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本发明涉及一种大型环氧乙烷灭菌设备尾气净化装置,由净化系统、加热系统、控制系统组成。加热器的一端固定在箱体侧壁上,至上而下设置多个加热器,加热管浸没在介质油中。净化系统为弯曲的管道,均布于加热管两侧,净化管路中间对应两侧各设一个吸附器,吸附器内置蜂窝陶瓷。净化管路的出入口伸出箱体与箱盖固定连接。在伸出箱体的净化管路尾气入口处依次设有与管路相互连通的单向阀、真空阀、浓度检测器,净化管路伸出箱盖的出口。