具有反向旁通回路的多级泵.pdf

公开了一种具有反向旁通回路的多级泵。多级泵(1)包括泵(1)头和反向液体旁通回路(290)，其中，泵头具有相对于液体通过泵(1)的流向串联布置的至少两个压缩级(270a)，反向液体旁通回路包括液体通道(295)，通过液体通道(295)在压缩级(270a)中的上游压缩级和下游压缩级之间流动的液体可以被循环返回到上游压缩级(270a)的上游。在通过液体通道(295)的压力差低于预定值的情况下，反向液体旁通回路(290)可以限制或停止液体流动通过液体通道(295)。为此，反向液体旁通回路(290)可以被配置为当液体处于过渡或分子流态时限制液体的流动，并且当液体处于粘性流态时允许液体的流动。

权利要求书
1.  一种多级泵(1)，包括：
入口(140)部分，该入口部分具有泵入口(140)并构成泵(1)的 低压侧，其中，液体在所述低压侧被吸入所述泵(1)；
排出部分，该排出部分具有泵出口(150)并构成压缩侧，其中，液 体在所述压缩侧被以比液体在所述低压侧的压力高的压力从所述泵(1) 中排出；以及
泵(1)头，该泵头具有所述泵入口(140)延伸到的入口开口 (260)、通向所述泵出(150)的排出开口(280)、相对于液体通过 所述泵(1)的流向串联布置的至少两个压缩级(270a)、以及液体旁通 回路，并且
其中，所述压缩级(270a)中的每个压缩级都具有导入口和导出口， 其中液体通过该导入口进入该级(270b)并且通过该导出口离开该级 (270b)，
液体从所述泵入口(140)流到所述泵出口(150)经过的流动路径在 所述泵(1)中在所述泵入口(140)和所述压缩级(270a)中的上游压缩 级之间、在所述压缩级(270a)中的所述上游压缩级的导出口和所述压缩 级(270a)中的下游压缩级的导入口之间、以及在所述压缩级(270a)中 的所述下游压缩级的导出口和所述泵出口(150)之间延伸，并且
所述液体旁通回路定义了液体通道(295)，该液体通道(295)与所 述流动路径相分离，并且在所述压缩级(270a)中的一个压缩级的导出口 和所述一个压缩级下游的紧接着的压缩级(270b)的导入口之间的第一位 置、以及所述一个压缩级(270a)的导入口的上游的第二位置处连接到所 述流动路径。

2.  如权利要求1所述的泵(1)，其中，所述液体旁通回路包括与所 述液体通道(295)同轴布置的阀。

3.  如权利要求2所述的泵(1)，其中，所述阀是加载弹簧的止回 阀，其中，当通过所述液体通道(295)的、所述第二和第一位置之间的 压力差高于预定值时，该止回阀开启。

4.  如权利要求1所述的泵(1)，其中，所述液体旁通回路包括在所 述第一和第二位置之间提供流动限制的迷宫式密封(299d)。

5.  如权利要求1所述的泵(1)，其中，所述液体旁通回路包括在所 述第一和第二位置之间提供流动限制的毛细管(299a)。

6.  如权利要求1所述的泵(1)，其中，所述液体旁通回路包括在所 述第一和第二位置之间提供流动限制的被布置在所述液体通道(295)中 的孔洞(299b)。

7.  如权利要求1所述的泵(1)，其中，所述液体旁通回路包括挠性 管，该挠性管在其内部和外部之间的压力差低于预定值时内陷。

8.  如权利要求1所述的泵(1)，其中，所述液体旁通回路包括液体 流动控制装置，用于在通过所述液体通道(295)的、所述第二和第一位 置之间的压力差低于预定值的情况下，限制或者停止液体流动通过所述液 体通道(295)。

9.  如权利要求1所述的泵(1)，其中，所述液体旁通回路包括液体 流动控制装置，用于当液体在所述一个压缩级(270a)的导出口和所述一 个压缩级下游的所述紧接着的压缩级(270a)的导入口之间处于过渡或分 子流态时防止液体从所述第一位置流动到所述第二位置，并且当液体在所 述一个压缩级(270a)的导出口和所述一个压缩级下游的所述紧接着的压 缩级(270a)的导入口之间处于粘性流态时允许液体从所述第一位置流动 到所述第二位置。

10.  如权利要求1所述的泵(1)，其中，所述一个压缩级(270a)是 沿所述流动路径相对于通过所述泵(1)的流向最接近所述泵(1)的入口 (140)位置的压缩级。

