耐腐蚀性构件及其制备方法.pdf

摘要
申请专利号：	CN200780037357.5	申请日：	2007.10.02
公开号：	CN101522946A	公开日：	2009.09.02
当前法律状态：	终止	有效性：	无权
法律详情：	未缴年费专利权终止IPC(主分类):C23C 26/00申请日:20071002授权公告日:20120613终止日期:20131002\|\|\|授权\|\|\|专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)变更项目:申请人变更前权利人:旭科技股份有限公司申请人地址:日本大阪府变更后权利人:迦南精机株式会社申请人地址:日本大阪府登记生效日:2009.12.4\|\|\|实质审查的生效\|\|\|公开
IPC分类号：	C23C26/00; C03C23/00; C23C28/04; C25D11/18	主分类号：	C23C26/00
申请人：	旭科技股份有限公司
发明人：	小林敏夫; 森川良实; 高柳晃一郎
地址：	日本大阪府
优先权：	2006.10.6 JP 275566/2006
专利代理机构：	中国专利代理(香港)有限公司	代理人：	熊玉兰;孙秀武
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内容摘要

本发明提供耐酸性、耐等离子体性和亲水性高的耐腐性构件及其制备方法。对被处理构件(陶瓷类、金属类)喷雾300-1000℃的过热水蒸气，进行表面处理，得到具有高耐酸性、耐等离子体性和亲水性的耐腐蚀性构件。耐腐蚀性构件可以是与通过PVD、CVD、干法蚀刻等气相法对基材实施表面处理的气相表面处理装置(反应室等)内的处理空间接触的构件。

权利要求书

说明书

资源描述

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本发明提供耐酸性、耐等离子体性和亲水性高的耐腐性构件及其制备方法。对被处理构件(陶瓷类、金属类)喷雾300-1000的过热水蒸气，进行表面处理，得到具有高耐酸性、耐等离子体性和亲水性的耐腐蚀性构件。耐腐蚀性构件可以是与通过PVD、CVD、干法蚀刻等气相法对基材实施表面处理的气相表面处理装置(反应室等)内的处理空间接触的构件。。

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