一种逆流冷却干式罗茨真空泵.pdf

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摘要
申请专利号:

CN201410458462.8

申请日:

2014.09.10

公开号:

CN104265636A

公开日:

2015.01.07

当前法律状态:

驳回

有效性:

无权

法律详情:

发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):F04C 29/04申请公布日:20150107|||实质审查的生效IPC(主分类):F04C 29/04申请日:20140910|||公开

IPC分类号:

F04C29/04; F04C25/02; F04C18/14

主分类号:

F04C29/04

申请人:

山东省章丘鼓风机股份有限公司

发明人:

高爱珍; 刘士华; 胡延风; 杜纪明; 房德琛

地址:

250200 山东省济南市章丘市明水经济开发区世纪大道东首

优先权:

专利代理机构:

济南诚智商标专利事务所有限公司 37105

代理人:

王汝银

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内容摘要

一种逆流冷却干式罗茨真空泵,包括机壳,机壳的上部设置进气口,下部设置有排气口;机壳的内部设置有主动叶轮和从动叶轮,主动叶轮和从动叶轮设置在机壳内部的工作腔内,工作腔包括主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔;机壳的两端安装有左、右逆流冷却结构墙板;左、右逆流冷却结构墙板的内侧分别对应安装有逆流冷却结构侧板,左、右逆流冷却结构墙板以及安装在左、右逆流冷却结构墙板上的逆流冷却结构侧板与主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔之间分别对应设置有逆流口,主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔分别通过逆流口与左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内部相连通。本发明具有结构简单,使用方便,占地空间小,运行维护方便的特点。

权利要求书

1.  一种逆流冷却干式罗茨真空泵,包括机壳,所述机壳的上部设置进气口,下部设置有排气口;所述机壳的内部设置有主动叶轮和从动叶轮,所述主动叶轮和从动叶轮设置在机壳内部的工作腔内,所述的工作腔包括主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔;在所述机壳的两端部对应安装有左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板;
所述左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内侧分别对应安装有逆流冷却结构侧板,所述的左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板以及安装在左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板上的逆流冷却结构侧板与主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔之间分别对应设置有逆流口,所述的主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔分别通过逆流口与左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内部相连通;
所述左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的上部分别对应设置有逆流冷却气通入口,所述的逆流冷却气通入口分别与左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内部相连通;
所述的左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的外侧端部分别对应安装有支撑主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴的轴承座,所述轴承座的内部安装有滚动轴承,所述的主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴对应安装在轴承座内设置的滚动轴承上;
所述主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴同侧的一端上分别对应设置有主动齿轮和从动齿轮,所述的主动齿轮和从动齿轮相啮合形成同步齿轮副,所述的同步齿轮副设置在右逆流冷却结构墙板端部的主油箱内,所述主油箱通过连接螺栓固定在右逆流冷却结构墙板上;
所述的左逆流冷却结构墙板端部上设置有副油箱,所述副油箱通过螺栓固 定在左逆流冷却结构墙板上,所述主动叶轮中心轴的动力输入端穿过副油箱并伸出副油箱外。

2.
  如权利要求1所述的一种逆流冷却干式罗茨真空泵,其特征是,所述主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴与轴承座相结合的部位分别对应设置有密封件。

