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1、10申请公布号CN104122755A43申请公布日20141029CN104122755A21申请号201410168433822申请日20140424201309122720130424JPG03F7/1120060171申请人日立化成株式会社地址日本东京72发明人笹原直树向郁夫佐藤真弓濑里泰洋安部攻治桐生真奈美74专利代理机构永新专利商标代理有限公司72002代理人白丽陈建全54发明名称感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件57摘要本发明提供感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件。所述感光性元件1具备支撑膜10、保护膜聚丙烯膜30和配置于支撑膜10与保。
2、护膜30之间的感光层20，保护膜30具有感光层20侧的主面30A和主面30A的相反侧的主面30B，主面30A及主面30B是平滑的。30优先权数据51INTCL权利要求书1页说明书17页附图15页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明书17页附图15页10申请公布号CN104122755ACN104122755A1/1页21一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面是平滑的。2一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙。
3、烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度RA为005M以下。3一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的最大高度RMAX为05M以下。4根据权利要求13中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度小于20M。5根据权利要求14中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度为10M以下。6根据权利要求15中任一项所述的感光性元件，其在400700NM波长区域内的平均透光率为80以上。。
4、7根据权利要求16中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物及光聚合引发剂。8根据权利要求17中任一项所述的感光性元件，其被用于在透明基材上形成固化物。9一种感光性元件卷，其具备卷芯和卷绕在该卷芯上的感光性元件，所述感光性元件是权利要求18中任一项所述的感光性元件。10一种抗蚀图案的制造方法，其具备下述工序将权利要求18中任一项所述的感光性元件的所述聚丙烯膜剥离后、将所述感光层及所述支撑膜层叠在基材上的工序；对所述感光层的规定部分照射活性光线以形成光固化部的工序；以及将所述感光层中的所述光固化部以外的部分除去的工序。11一种电子部件，其具备通过权利要求10所述的。
5、抗蚀图案的制造方法获得的抗蚀图案。12一种电子部件，其具备权利要求18中任一项所述的感光性元件的所述感光层的固化物。权利要求书CN104122755A1/17页3感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件技术领域0001本发明涉及感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件。背景技术0002感光性元件主要是为了在印制电路布线板上形成电路而使用。另外，感光性元件还在用于保护印制电路布线板上的电路的绝缘膜的形成中、用于恒定地保持液晶显示装置中的液晶层间隙的间隔物的形成等中使用。0003感光性元件通常具有支撑膜、感光层、保护膜的3层结构。感光性元件例如下使用。首先，将感光性。
6、元件的保护膜剥离后，将含有感光性树脂组合物的感光层层叠层压在基板上层叠工序。接着，由支撑膜侧对感光层的规定部分照射活性光线以形成光固化部曝光工序。之后，将支撑膜剥离除去后，将未曝光部从基板上除去显影，从而在基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案显影工序。0004所得的抗蚀图案能够用于绝缘膜或间隔物等，而且还可作为用于通过对抗蚀图案进行镀覆处理或刻蚀处理而形成电路的掩模来使用。0005然而，本技术领域中已知保护膜中的与感光层的接触面的形状有时会被转印至感光层。例如下述专利文献1中示出了通过将保护膜中的与感光层的接触面的表面粗糙度RA调整至015M以下并将保护膜中所含的直径为80M以上。
