阴极电弧离子镀的新应用.pdf

摘要
申请专利号：	CN00134596.6	申请日：	2000.12.14
公开号：	CN1358879A	公开日：	2002.07.17
当前法律状态：	撤回	有效性：	无权
法律详情：	发明专利申请公布后的视为撤回\|\|\|地址不明的通知收件人:北京长城钛金公司文件名称:发明专利申请公布及进入实质审查程序通知书\|\|\|公开\|\|\|实质审查的生效申请日:2000.12.14
IPC分类号：	C23C14/20	主分类号：	C23C14/20
申请人：	北京长城钛金公司;
发明人：	王殿儒; 张金平; 程云立; 王百湘
地址：	100080北京市海淀区海淀路74乙
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内容摘要

本发明的内容为用阴极电弧离子镀膜技术,对泡沫型料进行导电化处理或进行镀膜,从而可最终制成带状泡沫金属,用于储能等器件。

权利要求书

1：泡沫型料导电化或镀膜的方法是，把待处理的泡沫型料置于真空容器中，把金属或合金或混合物材料作为低气压或真空中的电弧阴极，通过电弧放电把阴极蒸发或电离，使之镀在泡沫塑料上。
2：根据权利权利要求1，泡沫塑料导电化或镀膜方法的特点是，泡沫塑料离开阴极表面要在300mm～1000mm之间。
3：根据权利权利要求1，泡沫塑料导电化或镀膜方法的特点是，在导电化处理时，泡沫塑料要与地绝缘。
4：根据权利权利要求1，泡沫塑料导电化或镀膜方法的特点是，在镀膜时，已导电化处理过的泡沫塑料可以与地绝缘，也可以接以0～600伏的负电压。
5：根据权利权利要求1，泡沫塑料导电化或镀膜方法的特点是，真空室的真空度在100Pa～10 -2 Pa之间。
6：根据权利权利要求1，泡沫塑料导电化或镀膜方法的特点是，电弧阴极表面可以是圆形、环形、矩形和筒形。
7：根据权利权利要求1，泡沫塑料导电化或镀膜方法的特点是，所指的阴极电弧法也包括电弧粘结的溅射法(简称ABS法)和溅射电弧分层交替的方法。

说明书

阴极电弧离子镀的新应用
    本发明是使用阴极电弧离子镀的方法对泡沫状塑料进行导电化处理或镀膜。属于物理气相沉积法(PVD)的一种。是泡沫带状金属生产工艺的一部分。

    已知的方法是在含有磷的有害的水溶液中使用贵重金属钯作催化剂，对泡沫塑料进行导电化处理，如化学镀镍处理。这种方法引起的环境污染很严重，要求昂贵的水净化设备，且最终产品中含有有害物质磷，对人的生态环境造成持久性的污染。并且这种方法只能适用于镀镍。不利于发展新型的高性能的泡沫带状金属。

    本发明的任务是创造出对泡沫塑料进行阴极电弧离子镀处理的方法。按这种方法，工艺过程在真空中进行，不使用对环境污染的物质，使最终产品不给人的生态环境造成污染，同时可以使用许多金属、合金及金属混合物，有利于发展高性能的泡沫带状金属及提高其最终产品储能器件的性能。

    所提出的任务是靠下述方法来解决的。将泡沫塑料置于真空室中，对真空室进行排气，在真空室内真空度达到100～10-2Pa，可通入或不通入适量的气体如氩气，把真空稳定在一个数值，点燃电弧，使来自电弧阴极的金属蒸汽和离子，在磁场加速或控制下到达泡沫塑料表面并飞到其深部，使之呈导电态，或使之被镀膜。

    作为本发明的事例，可对泡沫塑料用阴极电弧离子镀法镀镍，对其进行导电化处理，在直径为Φ1800mm，长度为3500mm的真空室中，通过绝缘把厚度为2mm的聚氨脂泡沫塑料悬挂在真空室中，开启排气系统，将真空抽至10-2Pa，通入300SCCM地氩气，使真空维持在3×10-1Pa，点燃表面为Φ100mm的镍制阴极电弧，电弧连续燃烧10分钟，关闭电弧，给真空室充气到大气压，开启真空室，取出被处理的泡沫塑料。测试结果，面密度δ＝4(1±10％)g/m2；方阻为3(1±15％)Ω；其放大100倍的表面形貌如图1所示；放大40倍的截面形貌如图2所示。图2证明，金属镍较好地渗入到泡沫塑料的深部。