3.
  如权利要求1所述的一种逆流冷却干式罗茨真空泵,其特征是,所述从动齿轮与从动叶轮中心轴相结合的部位设置有齿轮毂,所述齿轮毂通过螺栓固定在从动齿轮上。

说明书

一种逆流冷却干式罗茨真空泵
技术领域
本发明涉及一种罗茨真空泵,特别涉及一种逆流冷却干式罗茨真空泵。
背景技术
目前通常使用的罗茨真空泵为提高罗茨真空泵的真空度,通常是采用在单级真空泵的进口侧增加封入水来提高罗茨真空泵的真空度或者是采用双级串联的方式来提高罗茨真空泵的真空度,采用双级串联方式提高罗茨真空泵的真空度,存在占用空间大,运行维护不便的问题。采用单级真空泵的进口侧增加封入水方式提高罗茨真空泵的真空度,会限制了罗茨真空泵在某些真空场合的应用,使得罗茨真空泵的使用具有一定的局限性。因此,为解决上述问题,有必要提供一种具有良好结构的逆流冷却干式罗茨真空泵,以满足用户的使用要求。
发明内容
本发明提供了一种逆流冷却干式罗茨真空泵,本发明克服了目前现有罗茨真空泵在结构上存在的不足,具有结构简单,使用方便,占地空间小,运行维护方便的特点。
为了解决上述问题,本发明所采用的技术方案是:一种逆流冷却干式罗茨真空泵,包括机壳,所述机壳的上部设置进气口,下部设置有排气口;所述机壳的内部设置有主动叶轮和从动叶轮,所述主动叶轮和从动叶轮设置在机壳内部的工作腔内,所述的工作腔包括主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔;在所述机壳的两端部对应安装有左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板;
所述左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内侧分别对应安装有 逆流冷却结构侧板,所述的左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板以及安装在左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板上的逆流冷却结构侧板与主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔之间分别对应设置有逆流口,所述的主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔分别通过逆流口与左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内部相连通;
所述左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的上部分别对应设置有逆流冷却气通入口,所述的逆流冷却气通入口分别与左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内部相连通;
所述的左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的外侧端部分别对应安装有支撑主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴的轴承座,所述轴承座的内部安装有滚动轴承,所述的主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴对应安装在轴承座内设置的滚动轴承上;
所述主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴同侧的一端上分别对应设置有主动齿轮和从动齿轮,所述的主动齿轮和从动齿轮相啮合形成同步齿轮副,所述的同步齿轮副设置在右逆流冷却结构墙板端部的主油箱内,所述主油箱通过连接螺栓固定在右逆流冷却结构墙板上;
所述的左逆流冷却结构墙板端部上设置有副油箱,所述副油箱通过螺栓固定在左逆流冷却结构墙板上,所述主动叶轮中心轴的动力输入端穿过副油箱并伸出副油箱外。
所述主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴与轴承座相结合的部位分别对应设置有密封件。
所述从动齿轮与从动叶轮中心轴相结合的部位设置有齿轮毂,所述齿轮毂通过螺栓固定在从动齿轮上。
本发明的有益效果是:本发明一种逆流冷却干式罗茨真空泵克服了目前现有罗茨真空泵在结构上存在的不足,具有结构简单,使用方便,占地空间 小,运行维护方便的特点。
附图说明
图1是本发明的外部结构示意图;
图2是本发明的内部结构示意图;
图3(a)、(b)、(c)、(d)是逆流冷却工作原理图;
图中:1-机壳、2-进气口、3-排气口、4-主动叶轮、5-从动叶轮、6-工作腔、61-主动叶轮工作腔、62-从动叶轮工作腔、7-左逆流冷却结构墙板、8-右逆流冷却结构墙板、9-逆流冷却结构侧板、10-逆流口、11-逆流冷却气通入口、12-主动叶轮中心轴、13-从动叶轮中心轴、14-轴承座、15-滚动轴承、16-密封件、17-主动齿轮、18-从动齿轮、19-主油箱、20-副油箱、21-齿轮毂。
具体实施方式
为能清楚说明本方案的技术特点,下面通过一个具体实施方式,并结合其附图,对本方案进行阐述。
如图1、图2所示,本发明一种逆流冷却干式罗茨真空泵,它包括机壳1所述机壳1的上部设置进气口2,下部设置有排气口3。
所述机壳1的内部设置有主动叶轮4和从动叶轮5,所述主动叶轮4和从动叶轮5设置在机壳1内部的工作腔6内,所述的工作腔6包括主动叶轮工作腔61和从动叶轮工作腔62。
在所述机壳1的两端部对应安装有左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8,安装在机壳1两端部的左、右逆流冷却结构墙板一方面可以实现逆流冷却罗茨真空泵的逆流进气;另一方面逆流冷却结构侧板可以与机壳1紧密配合,以实现风机主动叶轮4及从动叶轮5在机壳1中的精准定位。
所述左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8的内侧分别对应安装有逆流冷却结构侧板9,所述的左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8以及安装在左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8上的逆流冷 却结构侧板9与主动叶轮工作腔61和从动叶轮工作腔62之间分别对应设置有逆流口10,所述的主动叶轮工作腔61和从动叶轮工作腔62分别通过逆流口10与左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8的内部相连通。
为了向机壳1内部的主动叶轮工作腔61和从动叶轮工作腔62内通入逆流冷却气,在所述左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8的上部分别对应设置有逆流冷却气通入口11,所述的逆流冷却气通入口11分别与左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8的内部相连通,所述逆流冷却气通入口11连接逆流冷却消声装置为机壳内部提供逆流冷却气。
所述的左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8的外侧端部分别对应安装有支撑主动叶轮中心轴12和从动叶轮中心轴13的轴承座14,所述轴承座14的内部安装有滚动轴承15,所述的主动叶轮中心轴12和从动叶轮中心轴13对应安装在轴承座14内设置的滚动轴承15上。
上述所述主动叶轮中心轴12和从动叶轮中心轴13与轴承座14相结合的部位分别对应设置有密封件16,所述密封件16可保证主油箱及副油箱内的润滑油,不会进入机壳1内,从而保证罗茨真空泵的无油输送。
所述主动叶轮中心轴12和从动叶轮中心轴13同侧的一端上分别对应设置有主动齿轮17和从动齿轮18,所述的主动齿轮17和从动齿轮18相啮合形成同步齿轮副,所述的同步齿轮副设置在右逆流冷却结构墙板8端部的主油箱19内,所述主油箱19通过连接螺栓固定在右逆流冷却结构墙板上。
在所述的左逆流冷却结构墙板7端部上设置有副油箱20,所述副油箱20通过螺栓固定在左逆流冷却结构墙板7上,所述主动叶轮中心轴12的动力输入端穿过副油箱20并伸出副油箱20外,所述主动叶轮中心轴12的动力输入端连接于动力电机为叶轮的转动提供动力。
所述从动齿轮18与从动叶轮中心轴13相结合的部位设置有齿轮毂21,所述齿轮毂21通过螺栓固定在从动齿轮18上。在从动齿轮上设置齿轮毂, 方便从动齿轮的安装及拆卸。
如图3(a)、图3(b)、图3(c)、图3(d)所示,工作时,主动叶轮4和从动叶轮5旋转在机壳1与叶轮之间形成高压气,在高压气与排气口相通前,通过逆流口向主动叶轮工作腔61和从动叶轮工作腔62内通入高压冷却气体,使其内部压力预先与排气压力达到平衡,形成逆流冷却,主动叶轮4与从动叶轮5在主动齿轮及从动齿轮的带动下,作反向旋转,位置互换,如此循环工作,便形成逆流冷却罗茨真空泵的工作全过程。
以上所述只是本发明的优选实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也被视为本发明的保护范围。