7、的鱼眼的个数控制在5个/M2以下，从而会减少层叠感光层时产生的气泡。0006另外，下述专利文献2中示出了通过将保护膜的表面粗糙度RA调整至05M以上，利用层叠时的加压使其形状消失，从而提高对凹凸基板的随动性。0007进而，下述专利文献3中示出了对于转印表面粗糙度为0012M的微细凹凸的感光性元件，通过将保护膜中的与感光层的接触面的RA调整至00505M，可以在光纳米压印中使用的具有微细凹凸的基材上层叠不会产生气泡的感光层。0008现有技术文献0009专利文献0010专利文献1日本特开2000330291号公报0011专利文献2日本特开2000147755号公报0012专利文献3日本特开2009。
8、128759号公报发明内容0013发明要解决的课题0014近年来，随着电子部件的高密度化及高功能化，需要具有薄层的感光层的感光性元件。在将这种具有薄层的感光层的感光性元件的该感光层层压在基板上时，如果使用以往的感光性元件，则有时会产生层压气泡。因此，需要能够充分地抑制层压气泡的产生的感光性元件以及使用了该感光性元件的抗蚀图案的制造方法。说明书CN104122755A2/17页40015本发明意在解决上述课题，其目的在于提供即便感光性元件具有薄层的感光层时、在层压时也可抑制气泡产生的感光性元件。另外，本发明的目的还在于提供具备所述感光性元件的感光性元件卷、使用了所述感光性元件的抗蚀图案的制造方法。
9、、以及使用所述感光性元件获得的电子部件。0016用于解决课题的手段0017本发明的第1实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面是平滑的。0018需要说明的是，本说明书中聚丙烯膜的“第1面及第2面是平滑的”如下定义在将卷绕在卷芯上的感光性元件的聚丙烯膜剥离后，如图1所示，将支撑膜和感光层的层叠物评价膜F1按照感光层与作为被接触体的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜PET膜支撑膜及感光层的宽度为PET膜的宽度的99相接触的方式在作为上述PET膜的F2上转印层压温度为90。
10、、层压速度为20M/分钟500MM，之后利用显微镜物镜20倍对感光层中的未与PET膜被接触体F2相接触的一面感光层中与支撑膜相接触的一面上的3个规定的测定区域图1所示的1CM1CM的区域A1、A2及A3。区域A1感光层整体的长度方向及宽度方向的中央部；区域A2将感光层在长度方向及宽度方向上分别分割成2部分所隔成的4个区域中的1个区域的中央部。区域A3与区域A2呈对角位置的区域的中央部进行观察时，直径为10M以上的平均气泡数为2个以下。0019本发明的第2实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面。
11、的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度RA为005M以下。0020本发明的第3实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的最大高度RMAX为05M以下。0021本发明人们对将感光性元件层压至基材基板等时产生的气泡进行了详细研究。首先发现了，在使用具有两面带有凹凸的保护膜的感光性元件、在剥离保护膜之后层压感光性元件时，与感光层的组成无关，均产生了纤维状的气泡参照图2。本发明人们对所述纤维状气泡的产生原因进行了各种研究，结果发现气泡产生的主要。
12、原因是源于存在于两面带有凹凸的保护膜表面上的突起形状。0022接着，利用所述专利文献13的见解，使用将单面平滑的保护膜按照该保护膜的平滑面与感光层相接触的方式层叠而成的感光性元件进行了研究。但是，本发明人们发现，即便在使用这种手法时，在层压工序中也会产生圆状的气泡参照图3。0023本发明人们对包括上述结果进行研究的结果发现，在使用层叠有感光层和保护膜的感光性元件时，保护膜中未与感光层相接触的面的形状会有助于在感光层上形成凹凸。当如此在感光层上形成凹凸时，成为产生层压气泡的主要原因。0024另外，在用于获得上述见解而使用的上述专利文献1的保护膜中，直径为80M以上的鱼眼的数量是每1M2为5个以下。