说明书具有反向旁通回路的多级泵
技术领域
本发明涉及包括多级涡旋型真空泵在内的多级容积泵。具体地说，本 发明涉及包括真空泵在内的具有旁路系统的多级容积泵，其中，该旁路系 统用于促使离开某级的液体偏离液体通过泵的正常流动路径。
背景技术
各种类型的容积泵(positive displacement pump)，例如螺杆泵、叶片 泵、罗茨爪式泵、涡旋型泵，可以被配置为多级泵。多级泵提供多级压 缩，以为泵提供更大的容量(排量)和/或压力比性能。多级涡旋泵的示例 在美国专利6068459，5855473，5616015和6884047中被公开，这些专利的 内容通过引用被全部结合于此。
在多级泵中，液体通过泵的入口被引入到泵的第一(上游)级，其中 在泵的第一级，液体被压缩；被压缩的液体离开第一级并被定向进入第二 (下游)级，其中在泵的第二级，液体再次被压缩；然后，在第二级中被 压缩的液体流出第二级并随后流向泵的出口(直接流向泵的出口或经由泵 的用于进一步压缩的额外的下游级流向泵的出口)。多级泵可以装配有前 向旁通回路，在泵的某些异常操作条件下，前向旁通回路使大多数离开上 游级的液体绕开泵的一个或多个下游级。
例如，前向旁通回路通常被设置在多级真空泵中，其中第一级的入口 排量远大于第二级的入口排量。当泵首次被启动时或当泵被连通到大气 时，在第一级中会遇到高入口压力(即，大气压力)。在这种情况下，前 向旁通回路将分流泵的第二级周围的大多数液体。
这样的旁通回路可以避免在上游级和一个或多个下游级之间的液体中 产生过高压力，因此可以防止下游级中的过多功耗和过高温度。过高功耗 可以导致泵的轴承和/或电机超负荷以及由过高的温度引起的轴承中的油脂 粘度下降。
然而，这种分流一个或一个以上下游级周围的液体的前向旁通回路并 没有解决导致多级泵中的过多功耗和过高温度的所有潜在的问题。此外， 当应用到多级涡旋型真空泵时，这样的前向旁通回路可能会造成额外的问 题。
发明内容
本发明的一个目的在于，提供一种防止泵的上游级和紧接着的下游级 成为泵的过大功耗的来源的多级容积泵。
本发明的另一个目的在于，提供一种确保达到它的设计速度的多级容 积泵。
本发明的又一个目的在于，提供一种具有用于其的每个压缩级的末端 密封(tip seal)以及确保下游级的末端密封被加强的装置的多级涡旋型真 空泵。
根据本发明的一方面，提供了一种多级泵，该多级泵具有入口部分和 排出部分，并且包括泵头和反向液体旁通回路，其中，该泵头具有相对于 液体通过泵的流向串联布置的至少两个压缩级。
入口部分具有泵入口并构成泵的低压侧，其中液体在该低压侧被吸入 泵。排出部分具有泵出口并构成压缩侧，其中液体在该压缩侧被以比液体 在低压侧的压力高的压力从泵中排去。泵头还具有泵入口延伸到的入口开 口(inlet opening)、以及通向泵出口的排出开口(exhaust opening)。
压缩机构的每个压缩级都具有导入口和导出口，液体通过导入口进入 该级并通过导出口离开该级。液体从泵入口流到泵出口所经过的流动路径 在泵中在泵入口和压缩级中的上游压缩级之间延伸，在压缩级中的上游压 缩级的导出口和压缩级中的下游压缩级的导入口之间延伸，并且在压缩级 中的下游压缩级的导出口和泵出口之间延伸。反向液体旁通回路(reverse  fluid bypass circuit)定义了液体通道，该液体通道与流动路径相分离并且 在一个压缩级的导出口和该一个压缩级下游的紧接着的一个压缩级的导入 口之间的第一位置、以及该一个压缩级的导入口的上游的第二位置处被连 接到流动路径。
根据本发明的另一方面，反向液体旁通回路包括液体流动控制装置， 用于限制或停止液体流动通过液体通道。
根据本发明的又一方面，反向液体旁通回路包括液体流动控制装置， 用于在液体处于过渡或分子流态时限制液体流动，并且在流体处于粘性流 态时允许液体流动。
附图说明
从下面参照附图做出的对本发明的优选实施例的详细描述，本发明的 这些和其它方面、特征和优势将变得能更加清楚，其中：