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1、10申请公布号CN104265636A43申请公布日20150107CN104265636A21申请号201410458462822申请日20140910F04C29/04200601F04C25/02200601F04C18/1420060171申请人山东省章丘鼓风机股份有限公司地址250200山东省济南市章丘市明水经济开发区世纪大道东首72发明人高爱珍刘士华胡延风杜纪明房德琛74专利代理机构济南诚智商标专利事务所有限公司37105代理人王汝银54发明名称一种逆流冷却干式罗茨真空泵57摘要一种逆流冷却干式罗茨真空泵,包括机壳,机壳的上部设置进气口,下部设置有排气口;机壳的内部设置有主动叶轮和。

2、从动叶轮,主动叶轮和从动叶轮设置在机壳内部的工作腔内,工作腔包括主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔;机壳的两端安装有左、右逆流冷却结构墙板;左、右逆流冷却结构墙板的内侧分别对应安装有逆流冷却结构侧板,左、右逆流冷却结构墙板以及安装在左、右逆流冷却结构墙板上的逆流冷却结构侧板与主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔之间分别对应设置有逆流口,主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔分别通过逆流口与左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内部相连通。本发明具有结构简单,使用方便,占地空间小,运行维护方便的特点。51INTCL权利要求书1页说明书3页附图3页19中华人民共和国国家知识产权局12发明专利申请权利要求书1页说明。

3、书3页附图3页10申请公布号CN104265636ACN104265636A1/1页21一种逆流冷却干式罗茨真空泵,包括机壳,所述机壳的上部设置进气口,下部设置有排气口;所述机壳的内部设置有主动叶轮和从动叶轮,所述主动叶轮和从动叶轮设置在机壳内部的工作腔内,所述的工作腔包括主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔;在所述机壳的两端部对应安装有左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板;所述左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内侧分别对应安装有逆流冷却结构侧板,所述的左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板以及安装在左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板上的逆流冷却结构侧板与主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔之。

4、间分别对应设置有逆流口,所述的主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔分别通过逆流口与左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内部相连通;所述左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的上部分别对应设置有逆流冷却气通入口,所述的逆流冷却气通入口分别与左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内部相连通;所述的左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的外侧端部分别对应安装有支撑主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴的轴承座,所述轴承座的内部安装有滚动轴承,所述的主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴对应安装在轴承座内设置的滚动轴承上;所述主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴同侧的一端上分别对应设置有主动齿轮和从动齿轮,所述的主动齿轮和。