13、。但是，即便在使用这种保护膜时，也确认了会产生层压气泡。另一方面确认了，即便在使用直径为80M以上的鱼眼为每1M2存在1000个以上的保护膜时，有时也不会产生层压气泡。即，本发明人们发现了，与鱼眼的存在无关，是由于说明书CN104122755A3/17页5保护膜的两面的形状而导致层压气泡产生。0025保护膜中未与感光层相接触的面的形状会有助于在感光层上形成凹凸的理由并不清楚，但本发明人们推测如下。0026即，感光性元件通常卷绕在圆筒状等的卷芯上，以卷状的形态进行储藏。图4所示的感光性元件100具备支撑膜110、层叠于支撑膜110上的感光层120、以及层叠于感光层120上的保护膜130。保护膜1。
14、30具有感光层120侧的主面130A和主面130A的相反侧的主面130B。在感光性元件100的储藏时，按照支撑膜110被配置于最外侧图4的下侧的方式来卷绕。0027推测在将感光性元件100卷绕在卷芯上时，存在于保护膜130中未与感光层120相接触的主面130B上的凹凸A被支撑膜110挤压，凹凸A的一部分或全部被转印至感光层120，从而在感光层120上形成凹凸B。0028与此相对，根据本发明的感光性元件，即便在感光性元件具有薄层的感光层时，也可抑制在进行层压时产生气泡。0029获得这种效果的主要原因推测如下所述。但是主要原因并非限定于下述内容。即，本发明的感光性元件中，除了感光层侧的第1面是平滑。
15、的之外，第2面也是平滑的。因此，将感光性元件卷绕在卷芯上时，由于抑制了第2面的形状被转印至感光层，因此可以抑制在层压时成为气泡主要原因的凹凸形成于感光层上。由此推测，可以抑制在进行层压时产生气泡。0030然而，如果在将具有薄层的感光层的感光性元件的该感光层层压于基材时产生层压气泡，则存在损害搭载使用这种感光性元件所获得的固化物特别是绝缘膜、间隔物、触摸面板的保护构件等永久抗蚀剂等的电子部件的可靠性的课题。另一方面，根据本发明的感光性元件，即便在感光性元件具有薄层的感光层时，由于可以抑制进行层压产生气泡，因此也可以使搭载使用本发明的感光性元件所获得的固化物抗蚀图案等的电子部件的可靠性提高。003。
16、1本发明的感光性元件中，感光层的厚度优选小于20M。具有这种薄层的感光层的感光性元件有时会显示与具有厚度为20M以上的感光层的感光性元件不同的行为，但根据本发明的感光性元件，即便是如此感光层是薄层的情况，也可抑制在进行层压时产生气泡。0032本发明人们发现了，保护膜中未与感光层相接触的面的形状会有助于在感光层上形成凹凸的现象在感光层的厚度为10M以下时特别显著地发生。推测是由于感光层变薄、感光层的体积减小，从而导致发生上述现象。与此相对，在本发明的感光性元件中，感光层的厚度也可以为10M以下。在本发明的感光性元件中，即便在使用具有10M以下的感光层的感光性元件时，也可抑制在进行层压时产生气泡。。
17、0033本发明的感光性元件在400700NM波长区域内的平均透光率可以为80以上。此时，可以将感光性元件优选地用于要求透明性的触摸面板用途等中。0034感光层还可含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物及光聚合引发剂。0035本发明的感光性元件还可被用于在透明基材上形成固化物。0036本发明的第4实施方式提供一种感光性元件卷，其具备卷芯和卷绕在该卷芯上的感光性元件，所述感光性元件是本发明的感光性元件。说明书CN104122755A4/17页60037本发明的第5实施方式提供一种抗蚀图案的制造方法，其具备下述工序将本发明的感光性元件的所述聚丙烯膜剥离后、将所述感光层及所述支撑膜层叠在基材上的工序；对所述。
18、感光层的规定部分照射活性光线以形成光固化部的工序；以及将所述感光层中的所述光固化部以外的部分除去的工序。0038本发明的第6实施方式提供一种电子部件，其具备通过本发明的抗蚀图案的制造方法获得的抗蚀图案。另外，本发明的第7实施方式提供一种电子部件，其具备本发明的感光性元件的所述感光层的固化物。0039发明效果0040根据本发明，即便在感光性元件具有薄层的感光层时，也可抑制在进行层压时产生气泡。由此，可以使搭载使用本发明的感光性元件所获得的固化物抗蚀图案等的电子部件的可靠性提高。例如，通过使用所述感光性元件以获得固化物特别是绝缘膜、间隔物、触摸面板的保护构件等永久抗蚀剂等，可以在不损害电子部件的可。
19、靠性的情况下制造搭载这种固化物的电子部件。0041根据本发明，可以提供感光性元件的用于形成固化物特别是绝缘膜、间隔物、触摸面板的保护构件等永久抗蚀剂等的应用。根据本发明，可以提供感光性元件的用于制造电子部件的应用。例如，根据本发明，可以提供感光性元件的用于形成具有固化物保护构件等的电子部件的该固化物的应用。根据本发明，可以提供感光性元件的用于在基材例如透明基材上形成固化物例如树脂固化物图案等抗蚀图案的应用。根据本发明，可以提供感光性元件的用于制造触摸面板的应用。例如，根据本发明，可以提供感光性元件的用于在触摸面板用基材上形成保护膜例如树脂固化物图案等抗蚀图案的应用。附图说明0042图1为用于说。