图1是根据本发明的包括反向旁通回路的一个示例的多级泵的示意性 纵向截面图；
图2是根据本发明的具有反向旁通回路的多级涡旋型泵的泵头组件的 示意性纵向截面图；
图3A是图2的多级涡旋型泵的泵头组件的一部分的放大图；
图3B是图2的多级涡旋型泵的泵头组件的另一部分的放大图；
图4A是根据本发明的两级泵的反向液体旁通回路的布局的示意图；
图4B是根据本发明的三级泵的反向液体旁通回路的布局的示意图；
图4C是根据本发明的另一三级泵的反向液体旁通回路的布局的示意 图；
图5A是根据本发明的具有另一种版本的反向液体旁通回路的多级泵 的一部分的示意图；
图5B是根据本发明的具有另一种版本的反向液体旁通回路的多级泵 的一部分的示意图；
图5C是根据本发明的具有另一种版本的反向液体旁通回路的多级泵 的一部分的示意图；
图5D是根据本发明的具有另一种版本的反向液体旁通回路的多级泵 的一部分的示意图。
具体实施方式
在下文中将参照附图对本发明构思的各种实施例和实施例示例进行更 加充分的描述。在附图中，为了清晰起见，元件的尺寸和相对尺寸可能会 被夸大。同样地，为了清晰和易于理解，元件的形状可能会被夸大和/或简 化。并且，贯穿所有附图相同的数字和参考字符被用于指定相同的元件。
此外，这里使用的用于描述本发明构思的具体示例或实施例的术语要 放在上下文中考虑。例如，当术语“包括”或“包括”被用在说明书中时 表明存在指定特征或过程但并不排除存在额外的特征或过程。术语“泵” 可以指代驱动、或提升或降低液体等的压力的装置。与泵的压缩机构结合 使用的术语“上游级”将指代泵的任何压缩级，即相对于液体通过压缩机 构的流向泵的至少一个其它压缩级的上游压缩级。也就是说，如果泵有三 个或更多压缩级，那么术语“上游级”并不一定指代压缩机构的第一级。 同样地，术语“下游级”将指代作为泵的至少一个其它级的下游的任何压 缩级。因此，除非另作说明，术语“上游”和“下游”级被一起使用时并 不意味着这些级是直接串联的。
现在参照图1，可以应用本发明的多级泵1通常包括外壳100和被布 置在外壳100内的泵头组件200和泵电机300。泵还可以包括用于冷却泵 头组件200和/或泵电机300的冷却风扇400。在此示例中，外壳100分别 在其相对端定义了进气口100A和排气口100B，且冷却风扇400被设置在 进气口100A中，以使冷却空气通过外壳并从排气口100B出去。
外壳100还可以包括覆盖泵头组件200和泵电机300的整流罩110、 以及支持泵头组件200和泵电机300的底部120。整流罩110可以有一个 或多个部分且可拆卸地连接到底部120，从而使得整流罩110可以被从底 部120移除以进入泵头组件200进行维护、修理等。
涡旋真空泵1还具有入口部分和排出部分，其中，入口部分具有泵入 口140并构成泵的低压侧(如真空侧)，液体在该低压侧被吸入泵；排出 部分具有泵出口150并构成压缩侧，液体被以比液体在低压侧的压力高的 压力从泵中排出。泵头组件200还具有位于泵的入口侧的入口开口(inlet  opening)260、压缩液体的压缩机构270、以及排出开口(exhaust  opening)280。入口开口260将泵的入口140连接到泵的压缩机构270。排 出开口280将泵的压缩机构270连接到泵出口150。
压缩机构270具有多个压缩级，包括相对于液体沿着由泵定义的流动 路径的流向串联布置的至少两个压缩级。每个压缩级都具有引入口和引出 口，其中液体通过引入口进入该级并通过引出口离开该级。在图1示出的 示例中，泵1是具有上游压缩级270a和下游压缩级270b的两级泵。流动 路径(如带箭头的实线所示)在泵入口140和上游压缩级270a之间延伸， 在上游压缩级270a的引出口和下游压缩级270b的引入口之间延伸，并且 在下游压缩级270b的引出口和泵出口150之间延伸。