5、从动齿轮相啮合形成同步齿轮副,所述的同步齿轮副设置在右逆流冷却结构墙板端部的主油箱内,所述主油箱通过连接螺栓固定在右逆流冷却结构墙板上;所述的左逆流冷却结构墙板端部上设置有副油箱,所述副油箱通过螺栓固定在左逆流冷却结构墙板上,所述主动叶轮中心轴的动力输入端穿过副油箱并伸出副油箱外。2如权利要求1所述的一种逆流冷却干式罗茨真空泵,其特征是,所述主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴与轴承座相结合的部位分别对应设置有密封件。3如权利要求1所述的一种逆流冷却干式罗茨真空泵,其特征是,所述从动齿轮与从动叶轮中心轴相结合的部位设置有齿轮毂,所述齿轮毂通过螺栓固定在从动齿轮上。权利要求书CN104265636A1。

6、/3页3一种逆流冷却干式罗茨真空泵技术领域0001本发明涉及一种罗茨真空泵,特别涉及一种逆流冷却干式罗茨真空泵。背景技术0002目前通常使用的罗茨真空泵为提高罗茨真空泵的真空度,通常是采用在单级真空泵的进口侧增加封入水来提高罗茨真空泵的真空度或者是采用双级串联的方式来提高罗茨真空泵的真空度,采用双级串联方式提高罗茨真空泵的真空度,存在占用空间大,运行维护不便的问题。采用单级真空泵的进口侧增加封入水方式提高罗茨真空泵的真空度,会限制了罗茨真空泵在某些真空场合的应用,使得罗茨真空泵的使用具有一定的局限性。因此,为解决上述问题,有必要提供一种具有良好结构的逆流冷却干式罗茨真空泵,以满足用户的使用要求。

7、。发明内容0003本发明提供了一种逆流冷却干式罗茨真空泵,本发明克服了目前现有罗茨真空泵在结构上存在的不足,具有结构简单,使用方便,占地空间小,运行维护方便的特点。0004为了解决上述问题,本发明所采用的技术方案是一种逆流冷却干式罗茨真空泵,包括机壳,所述机壳的上部设置进气口,下部设置有排气口;所述机壳的内部设置有主动叶轮和从动叶轮,所述主动叶轮和从动叶轮设置在机壳内部的工作腔内,所述的工作腔包括主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔;在所述机壳的两端部对应安装有左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板;0005所述左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内侧分别对应安装有逆流冷却结构侧板,所述的左逆流。

8、冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板以及安装在左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板上的逆流冷却结构侧板与主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔之间分别对应设置有逆流口,所述的主动叶轮工作腔和从动叶轮工作腔分别通过逆流口与左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内部相连通;0006所述左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的上部分别对应设置有逆流冷却气通入口,所述的逆流冷却气通入口分别与左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的内部相连通;0007所述的左逆流冷却结构墙板和右逆流冷却结构墙板的外侧端部分别对应安装有支撑主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴的轴承座,所述轴承座的内部安装有滚动轴承,所述的主动叶轮中心。

9、轴和从动叶轮中心轴对应安装在轴承座内设置的滚动轴承上;0008所述主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴同侧的一端上分别对应设置有主动齿轮和从动齿轮,所述的主动齿轮和从动齿轮相啮合形成同步齿轮副,所述的同步齿轮副设置在右逆流冷却结构墙板端部的主油箱内,所述主油箱通过连接螺栓固定在右逆流冷却结构墙板上;0009所述的左逆流冷却结构墙板端部上设置有副油箱,所述副油箱通过螺栓固定在左说明书CN104265636A2/3页4逆流冷却结构墙板上,所述主动叶轮中心轴的动力输入端穿过副油箱并伸出副油箱外。0010所述主动叶轮中心轴和从动叶轮中心轴与轴承座相结合的部位分别对应设置有密封件。0011所述从动齿轮与从动叶。

10、轮中心轴相结合的部位设置有齿轮毂,所述齿轮毂通过螺栓固定在从动齿轮上。0012本发明的有益效果是本发明一种逆流冷却干式罗茨真空泵克服了目前现有罗茨真空泵在结构上存在的不足,具有结构简单,使用方便,占地空间小,运行维护方便的特点。附图说明0013图1是本发明的外部结构示意图;0014图2是本发明的内部结构示意图;0015图3A、B、C、D是逆流冷却工作原理图;0016图中1机壳、2进气口、3排气口、4主动叶轮、5从动叶轮、6工作腔、61主动叶轮工作腔、62从动叶轮工作腔、7左逆流冷却结构墙板、8右逆流冷却结构墙板、9逆流冷却结构侧板、10逆流口、11逆流冷却气通入口、12主动叶轮中心轴、13从动。