20、明平滑性的评价方法的示意图。0043图2为表示纤维状气泡的SEM照片。0044图3为表示圆状气泡的SEM照片。0045图4为用于说明气泡产生的推测机理的示意截面图。0046图5为表示本发明的实施方式的感光性元件的示意截面图。0047图6为用于说明本发明的一个实施方式的电子部件的制造方法的示意截面图。0048图7为用于说明本发明的一个实施方式的电子部件的制造方法的示意截面图。0049图8为表示本发明的一个实施方式的电子部件的示意俯视图。0050图9为表示本发明的一个实施方式的电子部件的部分截面图。0051图10为表示本发明的一个实施方式的电子部件的示意俯视图。0052图11为表示本发明的一个实施。
21、方式的电子部件的示意俯视图。0053图12为图11的部分切开立体图。0054图13为沿着图12的XIIIXIII线的部分截面图。0055图14为用于说明本发明的一个实施方式的电子部件的制造方法的部分切开立体图。0056图15为用于说明本发明的一个实施方式的电子部件的制造方法的部分截面图。0057图16为表示本发明的一个实施方式的电子部件的部分俯视图。说明书CN104122755A5/17页70058图17为表示层压气泡的评价结果的显微镜照片。0059符号说明00601、1A、1B、100感光性元件；10、110支撑膜；20、120感光层；22、422、423保护膜；30、130保护膜；30A、。
22、130A主面第1面；30B、130B主面第2面；40导电层；200触摸面板用基材；210、220触摸面板用电极；230光掩模；300带有固化膜的触摸面板用基材；400、500、600触摸面板；401、501、601透明基板；402触摸画面；403、404、503、504、604透明电极；405、505A、505B、605引出布线；406连接电极；407连接端子；504A导电材料部；504B桥接部；524、625绝缘膜；604A透明电极布线；608开口部；A、B凹凸；A1、A2、A3测定区域；C区域；F1感光层；F2PET膜；L活性光线。具体实施方式0061以下对本发明的实施方式详细地进行说明。。
23、但本发明并非限定于以下的实施方式，可以在其主旨范围内进行各种变形来实施。0062本说明书中，“甲基丙烯酸”是指丙烯酸或甲基丙烯酸，“甲基丙烯酸酯”是指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯、“甲基丙烯酸树脂”是指丙烯酸树脂或甲基丙烯酸树脂。0063感光性元件0064本实施方式的感光性元件具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于支撑膜与聚丙烯膜之间的感光层，聚丙烯膜具有感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，满足下述IIII中的至少一个。0065I所述第1面及所述第2面是平滑的。0066II所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度RA为005M以下。0067III所述第1面及所述第2面的最大高度RMAX为05M以下。00。
24、68以下进一步对本实施方式的感光性元件进行说明。图5是表示本实施方式的感光性元件的示意截面图。图5A所示的感光性元件1是层叠A支撑膜10、B感光层感光性树脂组合物层20及C保护膜30而成的感光性元件。感光层20配置于支撑膜10与保护膜30之间。感光性元件1在层叠方向上按顺序具备支撑膜10、感光层20和保护膜30。0069作为支撑膜10，可以使用聚合物膜，优选具有耐热性及耐溶剂性的聚合物膜。作为这种聚合物膜，例如可举出聚对苯二甲酸乙二醇酯膜等聚酯膜；聚乙烯膜、聚丙烯膜等聚烯烃膜；聚碳酸酯膜。其中，从透明性及耐热性优异的观点出发，优选聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。0070作为支撑膜10，例如可举出帝人D。
25、UPONTFILMS株式会社制的TETORON商标名膜G2系列、HS系列、03系列、MYLAR膜D系列；TORAY株式会社制的LUMIRRORFB50系列；东洋纺织株式会社制的COSMOSHINE系列。0071支撑膜10的厚度从通过抑制机械强度降低来抑制涂布时支撑膜破裂等问题的发生的观点出发，优选为1M以上，更优选为12M以上。支撑膜10的厚度从在抑制析像度降低的同时还抑制价格提高的观点出发，优选为100M以下，更优选为25M以下。0072感光层20含有感光性树脂组合物。作为感光性树脂组合物，只要是具有感光性则无特别限定，例如可举出含有A粘合剂聚合物、B光聚合性化合物及C光聚合引发剂说明书CN。
