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本发明公开了一种能解决精馏高沸物的出路问题、且能变废为宝的3-氨丙基三乙氧基硅烷的精馏高沸物的处理方法,包括以下步骤:在精馏高沸物中加入乙二胺,在温度为1080的范围内反应,得到双(3-三乙氧基硅基)-丙基胺的混合液;在氮气保护下,将上述混合液过滤,滤液精馏得到预处理液;将预处理液由顶部缓慢滴入内装填料的反应柱内,反应柱外设电加热套及保温层,控制电加热套内温度为4080,甲醇汽化后连续输入反应柱内。