膜和ITO膜的样品设为实施例2。
对所得到的各样品通过如图5(A)和5(B)所示的方法测定各样品的 面强度。另外，对玻璃板A和玻璃板B也进行同样的面强度的测定。
图5(A)和5(B)是示意性地表示被称为BOR(球环法，Ball on Ring)的玻璃板的面强度试验方法的图，其中，图5(A)为俯视图、图5(B)为侧视图。如图5(A)和5(B)所示，在环状的支撑部S上，使中心对齐，以将ITO的形成面朝向支撑部S侧的方式载置样品G，从支撑部S的中心上按压与样品G的接触部为半径5mm的球形的负荷部L从而施加负荷，由此测定各样品G的面强度。支撑部S的直径为30mm(以支撑部S的中心为基准)。
将各样品和玻璃板的面强度的测定结果示于以下的表1中。
[表1]

由表1的比较例1和2以及玻璃板A和B的面强度的测定结果可知，与化学强化条件无关，在玻璃板上形成ITO膜时，ITO的成膜面上玻璃板的面强度降低。根据该结果可知，以往的传感器一体型保护玻璃的传感器面的面强度弱。
与此相对，由实施例1和2以及玻璃板A和B的面强度的测定结果确认，即使在玻璃板上形成有ITO膜，通过形成基底绝缘膜，玻璃 板的ITO成膜面能够确保与ITO成膜前的强度同等的面强度。即，根据本发明的传感器一体型保护玻璃，能够实现充分确保了传感器面的面强度、耐久性优良的智能手机、平板型电脑等的触摸传感器。
本申请基于2012年8月23日申请的日本专利申请2012-183832，将其内容以参考的方式援引于此。
附图标记
10、10a 传感器一体型保护玻璃
12 玻璃板
14 第一透明导电膜
16 第二透明导电膜
18 遮光膜
20 金属布线
24 保护绝缘膜
26 基底绝缘膜
28 交叉部绝缘膜
30 柔性布线基板
32 交叉部/基底绝缘膜