26、104122755A6/17页8的组合物。0073作为A成分，例如可举出甲基丙烯酸树脂、苯乙烯树脂、环氧树脂、酰胺树脂、酰胺环氧树脂、醇酸树脂及酚醛树脂。A成分可单独使用1种或者组合使用2种以上。其中，作为A成分，从碱显影性优异的观点出发，优选甲基丙烯酸树脂。A成分例如具有来自光聚合性单体的结构单元，可通过使光聚合性单体发生聚合例如自由基聚合来制造。0074作为光聚合性单体，例如可举出苯乙烯、乙烯基甲苯等在位或芳香族环上经取代的能够聚合的苯乙烯衍生物；甲基丙烯酸；甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸戊酯、甲基丙烯酸己酯、甲基丙烯酸庚酯、甲基丙烯酸辛酯、甲基。
27、丙烯酸2乙基己酯等甲基丙烯酸烷基酯；甲基丙烯酸二环戊基酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸四氢糠酯、甲基丙烯酸二甲基氨基乙酯、甲基丙烯酸二乙基氨基乙酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯等甲基丙烯酸衍生物；马来酸。作为光聚合性单体，可以单独使用1种或者组合使用2种以上。0075A成分从可挠性优异的观点出发，作为所述光聚合性单体，优选含有选自甲基丙烯酸、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸苄酯及甲基丙烯酸缩水甘油酯中的至少1种。0076作为用于使光聚合性单体发生聚合的聚合引发剂，例如可举出自由基聚合引发剂。作为自由基聚合引发剂，可适当使用在可逆加成裂解链转移聚合RAFT聚合中使用的聚合引发剂。。
28、0077作为自由基聚合引发剂，例如可举出过氧化苯甲酰、过氧化乙酰、过氧化月桂酰、过氧化二叔丁基、氢过氧化异丙苯、叔丁基过氧化氢、过氧化二异丙苯基等过氧化引发剂；AIBN2,2偶氮双异丁腈、V65偶氮双二甲基戊腈等偶氮引发剂。其中，从可以使用低沸点的溶剂及难以引起副反应等观点出发，优选偶氮引发剂，更优选AIBN。0078A成分的重均分子量从析像度优异的观点出发，优选为10000以上，更优选为15000以上，进一步优选为20000以上，特别优选为30000以上。A成分的重均分子量从析像度优异的观点出发，优选为200000以下，更优选为150000以下，进一步优选为100000以下。A成分的重均分子。
29、量可以使用标准聚苯乙烯的标准曲线、利用凝胶渗透色谱法GPC在下述条件下进行测定。0079GPC条件0080泵日立L6000型株式会社日立制作所制、产品名0081色谱柱GELPACKGLR420、GELPACKGLR430、GELPACKGLR440以上为日立化成株式会社制、产品名0082洗脱液四氢呋喃0083测定温度400084流量205ML/分钟0085检测器日立L3300型RI株式会社日立制作所制、产品名0086作为B成分的光聚合性化合物，可以使用具有烯键式不饱和基团的光聚合性化合物。作为具有烯键式不饱和基团的光聚合性化合物，例如可举出单官能乙烯基单体、二官说明书CN104122755A7。
30、/17页9能乙烯基单体及具有至少3个能够聚合的烯键式不饱和基团的多官能乙烯基单体。B成分可单独使用1种或组合使用2种以上。0087作为单官能乙烯基单体，例如可举出上述的光聚合性单体。其中，优选甲基丙烯酸、甲基丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯。0088作为二官能乙烯基单体，例如可举出聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二甲基丙烯酸酯、聚丙二醇二甲基丙烯酸酯、2,2双4甲基丙烯酰氧基聚乙氧基苯基丙烷、2,2双4甲基丙烯酰氧基聚丙氧基苯基丙烷、2,2双4甲基丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基苯基丙烷及双酚A二缩水甘油基醚二甲基丙烯酸酯。0089作为具有至少3个能够聚合的烯键式不饱和基团的多。
31、官能乙烯基单体，例如可举出三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、四羟甲基甲烷三甲基丙烯酸酯、四羟甲基甲烷四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯及三羟甲基丙烷三缩水甘油基醚三甲基丙烯酸酯。0090B成分从在基材例如透明基材上形成固化物时与基材的密合性优异的观点出发，优选含有具有至少3个能够聚合的烯键式不饱和基团的多官能乙烯基单体。0091作为C成分的光聚合引发剂，例如可举出二苯甲酮、N,N,N,N四甲基4,4二氨基二苯甲酮别名米氏酮、4甲氧基4二甲基氨基二苯甲酮、2苄基2二甲基氨基14吗啉代苯基1丁酮、2甲基14甲基硫代苯基2吗啉基1丙酮等芳香族酮；苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、。