泵1还具有与泵头组件200结合在一起的反向液体旁通回路290。反 向液体旁通回路290定义了液体通道295，该液体通道与流动路径相分 离，并且在一个(上游)压缩级270a的引出口和紧接着的下游压缩级 270b的引入口之间的第一位置‘A’、以及该一个(上游)压缩级270a的 引入口的上游的第二位置‘B’处被连接到流动路径。反向液体旁通回路 290还具有液体流动控制装置299。反向液体旁通回路290将在下面进行 更详细地描述。
首先，然而，根据本发明的多级涡旋型泵的泵头组件200的示例将参 照图2进行描述。
泵头组件200包括框架210、内部(第一)固定板涡壳(scroll) 220A、轨道运行板涡壳(orbiting plate scroll)230、外部(第二)固定板 涡壳220B、作为电机300的旋转输出的结果被驱动的偏心传动机构240、 管状构件250、以及将固定板涡壳220A和220B固定到框架210以及将管 状构件250固定到框架210和轨道运行板涡壳230的紧固件(未示出)。 如图所示，外部固定板涡壳220B可以通过内部固定板涡壳220A这个媒介 物被固定到框架210。
内部固定板涡壳220A包括泵的第一固定涡形叶片(scroll blade)221 和具有外(前)侧和内(后)侧的第一固定板222。第一固定涡形叶片 221从第一固定板222的外侧开始在第一方向沿轴向伸出(与泵的纵轴平 行)。外部固定板涡壳220B包括泵的第二固定涡形叶片223和具有外 (后)侧和内(前)侧的第二固定板224。第二固定涡形叶片223从第二 固定板224的内侧开始在与第一方向相对的第二方向沿轴向伸出。
轨道运行板涡壳230在泵的轴向上被插入在内部固定板涡壳220A和 外部固定板涡壳220B之间并且被耦合到偏心传动机构240，以便由偏心传 动机构240在围绕泵的纵轴的轨道上被驱动。轨道运行板涡壳230包括具 有外侧和内侧的轨道运行板231、从轨道运行板231的内侧开始沿轴向在 第二方向伸出的第一轨道运行涡形叶片232、和从轨道运行板231的外侧 开始沿轴向在第一方向伸出的第二轨道运行涡形叶片233。第一轨道运行 涡形叶片232与第一固定涡形叶片221在泵的径向上并列，从而使得第一 固定涡形叶片221和第一轨道运行涡形叶片232是嵌套的。第二轨道运行 涡形叶片233与泵的第二固定涡形叶片223在泵的径向上并列，从而使得 第二固定涡形叶片223和第二轨道运行涡形叶片233是嵌套的。在这些方 面，固定和轨道运行涡形叶片223、233和221、232被以空隙和预定的相 对角位置嵌套，从而使得一个或多个小空间(pocket)被嵌套的涡形叶片 限定在嵌套的涡形叶片之间。
偏心传动机构240包括传动轴和轴承246。在此示例中，传动轴是具 有连接到电机300并被电机300围绕泵100的纵轴旋转的主要部分242、 以及其中心纵轴在径向偏离纵轴的曲柄243的曲柄轴。轴承246可以包括 多组滚动构件。
另外，在此示例中，曲柄轴的主要部分242通过一组或多组轴承246 由框架210支撑，从而可以相对于框架210旋转。轨道运行板涡壳230通 过另一组或多组轴承246被安装到曲柄243。因此，轨道运行板涡壳230 被曲柄243承载，以在主轴242被电机300旋转时在泵的纵轴周围沿轨道 运行，且轨道运行板涡壳230被曲柄243支撑，从而可以围绕曲柄243的 中心纵轴旋转。
由多组嵌套的涡形叶片221、232和223、233限定的小空间的体积随 着轨道运行涡形叶片232、233分别相对于固定涡形叶片221、223移动而 变化。轨道运行涡形叶片232、233的运动还使在多组嵌套的涡形叶片 221、232和223、233之间限定的一个或多个小空间在泵头组件200内移 动，从而使得小空间有选择地与泵入口(通过入口开口260)和泵出口 (通过排出开口280)开放相通地放置。因此，如图中的箭头所示，液体 沿延伸通过泵头组件200的流动路径被吸取。
在此示例中，有至少两个发生泵送的压缩级。例如，泵的下游压缩级 (对应于图1中的级270b)可以被定义在轨道运行板涡壳230和内部固定 板涡壳220A之间。泵的上游压缩级(对应于图1中的压缩级270a)可以 被定义在轨道运行板涡壳230和外部固定板涡壳220B之间。