11、叶轮中心轴、14轴承座、15滚动轴承、16密封件、17主动齿轮、18从动齿轮、19主油箱、20副油箱、21齿轮毂。具体实施方式0017为能清楚说明本方案的技术特点,下面通过一个具体实施方式,并结合其附图,对本方案进行阐述。0018如图1、图2所示,本发明一种逆流冷却干式罗茨真空泵,它包括机壳1所述机壳1的上部设置进气口2,下部设置有排气口3。0019所述机壳1的内部设置有主动叶轮4和从动叶轮5,所述主动叶轮4和从动叶轮5设置在机壳1内部的工作腔6内,所述的工作腔6包括主动叶轮工作腔61和从动叶轮工作腔62。0020在所述机壳1的两端部对应安装有左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8,安装在。

12、机壳1两端部的左、右逆流冷却结构墙板一方面可以实现逆流冷却罗茨真空泵的逆流进气;另一方面逆流冷却结构侧板可以与机壳1紧密配合,以实现风机主动叶轮4及从动叶轮5在机壳1中的精准定位。0021所述左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8的内侧分别对应安装有逆流冷却结构侧板9,所述的左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8以及安装在左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8上的逆流冷却结构侧板9与主动叶轮工作腔61和从动叶轮工作腔62之间分别对应设置有逆流口10,所述的主动叶轮工作腔61和从动叶轮工作腔62分别通过逆流口10与左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8的内部相连通。0022为了向。

13、机壳1内部的主动叶轮工作腔61和从动叶轮工作腔62内通入逆流冷却气,在所述左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8的上部分别对应设置有逆流冷却气通入口11,所述的逆流冷却气通入口11分别与左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结说明书CN104265636A3/3页5构墙板8的内部相连通,所述逆流冷却气通入口11连接逆流冷却消声装置为机壳内部提供逆流冷却气。0023所述的左逆流冷却结构墙板7和右逆流冷却结构墙板8的外侧端部分别对应安装有支撑主动叶轮中心轴12和从动叶轮中心轴13的轴承座14,所述轴承座14的内部安装有滚动轴承15,所述的主动叶轮中心轴12和从动叶轮中心轴13对应安装在轴承座14内设。

14、置的滚动轴承15上。0024上述所述主动叶轮中心轴12和从动叶轮中心轴13与轴承座14相结合的部位分别对应设置有密封件16,所述密封件16可保证主油箱及副油箱内的润滑油,不会进入机壳1内,从而保证罗茨真空泵的无油输送。0025所述主动叶轮中心轴12和从动叶轮中心轴13同侧的一端上分别对应设置有主动齿轮17和从动齿轮18,所述的主动齿轮17和从动齿轮18相啮合形成同步齿轮副,所述的同步齿轮副设置在右逆流冷却结构墙板8端部的主油箱19内,所述主油箱19通过连接螺栓固定在右逆流冷却结构墙板上。0026在所述的左逆流冷却结构墙板7端部上设置有副油箱20,所述副油箱20通过螺栓固定在左逆流冷却结构墙板7。

15、上,所述主动叶轮中心轴12的动力输入端穿过副油箱20并伸出副油箱20外,所述主动叶轮中心轴12的动力输入端连接于动力电机为叶轮的转动提供动力。0027所述从动齿轮18与从动叶轮中心轴13相结合的部位设置有齿轮毂21,所述齿轮毂21通过螺栓固定在从动齿轮18上。在从动齿轮上设置齿轮毂,方便从动齿轮的安装及拆卸。0028如图3A、图3B、图3C、图3D所示,工作时,主动叶轮4和从动叶轮5旋转在机壳1与叶轮之间形成高压气,在高压气与排气口相通前,通过逆流口向主动叶轮工作腔61和从动叶轮工作腔62内通入高压冷却气体,使其内部压力预先与排气压力达到平衡,形成逆流冷却,主动叶轮4与从动叶轮5在主动齿轮及从动齿轮的带动下,作反向旋转,位置互换,如此循环工作,便形成逆流冷却罗茨真空泵的工作全过程。0029以上所述只是本发明的优选实施方式,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也被视为本发明的保护范围。说明书CN104265636A1/3页6图1说明书附图CN104265636A2/3页7图2图3A图3B说明书附图CN104265636A3/3页8说明书附图CN104265636A。

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