32、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚化合物；苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；14苯基硫代苯基1,2辛二酮2O苯甲酰基肟例如BASF株式会社制的产品名“OXE01”、19乙基62甲基苯甲酰基9H咔唑3基乙酮O乙酰基肟例如BASF株式会社制的产品名“OXE02”等肟酯化合物；2,4,6三甲基苯甲酰基二苯基膦氧化物等膦氧化物化合物；苄基二甲基缩酮等苄基衍生物；9苯基吖啶、1,7双9,9吖啶基庚烷等吖啶衍生物；N苯基甘氨酸、N苯基甘氨酸衍生物、香豆素系化合物、噁唑系化合物。0092其中，从所形成的固化物保护膜等的透明性优异的观点以及图案形成能力例如厚度为10M以下时的图案形成能力优异的观点出发，优选肟。
33、酯化合物及膦氧化物化合物。C成分可单独使用1种或组合使用2种以上。0093感光层20中A成分的配合量从涂膜性优异、抑制边缘融合树脂从感光性元件端部渗出的现象的观点出发，相对于A成分及B成分的总量100质量份优选为40质量份以上，更优选为50质量份以上。A成分的配合量从在抑制感度降低的同时还抑制机械强度减弱的观点出发，相对于A成分及B成分的总量100质量份优选为80质量份以下，更优选为70质量份以下。0094感光层20中B成分的配合量从提高固化物例如固化膜的机械强度的观点出发，相对于A成分及B成分的总量100质量份优选为20质量份以上，更优选为30质量份以上。B成分的配合量从涂膜性优异、抑制边缘。
34、融合树脂从感光性元件端部渗出的现象的观点出发，相对于A成分及B成分的总量100质量份优选为60质量份以下，更优选为50质量份以下。0095感光层20中C成分的配合量从获得充分感度的观点出发，相对于A成分及说明书CN104122755A8/17页10B成分的总量100质量份优选为01质量份以上，更优选为02质量份以上。C成分的配合量从抑制曝光时在组合物表面上的吸收增大、内部的光固化变得不充分的观点出发，相对于A成分及B成分的总量100质量份优选为20质量份以下，更优选为10质量份以下。0096感光层20还可根据需要含有孔雀绿等染料；三溴甲基苯基砜、隐色结晶紫等光发色剂；对甲苯磺酰胺等增塑剂；阻聚。
35、剂、热发色防止剂、颜料、填充剂、消泡剂、阻燃剂、稳定剂、密合性赋予剂、流平剂、剥离促进剂、抗氧化剂、香料、成像剂、热交联剂作为任意成分。该任意成分的各自的含量相对于A成分及B成分的总量100质量份例如为00120质量份。所述任意成分可单独使用1种或者组合使用2种以上。0097感光层20可如下形成将构成成分溶解在甲醇、乙醇、丙酮、甲乙酮、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、甲苯、N,N二甲基甲酰胺、丙二醇单甲酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、二甲基乙酰胺等溶剂或它们的混合溶剂中，获得固体成分为3060质量左右的溶液，将所得溶液涂布在支撑膜10上之后进行干燥，从而形成。接着，通过在感光层20上层叠保护膜30，获得感光。
36、性元件1。0098感光层20的厚度干燥后的厚度优选小于20M。另外，感光层20的厚度从易于获得抑制气泡产生的效果的观点出发，优选为下述厚度。即，感光层20的厚度从抑制随动性降低、抑制缺陷产生的观点出发，优选为1M以上，更优选为2M以上。感光层20的厚度从易于将电子部件薄型化例如在作为触摸面板等强烈要求薄型化的电子部件的构成构件进行使用时，易于将电子部件薄型化的观点出发，更优选为15M以下，进一步优选为10M以下，特别优选为9M以下，极其优选为8M以下，非常优选为7M以下。另外，感光层20的厚度还可以是20M以上。0099感光层20在30下的粘度从抑制在将感光性元件卷绕在卷芯上时发生边缘融合的观。