替代地，同样的泵可以被配置为三级泵。例如，泵的上游(或第一) 压缩级和中间(或第二)压缩级可以被定义在轨道运行板涡壳230和外部 固定板涡壳220B之间。在这方面，可以参照上述美国专利6,884,047，该 专利示出了在轨道运行板涡壳和固定板涡壳之间提供两个级。在第一级 中，液体通过固定和轨道运行涡形叶片的径向外部的动作被泵送。在第二 级中，液体通过固定和轨道运行涡形叶片的径向内部的动作被泵送。固定 和轨道运行涡形叶片的径向内部具有小于固定和轨道运行涡形叶片的径向 外部的高度。因此，第一级具有大于第二级的轴向深度。
另一方面，泵的下游(或第三)压缩级可以被定义在轨道运行板涡壳 230和内部固定板涡壳220A之间。因此，在下游压缩级中，液体通过内部 固定板涡壳220A的固定涡形叶片221和轨道运行板涡壳230的第一轨道 运行涡形叶片232的动作被泵送。
仍参照图2，管状构件250具有第一末端和第二末端，其中该管状构 件在第一末端被固定到轨道运行板涡壳230，并且在第二末端被固定到框 架210。管状构件250还在偏心传动机构240的曲柄轴243的一部分和轴 承246周围延伸。这样，管状构件250还可以密封轴承246和轴承表面。 因此，可以防止轴承246使用的润滑剂和/或由轴承表面生成的微粒物质进 入流动路径。管状构件250足够径向灵活来允许当它的第二末端仍固定在 框架210时它的第一末端能跟随轨道运行板涡壳230运动。
在图示的示例中，管状构件250是金属波纹管，其扭转刚度防止它的 第一末端围绕波纹管的中心纵轴显著地旋转，即当波纹管的第二末端仍固 定在框架210时防止它的第一末端在它的圆周方向显著旋转。因此，金属 波纹管250可以在泵的操作期间，分别在固定涡形叶片221与223和第一 与第二轨道运行涡形叶片232与233之间提供角同步。
另外，虽然为简单起见未在图2中示出，但是涡旋泵是包括末端密封 (tip seal)的干涡旋泵，其中每个末端密封都被密封在沿相应的一个涡形 叶片的末端(轴向末端)的长度延伸的槽中。
图3A示出了分别与第一固定板涡壳220A和轨道运行板涡壳230相关 联的末端密封220AS、230S。图3B示出了分别与第二固定板涡壳220B和 轨道运行板涡壳230相关联的末端密封220BS、230S。此示例中的每个末 端密封都是插入在第一固定和轨道运行板涡壳220A、230其中之一的涡形 叶片221、232的末端和第一固定和轨道运行板涡壳220A、230中另一个 的板231、222之间的塑料构件。
多级涡旋型泵也具有对应图1中所示的反向液体旁通回路290的反向 液体旁通回路。反向液体旁通回路起如下的作用。这里将参照图1中的泵 1。
通常，当压缩级之间的液体的压力差(称为级间压力)和第一级的引 入口处的压力超过预定值时，反向旁通液体回路290使沿着直接连接第一 和第二压缩级的流动路径的分支流动的液体循环返回到第一压缩级的引入 口的上游。例如，在图1所示的两级泵1的情况下，当级间压力相对于入 口压力高出预定量(例如，高1-2磅/平方英寸)时，反向旁通液体回路 290将沿着直接连接第一和第二压缩级270a、270b的流动路径的分支流动 的液体循环返回到第一压缩级270a的引入口的上游，进而返回到泵的入口 140。
为此，液体流动控制装置299可以包括阀，诸如装载弹簧的止回阀， 当级间压力比入口压力高出预定值时该止回阀的开启压力被设置为打开。 在上面给出的级间压力比入口压力高1-2磅/平方英寸的示例中，止回阀的 开启压力可以是1-1.5磅/平方英寸。其它类型的阀，诸如充气阀或螺管磁 铁操作阀可以替代被使用。在这些情况下，反向液体旁通回路还可以包括 一个或多个连接到液体通道295且运转地连接到阀的压力传感器，以便在 通道295中检测到预定压力或压力差时打开阀。
这提供了以下的优势。第一和第二级270a、270b中的最大功率消耗都 被反向液体旁通回路290的操作约束。约束第一级270a和第二级270b中 的最大功率消耗，导致驱动力矩大幅减少，使得泵1启动，并且保护轴承 和电机300受到过载的不利影响。