37、点出发，优选为15MPAS以上，更优选为25MPAS以上。感光层20在30下的粘度从抑制树脂流动降低、易于抑制气泡产生的观点出发，优选为50MPAS以下，更优选为40MPAS以下。0100保护膜30是聚丙烯膜。保护膜30具有感光层20侧的主面第1面30A和主面30A的相反侧的主面第2面30B，主面30A及主面30B是平滑的两面平滑。0101主面30A及主面30B的两面平滑可以通过在将感光性元件1卷绕在卷芯上之后层压感光层20来进行确认。当主面30A及主面30B具有凹凸而不平滑时，凹凸会被转印至感光层20上而形成气泡，但当主面30A及主面30B的两面是平滑时，由于没有凹凸会被转印至感光层20上，。
38、因此可以抑制气泡形成。0102主面30A及主面30B的两面是平滑的可以按照以下顺序进行确认。首先，将感光性元件1卷绕在卷芯例如外径为84MM、内径为76MM上。感光性元件1例如按照支撑膜10被配置在最外侧的方式、以90N/M的张力被卷绕在卷芯上。接着，将经卷绕的感光性元件1的保护膜30剥离后，如图1所示，将支撑膜10及感光层20的层叠物图1的符号F1按照感光层20与PET膜相接触的方式在PET膜图1的符号F2、支撑膜10及感光层20的宽度是PET膜的宽度的99上转印在层压温度为90、层压速度为20M/分钟、辊线压为063MPA、PET膜的宽度方向的两端以大致等间隔从感光层20露出的条件下进行转。
39、印500MM。例如，感光层20的宽度为495MM、PET膜的厚度为125M、PET膜的宽度为说明书CN104122755A109/17页11500MM。作为PET膜，例如可以使用东洋纺织株式会社制的产品名“A4300”。然后，利用显微镜物镜20倍对感光层20中未与PET膜相接触的主面感光层20中与支撑膜10相接触的面上的3个规定的测定区域图1所示的1CM1CM的区域A1、A2及A3。区域A1感光层20整体的长度方向及宽度方向的中央部；区域A2将感光层20在长度方向及宽度方向上分别分割成2部分而隔成的4个区域中的1个区域的中央部。区域A3与区域A2呈对角位置的区域的中央部进行观察。在这种观察中确。
40、认到的直径为10M以上的气泡数平均为2个以下时，可以确认主面30A及主面30B的两面是平滑的。显微镜观察中例如可以使用形状测定激光显微镜。0103主面30A及主面30B的算术平均粗糙度RA从进一步抑制在进行层压时产生气泡的观点出发，优选为005M以下，更优选为004M以下，进一步优选为003M以下，特别优选为002M以下。算术平均粗糙度RA还可以是0M。0104主面30A及主面30B的最大高度RMAX从进一步抑制在进行层压时产生气泡的观点出发，优选为05M以下，更优选为04M以下，进一步优选为035M以下。最大高度RMAX还可以是0M。0105保护膜30的两面的算术平均粗糙度RA及最大高度RM。
41、AX例如可按照下述顺序进行测定。0106A由保护膜切出5CM10CM的测定样品。0107B在平坦的玻璃基板10CM10CM上用吸管SPUIT滴下1滴水后，按照没有气泡进入的方式利用清洁辊将测定样品压接在玻璃基板上。0108C利用砝码将测定样品的长度方向的两端固定，任意选择10处测定样品中的测定区域2841M2131M的区域。0109D使用形状测定激光显微镜VKX200、KEYENCE株式会社制，以物镜50倍观察测定区域，同时测定算术平均粗糙度RA及最大高度RMAX，之后算出共计10处的平均值。0110E反复进行上述工序AD，共计获取3次测定值，将重复3次的平均值作为算术平均粗糙度RA及最大高度。
42、RMAX来采用。0111对于保护膜30的厚度，为了获得保护膜30的充分强度，从抑制在将保护膜30粘贴在感光层20上时产生断裂的观点出发，优选为1M以上，更优选为5M以上，进一步优选为15M以上。保护膜30的厚度从在抑制价格增高的同时还抑制层压保护膜30时产生皱褶的观点出发，优选为100M以下，更优选为50M以下，进一步优选为35M以下，特别优选为30M以下。0112作为保护膜30，例如可举出E201F王子FTEX株式会社制、两面平滑聚丙烯膜。0113感光层20与支撑膜10的粘接强度优选大于感光层20与保护膜30的粘接强度。感光层20与支撑膜10的粘接强度为感光层20与保护膜30的粘接强度以上时。
43、，具有在层压时除去保护膜30时、感光层20转印至保护膜30侧的倾向。0114感光性元件1例如可如下获得将上述感光性树脂组合物涂布在支撑膜10上并进行干燥而形成感光层20后，将保护膜30层叠在感光层20上，从而获得。0115感光性元件1在400700NM波长区域内的平均透光率从可以将感光性元件优选说明书CN104122755A1110/17页12用于要求透明性的触摸面板用途等中的观点出发，优选为80以上，更优选为85以上。透光率可以利用UV分光计例如株式会社日立制作所制、228A型W光束分光光度计及紫外可见光分光光度计U3310、浊度计例如日本电色工业株式会社制、产品名“NDH5000”等进行测。