其次，如图2、图3A和3B中所示且参照图2、图3A和3B所述的未 装载弹簧的末端密封必须保持“被加强”，意味着它必须与相对板保持啮 合以提供充分的密封，例如，即使在使用期间末端密封经过一定数量的磨 损时。如果第二及任何额外的下游压缩级的末端密封没有“被加强”，那 么与相对较大的第一级排量相结合的穿过第一级的较大压力差可能会使电 机超载。这反过来会阻止泵启动或损坏泵中诸如轴承之类的其它部件。
为了加强每个末端密封，通常要求穿过末端密封的压力差促使末端密 封压紧将提供所需密封的相对板。然而，为了生成“加强”末端密封的必 要压力，末端密封必须首先相对于相对板向前移动以创造充分的密封。因 此，当泵启动时末端密封有可能没有正确加强，特别是在泵配备有阻止压 力在第一和第二级之间的空间产生的前向液体旁通回路的情况下(否则其 将用于加强末端密封)。
当上游压缩级的引入口和紧接着的下游压缩级的引入口之间存在一定 的级间压力差时，通过使液体循环返回到上游压缩级的引入口的上游，本 发明的反向液体旁通回路290有助于确保紧接着的下游压缩级和任何额外 的下游压缩级的末端密封被“加强”。
图4A、4B和4C示出了反向液体旁通回路290的不同布局。这些布 局中的任意一个布局都可以被应用到图2中示出且参照图2描述的多级涡 旋型泵，也可以被应用到任何其它类型的多级容积泵。
图4A示出了两级泵，其中压缩机构由第一(上游)压缩级和第二 (下游)压缩级组成。在此，反向液体旁通回路290控制的级间压力差是 第一级的引入口和第二级的引入口之间的压力差。
图4B示出了三级泵，其中第一、第二、第三压缩级通过泵的从泵入 口延伸到泵出口的连续流动路径串联连接。在此示例中，第二压缩级是上 游压缩级，第三压缩级是紧接着的下游压缩级，并且反向液体旁通回路使 流体循环返回到第一压缩级的引入口的上游位置B，进而返回到第二压缩 级的引入口的上游。在此，反向液体旁通回路290控制的级间压力差是第 二级的引出口和第一级的引入口之间的压力差。也就是说，此示例示出了 上游压缩级不一定是沿流动路径的第一压缩级。
图4C示出了三级泵，其中第一、第二、第三压缩级并列排列。在这 种情况下，泵的连续流动路径从泵入口直接延伸到第二压缩级、从第二压 缩级直接延伸到第三压缩级、并且从第三压缩级直接延伸到泵出口。在此 示例中，第二压缩级是上游压缩级，第三压缩级是紧接着的下游压缩级， 并且反向液体旁通回路使流体循环返回到第二压缩级的引入口的上游位置 B。在此，反向液体旁通回路290控制的级间压力差是第二级的引出口和 引入口之间的压力差。
当然，这些布局可以扩展为应用到具有多于三个压缩级的多级泵。
另外，虽然反向液体旁通回路290在上文被描述为具有诸如装载弹簧 的止回阀之类的阀的形式的流动控制装置，但是图5A-5D示出了流动控制 装置的替代形式。
图5A示出了包括作为流动控制装置的毛细管299a的反向液体旁通回 路290。
图5B示出了包括与液体通道295同轴布置的孔洞299b的反向液体旁 通回路290。
图5C示出了包括挠性管的反向液体旁通回路290，其中，当挠性管内 的压力比挠性管外的压力低一定值时挠性管内陷。当内部压力下降到低于 预定值时，大气压或另外的参考压力提供力量使挠性管内陷。
图5D示出了用于在液体处于过渡或分子流态时限制液体流动，并且 在液体处于粘性流态时允许液体流动的液体流动控制装置的示例。在此示 例中，反向液体旁通回路290包括迷宫式密封299d。然而，其它液体流动 控制装置可以被用于限制过渡或分子态的流动，同时允许粘性态的流动。
最后，本发明构思的实施例和示例已在上文详细描述。然而，本发明 构思可以以许多不同形式体现并且不应被理解为局限于上述实施例。当 然，描述这些实施例以使本公开透彻和完整，而且向本领域技术人员充分 表达了本发明构思。因此，本发明构思的真正精神和范围不受上述实施例 和示例的限制而是由下述权利要求限定的。