44、定。0116感光性元件1的厚度从进一步抑制层压气泡产生的观点出发，优选为20M以上，更优选为30M以上。感光性元件1的厚度的上限例如为100M。0117感光性元件1中，感光层20还可以与支撑膜10和/或保护膜30相接触。另一方面，在本实施方式的感光性元件中，在支撑膜10与保护膜30之间，除了感光层20之外，还可层叠其它的层中间层，感光层20也可不与支撑膜10或保护膜30相接触。例如。图5B所示的感光性元件感光性导电膜1A除了支撑膜10、感光层20及保护膜30之外，还进一步具备配置于支撑膜10与感光层20之间的D导电层40。另外，感光性元件1A中，还可在导电层40中含浸感光层20的感光性树脂组合。
45、物中的成分。0118本实施方式的感光性元件可以用于形成固化物特别是绝缘膜、间隔物、触摸面板的保护构件等永久抗蚀剂等。例如由感光性树脂组合物的固化膜图案构成的固化膜。本实施方式的感光性元件可以用于制造电子部件。例如，本实施方式的感光性元件可以用于形成具有固化物保护构件等的电子部件的该固化物。本实施方式的感光性元件可以用于在基材例如透明基材上形成固化物例如树脂固化物图案等抗蚀图案。本实施方式的感光性元件可以用于制造触摸面板。例如，本实施方式的感光性元件可以用于在触摸面板用基材上形成保护膜例如树脂固化物图案等抗蚀图案。0119感光性元件卷0120感光性元件1可以以任意形态进行储存，通常可以以在圆筒状。
46、等的卷芯上卷绕成卷状的形态来进行储存。本实施方式的感光性元件卷具备卷芯和卷绕在该卷芯上的感光性元件，所述感光性元件是本实施方式的感光性元件。作为卷芯的材质，只要是以往使用的材质则无特别限定，例如可举出聚乙烯树脂、聚丙烯树脂、聚苯乙烯树脂、聚氯乙烯树脂、ABS树脂丙烯腈丁二烯苯乙烯共聚物等塑料。在储存时，优选按照支撑膜处于最外侧的方式来进行卷绕。在感光性元件卷绕成卷状的感光性元件卷的端面上，从保护端面的观点出发，优选设置端面隔板。此外，在感光性元件卷的端面上，从耐边缘融合的观点出发，优选设置防湿端面隔板。在捆扎感光性元件卷时，优选包裹在透湿性小的黑铁皮中进行包装。0121抗蚀图案的制造方法012。
47、2本实施方式的抗蚀图案的制造方法形成方法按顺序具备层叠工序、曝光工序和显影工序。以下示出使用了感光性元件1的方法作为一例。0123在层叠工序中，将感光性元件1的保护膜30剥离后，将感光层20及支撑膜10层叠在基材基板等上。感光层20及支撑膜10按照以感光层20、支撑膜10的顺序配置于基材上的方式层叠在基材上。0124作为要层叠感光性元件1的基材表面凹凸表面的材质并无特别限定，例如可举出玻璃、硅及金属。0125层叠工序中的感光层20的加热温度优选为50130，更优选为90130。压接压力辊线压优选为0110MPA110KGF/CM2。但加热温度及压接压力并非限定于上述条件。在如上所述将感光层20。
48、加热至50130时，并非一定要预先对具有微细说明书CN104122755A1211/17页13凹凸结构的基材进行预热处理，但为了进一步提高层叠性，也可以进行基材的预热处理。0126在曝光工序中，对感光层20的规定部分照射活性光线，在感光层20上形成光固化部。存在于感光层20上的支撑膜10为透明的时，也可透过支撑膜10将活性光线照射到感光层20上。支撑膜10是不透明的时，将支撑膜10除去。从保护感光层20的观点出发，优选支撑膜10是透明的。0127作为活性光线的光源，使用公知的光源例如碳弧灯、汞蒸气弧灯、超高压汞灯、高压汞灯、氙灯等有效放射紫外线的光源。除此以外还可使用照相用泛光灯、太阳能灯等有。
49、效放射可见光的光源。0128在显影工序中，将感光层20中的光固化部以外的部分除去，获得抗蚀图案。显影工序中，在曝光工序后根据需要除去支撑膜10。剥离工序通常用手进行，也可通过使用任意的工具、机械来高效地进行处理。0129还可通过根据需要进行80250左右的加热处理来对抗蚀图案进一步进行固化。加热处理可以在将支撑膜10从感光层20上剥离之前进行，也可在将支撑膜10从感光层20上剥离之后进行。0130电子部件及其制造方法0131本实施方式的电子部件具备本实施方式的感光性元件的感光层的固化物固化膜等。电子部件例如具备所述固化物作为保护构件保护膜等。本实施方式的电子部件例如具备通过上述抗蚀图案的制造方法获得的抗蚀图案。作为电子部件，例如可举出触摸面板、液晶显示器、有机电致发光、太阳能电池组件、印制电路布线板及电子纸。以下对使用感光性元件获得的电子部件及其制造方法抗蚀图案的使用例、保护膜的使用位置进一步进行说明。0132使用图6及图7，作为使用感光性元件获得的电子部件及其制造方法的第1实施方式，说明触摸面板及其制造方法的一例。图6及图7是用于说明带有固化膜保护膜的触摸面板触摸传感器用基。